国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>

      潔凈間用氣流組織測試方法及裝置系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:6018833閱讀:191來源:國知局
      專利名稱:潔凈間用氣流組織測試方法及裝置系統(tǒng)的制作方法
      技術領域
      本發(fā)明涉及ー種潔凈間用氣流組織測試方法及裝置系統(tǒng)。
      背景技術
      在醫(yī)療制藥、液晶顯示裝置或半導體器件生產制造等領域,有害細菌、雜質粒子或顆粒物等對產品質量有著很大的影響,因此潔凈度是否達標對產品的質量變得很重要。為了保證潔凈間的潔凈度,準確掌握潔凈間中氣流分布特性顯得尤為重要。其中,將潔凈氣流進行可視化測試是準確掌握潔凈間氣流分布特性的最有效的方法之一。如圖I所示,目前煙霧發(fā)生器內主要使用的是有機溶劑,也有使用水蒸汽的情況。使用有機溶劑可以令發(fā)煙氣體顆粒更小,液滴更小更均勻,發(fā)霧量相對增大,密度均勻性好。利用有機溶劑的氣態(tài)和水蒸汽在空氣中顯示出白色或其他顔色的特性,觀察潔凈間中有機溶劑氣流的運動就可以測試潔凈間氣流分布情況,觀察是否存在有害渦流或異常流通等現(xiàn)象。 發(fā)明人發(fā)現(xiàn)此測試方法的主要缺陷有不同程度的面臨有機溶劑污染;測試過程依賴試驗人員的目測,不易觀察且準確度較差;發(fā)煙距離短,可視發(fā)霧量有限,難于進行大面積空間內的測試。

      發(fā)明內容
      為了克服上述的缺陷,本發(fā)明提供一種潔凈且準確度高的潔凈間用氣流組織測試方法及裝置系統(tǒng)。為達到上述目的,一方面,本發(fā)明提供ー種潔凈間用氣流組織測試方法,用熱成像設備探測樣品氣體在潔凈間形成的樣品氣流,所述樣品氣體為與環(huán)境氣體存在溫差的氣體。特別是,測試方法包括下述步驟釋放與環(huán)境氣體存在溫差的樣品氣體,所述樣品氣體隨潔凈間氣流形成樣品氣流;熱成像設備連續(xù)探測樣品氣體所到達的空間位置,得到紅外輻射能量分布圖形;光敏元件和視頻轉換器掃描紅外輻射能量分布圖形得到紅外熱像圖;根據(jù)紅外熱像圖的空間和時間對應變化關系計算得到測試區(qū)域風速和三維風向結果。進ー步,所述計算的方法為単位時間內被探測樣品氣體所移動的距離等于測試區(qū)域風速;以熱成像設備為基準點,単位時間內被探測樣品氣體與所述基準點的相對位置變化為測試區(qū)域的三維風向。特別是,所述樣品氣體的密度與環(huán)境氣體的密度相當。另ー方面,本發(fā)明提供ー種潔凈間用氣流組織測試裝置系統(tǒng),所述裝置系統(tǒng)包括樣品氣體發(fā)生器和熱成像設備,所述樣品氣體發(fā)生器發(fā)出與環(huán)境氣體存在溫度差的樣品氣體,所述熱成像設備能連續(xù)探測樣品氣體的空間位置并顯示在顯示器上。
      特別是,所述樣品氣體為液氮、干冰或水蒸汽。特別是,所述溫度探測裝置包括紅外探測器、光敏単元、視頻轉換器和顯示器;紅外探測器,作為熱成像設備連續(xù)探測樣品氣體所到達的空間位置,得到紅外輻射能量分布圖形;光敏単元,掃描紅外輻射能量分布圖形得到電信號;視頻轉換器,將所得 到的電信號轉換成為紅外熱像圖,顯示在顯示器上。特別是,所述系統(tǒng)內設有溫度變化校正単元,根據(jù)樣品氣體溫度變化補償紅外熱像圖的顯示顔色。本發(fā)明潔凈間用氣流組織測試方法使用熱成像設備探測樣品氣體的流動情況,實現(xiàn)動態(tài)探測,測試結果更加準確。樣品氣體優(yōu)選使用液氮、干冰或水蒸汽等與環(huán)境氣體存在溫差的氣體,避免給潔凈間帶入污染;探測設備優(yōu)選使用紅外探測系統(tǒng),技術成熟,測試精度高。本發(fā)明潔凈間用氣流組織測試裝置系統(tǒng)包括樣品氣體發(fā)生器和溫度探測裝置,提高了對微小氣流測試的探測精度,擴大了探測范圍。


      圖I為現(xiàn)有探測方法原理示意圖。圖2為本發(fā)明氣流組織測試方法原理示意圖。
      具體實施例方式下面結合說明書附圖和實施例對本發(fā)明做詳細描述。本發(fā)明潔凈間用氣流組織測試方法,用熱成像設備探測樣品氣體在潔凈間形成樣品氣流,所述樣品氣體為與環(huán)境氣體存在溫差的氣體。樣品氣體隨環(huán)境氣流運動而形成樣品氣流,由于溫度差的存在,熱成像設備可以很準確地探測到樣品氣流,記錄氣流方向、計算氣流速度。也可以在顯示裝置上顯示溫度分布圖,直觀地觀察樣品氣流的動態(tài)情況,從而觀察到環(huán)境氣流的動態(tài)情況。本發(fā)明潔凈間用氣流組織測試方法包括下述步驟釋放與環(huán)境氣體存在溫差的樣品氣體,樣品氣體隨潔凈間氣流形成樣品氣流;熱成像設備連續(xù)探測樣品氣體所到達的空間位置,得到紅外輻射能量分布圖形;光敏元件和視頻轉換器掃描紅外輻射能量分布圖形得到紅外熱像圖;根據(jù)紅外熱像圖的空間和時間對應變化關系計算得到測試區(qū)域風速和三維風向結果。對樣品氣體主要的要求是其與環(huán)境氣體的密度相當,即相等或接近,以減小因重力原因導致的測量不精確。樣品氣體可以隨著環(huán)境氣體流動,卻不會因為密度的差別而造成樣品氣體的上浮或下沉,不會給探測結果帶來干擾。針對樣品氣體和環(huán)境氣體的溫度存在差別的特點,優(yōu)選使用的探測方法是紅外探測法,所得探測結果為紅外輻射能量分布圖形。將紅外輻射能量分布圖形掃描成為紅外熱像圖后就可以進行計算,得到待測試區(qū)域中風速和風向的三維測試結果。計算的方法為單位時間內被探測樣品氣體所移動的距離等于測試區(qū)域風速;以熱成像設備為基準點,単位時間內被探測樣品氣體與基準點的相對位置變化為測試區(qū)域的三維風向。同時,研究人員可以根據(jù)紅外熱像圖觀測到待測試區(qū)域中是否存在渦流或異常氣流等現(xiàn)象,然后判斷所測得的渦流是否對潔凈度有不利影響,該異常氣流是否屬于從潔凈度低處流向潔凈度高處的不利氣流。同時,研究人員可以根據(jù)氣流氣速及氣流方向準確測量単位體積內潔凈間換氣次數(shù),從而判斷潔凈間潔凈度水平等。本發(fā)明潔凈間用氣流組織測試方法使用熱成像設備探測樣品氣體的流動情況,實現(xiàn)動態(tài)探測,測試結果更加準確。樣品氣體優(yōu)選使用液氮、干冰或水蒸汽等與環(huán)境氣體存在溫差的氣體,避免給潔凈間帶入污染;探測設備優(yōu)選使用紅外探測系統(tǒng),技術成熟,測試精 度高。本發(fā)明潔凈間用氣流組織測試裝置系統(tǒng)包括樣品氣體發(fā)生器和熱成像設備。樣品氣體發(fā)生器發(fā)出與環(huán)境氣體存在溫度差的樣品氣體,熱成像設備能連續(xù)探測樣品氣體的空間位置并顯示在顯示器上。樣品氣體優(yōu)選使用液氮、干冰或水蒸汽等與環(huán)境氣體存在溫差的氣體。探測儀器優(yōu)選使用紅外探測器作為熱成像設備,具體包括依次連接的紅外探測器、光敏単元、視頻轉換器和顯不器。紅外探測器用于樣品氣體和環(huán)境氣體具體分布的連續(xù)探測,得到紅外輻射能量分布圖形;光敏単元,掃描紅外輻射能量分布圖形得到電信號;視頻轉換器,將所得到的電信號轉換成為紅外熱像圖;顯示器將所得紅外熱像圖視頻信號顯示出來,方便于研究人員直觀地觀測氣流情況,判斷是否存在渦流等現(xiàn)象。有的渦流會給潔凈度帶來不利影響,使得此處的雜質或顆粒等物無法由氣流攜帯出去。有的渦流對潔凈度影響不大,但是掌握這些渦流的位置和產生原因對進一歩的研究和改進工作有幫助。優(yōu)選實施例如圖2所示,本發(fā)明測試方法包括下述步驟釋放低溫或高溫樣品氣體,樣品氣體隨潔凈間氣流形成樣品氣流,在待測試空間中形成氣體的溫差;針對存在溫差的樣品進行探測,紅外探測法是優(yōu)選方法,技術成熟、所得結果準確度高。使用紅外探測方法探測樣品氣體所到達的空間位置,連續(xù)地探測可以形成一個動態(tài)的數(shù)據(jù)結果。優(yōu)選實施例是利用紅外探測器測得液氮、干冰或水蒸汽等目標氣流的紅外輻射能量分布圖形。再利用紅外探測器的光敏元件對得到的能量分布圖形進行掃描,將紅外輻射能轉換成電信號。對電信號進行放大處理、轉換成標準視頻信號。將視頻信號通過電視屏或監(jiān)測器顯示出可視的紅外熱像圖。通過對紅外熱像圖變化位移的空間和時間聯(lián)合計算得到測試區(qū)域風速和三維風向結果,判斷氣流的方向及速度。同時,分析連續(xù)記錄所得的紅外熱像圖,研究人員通過觀察紅外熱像圖可判斷待檢測潔凈間中是否存在不利渦流或異常氣流等影響潔凈度的現(xiàn)象。特別是増加樣品氣體溫度變化校正単元,將測試樣品氣體的溫度與測試空間溫度進行自動換算,可求得樣品氣體溫度變化。根據(jù)所得結果對紅外熱像圖的顯示顏色進行補償,井根據(jù)其在空間位移的時間變化來對風速、風向和風量等參數(shù)進行準確計算和測量,進而對潔凈間潔凈度進行準確評價等。以上,僅為本發(fā)明的較佳實施例,但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此,任何熟悉本技術領域的技術 人員在本發(fā)明揭露的技術范圍內,可輕易想到的變化或替換,都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內。因此,本發(fā)明的保護范圍應該以權利要求所界定的保護范圍為準。
      權利要求
      1.一種潔凈間用氣流組織測試方法,其特征在于,用熱成像設備探測樣品氣體在潔凈間形成的樣品氣流,所述樣品氣體為與環(huán)境氣體存在溫差的氣體。
      2.根據(jù)權利要求I所述的潔凈間用氣流組織測試方法,其特征在于,測試方法包括下述步驟 釋放與環(huán)境氣體存在溫差的樣品氣體,所述樣品氣體隨潔凈間氣流形成樣品氣流; 熱成像設備連續(xù)探測樣品氣體所到達的空間位置,得到紅外輻射能量分布圖形; 光敏元件和視頻轉換器掃描紅外輻射能量分布圖形得到紅外熱像圖; 根據(jù)紅外熱像圖的空間和時間對應變化關系計算得到測試區(qū)域風速和三維風向結果。
      3.根據(jù)權利要求2所述的潔凈間用氣流組織測試方法,其特征在于所述計算的方法為單位時間內被探測樣品氣體所移動的距離等于測試區(qū)域風速;以熱成像設備為基準點,單位時間內被探測樣品氣體與所述基準點的相對位置變化為測試區(qū)域的三維風向。
      4.根據(jù)權利要求I所述的潔凈間用氣流組織測試方法,其特征在于所述樣品氣體的密度與環(huán)境氣體的密度相當。
      5.一種潔凈間用氣流組織測試裝置系統(tǒng),其特征在于,所述裝置系統(tǒng)包括樣品氣體發(fā)生器和熱成像設備,所述樣品氣體發(fā)生器發(fā)出與環(huán)境氣體存在溫度差的樣品氣體,所述熱成像設備能連續(xù)探測樣品氣體的空間位置并顯示在顯示器上。
      6.根據(jù)權利要求5所述的潔凈間用氣流組織測試裝置系統(tǒng),其特征在于所述樣品氣體為液氮、干冰或水蒸汽。
      7.根據(jù)權利要求5所述的潔凈間用氣流組織測試裝置系統(tǒng),其特征在于,所述溫度探測裝置包括紅外探測器、光敏單元、視頻轉換器和顯示器; 紅外探測器,作為熱成像設備連續(xù)探測樣品氣體所到達的空間位置,得到紅外輻射能量分布圖形; 光敏單元,掃描紅外輻射能量分布圖形得到電信號; 視頻轉換器,將所得到的電信號轉換成為紅外熱像圖,顯示在顯示器上。
      8.根據(jù)權利要求5所述的潔凈間用氣流組織測試裝置系統(tǒng),其特征在于所述系統(tǒng)內設有溫度變化校正單元,根據(jù)樣品氣體溫度變化補償紅外熱像圖的顯示顏色。
      全文摘要
      本發(fā)明公開一種潔凈間用氣流組織測試方法及裝置系統(tǒng),為解決現(xiàn)有可視化測試方法精度差等缺陷而設計。本發(fā)明潔凈間用氣流組織測試方法用熱成像設備探測樣品氣體在潔凈間形成樣品氣流,所述樣品氣體為與環(huán)境氣體存在溫差的液氮、干冰或水蒸汽等氣體。本發(fā)明潔凈間用氣流組織測試裝置系統(tǒng)包括樣品氣體發(fā)生器和熱成像設備,熱成像設備能連續(xù)探測樣品氣體的空間位置并顯示在顯示器上。本發(fā)明潔凈間用氣流組織測試方法測試結果更加準確,避免給潔凈間帶入污染;探測設備技術成熟,測試精度高。本發(fā)明潔凈間用氣流組織測試裝置系統(tǒng)是用樣品氣體發(fā)生器和溫度探測裝置,提高了探測精度,擴大了探測范圍。
      文檔編號G01P5/10GK102650604SQ20111028997
      公開日2012年8月29日 申請日期2011年9月26日 優(yōu)先權日2011年9月26日
      發(fā)明者李麗, 金萬石 申請人:北京京東方光電科技有限公司
      網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
      • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
      1