專利名稱：測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
以往，作為用于對(duì)存儲(chǔ)器等器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置，已知有用于對(duì)DDR方式等的高速器件進(jìn)行測(cè)試的裝置(例如參照專利文獻(xiàn)I)。這樣的測(cè)試裝置具有以每種給定測(cè)試速度(test rate，測(cè)試速率)生成一個(gè)圖案數(shù)據(jù)的普通模式和以每種測(cè)試速度生成多個(gè)圖案數(shù)據(jù)的高速模式。專利文獻(xiàn)I :日本特開2000-11692號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問題測(cè)試裝置具有用于存儲(chǔ)預(yù)定的多個(gè)圖案，并以每種測(cè)試速度輸出指定圖案的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器。由于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器的各圖案具有多個(gè)圖案數(shù)據(jù)大小的比特，由此能夠以每種測(cè)試速度生成多個(gè)圖案數(shù)據(jù)。例如，各圖案具有與測(cè)試速度的前半部分相對(duì)應(yīng)的前半部分用比特序列；與測(cè)試速度的后半部分相對(duì)應(yīng)的后半部分用比特序列。通過根據(jù)前半部分用比特序列生成前半部分的圖案數(shù)據(jù)，根據(jù)后半部分用比特序列生成后半部分的圖案數(shù)據(jù)，能夠生成倍速的圖案數(shù)據(jù)。另外，通過選擇前半部分用比特序列與后半部分用比特序列相同的圖案，能夠生成普通模式下的圖案數(shù)據(jù)。但是，有時(shí)用于指定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器的圖案的指定信號(hào)的比特?cái)?shù)取決于應(yīng)在普通模式下產(chǎn)生的圖案?jìng)€(gè)數(shù)。例如，輸入至被測(cè)試器件的數(shù)據(jù)圖案PAT具有1/0的2個(gè)值，在與被測(cè)試器件的輸出信號(hào)相比的期望值圖案EXP具有H/L/Z/H的4個(gè)值的情況下，只要在普通模式下能夠產(chǎn)生2+4 = 6個(gè)圖案即可。在該情況下，指定信號(hào)的比特?cái)?shù)被設(shè)定為3比特。與此相對(duì)，在倍速模式中，測(cè)試速度內(nèi)的數(shù)據(jù)圖案PAT為(前半部分?jǐn)?shù)據(jù)，后半部分?jǐn)?shù)據(jù))=(0,0), (1,0), (0，1)、(1,1)的四種。同樣，測(cè)試速度內(nèi)的期望值圖案EXP有4X4 = 16種類。因此，在3比特的指定信號(hào)中，無法指定倍速模式下的所有圖案。例如，在3比特的指定信號(hào)中能夠指定八個(gè)圖案，因此，當(dāng)將數(shù)據(jù)圖案PAT分配給四個(gè)指定信號(hào)的圖案時(shí)，只能向期望值圖案EXP分配四個(gè)指定信號(hào)的圖案。因此，無法分別指定倍速的期望值圖案EXP。用于解決問題的手段在本發(fā)明的第一技術(shù)方案中，提供一種測(cè)試裝置，其根據(jù)圖案數(shù)據(jù)來測(cè)試被測(cè)試器件，其中，所述測(cè)試裝置具有用于輸出與和預(yù)定的測(cè)試速度同步地分別輸入的輸入圖案對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)的多個(gè)圖案輸出部，各圖案輸出部分別具有在測(cè)試速度下輸出一個(gè)圖案數(shù)據(jù)的普通模式；以及在分割測(cè)試速度而成的多個(gè)分割速度下分別輸出圖案數(shù)據(jù)的高速模式這兩個(gè)動(dòng)作模式；在高速模式下，各圖案輸出部分別將與輸入至自己圖案輸出部中的輸入圖案相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)、與輸入至其他圖案輸出部中的輸入圖案相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)分別作為與多個(gè)分割速度對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)中的至少一種數(shù)據(jù)輸出。此外，所述發(fā)明內(nèi)容并未列舉出本發(fā)明的所有必要特征。另外，這些特征群的從屬組合也是發(fā)明。


圖I表示根據(jù)圖案數(shù)據(jù)來測(cè)試被測(cè)試器件200的測(cè)試裝置100的結(jié)構(gòu)例。圖2表示圖案輸出部30的結(jié)構(gòu)例。圖3表示數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32所存儲(chǔ)的表的一個(gè)例子。 圖4表示波形整形部36所輸出的圖案數(shù)據(jù)的一個(gè)例子。圖5表示圖案輸出部30的其他結(jié)構(gòu)例。圖6表示圖案輸出部30的其他結(jié)構(gòu)例。圖7表示第二圖案輸出部30的其他結(jié)構(gòu)例。
具體實(shí)施例方式以下，通過發(fā)明的實(shí)施方式來說明本發(fā)明，但以下的實(shí)施方式并不限定權(quán)利要求書所述的發(fā)明。另外，實(shí)施方式中所述的所有特征組并不受限于發(fā)明所必須的解決手段。圖I表示根據(jù)圖案數(shù)據(jù)來測(cè)試被測(cè)試器件200的測(cè)試裝置100的結(jié)構(gòu)例。被測(cè)試器件200是例如包括存儲(chǔ)器、邏輯電路和模擬電路中的至少一個(gè)的器件。被測(cè)試器件200可以是例如半導(dǎo)體器件。測(cè)試裝置100向被測(cè)試器件200輸入基于圖案數(shù)據(jù)的測(cè)試信號(hào)。測(cè)試裝置100通過比較被測(cè)試器件200根據(jù)測(cè)試信號(hào)而輸出的輸出信號(hào)值與基于圖案數(shù)據(jù)的期望值，判定被測(cè)試器件200良好與否。測(cè)試裝置100具有多個(gè)輸出入部10 (在本例中指輸出入部10-1和輸出入部10-2)。各輸出入部10與被測(cè)試器件200的不同引腳或不同的被測(cè)試器件200相連接。各輸出入部10分別向被測(cè)試器件200輸入測(cè)試信號(hào)，而且從被測(cè)試器件200收到輸出信號(hào)。各輸出入部10分別具有圖案發(fā)生部12、圖案輸出部30、驅(qū)動(dòng)器14、比測(cè)儀(comparator) 16、比較部18以及判定部20。圖案發(fā)生部12與預(yù)定測(cè)試速度同步地輸出輸入圖案LPAT。測(cè)試速度具有預(yù)定的周期。輸入圖案LPAT規(guī)定了測(cè)試速度所對(duì)應(yīng)的循環(huán)中的測(cè)試信號(hào)的邏輯值和輸出信號(hào)的期望值中的至少一個(gè)值。另外，各輸出入部10分別具有在測(cè)試速度內(nèi)測(cè)試信號(hào)的邏輯值可一次躍遷的普通模式；和在分割測(cè)試速度而成的多個(gè)分割速度內(nèi)測(cè)試信號(hào)的邏輯值可躍遷的高速模式兩個(gè)動(dòng)作模式。圖案發(fā)生部12可以具有根據(jù)預(yù)定的算法(algorithm)而產(chǎn)生輸入圖案LPAT的算法圖案發(fā)生電路。另外，圖案發(fā)生部12也能夠具有根據(jù)預(yù)定的序列(sequence)產(chǎn)生輸入圖案LPAT的序列圖案發(fā)生電路。該算法和該序列能夠由測(cè)試裝置100的用戶設(shè)定。與測(cè)試速度同步，將輸入圖案LPAT從圖案發(fā)生部12輸入到圖案輸出部30。各輸出入部10中的圖案輸出部30分別從設(shè)置于自己輸出入部10中的圖案發(fā)生部12以及設(shè)置于其他至少一個(gè)輸出入部10中的圖案發(fā)生部12收到輸入圖案LPAT。
圖案輸出部30輸出與所輸入的輸入圖案LPAT對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)。圖案數(shù)據(jù)包括表示輸入至驅(qū)動(dòng)器14的數(shù)據(jù)圖案PAT的比特，表示用于控制是否使驅(qū)動(dòng)器14動(dòng)作的啟動(dòng)圖案(enable pattern)DRE的比特，以及表示輸入至比較部18的期望值圖案EXP的比特。例如圖案數(shù)據(jù)包括2比特的數(shù)據(jù)圖案PAT、2比特的啟動(dòng)圖案DRE以及2比特的期望值圖案EXP。在普通模式中，圖案輸出部30在測(cè)試速度內(nèi)輸出一個(gè)圖案數(shù)據(jù)。此時(shí)圖案輸出部30與從所對(duì)應(yīng)的圖案發(fā)生部12接收到的輸入圖案LPAT相對(duì)應(yīng)地輸出圖案數(shù)據(jù)。在高速模式中，圖案輸出部30在分割測(cè)試速度而成的多個(gè)分割速度下分別輸出圖案數(shù)據(jù)。此時(shí)圖案輸出部30生成與自所對(duì)應(yīng)的圖案發(fā)生部12 (例如圖案發(fā)生部12-1)接收到的輸入圖案LPAT相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)。另外，圖案輸出部30分支性地接收從其他輸出入部10中的圖案發(fā)生部12(例如圖案發(fā)生部12-2)輸入至其他圖案輸出部30(例如圖案輸出部30-2)的輸入圖案LPAT，生成與該輸入圖案LPAT相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)。并且，將各圖案數(shù)據(jù)作為與多個(gè)分割速度對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)中的至少一個(gè)數(shù)據(jù)而輸出。 驅(qū)動(dòng)器14與圖案輸出部30對(duì)應(yīng)設(shè)置。驅(qū)動(dòng)器14輸出基于所對(duì)應(yīng)的圖案輸出部30輸出的數(shù)據(jù)圖案PAT的測(cè)試信號(hào)。驅(qū)動(dòng)器14能夠輸出基于測(cè)試速度的各循環(huán)中的數(shù)據(jù)圖案PAT的邏輯值測(cè)試信號(hào)。另外，驅(qū)動(dòng)器14根據(jù)所對(duì)應(yīng)的圖案輸出部30輸出的啟動(dòng)圖案DRE，以切換是否輸出測(cè)試信號(hào)。比測(cè)儀16接收被測(cè)試器件200的輸出信號(hào)，檢測(cè)輸出信號(hào)的邏輯值。比測(cè)儀16能夠以對(duì)應(yīng)于測(cè)試速度和動(dòng)作模式的周期，對(duì)輸出信號(hào)的邏輯值進(jìn)行抽樣。在例如普通模式的情況下，比測(cè)儀16在測(cè)試速度的各循環(huán)中，對(duì)輸出信號(hào)的邏輯值進(jìn)行一次抽樣。另外，在將測(cè)試速度分為二部分的高速模式的場(chǎng)合，比測(cè)儀16在各分割速度下，將輸出信號(hào)的邏輯值進(jìn)行一次抽樣。比較部18與圖案輸出部30相對(duì)應(yīng)地設(shè)置。比較部18對(duì)基于所對(duì)應(yīng)的圖案輸出部30輸出的期望值圖案EXP的期望值與被測(cè)試器件200的輸出信號(hào)的值進(jìn)行比較。本例的比較部18利用比測(cè)儀16對(duì)所輸出的邏輯值與期望值進(jìn)行比較。判定部20根據(jù)比較部18的比較結(jié)果，判定被測(cè)試器件200是否良好。在比較部18檢測(cè)出輸出信號(hào)的值與期望值不一致的情況下，判定部20能夠判定被測(cè)試器件200不良，而且，在給定期間內(nèi)，根據(jù)比較部18檢測(cè)輸出信號(hào)的值與期望值不一致的次數(shù)，也能夠判定被測(cè)試器件200是否良好。圖2表示圖案輸出部30的結(jié)構(gòu)例。各圖案輸出部30分別具有多個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32(在本例中數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B)、輸入切換部34以及波形整形部36。多個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32與高速模式下的多個(gè)分割速度對(duì)應(yīng)地設(shè)置。例如，在高速模式下測(cè)試速度分割為最大N的情況下，設(shè)置N個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32。各數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32分別存儲(chǔ)表示輸入圖案LPAT與圖案數(shù)據(jù)之間的關(guān)系的工作表。各數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32分別輸出與所輸入的輸入圖案LPAT相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32在各分割速度下輸出圖案數(shù)據(jù)。各數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32，存儲(chǔ)能夠生成測(cè)試信號(hào)的各邏輯值和期望值的各邏輯值的所有圖案的圖案數(shù)據(jù)。在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32中，用于指定圖案數(shù)據(jù)的指定信號(hào)(例如地址信號(hào))的比特?cái)?shù)k可以是能夠?qū)y(cè)試信號(hào)的各邏輯值和期望值的各邏輯值的所有圖案進(jìn)行指定的最小值。例如，在測(cè)試信號(hào)的各邏輯值和期望值的各邏輯值的所有圖案有m種的情況下，比特?cái)?shù)k為滿足m < 2~k的最小整數(shù)。在普通模式下，輸入切換部34分別將自所對(duì)應(yīng)的圖案發(fā)生部12輸入至其圖案輸出部30的輸入圖案LPAT輸入到各數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32。在高速模式下，輸入切換部34將自其他圖案發(fā)生部12輸入至其他圖案輸出部30的輸入圖案LPAT輸入到至少一個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32。在本例中，對(duì)高速模式下將測(cè)試速度分成兩部分的情況進(jìn)行說明。在該情況下，各圖案輸出部30-1具有第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A 以及第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B。對(duì)第一圖案輸出部30-1中的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A輸入與第一圖案輸出部30-1相對(duì)應(yīng)的第一輸入圖案LPAT1。另外，對(duì)第二圖案輸出部30-2中的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B輸入與第二圖案輸出部30-2相對(duì)應(yīng)的第二輸入圖案LPAT2。在高速模式下，第一圖案輸出部30-1的輸入切換部34-1將第二圖案輸出部30-2的輸入圖案LPAT2輸入至第一圖案輸出部30-1的任一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32。另外，第二圖案輸出部30-2的輸入切換部34-2將第一圖案輸出部30-1的輸入圖案LPATl輸入至第二圖案輸出部30-2的任一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32。更具體而言，第一圖案輸出部30-1中的第一輸入切換部34-1根據(jù)動(dòng)作模式(mode信號(hào))，對(duì)輸入至第一圖案輸出部30-1的第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B中的輸入圖案LPAT進(jìn)行切換。在普通模式下，第一輸入切換部34-1將第一輸入圖案LPATl輸入至第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B，在高速模式下，將第二輸入圖案LPAT2輸入至第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B。第二圖案輸出部30-2中的第二輸入切換部34-2根據(jù)動(dòng)作模式(mode信號(hào))，對(duì)輸入至第二圖案輸出部30-2的第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A中的輸入圖案LPAT進(jìn)行切換。第二輸入切換部34-2，在普通模式下，將第二輸入圖案LPAT2輸入至第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A，并且在高速模式下，將第一輸入圖案LPATl輸入至第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A。波形整形部36，輸出基于多個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32輸出的圖案數(shù)據(jù)的信號(hào)。波形整形部36，將各數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32輸出的圖案數(shù)據(jù)，在所對(duì)應(yīng)的分割速度下輸出。本例的波形整形部36將第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A所輸出的圖案數(shù)據(jù)在前半部分的分割速度下輸出，并將第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B所輸出的圖案數(shù)據(jù)在后半部分的分割速度下輸出。此外，在同一圖案輸出部30中設(shè)置的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32中，存儲(chǔ)同一工作表。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠從所有圖案數(shù)據(jù)選擇在各個(gè)分割速度下輸出的圖案數(shù)據(jù)。因此，在高速模式下，也能夠生成自由度高的圖案數(shù)據(jù)。另外，在普通模式下，向同一圖案輸出部30中設(shè)置的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32輸入同一輸入圖案LPAT，因此，各分割速度中的圖案數(shù)據(jù)變?yōu)橄嗤?，而輸出與測(cè)試速度同步的圖案數(shù)據(jù)。另外，也能夠在不同的圖案輸出部30的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32中存儲(chǔ)同一工作表。在該情況下，在高速模式下，第一圖案輸出部30-1和第二圖案輸出部30-2輸出的圖案數(shù)據(jù)一樣。另外，在第二圖案輸出部30-2的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32中，也能夠存儲(chǔ)有相對(duì)于第一圖案輸出部30-1的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32而言，與數(shù)據(jù)圖案PAT和期望值圖案EXP相對(duì)應(yīng)的比特邏輯值為反轉(zhuǎn)的工作表。在該情況下，在高速模式下，第一圖案輸出部30-1和第二圖案輸出部30-2輸出的圖案數(shù)據(jù)變?yōu)榉崔D(zhuǎn)的。因此，對(duì)測(cè)試差動(dòng)器件的情況有益。圖3表示數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32所存儲(chǔ)的工作表一個(gè)例子。在本例中，將第一圖案輸出部30-1的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32為例進(jìn)行說明。如上所述那樣，第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A和第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B存儲(chǔ)同一工作表。本例中的工作表的各字具有從第零到第五比特的6比特。第零和第一比特規(guī)定了數(shù)據(jù)圖案PAT。另外，第二、第三比特規(guī)定了啟動(dòng)圖案DRE。另外，第四、第五比特規(guī)定了期望值圖案EXP。本例的工作表具有與兩種數(shù)據(jù)圖案PAT相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)“0”和“I”、以及與四種期望值圖案EXP相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)“L”、“H”、“Z”以及“X”。期望值L表示輸出信號(hào)的信號(hào)電平低于給定閾值V0L,期望值H表不輸出信號(hào)的信號(hào)電平高于給定閾值V0H。此外，閾值VOH高于閾值V0L。另外，期 望值Z表示輸出信號(hào)的信號(hào)電平在閾值VOL至閾值VOH之間，期望值X表示輸出信號(hào)的信號(hào)電平為任意電平。此外，在圖案數(shù)據(jù)“0”和“ I”中，啟動(dòng)圖案DRE (第二比特及第三比特)表示用于使驅(qū)動(dòng)器14動(dòng)作的啟動(dòng)圖案((第三比特，第二比特)=(0，1))，在圖案數(shù)據(jù)“1/’、“11”、“2”以及“X”中，啟動(dòng)圖案DRE表示用于使驅(qū)動(dòng)器14無效的禁用圖案((第三比特，第二比特)=(I，0))。第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A中的第零及第一比特的圖案分配到后述時(shí)隙Tl，第二及第三比特的圖案分配到時(shí)隙T3，第四及第五比特的圖案分配到時(shí)隙T5。同樣，第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B中的第零及第一比特的圖案分配到時(shí)隙T2，第二及第三比特的圖案分配到時(shí)隙T4，第四及第五比特的圖案分配到時(shí)隙T6。圖4表示波形整形部36輸出的圖案數(shù)據(jù)的一個(gè)例子。在本例中，將第一圖案輸出部30-1的波形整形部36-1為例加以說明。波形整形部36-1將與時(shí)隙T1、T3、T5相對(duì)應(yīng)的圖案，作為前半部分的分割速度的數(shù)據(jù)圖案PAT、啟動(dòng)圖案DRE和期望值圖案EXP而輸出。另外，波形整形部36-2將與時(shí)隙T2、T4、T6相對(duì)應(yīng)的圖案，作為后半部分的分割速度的數(shù)據(jù)圖案PAT、啟動(dòng)圖案DRE和期望值圖案EXP而輸出。普通模式下的波形整形部36-1從數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32_B兩者，接收與第一輸入圖案LPATl相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)。也就是說，波形整形部36-1在前半部分的分割速度和后半部分的分割速度下輸出同一圖案數(shù)據(jù)，因此，輸出已與測(cè)試速度同步的圖案數(shù)據(jù)。高速模式下的波形整形部36-1從數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A接收與第一輸入圖案LPATl相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)，從數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B接收與第二輸入圖案LPAT2相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)。因此，波形整形部36-2在分割測(cè)試速度而成的前半部分的分割速度下輸出與第一輸入圖案LPATl相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)，并且在后半部分的分割速度下輸出與第二輸入圖案LPAT2相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)。也就是說，波形整形部36-1輸出已與分割速度同步的圖案數(shù)據(jù)。這樣，圖案輸出部30能夠以高速模式時(shí)的各分割速度，輸出與不同輸入圖案LPAT對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)。因此，能夠不增大輸入圖案的比特?cái)?shù)，而輸出自由度高的高速數(shù)據(jù)。也就是說，能夠不增大圖案發(fā)生部12的電路規(guī)模，而輸出自由度高的高速數(shù)據(jù)。圖5表示圖案輸出部30的其他結(jié)構(gòu)例。本例的圖案輸出部30除了與圖2相關(guān)地說明的圖案輸出部30的結(jié)構(gòu)以外，還具有引腳選擇部38。其他結(jié)構(gòu)可以與和圖2相關(guān)地說明的圖案輸出部30 —樣。引腳選擇部38接收輸入至與自己圖案輸出部30不同的其他圖案輸出部30的輸入圖案LPAT。在此，輸入至其他圖案輸出部30的輸入圖案LPAT是指，分別從與各圖案輸出部30-k相對(duì)應(yīng)的圖案發(fā)生部12-k輸入的輸入圖案。
引腳選擇部38選擇任一輸入圖案LPAT，并將其輸入至所對(duì)應(yīng)的輸入切換部34。在高速模式時(shí)，輸入切換部34將自引腳選擇部38接收到的輸入圖案LPAT輸入至所對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32中。由此，在高速模式下，引腳選擇部38選擇輸入至其他任一圖案輸出部30中的輸入圖案LPAT，并使其輸入到至少一個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒏鞣N圖案輸出部30組合起來，并在高速模式時(shí)使其動(dòng)作。因此，能夠生成自由度更高的圖案數(shù)據(jù)。此外，能夠設(shè)置多個(gè)圖案輸出部30，以使與第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A對(duì)應(yīng)設(shè)置有引腳選擇部38和輸入切換部34的圖案輸出部30，和與第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B對(duì)應(yīng)設(shè)置有引腳選擇部38和輸入切換部34的圖案輸出部30的數(shù)量相同。另外，在電路基板上相鄰設(shè)置的圖案輸出部30可以是一個(gè)為與第一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-A對(duì)應(yīng)地設(shè)置有引腳選擇部38和輸入切換部34的圖案輸出部30 ;另一個(gè)為與第二數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32-B對(duì)應(yīng)地設(shè)置有引腳選擇部38和輸入切換部34的圖案輸出部30。另外，在圖案輸出部30-a中的引腳選擇部38在選擇與圖案輸出部30_b相對(duì)應(yīng)的輸入圖案LPATb的情況下，圖案輸出部30-b中的引腳選擇部38能夠選擇與圖案輸出部30-a相對(duì)應(yīng)的輸入圖案LPATa。其中，a和b分別是指定多個(gè)圖案輸出部30中的任一圖案輸出部30的整數(shù)。圖6表示圖案輸出部30的其他結(jié)構(gòu)例。本例的圖案輸出部30在高速模式時(shí)將測(cè)試速度N次分割后進(jìn)行動(dòng)作。此外，N為3以上的整數(shù)。在圖6中表示N = 3的例子。各圖案輸出部30分別以分支的方式接收與其他N-I個(gè)圖案輸出部30相對(duì)應(yīng)的輸入圖案LPAT。另外，各圖案輸出部30分別具有N個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32、N-I個(gè)輸入切換部34、N-I個(gè)引腳選擇部38以及波形整形部36。在圖案輸出部30-k (但是，k表示I至N的整數(shù))中，N-I個(gè)輸入切換部34能夠與第k個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32以外的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32對(duì)應(yīng)地設(shè)置。波形整形部36輸出與從第一個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32所輸出的圖案數(shù)據(jù)到第N個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32所輸出圖案數(shù)據(jù)依次排列的圖案數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)。另外，能夠向圖案輸出部30中的第p個(gè)輸入切換部34，分別輸入與自己的圖案輸出部30相對(duì)應(yīng)的輸入圖案LPAT ;和與第p個(gè)圖案輸出部30相對(duì)應(yīng)的輸入圖案。另外，如圖6所示，各輸入切換部34中也能夠輸入所對(duì)應(yīng)的引腳選擇部38所選擇的輸入圖案；以及與自己圖案輸出部30相對(duì)應(yīng)的輸入圖案LPAT。能夠向引腳選擇部38輸入與除了自己圖案輸出部30以外的所有圖案輸出部30相對(duì)應(yīng)的輸入圖案LPAT。引腳選擇部38選擇任一輸入圖案，并將其輸入至所對(duì)應(yīng)的輸入切換部34中。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠生成多種圖案數(shù)據(jù)。圖7表示第二圖案輸出部30的其他結(jié)構(gòu)例。除了與圖2或圖5相關(guān)地說明的任一圖案輸出部30的結(jié)構(gòu)以外，本例的第二圖案輸出部30還具有反轉(zhuǎn)控制部46。另外，第二圖案輸出部30還能夠具有運(yùn)算部42或信號(hào)反轉(zhuǎn)部44中的任意一方。反轉(zhuǎn)控制部46控制是否使第二圖案輸出部30-2輸出與第一圖案輸出部30_1反轉(zhuǎn)的信號(hào)。例如，反轉(zhuǎn)控制部46控制是否在第二圖案輸出部30-2的各數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32中，存儲(chǔ)與第一圖案輸出部30-1的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32為同樣的工作表，或者存儲(chǔ)用于使與圖案數(shù)據(jù)中的數(shù)據(jù)圖案PAT和期望值 圖案EXP相對(duì)應(yīng)的比特邏輯值反轉(zhuǎn)的工作表。由此，能夠?qū)⒌谝粓D案輸出部30-1和第二圖案輸出部30-2所輸出的信號(hào)變?yōu)椴顒?dòng)信號(hào)。另外，在第二圖案輸出部30-2具有信號(hào)反轉(zhuǎn)部44的情況下，通過由反轉(zhuǎn)控制部46控制信號(hào)反轉(zhuǎn)部44，也能夠控制是否使第二圖案輸出部30的信號(hào)反轉(zhuǎn)。信號(hào)反轉(zhuǎn)部44切換是否分別將與各數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32所輸出的圖案數(shù)據(jù)中的數(shù)據(jù)圖案PAT和期望值圖案EXP相對(duì)應(yīng)的比特邏輯值反轉(zhuǎn)地輸出。另外，在第二圖案輸出部30-2具有運(yùn)算部42的情況下，反轉(zhuǎn)控制部46也可以通過控制運(yùn)算部42，控制是否使第二圖案輸出部30的信號(hào)反轉(zhuǎn)。運(yùn)算部42對(duì)于是使被各數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器32分別輸入的輸入圖案LPAT直接通過，還是將其變換為不同的變換圖案而輸出進(jìn)行切換。變換圖案是指，用于指定相對(duì)于原來輸入圖案所選擇的圖案數(shù)據(jù)而言，與數(shù)據(jù)圖案PAT和期望值圖案EXP相對(duì)應(yīng)的比特邏輯值反轉(zhuǎn)的圖案數(shù)據(jù)的圖案。例如，在圖3的例子中，在輸入圖案LPAT指定圖案數(shù)據(jù)“0”的情況下，變換圖案指定圖案數(shù)據(jù)“ I”。另外，在輸入圖案LPAT指定圖案數(shù)據(jù)“H”的情況下，變換圖案指定圖案數(shù)據(jù)“L”。運(yùn)算部42可以根據(jù)預(yù)定的算法或工作表等生成變換圖案。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，也能夠?qū)⒌谝粓D案輸出部30-1和第二圖案輸出部30-2所輸出的信號(hào)變成差動(dòng)信號(hào)。以上，使用實(shí)施方式說明了本發(fā)明，但本發(fā)明的技術(shù)的范圍并不受限于所述實(shí)施方式所述的范圍。對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，能夠?qū)λ鰧?shí)施方式施加多種變更或改良是顯而易見的。根據(jù)權(quán)利要求書的記載可知，施加了那樣的變更或改良的實(shí)施方式也能夠包含在本發(fā)明的技術(shù)的范圍內(nèi)。應(yīng)注意的是，對(duì)權(quán)利要求書、說明書以及附圖中所示的裝置、系統(tǒng)、程序以及方法中的動(dòng)作、順序、步驟及階段等各處理的施行順序，只要是未特別標(biāo)明“更前面”、“先于”等，而且，只要不在后處理中使用前處理的輸出，便能夠以任意順序來實(shí)現(xiàn)。即使為了方便說明而對(duì)權(quán)利要求書、說明書以及附圖中的動(dòng)作流程使用了“首先”、“接著”等字樣進(jìn)行說明，也不意味著必須以這樣的順序來實(shí)施。附圖標(biāo)記說明10-輸出入部，12-圖案發(fā)生部，14-驅(qū)動(dòng)器，16-比測(cè)儀，18-比較部，20-判定部，30-圖案輸出部，32-數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器，34-輸入切換部，36-波形整形部，38-引腳選擇部，42-運(yùn)算部，44-信號(hào)反轉(zhuǎn)部，46-反轉(zhuǎn)控制部，100-測(cè)試裝置，200-被測(cè)試器件。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)試裝置，是根據(jù)圖案數(shù)據(jù)來測(cè)試被測(cè)試器件的測(cè)試裝置，其特征在于具有多個(gè)圖案輸出部，其輸出與和預(yù)定的測(cè)試速度同步被分別輸入的輸入圖案相對(duì)應(yīng)的所述圖案數(shù)據(jù)； 各圖案輸出部分別具有如下兩個(gè)動(dòng)作模式在測(cè)試速度內(nèi)輸出一個(gè)所述圖案數(shù)據(jù)的普通模式，以及在分割測(cè)試速度而成的多個(gè)分割速度下分別輸出所述圖案數(shù)據(jù)的高速模式； 在高速模式下，各所述圖案輸出部分別將與輸入至自己的所述圖案輸出部中的所述輸入圖案相對(duì)應(yīng)的所述圖案數(shù)據(jù)，及與輸入至其他所述圖案輸出部中的所述輸入圖案相對(duì)應(yīng)的所述圖案數(shù)據(jù)分別作為與多個(gè)所述分割速度對(duì)應(yīng)的所述圖案數(shù)據(jù)中的至少一種數(shù)據(jù)輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的測(cè)試裝置，其中， 各所述圖案輸出部，具有與所述多個(gè)分割速度對(duì)應(yīng)設(shè)置的多個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器； 各數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器，存儲(chǔ)表示所述輸入圖案和所述圖案數(shù)據(jù)之間的關(guān)系的工作表，輸出與被輸入的所述輸入圖案相對(duì)應(yīng)的所述圖案數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其中，各所述圖案輸出部還具有 輸入切換部，其在所述普通模式下，將輸入至自己的所述圖案輸出部的所述輸入圖案分別輸入至各所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器，在所述高速模式下，將輸入至其他所述圖案輸出部中的所述輸入圖案輸入到至少一個(gè)所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器；以及 波形整形部，其輸出與所述多個(gè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器所輸出的所述圖案數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的信號(hào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試裝置，其中，各所述圖案輸出部還具有引腳選擇部，所述引腳選擇部在所述高速模式下，選擇輸入至其他任一所述圖案輸出部中的所述輸入圖案，并使其輸入至所述至少一個(gè)所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的測(cè)試裝置，其中，在設(shè)置于同一個(gè)所述圖案輸出部的所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中，存儲(chǔ)有同一所述工作表。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的測(cè)試裝置，其中，在所述高速模式下， 第一圖案輸出部的所述輸入切換部將第二圖案輸出部的所述輸入圖案輸入至所述第一圖案輸出部的任一所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中； 所述第二圖案輸出部的所述輸入切換部將所述第一圖案輸出部的所述輸入圖案輸入至所述第二圖案輸出部的任一所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試裝置，其中，所述測(cè)試裝置還具有反轉(zhuǎn)控制部，其用于控制所述第二圖案輸出部是否輸出與所述第一圖案輸出部反轉(zhuǎn)后的信號(hào)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)試裝置，其中，在設(shè)置于同一所述圖案輸出部的所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中，存儲(chǔ)有同一所述工作表； 所述反轉(zhuǎn)控制部用于控制是否在所述第二圖案輸出部的所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)與所述第一圖案輸出部的所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器同樣的所述工作表，或者存儲(chǔ)使所述圖案數(shù)據(jù)反轉(zhuǎn)后的所述工作表。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試裝置，其中，所述測(cè)試裝置還具有 多個(gè)驅(qū)動(dòng)器，其與所述多個(gè)圖案輸出部對(duì)應(yīng)地設(shè)置，用于輸出與所對(duì)應(yīng)的所述圖案輸出部所輸出的所述圖案數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的測(cè)試信號(hào)；和 多個(gè)比較部，其與所述多個(gè)圖案輸出部對(duì)應(yīng)地設(shè)置，用于對(duì)與所對(duì)應(yīng)的所述圖案輸出部輸出的所述圖案數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的期望值和所述被測(cè)試器件的輸出信號(hào)值進(jìn)行比較， 所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器用于存儲(chǔ)使所述圖案數(shù)據(jù)與各所述輸入圖案分別相對(duì)應(yīng)的所述工作表，所述圖案數(shù)據(jù)含有表示所述測(cè)試信號(hào)的邏輯值的比特、表示控制是否使驅(qū)動(dòng)器動(dòng)作的比特、以及表示所述期望值的比特。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在高速模式時(shí)生成自由度高的圖案數(shù)據(jù)的測(cè)試裝置。所述測(cè)試裝置具有用于輸出與和預(yù)定測(cè)試速度分別同步輸入的輸入圖案相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)的多個(gè)圖案輸出部，各圖案輸出部分別具有普通模式和高速模式兩個(gè)動(dòng)作模式，在高速模式下，各圖案輸出部分別將與輸入至自己的圖案輸出部中的輸入圖案相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)和與輸入至其他圖案輸出部中的輸入圖案相對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)分別作為與多個(gè)分割速度對(duì)應(yīng)的圖案數(shù)據(jù)中的至少一個(gè)數(shù)據(jù)而輸出。
文檔編號(hào)G11C29/48GK102655027SQ201210054259
公開日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2012年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月4日
發(fā)明者根岸利幸 申請(qǐng)人:愛德萬測(cè)試株式會(huì)社