專利名稱：一種自動抽空壓氦注油裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型主要涉及電子元器件的密封檢測領(lǐng)域，具體涉及一種自動抽空壓氦注油裝置。
背景技術(shù)：
電子元器件密封性直接影響到使用壽命與穩(wěn)定等，于是密封檢測是電子元器件生產(chǎn)制作過程中不可缺失的重要環(huán)節(jié)。目前電子元器件密封檢測所使用的設(shè)備主要由氦質(zhì)譜檢漏儀與氟油檢漏儀，與之配套是壓氦罐裝置與壓輕氟油裝置。氦質(zhì)譜檢漏儀檢測電子元器件只能檢測中小漏，對于大漏無法檢測。氟油檢漏儀只能檢測大漏，對于中小漏無法檢測。所以氦質(zhì)譜檢漏儀與氟油檢漏儀是一對互補(bǔ)性產(chǎn)品。氦質(zhì)譜檢漏儀與氟油檢漏儀是電子元器件生產(chǎn)廠家不可缺失的密封檢測設(shè)備。目前市場上還沒有同時生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀與氟油檢漏儀的廠家，配套裝置功能也是單一的。實用新型內(nèi)容本實用新型目的就是為了彌補(bǔ)已有應(yīng)用技術(shù)的缺陷，提供提供一種多功能的自動抽空壓氦注油裝置。本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的自動抽空壓氦注油裝置，其特征在于包括有儲油罐、油位傳感器、真空泵、氦氣瓶、氦氣罐、氮氣瓶、壓力傳感器、多個電磁閥，所述儲油罐的底部連接油位傳感器，所述儲油罐的進(jìn)油口連接電磁閥四，所述儲油罐的出油口連接電磁閥三，所述電磁閥三連接電磁閥二，所述電磁閥二連接氦氣罐的進(jìn)油口，所述氦氣罐還連接有壓力傳感器、電磁閥一、電磁閥六，所述電磁閥一連接氮氣瓶，所述電磁閥六連接氦氣瓶；所述電磁閥二與電磁閥三之間的管道開有一個支路，所述支路連接電磁閥五，所述電磁閥五連接真空泵。所述的一種自動抽空壓氦注油裝置，其特征在于所述的各部件之間通過管道連接。所述的一種自動抽空壓氦注油裝置，其特征在于所述儲油罐中注入的油為輕氟油。本實用新型的工作原理為I、注油原理工件放入氦氣罐后將罐蓋密封良好。然后打開電磁閥二與電磁閥五，開啟真空泵對氦氣罐抽真空，當(dāng)壓力傳感器檢測達(dá)到設(shè)定真空值時關(guān)閉電磁閥五與真空泵。然后再打開電磁閥三與電磁閥四，電磁閥四一端與大氣連通，一端與儲油罐連接。根據(jù)壓力差原理，儲油罐中的輕氟油被壓入氦氣罐，當(dāng)油位傳感器檢測值達(dá)到設(shè)定值時關(guān)閉電磁閥二與電磁閥三，再打開電磁閥一對氦其罐充入設(shè)定壓力的氮氣進(jìn)行保壓。此時工件浸泡在輕氟油中，注油一壓氦罐上層空間有高壓氮氣，有利于輕氟油快速進(jìn)入工件漏孔中。當(dāng)保壓時間達(dá)到設(shè)定值時打開電磁閥二與電磁閥三將輕氟油回收到儲油罐中，再取出工件進(jìn)行下一步檢測。2、壓氦原理工件放入氦氣罐后將罐蓋密封良好。然后打開電磁閥二與電磁閥五，開啟真空泵對注油一壓氦罐抽真空，當(dāng)壓力傳感器檢測達(dá)到設(shè)定真空值時關(guān)閉電磁閥二、電磁閥五與真空泵。再打開電磁閥六，對氦氣罐充入一定壓力氦氣，然后進(jìn)行氦氣保壓。此時工件如果有漏孔存在，氦氣就會從漏孔進(jìn)入工件內(nèi)部。當(dāng)保壓時間達(dá)到設(shè)定值時打開氦氣罐，取出工件進(jìn)行下一步檢測。本實用新型的優(yōu)點是本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，實現(xiàn)多種功能，為工件全量程檢測提供了完善的測量準(zhǔn)備。


圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
自動抽空壓氦注油裝置，包括有儲油罐I、油位傳感器2、真空泵3、氦氣瓶4、氦氣罐5、氮氣瓶6、壓力傳感器13、多個電磁閥，所述儲油罐I的底部連接油位傳感器2，所述儲 油罐I的進(jìn)油口連接電磁閥四10，所述儲油罐I的出油口連接電磁閥三9，所述電磁閥三9連接電磁閥二 8，所述電磁閥二 8連接氦氣罐5底部的進(jìn)油口，所述氦氣罐I還連接有壓力傳感器13、電磁閥一 7、電磁閥六12，所述電磁閥一 7連接氮氣瓶6，所述電磁閥六12連接氦氣瓶4 ;所述電磁閥二 8與電磁閥三9之間的管道開有一個支路，所述支路連接電磁閥五11，所述電磁閥11五連接真空泵3。所述的各部件之間通過管道連接。所述儲油罐I中注入的油為輕氟油。
權(quán)利要求1.一種自動抽空壓氦注油裝置，其特征在于包括有儲油罐、油位傳感器、真空泵、氦氣瓶、氦氣罐、氮氣瓶、壓力傳感器、多個電磁閥，所述儲油罐的底部連接油位傳感器，所述儲油罐的進(jìn)油口連接電磁閥四，所述儲油罐的出油口連接電磁閥三，所述電磁閥三連接電磁閥二，所述電磁閥二連接氦氣罐底部的進(jìn)油口，所述氦氣罐還連接有壓力傳感器、電磁閥一、電磁閥六，所述電磁閥一連接氮氣瓶，所述電磁閥六連接氦氣瓶；所述電磁閥二與電磁閥三之間的管道開有一個支路，所述支路連接電磁閥五，所述電磁閥五連接真空泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種自動抽空壓氦注油裝置，其特征在于所述的各部件之間通過管道連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種自動抽空壓氦注油裝置，其特征在于所述儲油罐中注入的油為輕氟油。
專利摘要本實用新型公開了一種自動抽空壓氦注油裝置，其特征在于包括有儲油罐、油位傳感器、真空泵、氦氣瓶、氦氣罐、氮氣瓶、壓力傳感器、多個電磁閥，所述儲油罐的底部連接油位傳感器，所述儲油罐的進(jìn)油口連接電磁閥四，所述儲油罐的出油口連接電磁閥三，所述電磁閥三連接電磁閥二，所述電磁閥二連接氦氣罐的進(jìn)油口，所述氦氣罐還連接有壓力傳感器、電磁閥一、電磁閥六，所述電磁閥一連接氮氣瓶，所述電磁閥六連接氦氣瓶；所述電磁閥二與電磁閥三之間的管道開有一個支路，所述支路連接電磁閥五，所述電磁閥五連接真空泵。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，實現(xiàn)了多種功能，為工件全量程檢測提供了完善的測量準(zhǔn)備。
文檔編號G01M3/02GK202372313SQ20112043599
公開日2012年8月8日 申請日期2011年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月7日
發(fā)明者張志 申請人:安徽皖儀科技股份有限公司