專利名稱：測試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測試裝置。
背景技術(shù)：
對于大電流電路中使用的開關(guān)器件，公知的是使用IGBT等元件的器件。根據(jù)所要求的電流規(guī)格等，在該器件上并列地形成有多個IGBT元件(參照例如專利文獻(xiàn)1)。測試該器件的測試裝置將來自同一電源的功率提供到多個IGBT專利文獻(xiàn)1專利公開2000-58820號公報對于大電流的開關(guān)器件的測試項目，有像雪崩測試那樣的向器件施加高電壓的耐壓測試。但是，如果器件內(nèi)并列設(shè)置的元件在特性存在散差的話，則有時電流集中到一部分元件上，而導(dǎo)致元件遭到破壞。由于多個元件形成在同一基板上，所以如果一部分元件遭到破壞，導(dǎo)致大電流流過而產(chǎn)生熱量等，則該熱量等也將傳給其他元件，由此，其他元件也將遭到破壞。這樣的破壞連續(xù)發(fā)生，導(dǎo)致器件內(nèi)的元件遭到雪崩式破壞。為了防止元件遭到這樣的破壞，考慮在測試裝置中裝入阻斷電路，在檢出一定的電流値等時，阻斷向器件提供功率的。但是，由于應(yīng)該阻斷提供電力的情況因器件、測試項目而異，所以必須根據(jù)阻斷條件來制作阻斷電路。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明包含的技術(shù)革新1方面目的在于提供能夠解決上述技術(shù)問題的測試裝置。該目的是通過組合權(quán)利要求中所述的特征來實現(xiàn)的。即，在本發(fā)明的第一實施方式中，提供一種測試被測試器件的測試裝置，包括電源部，其向被測試器件提供電源電力； 比較部，其檢出顯示所述被測試器件的狀態(tài)的特性值，并將特性值與預(yù)定的閾值進(jìn)行比較； 阻斷部，其根據(jù)比較部的比較結(jié)果，阻斷從電源部向被測試器件提供的所述電源電力；以及控制部，其改變在比較部上的閾值或用于檢出特性值的檢出時序中的至少一方。另外，上述本發(fā)明的內(nèi)容并沒將本發(fā)明所需的特征全部列舉出來，這些特征群的子組合也能成為本發(fā)明。


圖1是結(jié)合被測試器件200表示測試被測試器件200的測試裝置100的構(gòu)成例。圖2表示阻斷部60的一個例子。圖3是表示測試被測試器件200的一個例子的時序圖表。圖4是表示比較部40的另一構(gòu)成例。圖5是表示阻斷部60的動作例。
具體實施例方式下面通過發(fā)明的實施方式來說明本發(fā)明，但下述實施方式并非限定權(quán)利要求涉及的發(fā)明，并且實施方式中說明的特征的組合并非全部都是發(fā)明的解決手段所必須的。圖1是結(jié)合被測試器件200表示測試被測試器件200的測試裝置100的構(gòu)成例。 被測試器件200包含例如IGBT等高耐壓、大電流的開關(guān)元件。被測試器件200也可具有在同一基板上并 列形成的多個開關(guān)元件。被測試器件200也可以是具有數(shù)百到數(shù)千伏左右的耐壓能力，且能夠流通數(shù)安培到數(shù)百安培左右的電流的器件。并且，被測試器件200也可是車載用器件。測試裝置100包括控制部10、信號提供部12、時序產(chǎn)生部20、閾值存儲部30、比較部40、電源部50以及阻斷部60?？刂撇?0控制測試裝置100的各構(gòu)成要件?？刂撇?0 可向測試裝置100的各構(gòu)成要件提供信號，并且，接收來自各構(gòu)成要件的信號?？刂撇?0 可根據(jù)由測試裝置100的使用者給出的程序控制控制各構(gòu)成要件?？刂撇?0和測試裝置 100的各構(gòu)成要件經(jīng)由RW總線(讀/寫總線)連接。信號提供部12向被測試器件200提供使被測試器件200工作的測試信號。例如信號提供部12生成用于接通/斷開被測試器件200內(nèi)的開關(guān)元件的測試信號。測試裝置 100根據(jù)對應(yīng)測試信號施加在被測試器件200上的電壓或電流、或者根據(jù)被測試器件200輸出的電壓或電流判斷被測試器件200的良否。電源部50向被測試器件200提供電源電力。例如對被測試器件200內(nèi)的開關(guān)元件的柵極端子施加由信號提供部12提供的測試信號，向開關(guān)元件的發(fā)射極端子或集電極端子(或者是源極端子或漏極端子)施加電源部50提供的電源電壓。并且，電源部50提供開關(guān)元件的發(fā)射極與集電極間電流。比較部40檢測出表示被測試器件200的狀態(tài)的特性值，并將特性值與預(yù)定的閾值進(jìn)行比較。閾值可包含上限閾值及下限閾值。特性值可為被測試器件200輸出的電壓或電流值等的電性特性值。并且，特性值可包含被測試器件200內(nèi)的溫度等非電性特性值。并且，比較部40可按時序產(chǎn)生部20給予的多個檢出時序來檢出這些特性值。并且比較部40也可檢出這些特性值是否按預(yù)定的方式變化。此時，給予比較部40的閾值可按各檢出時序來變化。比較部40可檢出多種特性值。所謂特性值的種類是指例如電壓値、電流値、溫度等。本例的比較部40具有用于檢測電流及電壓値的電流比較器42及電壓比較器44。比較部40可檢測被測試器件200輸出的電壓或電流，也可檢測施加在被測試器件200上的電壓或電流。并且，比較部40也可檢測電源部50輸出的電壓或電流。并且，比較部40可經(jīng)由設(shè)在被測試器件200上的測試端子或監(jiān)控端子檢測電壓、 電流及溫度等的特性值。測試端子可為例如向測試器件200提供測試信號或電源電力的端子，此外，被測試器件200可為輸出電壓、電流或信號的端子。并且，監(jiān)控端子可以是輸出表示在被測試器件200內(nèi)部的被觀測點上的特性值信號的端子。被觀測點例如為連接有多個開關(guān)元件的節(jié)點。并且，可從監(jiān)控端子輸出與電流或溫度等的特性值水平相對應(yīng)的電壓。測試端子或監(jiān)控端子可為被測試器件200實際工作時不使用的端子。電流比較器42例如按檢出時序來檢測被測試器件200輸出的電流値。電流比較器42將所檢出的電流値與預(yù)定的閾值進(jìn)行比較。電壓比較器44例如按檢出時序來檢測被測試器件200的發(fā)射極/集電極間電壓。電壓比較器44將檢出的電壓値與預(yù)定的閾值進(jìn)行比較。閾值存儲部30存儲由控制部10給予的閾值，提供給比較部40。閾值存儲部30可按能夠在比較部40上檢出的特性值的種類來設(shè)置。閾值存儲部30將所對應(yīng)的閾值可改寫地存儲?？刂撇?0將由用戶程序等依次指定的閾值依次存儲在閾值存儲部30中。時序產(chǎn)生部20按與控制部10設(shè)定的設(shè)定値相對應(yīng)的時序產(chǎn)生具有邊沿的時序信號。根據(jù)該邊沿的時序來規(guī)定檢出時序。時序產(chǎn)生部20可改寫地存儲檢出時序的設(shè)定値。 控制部10在時序產(chǎn)生部20設(shè)定由用戶程序等指定的1個或多個設(shè)定値。阻斷部60根據(jù)比較部40上的比較結(jié)果，阻斷從電源部50提供給被測試器件200 的電源電力。阻斷部60設(shè)置在從電源部50向被測試器件200傳送電源電力的傳送路徑上， 可具有控制是否電性阻斷傳送路徑的開關(guān)。阻斷部60在比較部40上可以阻斷任意一個特性值超出閾值規(guī)定的范圍外時的電源電力。并且，阻斷部60可根據(jù)比較部40能夠檢出的多種特性值中預(yù)定種類的特性值和閾值的比較結(jié)果阻斷電源電力。并且，阻斷部60可在比較部40能夠檢出的多種特性值中預(yù)定的種類的全部特性值超過閾值規(guī)定的范圍時，阻斷電源電力。控制部10可設(shè)定阻斷部60使用哪一種特性值的比較結(jié)果阻斷電源電力。比較部 40或阻斷部60可具有存儲該設(shè)定的設(shè)定部。該設(shè)定部可改寫地存儲該設(shè)定値?？刂撇?0 在該設(shè)定部上依次設(shè)定由用戶程序等依次指定的設(shè)定?？刂撇?0設(shè)置為能夠變更閾值存儲部30存儲的閾值，或時序產(chǎn)生部20規(guī)定產(chǎn)生檢出時序的時序設(shè)定値中的至少一方。本例的控制部10，即使是在從電源部50向被測試器件200提供電源電力開始，到阻斷該電源電力截止之間的測試執(zhí)行期間里，也變更該閾值及該檢出時序的設(shè)定値。并且，如上所述，控制部10進(jìn)一步變更使用哪一種特性值的比較結(jié)果來讓阻斷部60阻斷電源電力的相關(guān)設(shè)定。通過這樣的構(gòu)成，能夠設(shè)定多種條件，阻斷提供給被測試器件200的電源電力。因此，能夠在多種被測試器件200的測試、以及多種測試項目中阻斷電源電力。如此，不對每種被測試器件200以及測試項目設(shè)置專用的測試電路亦可。此外，由于能夠動態(tài)變更閾值等，所以即便是對特性值的變化傾斜等那樣的特性值的波形，也能夠設(shè)定規(guī)定的容許范圍。圖2示出了阻斷部60的一個例子。在圖2中標(biāo)有與圖1相同的符號的構(gòu)成成分可具有與圖1中已說明的功能及構(gòu)成相同的功能及構(gòu)成。另外本例的測試裝置100在從電源部50向被測試器件200提供電源電力的傳送路徑上具有誘導(dǎo)成分62。阻斷部60具有設(shè)置在誘導(dǎo)成分62及被測試器件200之間的傳送路徑上的晶體管。該晶體管例如是IGBT。并且，該晶體管也可設(shè)置在誘導(dǎo)成分62及電源部50之間的傳送路徑上。比較部40在檢出時序上檢出的特性值超出閾值規(guī)定的范圍外時，控制該晶體管為斷開狀態(tài)。此外，電源部50也可向被測試器件200內(nèi)設(shè)置的多個被測試元件并列地提供電源電力。被測試元件可為IGBT等。比較部40可將被施加在多個被測試元件上的電壓或電流與閾值進(jìn)行比較。例如比較部40將多個在被測試元件中流動的電流之和(即流向被測試器件200的電流)與閾值進(jìn)行比較。阻斷部60可以根據(jù)比較部40上的比較結(jié)果，停止對全部多個被測試元件提供電源電力。圖3是表示測試被測試器件200的一個例子的時序圖表。本例的測試裝置100對被測試器件200執(zhí)行雪崩測試。在雪崩測試中，將被測試器件200從接通狀態(tài)轉(zhuǎn)到斷開狀態(tài)時，使用在誘導(dǎo)成分62上產(chǎn)生的逆電動勢來測試被測試器件200的耐壓。 信號提供部12產(chǎn)生使被測試器件200的柵極端子從斷開狀態(tài)轉(zhuǎn)為接通狀態(tài)、再從接通狀態(tài)轉(zhuǎn)為斷開狀態(tài)的柵極信號。如被測試器件200轉(zhuǎn)為接通狀態(tài)的話，則發(fā)射極和集電極間電壓Vce降低至與接通電阻相應(yīng)的電位(例如接地電位左右)。此時，集電極電流 Ic以規(guī)定的傾斜增加。而且，被測試器件200轉(zhuǎn)為斷開狀態(tài)的話，則集電極電流Ic減少。此時，由于對應(yīng)集電極電流Ic的減少誘導(dǎo)成分62上產(chǎn)生的逆電動勢被施加給被測試器件200，所以發(fā)射極 集電極間電壓Vce增大。此處，如果被測試器件200能夠在集電極電流Ic不再流動為止耐受該逆電動勢施加的電壓，則如虛線所示，集電極電流Ic變?yōu)榇笾聻榱?，發(fā)射極 集電極電壓Vce也變?yōu)橐?guī)定的電位。但是，如果被測試器件200的耐壓不足，例如發(fā)生短路類型故障的話，則集電極電流Ic增大，將流過過大的電流。因此，在雪崩測試中，優(yōu)選檢測出短路類型的故障，阻斷電源電力。電流比較器42判斷在檢出時序上的集電極電流Ic的値是否在預(yù)定的閾值規(guī)定范圍內(nèi)。本例的電流比較器42檢出在多個檢出時序上的集電極電流Ic値，判斷各個電流値是否在規(guī)定的范圍內(nèi)。此時，可對每個檢出時序變更從閾值存儲部30輸入到電流比較器42 的范圍A E?？刂撇?0可依次改寫閾值存儲部30存儲的閾值?；蛘?，控制部10可將與多個檢出時序相對應(yīng)的多個閾值預(yù)先存儲在閾值存儲部30內(nèi)。此時，閾值存儲部30可根據(jù)時序產(chǎn)生部20產(chǎn)生的各檢出時序，將與該檢出時序相對應(yīng)的閾值輸入比較部40。閾值存儲部 30具有將多個閾值按輸入比較部40的順序排列的隊列，可在每次時序產(chǎn)生部20產(chǎn)生檢出時序時，將首個閾值輸入比較部40。 電流比較器42判斷檢出的電流値是否在對應(yīng)的閾值規(guī)定的范圍內(nèi)。在本例中，在范圍E中的電流値規(guī)定為超出范圍。對應(yīng)該檢出時序，阻斷部60阻斷電源電流。由此，能夠防止過大的電流持續(xù)流過被測試器件200。另外，阻斷部60可根據(jù)電壓比較器44上的比較結(jié)果，判斷是否阻斷電源電力。可將不同于電流比較器42的檢出時序輸入電壓比較器44。并且，比較部40可將在預(yù)先設(shè)定的期間內(nèi)的特性值的最大値或最小値與閾值進(jìn)行比較。該期間由控制部10設(shè)定且可改寫。并且，該期間及檢出時序可以柵極信號的邊沿時序為基準(zhǔn)來設(shè)定。即該期間及檢出時序可根據(jù)相對于柵極信號的邊沿時序的延遲量來設(shè)定。圖4是表示比較部40的另一構(gòu)成例。本例的比較部40具有多個比較器46 (第1 比較器46-1 第N比較器46-N)及計算部48。另外每個比較器46都設(shè)有閾值存儲部30。 各個比較器46檢測出多種特性值 中的任意一個。計算部48根據(jù)1個以上的比較器46的比較結(jié)果，控制阻斷部60。由控制部10設(shè)定計算部48使用哪一個比較器46上的比較結(jié)果來控制阻斷部60。并且，計算部48計算已選擇的比較結(jié)果的邏輯或、邏輯與或其他的邏輯運算。計算部48進(jìn)行怎樣的邏輯運算由控制部10來設(shè)定。
控制部10可以對計算部48改寫進(jìn)行怎樣的邏輯運算的設(shè)定。并且，控制部10即使是在從電源部50向被測試器件200提供電源電力，并執(zhí)行測試的狀態(tài)下，也可隨時變更該設(shè)定。并且，2個以上的比較器46也可檢測出同一類特性值。此時，不同的檢出時序可輸入到該2個以上的比較器46中的每一個。比較部40，可在每個比較部40上具有使延遲時序產(chǎn)生部20產(chǎn)生的檢出時序延遲的延遲元件。并且，與輸入的檢出時序相對應(yīng)的閾值被輸入該2個以上的比較器46中的每一個。

控制部10可在執(zhí)行測試的狀態(tài)下，動態(tài)變更輸入各個比較器46的檢出時序。由此，不同的檢出時序中的對同一類特性值的比較結(jié)果被輸入到計算部48。計算部48可根據(jù)這些比較結(jié)果的邏輯運算結(jié)果控制阻斷部60。通過這樣的構(gòu)成，能夠根據(jù)多種判定基準(zhǔn)來阻斷電源電力。圖5是表示阻斷部60的動作例。阻斷部60可在比較部40上，對應(yīng)檢出的特性值被判斷為超范圍時的閾值來改變阻斷電源電力的速度。例如阻斷部60根據(jù)比較部40上的閾值來改變電源電力的傳送路徑上設(shè)置的控制晶體管的接通/斷開的阻斷信號的邊沿傾斜。在圖5中表示出在L邏輯時，控制晶體管為斷開狀態(tài)時的阻斷信號。例如阻斷部60在比較部40上的閾值較大時，減小阻斷信號的邊沿傾斜。在較高的電壓或較大的電流流過傳送路徑時，能夠通過減緩晶體管的阻斷速度來保護(hù)阻斷部60的晶體管。并且，控制部10可讀出阻斷部60阻斷電源電力時的閾值、檢出時序等的設(shè)定。控制部10可將讀出的閾值、檢出時序等的設(shè)定與阻斷電源電力的意圖相結(jié)合后通知給用戶。以上用實施方式來說明了本發(fā)明，但本發(fā)明的技術(shù)范圍不受上述實施方式所述的范圍限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員顯然知道，上述實施方式中能夠加入多種變化或改良。從權(quán)利要求中記載的內(nèi)容顯然可知，加入這樣的變化或改良的方式也能夠包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍中。應(yīng)該注意的是，凡未明確指出“在……之前”、“早于”等，并且后面的處理不使用前面的處理的輸出的，在權(quán)利要求、說明書及附圖中示出的裝置、系統(tǒng)、程序及方法上的動作、 順序、步驟及階段等各個處理的執(zhí)行順序可以以任意順序來執(zhí)行。即使為了敘述方便，在說明權(quán)利要求、說明書及附圖中的動作流程時使用了“首先”、“接下來”等，但并不意味著必須按該順序來執(zhí)行。
權(quán)利要求
1.一種測試被測試器件的測試裝置，其特征在于，包括 電源部，其向所述被測試器件提供電源電力；比較部，其檢測出表示所述被測試器件的狀態(tài)的特性值，將所述特性值與預(yù)定的閾值進(jìn)行比較；阻斷部，其根據(jù)在所述比較部中的比較結(jié)果，阻斷從所述電源部向所述被測試器件提供的所述電源電力；以及控制部，其改變在所述比較部中的閾值或檢測所述特性值的檢出時序中的至少一方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其特征在于所述控制部在所述電源部向所述被測試器件提供電源電力的狀態(tài)下，改變所述閾值或所述檢出時序的至少一方。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試裝置，其特征在于所述比較部檢出多種的所述特性值，按所述特性值的種類與預(yù)定的所述閾值進(jìn)行比較；所述控制部還變更使用哪一種所述特性值的比較結(jié)果來使所述阻斷部阻斷所述電源電力的設(shè)定。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試裝置，其特征在于所述控制部具有閾值存儲部，其對應(yīng)所述特性值種類設(shè)置，存儲所對應(yīng)的所述閾值，所述閾值能夠改寫。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測試裝置，其特征在于所述電源部向設(shè)置在所述被測試器件內(nèi)的多個被測試元件并列地提供所述電源電力；所述比較部將施加在所述多個被測試元件上的電壓或電流與所述閾值進(jìn)行比較； 所述阻斷部停止向所有所述多個被測試元件提供所述電源電力。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項所述的測試裝置，其特征在于所述阻斷部根據(jù)在所述比較部中檢出的特性值被判斷為超范圍時的所述閾值，來改變阻斷所述電源電力的速度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種測試被測試器件的測試裝置，包括電源部，其向被測試器件提供電源電力；比較部，其檢出表示所述被測試器件的狀態(tài)的特性值，將特性值與預(yù)定的閾值進(jìn)行比較；阻斷部，其根據(jù)在比較部上的比較結(jié)果，阻斷電源部向被測試器件提供的所述電源電力；以及控制部，其改變在比較部上的閾值或用于檢出特性值的檢出時序中的至少一方。
文檔編號G01R31/327GK102435939SQ20111025676
公開日2012年5月2日 申請日期2011年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月8日
發(fā)明者橋本伸一 申請人:愛德萬測試株式會社