專(zhuān)利名稱(chēng)：玻璃基板缺陷檢查裝置以及玻璃基板缺陷檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃基板缺陷檢查裝置以及玻璃基板缺陷檢查方法，與能夠高精度地進(jìn)行檢查的玻璃基板缺陷檢查裝置以及玻璃基板缺陷檢查方法有關(guān)。
背景技術(shù)：
液晶顯示面板或者太陽(yáng)能電池面板的制造是利用光刻法技術(shù)等在玻璃基板上形成圖案來(lái)進(jìn)行。此時(shí)，如果存在玻璃基板表面的損傷或者異物等缺陷，則不能良好地形成圖案，成為產(chǎn)品不良的原因。因此，一直以來(lái)，使用缺陷檢查裝置來(lái)進(jìn)行玻璃基板表面損傷或者異物等的缺陷檢查。為了實(shí)施缺陷檢查，有必要將玻璃基板搬運(yùn)到缺陷檢查裝置來(lái)進(jìn)行檢查。以往， 使用機(jī)器人或者輥式輸送機(jī)等來(lái)搬運(yùn)，但是在搬運(yùn)時(shí)，機(jī)器人的吸附墊片、輥式輸送機(jī)的輥所使用的材料附著在玻璃基板上，導(dǎo)致?lián)p傷或者異物缺陷。因此，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1(日本特開(kāi)2006-188313號(hào)公報(bào))中，作為非接觸地搬運(yùn)玻璃基板的技術(shù)記載了如下結(jié)構(gòu)吸附玻璃基板端部并保持，使玻璃基板氣懸浮來(lái)搬運(yùn)玻璃基板。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2(日本特開(kāi)平 9-257642號(hào)公報(bào))中記載了玻璃基板上的損傷或者異物的檢查方法。對(duì)于上述通過(guò)氣懸浮來(lái)搬運(yùn)玻璃基板的方式，存在如下問(wèn)題由于搬運(yùn)時(shí)的慣性， 會(huì)產(chǎn)生玻璃基板前端部跳起等，由此失去搬運(yùn)方向上的平坦性，檢查精度不高。隨著近期玻璃基板變薄，問(wèn)題愈加明顯。專(zhuān)利文獻(xiàn)1中雖然公開(kāi)了搬運(yùn)玻璃基板并在停止后進(jìn)行處理，但是沒(méi)有認(rèn)識(shí)到搬運(yùn)過(guò)程中進(jìn)行檢查時(shí)的上述問(wèn)題，更沒(méi)有公開(kāi)針對(duì)問(wèn)題的解決方案。另外，專(zhuān)利文獻(xiàn)2中雖然公開(kāi)了光學(xué)式的檢查裝置，但是沒(méi)有認(rèn)識(shí)到搬運(yùn)過(guò)程中進(jìn)行檢查的上述問(wèn)課，也沒(méi)有公開(kāi)解決方案。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述課題，目的在于提供能夠確保玻璃基板在搬運(yùn)方向的平坦性、高精度地進(jìn)行檢查的玻璃基板缺陷檢查裝置或者玻璃基板缺陷檢查方法。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明至少具有如下特征。本發(fā)明的第一方案的特征是，在通過(guò)空氣產(chǎn)生懸浮力來(lái)使玻璃基板懸浮，將玻璃基板向不存在上述懸浮力的檢查區(qū)域搬運(yùn)，在上述檢查區(qū)域內(nèi)對(duì)上述玻璃基板進(jìn)行攝像并進(jìn)行檢查的玻璃基板缺陷檢查裝置或者檢查方法中，降低上述檢查區(qū)域內(nèi)的上述玻璃基板搬運(yùn)方向的端部的跳起導(dǎo)致的位移量，進(jìn)行上述檢查。另外，本發(fā)明的第二方案的特征是，如下進(jìn)行所述降低測(cè)定所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板的所述位移量，基于所述位移量測(cè)定結(jié)果，使進(jìn)行所述攝像的攝像單元移動(dòng)。并且，本發(fā)明的第三方案的特征是，預(yù)先設(shè)定所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板的搬運(yùn)速度的速度模式，基于所述預(yù)先設(shè)定的所述加速度來(lái)檢查所述玻璃基板。并且，本發(fā)明的第四方案的特征是，檢查所述玻璃基板內(nèi)的氣泡、所述玻璃基板表面存在的損傷的至少一種。并且，本發(fā)明的第五方案的特征是，所述位移量測(cè)定單元為非接觸式激光位移儀。并且，本發(fā)明的第六方案的特征是，所述檢查以如下方法進(jìn)行在所述進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)裝置的下部設(shè)置對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行照明的照明單元，在所述搬運(yùn)裝置的上部設(shè)置所述進(jìn)行攝像的攝像單元。本發(fā)明的效果如下。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供可確保玻璃基板在搬運(yùn)方向的平坦性、高精度地進(jìn)行檢查的玻璃基板缺陷檢查裝置或者玻璃基板缺陷檢查方法。


圖1是表示玻璃基板缺陷檢查裝置的第一實(shí)施方式的塊圖。圖2是表示對(duì)本發(fā)明玻璃基板缺陷檢查裝置的第一實(shí)施方式的搬運(yùn)部從上部進(jìn)行觀察得到的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖3是表示精密懸浮載物臺(tái)和高懸浮部載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)的圖。圖4是表示離開(kāi)精密懸浮載物臺(tái)端面的位置上玻璃基板前端位移量的測(cè)定結(jié)果的圖。圖5是表示本發(fā)明玻璃基板缺陷檢查裝置的第一實(shí)施方式的檢查部的結(jié)構(gòu)的圖。圖6是表示在一臺(tái)玻璃基板檢查裝置中確保玻璃基板平坦性的本發(fā)明第二實(shí)施方式的控制方法。圖中10-檢查部，IOA-損傷檢查部，IOB-氣泡檢查部，IlAUlB-攝像單元，12AU2B-線傳感器(攝像單元)，13A、13B-受光透鏡，14A、14B-距離檢測(cè)傳感器(非接觸式激光位移儀)，15A、15B-攝像部驅(qū)動(dòng)部，16A、16B-光源單元，17A-激光光源，18A-反射鏡，19A-聚光透鏡，20-空氣懸浮載物臺(tái)，21-分割載物臺(tái)，21S-精密懸浮載物臺(tái)，21H-高懸浮部載物臺(tái)， 30-驅(qū)動(dòng)部，31-直線導(dǎo)軌，32-直線運(yùn)動(dòng)執(zhí)行元件，33-夾持器，34-直線檢測(cè)元件，40-搬運(yùn)部，50-空氣供給吸氣部，51-壓縮空氣供給源，52-真空供給源，60-整體控制部，100-玻璃基板缺陷檢查裝置，P-玻璃基板，PA-壓縮空氣噴出口，PV-空氣吸引口，Pb-玻璃基板后端， Pbb-玻璃基板后端部，Pt-玻璃基板前端，Ptb-玻璃基板前端部，R-檢查區(qū)域。
具體實(shí)施例方式以下，基于附圖對(duì)本發(fā)明玻璃基板缺陷檢查裝置的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示玻璃基板缺陷檢查裝置100的第一實(shí)施方式的塊圖。玻璃基板缺陷檢查裝置100大致包括檢查玻璃基板P的檢查部10 ；具備空氣懸浮載物臺(tái)20和保持玻璃基板P并使其懸浮著在空氣懸浮載物臺(tái)20上搬運(yùn)的驅(qū)動(dòng)部30的搬運(yùn)部40 ；具備向搬運(yùn)部40 供給壓縮空氣的壓縮空氣供給源51和吸入空氣的真空供給源52的空氣供給吸氣部50 ；以及監(jiān)視各部分的狀態(tài)并控制各部分的整體控制部60。圖2是表示對(duì)本發(fā)明第一實(shí)施方式的搬運(yùn)部40從上部進(jìn)行觀察得到的概略結(jié)構(gòu)的圖?？諝鈶腋≥d物臺(tái)20具有在搬運(yùn)方向(X)和與搬運(yùn)方向(X)垂直的方向Y上排列的多個(gè)長(zhǎng)方形分割載物臺(tái)21。分割載物臺(tái)21具有設(shè)在兩端部的精密懸浮載物臺(tái)21S和設(shè)于精密懸浮載物臺(tái)21S之間的高懸浮部載物臺(tái)21H。搬運(yùn)方向(X)的分割載物臺(tái)21之間的R 為后述的用于進(jìn)行檢查的檢查區(qū)域。驅(qū)動(dòng)部30具有沿著空氣懸浮載物臺(tái)20的搬運(yùn)方向(X)設(shè)置的直線導(dǎo)軌31 ；沿著直線導(dǎo)軌31運(yùn)動(dòng)的直線運(yùn)動(dòng)執(zhí)行元件32 ；固定在直線運(yùn)動(dòng)執(zhí)行元件32上并保持玻璃基板P的夾持器33;以及檢查直線運(yùn)動(dòng)執(zhí)行元件32在直線導(dǎo)軌31上(搬運(yùn)方向(X))的位置的直線檢測(cè)元件34。圖1所示的整體控制部60讀入直線檢測(cè)元件34的位置信息，控制搬運(yùn)速度和夾持器33。圖3(a)是表示精密懸浮載物臺(tái)21S的結(jié)構(gòu)的圖，圖3 (b)是表示高懸浮部載物臺(tái) 21H的結(jié)構(gòu)的圖。如上所述，檢查在相鄰分割載物臺(tái)21間的寬40mm左右的檢查區(qū)域R內(nèi)進(jìn)行。因此，為了保持玻璃基板P在檢查區(qū)域R兩側(cè)的平坦度，精密懸浮載物臺(tái)21S使玻璃基板P懸浮。因此，如圖3(a)所示，為了使玻璃基板P懸浮，精密懸浮載物臺(tái)21S中交錯(cuò)配置噴出壓縮空氣的噴出口 PA(白圈)和吸引空氣來(lái)吸附玻璃基板的吸引口 PV(黑圈)。這樣，通過(guò)控制壓縮空氣供給源51和真空供給源52來(lái)保持兩者的平衡，以得到玻璃基板P的平坦度。另一方面，如圖3(b)所示，高懸浮部載物臺(tái)21H只具有噴出使玻璃基板P懸浮的壓縮空氣的噴出口 PA，使玻璃基板P穩(wěn)定懸浮，不會(huì)成為降低搬運(yùn)速度的負(fù)荷。但是，如圖4所示，由于各種原因，會(huì)導(dǎo)致玻璃基板P的平坦度受到破壞。圖4表示玻璃基板P的前端Pt (參照?qǐng)D2)離開(kāi)精密懸浮載物臺(tái)21S端面的位移量(刻度為Imm)的測(cè)定結(jié)果。圖4(a)表示面積為880mmX680mm、厚度為0. 7mm的玻璃基板的測(cè)定結(jié)果，圖(b)表示相同面積、厚度為0.4mm的玻璃基板的測(cè)定結(jié)果?？v軸位移量的刻度為1mm，以在精密懸浮載物臺(tái)21S端面位置的測(cè)定結(jié)果作為基準(zhǔn)。另外，如后所述，為了表示在三個(gè)位置上的測(cè)定結(jié)果，圖表中的位置錯(cuò)開(kāi)表示，不表示絕對(duì)值。采用非接觸式激光位移儀進(jìn)行測(cè)定，測(cè)定條件為玻璃基板的搬運(yùn)速度為250mm/s，采樣時(shí)間為1ms。測(cè)定位置為離開(kāi)與搬運(yùn)方向垂直的Y方向上的玻璃基板端部I3S (參照?qǐng)D2) IOmm的位置la、以及從該相距10_的位置進(jìn)一步離開(kāi)310_和610_的位置lb、Ic共三個(gè)位置。由圖4可知，具有如下三種一般性?xún)A向。第一，在中央部(Ib)的位移量大，在Y方向的端部(la、Ic)位移量較小。第二，在中央部(Ib)的距精密懸浮載物臺(tái)21S端面IOmm 左右位置上位移量的變化大。第三，玻璃基板的厚度越薄，位移量越大。在圖4(b)所示厚度為0. 4mm的玻璃中，最大位移量為100 μ m。在之后的作為本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明的檢查氣泡、損傷的玻璃基板缺陷檢查裝置中，允許平坦度為例如士 50 μ m左右，有必要落在該范圍之內(nèi)。圖5是表示能夠?qū)崿F(xiàn)該允許平坦度的本發(fā)明玻璃基板缺陷檢查裝置的第一實(shí)施方式的檢查部10的結(jié)構(gòu)的圖。本實(shí)施方式中，使用線傳感器(Line Sensor)作為進(jìn)行檢查的攝像單元，測(cè)定檢查位置上的玻璃基板P的跳起量(位移量)，基于該位移量，進(jìn)行攝像單元追蹤位置的追蹤控制，以便總是與焦點(diǎn)一致，雖然實(shí)際上并不平坦，但是從檢查的角度看，在保持距離一定的含義上確保平坦度。檢查部10具有檢查玻璃基板P的損傷的損傷檢查部IOA和檢查氣泡的氣泡檢查部 10B。損傷檢查部IOA分為攝像單元IlA和光源單元16A。攝像單元IlA具有通過(guò)受光透鏡13A從玻璃基板P的表面或者背面檢測(cè)散射光的線傳感器12A ；固定在攝像單元IlA 的框體上并測(cè)定與玻璃基板P的位移量G的距離檢測(cè)傳感器14A ；以及基于距離檢測(cè)傳感器14A的檢測(cè)結(jié)果使具備線傳感器12A和受光透鏡13A的攝像部升降的攝像部驅(qū)動(dòng)部15A。 本實(shí)施方式中，使用線CCD作為對(duì)規(guī)定的線狀范圍進(jìn)行攝像的線傳感器12A，使用非接觸式激光位移儀作為距離檢測(cè)傳感器14A。另外，攝像部驅(qū)動(dòng)部15A具備固定在攝像單元IlA的框體上的馬達(dá)15Aa ；通過(guò)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)15Aa轉(zhuǎn)動(dòng)的球鉸15Ab ；將球鉸15Ab固定在攝像單元IlA的框體上的支撐部15Ad ； 以及固定在攝像部并通過(guò)球鉸15Ab的轉(zhuǎn)動(dòng)上下移動(dòng)的螺母15Ac。另一方面，光源單元16A具有激光光源17A、用于斜向照射激光光線的反射鏡18A 和聚光透鏡19A，以檢測(cè)10 μ m左右的損傷。根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，至少通過(guò)使攝像部追蹤玻璃基板P的前端部Ptb (圖2所示的距前端Pt—定的范圍)到達(dá)檢查區(qū)域R時(shí)的跳起(上浮)等位移，能夠可靠地檢測(cè)損傷。當(dāng)然， 也可以除了前端部Ptb，在其他部分也同樣進(jìn)行位移量檢測(cè)，來(lái)控制攝像部。特別是在玻璃基板的后端部HA (圖2所示的距玻璃基板后端1 一定的范圍)，由于具有失去平坦性的傾向，因此其效果顯著。另一方面，氣泡檢查部IOB具有與損傷檢查部IOA基本相同的結(jié)構(gòu)。氣泡檢查部 IOB通過(guò)攝像單元12B的拍攝結(jié)果的亮度不均來(lái)檢測(cè)氣泡。因此，使用能夠照射廣闊范圍的LED或者熒光燈作為光源17B。其他結(jié)構(gòu)相同，為了伴隨玻璃基板P的移動(dòng)高效地進(jìn)行攝像，也使用線CCD作為攝像單元。因此，氣泡檢查部IOB也通過(guò)使攝像部追蹤玻璃基板P的前端部Ptb到達(dá)檢查區(qū)域R時(shí)的跳起等位移來(lái)可靠地檢測(cè)氣泡。在上述實(shí)施方式中，將損傷檢查部IOA與氣泡檢查部IOB設(shè)在了不同的檢查區(qū)域， 但也可以在相同檢查區(qū)域中鄰接地設(shè)置。另外，在上述實(shí)施方式中，在與搬運(yùn)方向(X)垂直的(Y)方向上的一個(gè)部位設(shè)置了檢查部10，但也可以在多個(gè)部位上設(shè)置。根據(jù)圖4的測(cè)定結(jié)果，由于在與玻璃基板P的搬運(yùn)方向平行的端部平坦性的喪失少，因此可以在平坦性的喪失程度大的中央部側(cè)多配置檢查部10。在上述實(shí)施方式中，是以多臺(tái)檢查裝置或者處理裝置構(gòu)成一個(gè)系統(tǒng)的情況作為例子進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)然，在一臺(tái)檢查裝置中，上述實(shí)施方式也是有效的。圖6是表示在一臺(tái)玻璃基板缺陷檢查裝置中確保玻璃基板平坦性的本發(fā)明第二實(shí)施方式的控制方法的圖。在一臺(tái)玻璃基板缺陷檢查裝置中，在將玻璃基板載置在臺(tái)上后，加速后進(jìn)行檢查，然后減速。該加速和減速破壞玻璃基板P，尤其是在前端部Ptb、后端部的平坦性。圖6(a)表示如下情況在玻璃基板P的前端Pt進(jìn)入檢查區(qū)域R之前(時(shí)間Tt)突然加速至規(guī)定速度并在一定的時(shí)刻進(jìn)行攝像，并在玻璃基板P的后端部ΡΙΛ通過(guò)檢查區(qū)域R后(時(shí)間Tb)減速。圖 6(b)表示如下情況緩和加速減速時(shí)間，在玻璃基板P的前端Pt進(jìn)入檢查區(qū)域R之后或者到通過(guò)檢查區(qū)域R后的期間內(nèi)加速，得到規(guī)定速度，然后，在玻璃基板P的后端部ΡΙΛ進(jìn)入檢查區(qū)域R之前或者到通過(guò)檢查區(qū)域R后的期間內(nèi)，在減速的同時(shí)進(jìn)行檢查。對(duì)于圖6(b) 的情況，由于在檢查過(guò)程中搬運(yùn)速度發(fā)生變化，因此通過(guò)圖2所示直線檢測(cè)元件34檢測(cè)位置并以一定距離間隔進(jìn)行檢查。
圖6 (c)、圖6 (d)分別表示針對(duì)圖6 (a)、圖6 (b)在檢查時(shí)的玻璃基板P的跳起量， 也就是位移量。加速度越大，玻璃基板P的前端部Ptb與后端部的跳起越大。雖然與玻璃基板P的厚度也相關(guān)，但是由圖6 (c)、圖6 (d)可知，一般來(lái)講，加速度越大，玻璃基板P 的前端部、后端部，尤其是在前端部，跳起量越大。于是，針對(duì)玻璃基板P的厚度，預(yù)先測(cè)定位移量(跳起量)，求出落入允許范圍的位移量的速度模式，用于實(shí)際的檢查。如果未落入允許范圍的位移量，則與第一實(shí)施方式中所說(shuō)明的方式組合，降低檢查時(shí)的修正量，進(jìn)一步穩(wěn)定地進(jìn)行檢查。根據(jù)以上說(shuō)明的第二實(shí)施方式，由于能夠降低或者消除跳起現(xiàn)象，因此能夠確保搬運(yùn)方向的玻璃基板的平坦性，能夠高精度地檢查玻璃基板。在以上說(shuō)明的實(shí)施方式中，主要是以玻璃基板的前端部或者后端部的檢查進(jìn)行的敘述。隨著玻璃基板的薄型化，在其他的區(qū)域內(nèi)，也會(huì)發(fā)生基板的跳起(上浮)或者沉浮。 在該情況下，可以在整個(gè)區(qū)域內(nèi)測(cè)定位移量，進(jìn)行用于維持平坦度的控制。
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板缺陷檢查裝置，具有通過(guò)空氣使玻璃基板懸浮的懸浮裝置、向不存在所述懸浮裝置的檢查區(qū)域搬運(yùn)所述玻璃基板的搬運(yùn)裝置、以及在所述檢查區(qū)域內(nèi)對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行攝像并進(jìn)行檢查的光學(xué)式檢查裝置，該玻璃基板缺陷檢查裝置的特征在于，具有降低單元，該降低單元降低所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板搬運(yùn)方向的端部的跳起導(dǎo)致的位移量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板缺陷檢查裝置，其特征在于，所述降低單元具有位移量測(cè)定單元和移動(dòng)單元，該位移量測(cè)定單元測(cè)定所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板的所述位移量；該移動(dòng)單元基于所述位移量測(cè)定單元的檢測(cè)結(jié)果，使進(jìn)行所述攝像的攝像單元移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板缺陷檢查裝置，其特征在于，所述位移量測(cè)定單元是非接觸式激光位移儀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板缺陷檢查裝置，其特征在于，預(yù)先設(shè)定所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板的搬運(yùn)速度的速度模式，基于所述預(yù)先設(shè)定的所述速度模式檢查所述玻璃基板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)中所述的玻璃基板缺陷檢查裝置，其特征在于，所述光學(xué)式檢查裝置檢查所述玻璃基板內(nèi)的氣泡、所述玻璃基板表面存在的損傷的至少一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板缺陷檢查裝置，其特征在于，所述光學(xué)式檢查裝置在所述搬運(yùn)裝置的下部設(shè)有對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行照明的照明單元，在所述搬運(yùn)裝置的上部設(shè)有所述攝像單元。
7.一種玻璃基板缺陷檢查方法，通過(guò)空氣產(chǎn)生懸浮力使玻璃基板懸浮，并向不存在所述懸浮力的檢查區(qū)域搬運(yùn)，在所述檢查區(qū)域內(nèi)對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行攝像并進(jìn)行檢查，該玻璃基板缺陷檢查方法的特征在于，降低所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板搬運(yùn)方向的端部的跳起導(dǎo)致的位移量，進(jìn)行所述檢查。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的玻璃基板缺陷檢查方法，其特征在于，所述降低如下進(jìn)行測(cè)定所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板的所述位移量，基于所述位移量測(cè)定結(jié)果，使進(jìn)行所述攝像的攝像單元移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的玻璃基板缺陷檢查方法，其特征在于，預(yù)先設(shè)定所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板的搬運(yùn)速度的加速度，基于所述預(yù)先設(shè)定的所述加速度檢查所述玻璃基板。
10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的玻璃基板缺陷檢查方法，其特征在于，檢查所述玻璃基板內(nèi)的氣泡、所述玻璃基板表面存在的損傷的至少一種。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠確保玻璃基板在搬運(yùn)方向的平坦性、高精度地進(jìn)行檢查的玻璃基板缺陷檢查裝置或者玻璃基板缺陷檢查方法。本發(fā)明的特征在于在通過(guò)空氣產(chǎn)生懸浮力使玻璃基板懸浮，將玻璃基板向不存在所述懸浮力的檢查區(qū)域搬運(yùn)，在所述檢查區(qū)域內(nèi)對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行攝像并進(jìn)行檢查的玻璃基板缺陷檢查裝置或者檢查方法中，降低所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板搬運(yùn)方向的端部的跳起導(dǎo)致的位移量，進(jìn)行所述檢查。另外，本發(fā)明的特征還在于如下進(jìn)行所述降低測(cè)定所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板的所述位移量，并基于所述位移量測(cè)定結(jié)果，使進(jìn)行所述攝像的攝像單元移動(dòng)。
文檔編號(hào)G01N21/958GK102565092SQ20111024326
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月27日
發(fā)明者廣井修一, 荒木正樹(shù), 衣川耕平 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)