專利名稱：多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于半導(dǎo)體激光器測試系統(tǒng)，尤其涉及一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置。
背景技術(shù)：
高功率半導(dǎo)體激光器，包括單芯片、陣列和疊陣型激光器，在抽運固體激光器系統(tǒng)方面的用途不斷增加，可用于工業(yè)、軍事、醫(yī)療和直接的材料處理如焊接、切割和表面處理。 隨著激光器功率、效率、可靠性、制造力的提高，高功率半導(dǎo)體激光器涌現(xiàn)出了許多新的用途。通常認為，高功率半導(dǎo)體激光器的三個主要性能參數(shù)是功率、效率和可靠性。半導(dǎo)體激光器工作中會產(chǎn)生很大的熱量，為了良好散熱，常將芯片焊接到具有高導(dǎo)熱率的金屬熱沉上。由于激光器管芯和熱沉的熱膨脹系數(shù)不一致，溫度變化將導(dǎo)致熱應(yīng)力的產(chǎn)生和，若熱應(yīng)力過大甚至會造成結(jié)合層開裂、管芯斷裂等問題，嚴重影響了器件的可靠性和壽命，熱和熱應(yīng)力的問題已成為制約半導(dǎo)體激光器發(fā)展的關(guān)鍵問題。因此，有必要對半導(dǎo)體激光器進行熱應(yīng)力分析，研究減小激光器的熱應(yīng)力方法。激光器陣列的光譜展寬是每個獨立的發(fā)光單元發(fā)射波長不均勻的結(jié)果。激光器 /巴條展寬后的光譜可能有雙峰或者多峰，有些可能在光譜的一邊或兩邊有“肩膀”或“尾巴”。每個發(fā)光單元的發(fā)射波長受晶片均勻性和與封裝有關(guān)的熱和熱應(yīng)力效應(yīng)影響，其中后者是主要因素。半導(dǎo)體激光器的每一個發(fā)光單元的發(fā)射波長可能會受晶片的不均勻性、與封裝有關(guān)的熱和熱應(yīng)力效應(yīng)的影響。所以空間光譜可以反映半導(dǎo)體激光器的熱應(yīng)力效應(yīng)。然而， 巴條內(nèi)單個發(fā)光單元之間的距離非常近，材料生長和晶片處理通常是非常均勻的，與封裝引起的熱和熱應(yīng)力效應(yīng)相比，巴條內(nèi)各發(fā)光單元之間材料生長和晶片處理的不均勻性引起的波長變化可以忽略。

實用新型內(nèi)容本實用新型目的是提供一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，能夠采集多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間光譜信息。本實用新型的技術(shù)解決方案是本實用新型的原理是在半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置透鏡系統(tǒng)用于將半導(dǎo)體激光器多個發(fā)光單元在空間上進行放大，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置光譜測量系統(tǒng)用于采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的信息，將發(fā)光單元的波長信息按空間位置依次進行排布，形成空間光譜或者波長信息圖。光譜測量系統(tǒng)可以是光譜測量裝置也可以是光接收器和光譜測量裝置的組合。具體可以有以下幾種實現(xiàn)方式。(1)半導(dǎo)體激光器移動被測半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)，所述的透鏡系統(tǒng)可以一次放大一個發(fā)光單元，也可以一次放大多個發(fā)光單元；控制被測半導(dǎo)體激光器移動使被測半導(dǎo)體激光器的每一個發(fā)光單元依次通過透鏡系統(tǒng)放大后用光譜測量系統(tǒng)采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元的波長信息按空間位置依次進行排布，形成空間光譜或波長信息圖。(2)半導(dǎo)體激光器不動，光譜測量系統(tǒng)移動透鏡系統(tǒng)置于被測半導(dǎo)體激光器出光面前方，光譜測量系統(tǒng)置于透鏡系統(tǒng)前方， 被測半導(dǎo)體激光器所有發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)成像；控制光譜測量系統(tǒng)移動，使光譜測量系統(tǒng)依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元的波長信息按空間進行排布，形成空間光譜或波長信息圖。(3)半導(dǎo)體激光器和透鏡系統(tǒng)一起移動，光譜測量系統(tǒng)不動被測半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)，被測半導(dǎo)體激光器所有發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大成像，控制被測激光器和透鏡系統(tǒng)一起移動，使光譜測量系統(tǒng)依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元的波長信息按空間位置依次進行排布，形成空間光譜或波長信息圖。(4)半導(dǎo)體激光器不動，透鏡系統(tǒng)和光譜系統(tǒng)一起移動被測半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)，控制透鏡系統(tǒng)和光譜測量系統(tǒng)一起移動，使被測半導(dǎo)體激光器的每一個發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大后用光譜測量系統(tǒng)采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大成像后的每一個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元的波長信息按空間位置依次進行排布，形成空間光譜或波長信息圖。(5)當然，光譜測量系統(tǒng)也可以有多個光接收器，在位置上分別對應(yīng)各個發(fā)光單兀。相應(yīng)的，可以有以下幾種半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置。第一種半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，包括第一平移臺、被測半導(dǎo)體激光器、透鏡系統(tǒng)、光譜測量系統(tǒng)及計算機；所述被測半導(dǎo)體激光器固定在第一平移臺上，所述第一平移臺可進行移動；所述透鏡系統(tǒng)位于被測激光器發(fā)光面前方，用于依次將被測半導(dǎo)體激光器的發(fā)光單元放大成像；所述光譜測量系統(tǒng)位于透鏡系統(tǒng)前方，用于采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后每一個發(fā)光單元的波長信息；所述計算機連接在光譜測量裝置輸出端上，用于將光譜測量系統(tǒng)采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間位置依次進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖。第二種半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，包括第二平移臺、被測激光器、透鏡系統(tǒng)、光譜測量裝置及計算機；所述透鏡系統(tǒng)位于被測激光器發(fā)光面前方，用于將被測半導(dǎo)體激光器的發(fā)光單元成像；所述光譜測量裝置固定在第二平移臺上，用于依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)成像后的每一個發(fā)光單元的波長信息；所述第二平移臺可進行移動；所述計算機連接在光譜測量系統(tǒng)輸出端上，用于將光譜測量系統(tǒng)采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間位置依次進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖。第三種半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，包括第三平移臺、被測激光器、透鏡系統(tǒng)、光譜測量系統(tǒng)及計算機；被測半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)，被測半導(dǎo)體激光器和透鏡系統(tǒng)固定在第三平移臺上，被測半導(dǎo)體激光器所有發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大，第三平移臺可進行移動以控制被測激光器和透鏡系統(tǒng)的位置，使光譜測量系統(tǒng)依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息；所述計算機連接在光譜測量裝置輸出端上，用于將光譜測量裝置采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖；所述的光譜測量系統(tǒng)是光譜測量裝置或光接收器和光譜測量裝置的組合，所述的光接收器是積分球、光導(dǎo)管或光纖跳線。第四種半導(dǎo)體激光器空間光譜測量裝置，包括第四平移臺、被測半導(dǎo)體激光器、透鏡系統(tǒng)、光譜測量系統(tǒng)及計算機被測半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)，透鏡系統(tǒng)和光譜測量系統(tǒng)固定在第四平臺上，第四平移臺可進行移動以控制透鏡系統(tǒng)和光譜測量裝置的移動，使被測半導(dǎo)體激光器的每一個發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大后用光譜測量系統(tǒng)采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息；所述計算機連接在光譜測量裝置輸出端上，用于將光譜測量裝置采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖；所述的光譜測量系統(tǒng)是光譜測量裝置或光接收器和光譜測量裝置的組合，所述的光接收器是積分球、光導(dǎo)管或光纖跳線。本實用新型具有的優(yōu)點1、本實用新型可以精確的掃描每一個發(fā)光單元，采集每一個發(fā)光單元的波長信息，同時表征每一個發(fā)光單元的光譜特性，從而在空間尺度上反映每一個單獨發(fā)光點的波長，進而反映半導(dǎo)體激光器的熱與熱應(yīng)力效應(yīng)，且不對半導(dǎo)體激光器造成損傷。2、本實用新型可通過觀察空間光譜圖直觀監(jiān)控每一個發(fā)光單元的發(fā)光狀態(tài)。

圖1是實現(xiàn)本實用新型測試裝置的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是實現(xiàn)本實用新型測試裝置的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是實現(xiàn)本實用新型測試裝置的第三種結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是實現(xiàn)本實用新型測試裝置的第四種結(jié)構(gòu)示意圖；其中1為半導(dǎo)體激光器，2為透鏡系統(tǒng)，3為光譜測量系統(tǒng)，4為計算機，5為第一平移臺，6為光收集器，7為光譜測量裝置，8為放大后的發(fā)光單元，9為第二平移臺，10為第三平移臺；11為第四平移臺。圖5為包含每個發(fā)光單元發(fā)光情況的空間光譜圖，每一個發(fā)光單元成像按照對應(yīng)基準波長進行空間排布，從圖中可以看到每一發(fā)光單元的發(fā)光情況和每一個發(fā)光單元波長相對于基準波長漂移的情況；圖6為發(fā)光單元的波長圖，從圖中可以看到每一個發(fā)光單元的波長信息。
具體實施方式
第一種測試方法透鏡系統(tǒng)置于被測半導(dǎo)體激光器出光面前方，控制被測激光器移動使被測半導(dǎo)體激光器的每一個發(fā)光單元依次通過透鏡系統(tǒng)放大成像后用光譜測量裝置采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大成像的每一個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元的波長信息按空間進行排布，形成空間光譜或波長信息圖。圖1為第一種半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，半導(dǎo)體激光器的一個發(fā)光單元或者多個發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大，控制半導(dǎo)體激光器移動，使光譜測量系統(tǒng)可以采集到其第一個發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大后的波長信息，控制半導(dǎo)體激光器位置，使光譜測量系統(tǒng)可以采集到其第二個發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大后的波長信息，依次類推。以第一種測試裝置為例說明本實用新型第一種方法的具體工作過程及原理參見圖1，第一種半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，包括第一平移臺5、被測激光器1、透鏡系統(tǒng)2、光譜測量系統(tǒng)3及計算機4 ；所述的被測半導(dǎo)體激光器1固定在第一平移臺5上，第一平移臺5可以進行移動以控制被測半導(dǎo)體激光器1的位置；透鏡系統(tǒng)2位于被測激光器1發(fā)光面前方，用于將被測激光器1的每一個發(fā)光單元放大；光譜測量系統(tǒng)3位于透鏡系統(tǒng)2前方，用于采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)2放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息；計算機4連接在光譜測量系統(tǒng)2輸出端上，用于將光譜測量系統(tǒng)2采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖。光譜測量系統(tǒng)3為光收集器6和光譜測量裝置7的組合，光收集器6用于收集經(jīng)透鏡系統(tǒng)2放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息，光譜測量裝置7用于采集經(jīng)光收集器6 收集到的每一發(fā)光單元的波長信息并輸入計算機4中。半導(dǎo)體激光器1的一個發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大或者多個發(fā)光單元同時通過透鏡系統(tǒng)2放大，控制第一平移臺5移動，精確控制半導(dǎo)體激光器1的位置，使半導(dǎo)體激光器1的發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大后，光譜測量系統(tǒng)3可以采集到經(jīng)透鏡系統(tǒng)2放大后的第一個發(fā)光單元的波長信息，再次控制第一平移臺5移動，精確控制半導(dǎo)體激光器1的位置，使光譜測量系統(tǒng)3采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)2放大后的第二個發(fā)光單元的波長信息，依此類推控制第一平移臺5移動直到光譜測量系統(tǒng)3采集完所用發(fā)光單元的波長信息，光譜測量系統(tǒng)3 的輸出端連接在計算機上，計算機根據(jù)光譜測量系統(tǒng)3采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息，將發(fā)光單元按照空間排布，形成空間光譜或者計算機4根據(jù)量裝置采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息，將波長信息進行繪圖。光譜測量系統(tǒng)3選用的是光收集器6和光譜測量裝置7，光收集器6可以是積分球、、光導(dǎo)管或光纖跳線。第二種測試方法半導(dǎo)體激光器不動，光譜測量系統(tǒng)移動透鏡系統(tǒng)置于被測半導(dǎo)體激光器出光面前方，光譜測量裝置置于透鏡系統(tǒng)前方， 被測半導(dǎo)體激光器所有發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)成像；控制光譜測量裝置移動，使光譜測量裝置依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元的波長信息按空間進行排布，形成空間光譜或波長信息圖。圖2為第二種半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，使控制光譜測量系統(tǒng)移動，使其可以依次采集每一個發(fā)光單元的波長信息。以第二種測試裝置為例說明本實用新型第二種方法的具體工作過程及原理該半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置包括第二平移臺9、被測激光器1、透鏡系統(tǒng)2、 光譜測量系統(tǒng)3及計算機4 ；所述透鏡系統(tǒng)2位于被測激光器1發(fā)光面前方，用于將被測半導(dǎo)體激光器1的發(fā)光單元成像；所述光譜測量系統(tǒng)3固定在第二平移臺9上，用于依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)2放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息；所述第二平移臺9可進行移動；所述計算機4連接在光譜測量系統(tǒng)3輸出端上，用于將光譜測量系統(tǒng)3采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間位置依次進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖。半導(dǎo)體激光器1的所有發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)2放大后為放大后的發(fā)光單元8， 控制第二平移臺9移動，可以精確調(diào)節(jié)光譜測量系統(tǒng)3的位置，使其采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)2放大后的第一個發(fā)光單元的波長信息，控制第二平移臺9移動，使光譜測量系統(tǒng)3采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)2放大后的第二個發(fā)光單元的波長信息，依次類推直到光譜測量系統(tǒng)3采集完所用發(fā)光單元的波長信息，光譜測量系統(tǒng)3的輸出端連接在計算機4上，計算機4根據(jù)光譜測量系統(tǒng) 3采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息，將發(fā)光單元按照空間排布，形成空間光譜或者計算機4根據(jù)量裝置采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息，將波長信息進行繪圖。光譜測量系統(tǒng)3選用的是光譜測量裝置7。第三種方法半導(dǎo)體激光器和透鏡系統(tǒng)一起移動，光譜測量系統(tǒng)不動被測半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)，被測半導(dǎo)體激光器所有發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大成像，控制被測激光器和透鏡系統(tǒng)一起移動，使光譜測量系統(tǒng)依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元的波長信息按空間位置依次進行排布，形成空間光譜或波長信息圖。參見圖3，第三種半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，包括第三平移臺10、被測激光器1、透鏡系統(tǒng)2、光譜測量系統(tǒng)3及計算機4 ；被測半導(dǎo)體激光器1出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)2，透鏡系統(tǒng)2前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)3，被測半導(dǎo)體激光器1和透鏡系統(tǒng)2固定在第三平移臺10上，被測半導(dǎo)體激光器1 所有發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)2放大，第三平移臺10可進行移動以控制被測激光器1和透鏡系統(tǒng)2的位置，使光譜測量系統(tǒng)3可以依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)2放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息；所述計算機4連接在光譜測量系統(tǒng)3輸出端上，用于將光譜測量系統(tǒng)3采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖；所述的光譜測量系統(tǒng)3選用的光接收器6和光譜測量裝置7的組合，所述的光接收器6是積分球、、光導(dǎo)管或光纖跳線[0071]半導(dǎo)體激光器1的所有發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)2放大，控制第三平移臺10移動， 可以精確調(diào)節(jié)半導(dǎo)體激光器1和透鏡系統(tǒng)2的位置，使光譜測量系統(tǒng)3采集到經(jīng)透鏡系統(tǒng)2 放大后的第一個發(fā)光單元的波長信息，控制第三平移臺10移動，使光譜測量系統(tǒng)3采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)2放大后的第二個發(fā)光單元的波長信息，依次類推直到光譜測量系統(tǒng)3采集完所用發(fā)光單元的波長信息，光譜測量系統(tǒng)的輸出端連接在計算機4上，計算機4根據(jù)光譜測量系統(tǒng)3采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息，將發(fā)光單元按照空間排布，形成空間光譜或者計算機4根據(jù)量裝置采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息，將波長信息進行繪圖。第四種方法半導(dǎo)體激光器不動，透鏡系統(tǒng)和光譜系統(tǒng)一起移動被測半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)，控制透鏡系統(tǒng)和光譜測量系統(tǒng)一起移動，使被測半導(dǎo)體激光器的每一個發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大后用光譜測量系統(tǒng)采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大成像后的每一個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元的波長信息按空間位置依次進行排布，形成空間光譜或波長信息圖。圖4為第四種半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，以第四種測試裝置為例說明本實用新型第四種方法的具體工作過程及原理第四種半導(dǎo)體激光器空間光譜測量裝置，包括第四平移臺11、被測半導(dǎo)體激光器 1、透鏡系統(tǒng)2、光譜測量系統(tǒng)3及計算機4 被測半導(dǎo)體激光器1出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)2，透鏡系統(tǒng)2前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)3，透鏡系統(tǒng)2和光譜測量系統(tǒng)3固定在第四平臺11上，第四平移臺11可進行移動以控制透鏡系統(tǒng)2和光譜測量系統(tǒng)3的移動，使被測半導(dǎo)體激光器1的每一個發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大后用光譜測量系統(tǒng)采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息；所述計算機4連接在光譜測量系統(tǒng)3輸出端上，用于將光譜測量系統(tǒng)3采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖；所述的光譜測量系統(tǒng)3選用的是光接收器6和光譜測量裝置7的組合，所述的光接收器6是積分球、光導(dǎo)管或光纖跳線。透鏡系統(tǒng)2置于半導(dǎo)體激光器1發(fā)光面前方，用于同時放大半導(dǎo)體激光器1的一個或者多個發(fā)光單元，控制第四平移臺11移動用于控制透鏡系統(tǒng)2和光譜測量系統(tǒng)3的位置，使光譜測量系統(tǒng)3可以采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)2放大后的第一個發(fā)光單元的波長信息；然后控制第四平移臺11移動，使光譜測量系統(tǒng)3采集第二個發(fā)光單元的波長信息，依次類推至到光譜測量系統(tǒng)3依次采集完所用發(fā)光單元的波長信息，在計算機4中根據(jù)每一個發(fā)光單元的波長信息，將發(fā)光單元按照空間排布，形成空間光譜或者根據(jù)每一個發(fā)光單元的波長信息，將波長信息繪圖。表1是用本實用新型測試裝置測試的808nm高功率19個發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器模塊的每一個發(fā)光單元的波長信息。圖5為包含每個發(fā)光單元發(fā)光情況的空間光譜圖，每一個發(fā)光單元成像按照對應(yīng)基準波長進行空間排布，從圖中可以看到每一發(fā)光單元的發(fā)光情況和每一個發(fā)光單元波長相對于基準波長漂移的情況；圖6為發(fā)光單元的波長圖，從圖中可以看到每一個發(fā)光單元的波長信息。[0083]表 權(quán)利要求1.一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，其特征在于包括第一平移臺、 被測半導(dǎo)體激光器、透鏡系統(tǒng)、光譜測量系統(tǒng)及計算機；所述透鏡系統(tǒng)置于被測半導(dǎo)體激光器發(fā)光面前方；所述的透鏡系統(tǒng)用于一次放大一個或多個發(fā)光單元；所述被測半導(dǎo)體激光器固定在第一平移臺上，所述第一平移臺可進行移動以控制被測半導(dǎo)體激光器的位置；所述光譜測量系統(tǒng)置于透鏡系統(tǒng)前方，用于依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息；所述的光譜測量系統(tǒng)是光譜測量裝置或光接收器和光譜測量裝置的組合，所述的光接收器是積分球、光導(dǎo)管或光纖跳線；每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖。
2.一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，其特征在于包括第二平移臺、 被測半導(dǎo)體激光器、透鏡系統(tǒng)、光譜測量系統(tǒng)及計算機；所述透鏡系統(tǒng)置于被測半導(dǎo)體激光器發(fā)光面前方，用于將被測半導(dǎo)體激光器的所有發(fā)光單元放大；所述的透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)，光譜測量系統(tǒng)固定在第二平移臺上，第二平移臺可進行移動以控制光譜測量系統(tǒng)的位置，用于依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息；所述計算機連接在光譜測量裝置輸出端上，用于將光譜測量裝置采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖；所述的光譜測量系統(tǒng)是光譜測量裝置或光接收器和光譜測量裝置的組合，所述的光接收器是積分球、光導(dǎo)管或光纖跳線。
3.一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，其特征在于包括第三平移臺、 被測半導(dǎo)體激光器、透鏡系統(tǒng)、光譜測量系統(tǒng)及計算機；被測半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)， 被測半導(dǎo)體激光器和透鏡系統(tǒng)固定在第三平移臺上，被測半導(dǎo)體激光器所有發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大，第三平移臺可進行移動以控制被測激光器和透鏡系統(tǒng)的位置，使光譜測量系統(tǒng)依次采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息；所述計算機連接在光譜測量裝置輸出端上，用于將光譜測量裝置采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖；所述的光譜測量系統(tǒng)是光譜測量裝置或光接收器和光譜測量裝置的組合，所述的光接收器是積分球、光導(dǎo)管或光纖跳線。
4.一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，其特征在于包括第四平移臺、 被測半導(dǎo)體激光器、透鏡系統(tǒng)、光譜測量系統(tǒng)及計算機；被測半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置有透鏡系統(tǒng)，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置有光譜測量系統(tǒng)， 透鏡系統(tǒng)和光譜測量系統(tǒng)固定在第四平臺上，第四平移臺可進行移動以控制透鏡系統(tǒng)和光譜測量裝置的移動，使被測半導(dǎo)體激光器的每一個發(fā)光單元通過透鏡系統(tǒng)放大后用光譜測量系統(tǒng)采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的波長信息；所述計算機連接在光譜測量裝置輸出端上，用于將光譜測量裝置采集到的每一個發(fā)光單元的波長信息輸出，并根據(jù)每個發(fā)光單元的波長信息，將每一個發(fā)光單元按空間進行排布，形成空間光譜或者將每一個發(fā)光單元的波長信息繪圖；所述的光譜測量系統(tǒng)是光譜測量裝置或光接收器和光譜測量裝置的組合，所述的光接收器是積分球、光導(dǎo)管或光纖跳線。
專利摘要本實用新型提供了一種多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間光譜測試裝置，能夠采集多發(fā)光單元半導(dǎo)體激光器空間光譜信息。其原理是在半導(dǎo)體激光器出光面前方設(shè)置透鏡系統(tǒng)用于將半導(dǎo)體激光器多個發(fā)光單元在空間上進行放大，透鏡系統(tǒng)前方設(shè)置光譜測量系統(tǒng)用于采集經(jīng)透鏡系統(tǒng)放大后的每一個發(fā)光單元的信息，將發(fā)光單元的波長信息按空間位置依次進行排布，形成空間光譜或者波長信息圖。光譜測量系統(tǒng)可以是光譜測量裝置也可以是光接收器和光譜測量裝置的組合。本實用新型可以精確的掃描每一個發(fā)光單元，采集每一個發(fā)光單元的波長信息，從而在空間尺度上反映每一個單獨發(fā)光點的波長，進而反映半導(dǎo)體激光器的熱與熱應(yīng)力效應(yīng)，且不對半導(dǎo)體激光器造成損傷。
文檔編號G01J3/28GK202305012SQ20112035753
公開日2012年7月4日 申請日期2011年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月22日
發(fā)明者劉興勝, 吳迪 申請人:西安炬光科技有限公司