專利名稱：熱偶柔性安裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于熱處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種熱偶的安裝裝置，具體涉及一種熱偶柔性安裝裝置。
背景技術(shù)：
熱電偶是一種感溫元件，與儀表配合使用，可用于溫度測(cè)量，并把溫度信號(hào)轉(zhuǎn)換成熱電動(dòng)勢(shì)信號(hào)，通過電氣儀表轉(zhuǎn)換成被測(cè)介質(zhì)的溫度。在石油化工以及其它化學(xué)工業(yè)等領(lǐng)域經(jīng)常使用熱電偶(或稱為熱偶)來測(cè)量管道中流體介質(zhì)的溫度。熱偶是一種易損件，而且，熱偶的主體部分由稀有貴金屬制成，造價(jià)高昂，其外殼多為絕緣材料，少數(shù)外層包裹有金屬，在使用中極易造成折斷等損壞。在熱處理設(shè)備中，很多情況下都需要用熱偶來監(jiān)測(cè)工藝溫度，尤其在半導(dǎo)體處理設(shè)備上，高溫、無污染等苛刻要求，對(duì)以陶瓷為外殼的熱偶依賴很大。而熱偶的使用方式通常都是從設(shè)備外部插入到設(shè)備內(nèi)部熱場(chǎng)中來使用，其使用壽命受安裝方式及條件影響很大?，F(xiàn)有的安裝方式，都不能解決熱偶在使用中非人為損壞的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是如何提供一種用于安裝熱偶的柔性裝置，以解決熱偶在使用中容易被損壞的問題。( 二 )技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種熱偶柔性安裝裝置，包括熱偶保護(hù)部件，具有能夠容納熱偶的通孔，包括相互連接的第一部和第二部；安裝板，具有第一孔；固定塊，安裝于所述安裝板上，固定塊上具有凹槽；所述第一部的形狀與所述凹槽的形狀相配合，以使得所述第一部能夠在所述凹槽內(nèi)活動(dòng)，所述第二部穿過所述第一孔伸出到安裝板的一側(cè)，熱偶柔性安裝裝置在使用時(shí)將通過該側(cè)與熱處理設(shè)備連接安裝。優(yōu)選地，固定塊上覆蓋有熱偶擋罩，熱偶擋罩上具有用于安插熱偶的第二孔，所述第二孔的尺寸小于所述第一部在所述凹槽內(nèi)活動(dòng)過程中外露部分的最大外形尺寸；所述的第二孔的尺寸大于熱偶插入端的外形最大尺寸，同時(shí)還應(yīng)該保證熱偶安裝后具有一定角度的活動(dòng)量。優(yōu)選地，所述第一孔為長(zhǎng)圓孔，以增加安裝操作的容易性，同時(shí)也能夠吸收各種誤差。優(yōu)選地，所述熱偶保護(hù)部件由絕緣材料或金屬材料制成；固定塊由絕緣材料制成； 熱偶擋罩和安裝板由金屬材料制成。優(yōu)選地，所述絕緣材料為燒結(jié)材料，所述金屬材料為不銹鋼材料。包括 304(0Crl8Ni9)、316 (0Crl7Ni 12Mo2)、316L(00Crl7Nil4Mo2)、321 (!Crl8Ni9Ti)等不銹鋼；[0016]優(yōu)選地，所述燒結(jié)材料為陶瓷燒結(jié)材料或玻璃粉末燒結(jié)材料。優(yōu)選地，所述絕緣材料為SiC。優(yōu)選地，所述第一部具有能夠使熱偶保護(hù)部件隨著與第二部接觸的周圍物體的移動(dòng)而同向移動(dòng)的外形。優(yōu)選地，所述第一部的形狀為球形。優(yōu)選地，所述第二部的形狀為圓柱體或長(zhǎng)方體。(三)有益效果本實(shí)用新型的有益效果在于通過熱偶保護(hù)部件將熱偶包裹在其中，有效地保護(hù)了熱偶免受損壞；通過熱偶保護(hù)部件與固定塊間的配合關(guān)系，使得熱偶保護(hù)部件能夠有一定角度的活動(dòng)范圍，這樣可以最大限度地吸收來自外界的破壞力，進(jìn)一步保護(hù)熱偶，從而實(shí)現(xiàn)柔性安裝熱電偶；固定塊上設(shè)置熱偶擋罩，既固定了固定塊又限制了熱偶保護(hù)部件的軸向竄動(dòng)。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的軸側(cè)示意圖；圖2為圖1的剖面視圖；圖3為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的熱偶保護(hù)部件軸側(cè)示意圖；圖4為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的固定塊軸側(cè)示意圖(圖(a))及剖面視圖(圖 (b))；圖5為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的安裝板軸側(cè)示意圖；圖6為根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的熱偶擋罩的軸側(cè)示意圖。附圖標(biāo)記列表1、安裝板；2、固定塊；3、熱偶擋罩；4、熱偶保護(hù)部件具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)說明。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例的安裝裝置包括安裝板1、固定塊2、熱偶擋罩3 及熱偶保護(hù)部件4。熱偶保護(hù)部件4為陶瓷材料，可以滿足高溫，無金屬粒子污染的工藝需求，高純度陶瓷耐高溫可達(dá)1000°C以上。安裝板1其上有長(zhǎng)圓孔作為安裝孔，在安裝過程中起到調(diào)整安裝位置、吸收各種誤差的作用。如圖4所示，固定塊2中央有一球形凹槽，用來與熱偶保護(hù)部件的第一部配合， 熱偶保護(hù)部件的第一部可以在此凹槽內(nèi)擺動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)。圖2中可以看出，根據(jù)本實(shí)用新型的這一優(yōu)選實(shí)施例，固定塊2與熱偶保護(hù)部件4 的配合使得，在使用過程中，熱偶保護(hù)部件4具有多個(gè)自由度，但這些自由度對(duì)使用結(jié)果沒有負(fù)面影響，熱偶保護(hù)部件4中的通孔，是用來安裝熱偶的。通常情況下，熱偶保護(hù)部件4 與所安裝的熱偶之間存在一定的間隙，這樣，在使用過程中，熱偶保護(hù)部件4以自身軸線為軸的旋轉(zhuǎn)并不會(huì)帶動(dòng)安裝在其中的熱偶一同旋轉(zhuǎn)，同時(shí)也就不存在熱偶外接出的信號(hào)線纏繞在一起的可能性。同時(shí)，由于熱偶寬松地安裝在熱偶保護(hù)部件4的內(nèi)部，這樣就不會(huì)受到外界如設(shè)備的殼體或加熱絲一類的部件所帶來的擠壓力，從而有效地保護(hù)熱偶。相比于當(dāng)前現(xiàn)有熱偶的安裝裝置，當(dāng)熱偶安裝后，幾乎所有自由度都被約束了，不存在活動(dòng)的空間， 這樣，當(dāng)設(shè)備運(yùn)行過程中，某些部件在震動(dòng)或是熱的反復(fù)作用下，會(huì)發(fā)生變形或是位移，當(dāng)這樣的力作用在熱偶上時(shí)，熱偶就會(huì)受力的破壞以至折斷，而本實(shí)用新型則不存在這樣的問題，由于熱偶保護(hù)部件4并沒有被固定死，存在多個(gè)自由度，當(dāng)上述情況發(fā)生時(shí)，熱偶保護(hù)部件4的某一自由度必將吸收這樣的力，這樣就保證了熱偶的完好無損。而安裝板1和熱偶擋罩3 (見圖5和6)也為熱偶保護(hù)部件4的這一活動(dòng)提供了可能。但熱偶擋罩3同時(shí)限制了熱偶保護(hù)部件4的軸向竄動(dòng)，這樣能夠避免因熱偶保護(hù)部件4的軸向竄動(dòng)而導(dǎo)致熱偶脫離被測(cè)熱場(chǎng)。圖2中安裝板1左側(cè)的粗黑線表示安裝板1上的安裝孔(長(zhǎng)圓孔)的輪廓線，因?yàn)榘惭b板1為弧形(如圖5所示)，此處是弧形面是由設(shè)備外形決定的，例如，通常會(huì)將熱偶安裝在爐體上，因?yàn)闋t體的外表面是柱形的，為了達(dá)到好的安裝效果，所以此處安裝板做成弧形的。圖3為熱偶保護(hù)部件示意圖，該部件可以是一個(gè)整體，也可以由一個(gè)以上零件組成；部件的第一部可以是球形以外的其他形狀，如近似球形或是帶圓角的矩形。圖4為固定塊示意圖，其中的球形凹槽為與圖3情況下的4的結(jié)構(gòu)相配合，以達(dá)到比較理想的效果，除此之外，其形狀還可以是其他不同形狀。圖5為安裝板示意圖，中間的長(zhǎng)圓孔也可以換成圓孔或是方孔或是其他形狀的孔，目的是實(shí)現(xiàn)熱偶保護(hù)部件可以在設(shè)計(jì)范圍內(nèi)活動(dòng)。另外四個(gè)用于安裝的長(zhǎng)圓孔也可以是圓孔或是沒有這樣的孔。圖6所示的熱偶擋罩3可以安裝在固定塊2上，與固定塊2及安裝板1安裝為一體，起到對(duì)固定塊2進(jìn)行固定，同時(shí)限止熱偶保護(hù)部件4發(fā)生軸向竄動(dòng)的作用。下面舉例說明本實(shí)用新型的應(yīng)用如在八英寸以上的硅片立式熱處理設(shè)備上，爐膛內(nèi)的溫度需要通過熱偶來測(cè)量，熱偶將從爐體外面伸入到爐膛內(nèi)部來完成測(cè)溫，而且無可避免地要從加熱絲的空隙中穿過，這個(gè)空隙通常都不到10mm，而加熱絲在反復(fù)的工藝過程后，或由于冷熱的交替作用，或由于設(shè)備結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)加之自身的重力，都將導(dǎo)致熱偶所穿過的空隙發(fā)生大小或是上下的變化，這種變化對(duì)熱偶是一種考驗(yàn)，而本實(shí)用新型在這種情況下的使用，則可以吸收掉這種變化對(duì)熱偶的破壞。以上實(shí)施方式僅用于說明本實(shí)用新型，而并非對(duì)本實(shí)用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本實(shí)用新型的范疇，本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求1.一種熱偶柔性安裝裝置，其特征在于，包括熱偶保護(hù)部件G)，具有能夠容納熱偶的通孔，包括相互連接的第一部和第二部；安裝板(1)，具有第一孔；固定塊O)，安裝于所述安裝板(1)上，固定塊(2)上具有凹槽；所述第一部的形狀與所述凹槽的形狀相配合，以使得所述第一部能夠在所述凹槽內(nèi)活動(dòng)，所述第二部穿過所述第一孔伸出到安裝板(1)的一側(cè)。
2.如權(quán)利要求1所述的熱偶柔性安裝裝置，其特征在于，固定塊(2)上覆蓋有熱偶擋罩(3)，熱偶擋罩(3)上具有用于安插熱偶的第二孔，所述第二孔的尺寸小于所述第一部在所述凹槽內(nèi)活動(dòng)過程中外露部分的最大外形尺寸。
3.如權(quán)利要求1所述的熱偶柔性安裝裝置，其特征在于，所述第一孔為長(zhǎng)圓孔。
4.如權(quán)利要求1所述的熱偶柔性安裝裝置，其特征在于，所述熱偶保護(hù)部件(4)由絕緣材料或金屬材料制成；固定塊⑵由絕緣材料制成；熱偶擋罩⑶和安裝板⑴由金屬材料制成。
5.如權(quán)利要求4所述的熱偶柔性安裝裝置，其特征在于，所述絕緣材料為燒結(jié)材料，所述金屬材料為不銹鋼材料。
6.如權(quán)利要求5所述的熱偶柔性安裝裝置，其特征在于，所述燒結(jié)材料為陶瓷燒結(jié)材料或玻璃粉末燒結(jié)材料。
7.如權(quán)利要求4所述的熱偶柔性安裝裝置，其特征在于，所述絕緣材料為SiC。
8.如權(quán)利要求1所述的熱偶柔性安裝裝置，其特征在于，所述第一部具有能夠使熱偶保護(hù)部件(4)隨著與第二部接觸的周圍物體的移動(dòng)而同向移動(dòng)的外形。
9.如權(quán)利要求8所述的熱偶柔性安裝裝置，其特征在于，所述第一部的形狀為球形。
10.如權(quán)利要求1 9中任一項(xiàng)所述的熱偶柔性安裝裝置，其特征在于，所述第二部的形狀為圓柱體或長(zhǎng)方體。
專利摘要本實(shí)用新型涉及熱處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種熱偶柔性安裝裝置，包括熱偶保護(hù)部件(4)，具有能夠容納熱偶的通孔，包括相互連接的第一部和第二部；安裝板(1)，具有第一孔；固定塊(2)，安裝于所述安裝板(1)上，固定塊(2)上具有凹槽；所述第一部的形狀與所述凹槽的形狀相配合，以使得所述第一部能夠在所述凹槽內(nèi)活動(dòng)，所述第二部穿過所述第一孔伸出到安裝板(1)的一側(cè)。本實(shí)用新型能夠解決熱偶在使用中容易被損壞的問題。
文檔編號(hào)G01K7/06GK202166480SQ20112020410
公開日2012年3月14日 申請(qǐng)日期2011年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月16日
發(fā)明者孫少東, 董金衛(wèi), 趙星梅 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司