專利名稱：玻璃基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃基板。
背景技術(shù)：
提出了各種測(cè)量玻璃基板內(nèi)的缺陷的高度方向位置等的方法。作為測(cè)量玻璃基板內(nèi)的缺陷的高度方向位置的一般方法，有拍攝缺陷時(shí)調(diào)節(jié)相機(jī)的焦點(diǎn)來(lái)測(cè)量缺陷的高度方向位置的方法。方便起見(jiàn)將該方法稱為第I測(cè)量方法。

圖13A是示意地表示第I測(cè)量方法的說(shuō)明圖。在第I測(cè)量方法中，如圖13A所示，在使光通過(guò)玻璃基板82的狀態(tài)下傳送玻璃基板82。另外，用線性相機(jī)81拍攝被傳送的玻璃基板82的內(nèi)部。若玻璃基板82的內(nèi)部存在缺陷83，則拍攝缺陷83。圖13B表示所拍攝到的缺陷的圖像的例。圖13A中，用長(zhǎng)方形示意地表示缺陷83，圖13B中也用長(zhǎng)方形表示在玻璃基板的圖像內(nèi)顯現(xiàn)的缺陷的像86，但缺陷的形狀并不限定于長(zhǎng)方形。然而，在以下所示的圖14A、圖14B、圖15A、圖15B、圖16、圖17中也用長(zhǎng)方形示意地表示缺陷。此外，圖13B所示的箭頭為玻璃基板82的傳送方向。用線性相機(jī)81拍攝玻璃基板82的內(nèi)部時(shí)，調(diào)節(jié)相機(jī)的焦點(diǎn)，使缺陷的存在位置與相機(jī)的焦點(diǎn)一致，測(cè)量從線性相機(jī)81到缺陷的絕對(duì)距離，并基于該距離計(jì)算缺陷的高度方向位置。作為調(diào)節(jié)相機(jī)的焦點(diǎn)以使缺陷的存在位置與相機(jī)的焦點(diǎn)一致的方法，有DFF(Depth from Focus,對(duì)焦深度)法等。另外,關(guān)于缺陷的尺寸,對(duì)所拍攝到的圖像進(jìn)行圖像處理來(lái)測(cè)量缺陷的尺寸。例如在專利文獻(xiàn)I 3等記載了調(diào)節(jié)相機(jī)的焦點(diǎn)來(lái)測(cè)量缺陷的高度方向位置的方法、裝置。另外，作為測(cè)量玻璃基板內(nèi)的缺陷的高度方向位置的其他一般方法，有如下方法:利用入射到玻璃基板的光的反射光在兩個(gè)位置拍攝同一缺陷，根據(jù)結(jié)果得到的兩個(gè)像的位置關(guān)系測(cè)量缺陷的高度方向·位置。方便起見(jiàn)將該方法記作第2測(cè)量方法。圖14A是示意地表示第2測(cè)量方法的說(shuō)明圖。在第2測(cè)量方法中，例如，如圖14A所示，在玻璃基板82上，使光在與線性相機(jī)81相同的一側(cè)入射，以使其反射光到達(dá)線性相機(jī)81。另外,傳送玻璃基板82并用線性相機(jī)81拍攝玻璃基板82的內(nèi)部。玻璃基板內(nèi)的光的路徑將在之后參照?qǐng)D16的上層所示的側(cè)視圖進(jìn)行說(shuō)明。缺陷83隨玻璃基板82的傳送一起移動(dòng)，在缺陷83與反射前的光的路徑重疊時(shí)以及缺陷83與反射后的光的路徑重疊時(shí)，分別在線性相機(jī)81中被捕捉為像。結(jié)果，即使是一個(gè)缺陷83，在所拍攝到的圖像中也顯現(xiàn)出兩個(gè)像。圖14B是通過(guò)第2測(cè)量方法所拍攝到的圖像的例。如圖14B所示，對(duì)同一缺陷顯現(xiàn)出兩個(gè)像84、85。在第2測(cè)量方法中，根據(jù)圖14B所例示的圖像中的兩個(gè)像的位置關(guān)系，計(jì)算缺陷83的高度方向位置。另外，關(guān)于缺陷的尺寸，對(duì)所拍攝到的圖像進(jìn)行圖像處理來(lái)測(cè)量缺陷的尺寸。此夕卜，圖14B所示的箭頭為玻璃基板82的傳送方向。例如專利文獻(xiàn)4 6、8等記載了利用入射到透明基板等的光的反射光在兩個(gè)位置拍攝同一缺陷，根據(jù)兩個(gè)像的位置關(guān)系來(lái)測(cè)量缺陷的高度方向位置的方法、裝置。另外，有如下方法:在玻璃基板的兩面，與第2測(cè)量方法同樣地拍攝圖像，根據(jù)在玻璃基板的各個(gè)面所拍攝到的圖像內(nèi)的像的位置關(guān)系來(lái)測(cè)量缺陷的高度方向位置。方便起見(jiàn)將該方法記作第3測(cè)量方法。圖15A是示意地表示第3測(cè)量方法的說(shuō)明圖。在第3測(cè)量方法中，例如，如圖15A所示，在玻璃基板82上，使光在與第I線性相機(jī)81a相同的一側(cè)入射，以使其反射光到達(dá)第I線性相機(jī)81a。同樣地,使光在與第2線性相機(jī)81b相同的一側(cè)入射，以使其反射光到達(dá)第2線性相機(jī)81b。另外，傳送玻璃基板82并用第I線性相機(jī)Sla及第2線性相機(jī)81b分別拍攝玻璃基板82的內(nèi)部。這樣一來(lái)，在第I線性相機(jī)81a，與第2測(cè)量方法的情況相同地捕捉到兩個(gè)像。另外，在第2線性相機(jī)Slb也捕捉到兩個(gè)像。圖15B是通過(guò)第3測(cè)量方法所拍攝到的圖像的例。在第3測(cè)量方法中，如圖15B所示，獲得一個(gè)線性相機(jī)從玻璃基板的上側(cè)拍攝到的圖像和另一個(gè)線性相機(jī)從玻璃基板的下側(cè)拍攝到的圖像。在各圖像中均分別顯現(xiàn)出兩個(gè)像。在第3測(cè)量方法中，根據(jù)從玻璃基板的上側(cè)及下側(cè)拍攝到的各圖像中的像的位置關(guān)系，計(jì)算缺陷83的高度方向位置。此外，圖15B例示在從上側(cè)拍攝的圖像中像重疊的情況。另外，關(guān)于缺陷的尺寸，對(duì)所拍攝到的圖像進(jìn)行圖像處理來(lái)測(cè)量缺陷的尺寸。此外，圖15B所示的箭頭為玻璃基板82的傳送方向。例如專利文獻(xiàn)7記載了從透明基板等的兩側(cè)拍攝圖像從而求出缺陷的高度方向位置的方法。在第2測(cè)量方法、第3測(cè)量方法中，以同一缺陷的像在圖像內(nèi)不重疊為條件，計(jì)算缺陷的高度方向位置。此外，在第3測(cè)量方法中，如圖15B所例示的那樣，在一個(gè)圖像中像重疊時(shí)，可以用另一個(gè)圖像來(lái)計(jì)算缺陷的高度方向位置。下面，表示在第2測(cè)量方法中根據(jù)所拍攝到的圖像內(nèi)的兩個(gè)像的位置關(guān)系來(lái)測(cè)量缺陷的高度方向位置的具體例。圖16是表示由線性相機(jī)拍攝被傳送的玻璃基板內(nèi)的缺陷時(shí)的位置的說(shuō)明圖。圖16的上層所示的圖是玻璃基板的側(cè)視圖，圖16的下層的左側(cè)所示的圖是與圖16的上層所示的側(cè)視圖對(duì)應(yīng)的俯視圖。另外，圖16的下層的右側(cè)所示的圖表示拍攝被傳送的玻璃基板82內(nèi)的一個(gè)缺陷83時(shí)獲得的圖像。圖16所示的側(cè)視圖及俯視圖內(nèi)所示的長(zhǎng)方形表示玻璃基板82內(nèi)的缺陷83。在本例中缺陷為一個(gè)。一個(gè)缺陷8 3與傳送的玻璃基板82 —起移動(dòng)。圖16所不的側(cè)視圖及俯視圖中，分別圖示有移動(dòng)到位置91時(shí)的缺陷83和移動(dòng)到位置92時(shí)的缺陷83。圖16所示的側(cè)視圖及俯視圖中并不是存在兩個(gè)缺陷。如圖16的上層的側(cè)視圖所示，到達(dá)線性相機(jī)81的光是從玻璃基板82的線性相機(jī)側(cè)的面入射到傳送的玻璃基板82。然后，入射的光到達(dá)與玻璃基板82的入射側(cè)相反側(cè)的界面后，經(jīng)該界面反射，通過(guò)入射側(cè)的界面到達(dá)線性相機(jī)81。到達(dá)線性相機(jī)81的光的入射角α取決于線性相機(jī)81的設(shè)置位置。通過(guò)固定線性相機(jī)81的設(shè)置位置，將入射角α確定為固定值。另外，光的折射角β取決于光的入射角α及玻璃基板82的折射率η而決定。在此，已知入射角α及折射率η，折射角β也確定為固定值。對(duì)于折射率η、入射角α及折射角β，式(I)的關(guān)系成立。n=sin a /sin β式(I)因此，若已知入射角α及折射率η，則通過(guò)對(duì)β求解式(I)來(lái)求出折射角β。另外，在圖16所示的例中，從玻璃基板82的與線性相機(jī)81相反側(cè)的面到缺陷83的高度方向位置d為測(cè)量對(duì)象。線性相機(jī)81持續(xù)對(duì)玻璃基板82的內(nèi)部進(jìn)行拍攝。缺陷83與玻璃基板82 —起向傳送方向移動(dòng)。另外，當(dāng)缺陷83移動(dòng)到與入射到玻璃基板82并經(jīng)界面反射后到達(dá)線性相機(jī)81的光的路徑的第一次的交差位置91時(shí)，線性相機(jī)81拍攝第一個(gè)像(以下記作第I像)作為缺陷83的像。進(jìn)一步，當(dāng)缺陷83移動(dòng)到與光的路徑的第二次的交差位置92時(shí)，線性相機(jī)81拍攝第二個(gè)像(以下記作第2像)作為缺陷83的像。結(jié)果，如圖16的下層的右側(cè)所示，在所拍攝到的圖像中顯現(xiàn)第I像98及第2像99。此外，當(dāng)缺陷83為透光性時(shí)，透過(guò)缺陷83的光到達(dá)線性相機(jī)81，被捕捉為像。當(dāng)缺陷83為遮光性的缺陷時(shí)，缺陷83在圖像中顯現(xiàn)為黑色的像。缺陷83無(wú)論是否為遮光性，均在移動(dòng)到位置91、92時(shí)被捕捉為像。另外，如圖16所示，使缺陷83從第I像的拍攝位置91到第2像的拍攝位置92的移動(dòng)距離為yd。另外，將線性相機(jī)81的正面方向的拍攝位置的連線稱為中心線95。更具體而言，將線性相機(jī)81的正面方向的拍攝位置的連線正投影到玻璃基板82的界面而得的直線為中心線95。基于在所拍攝到的圖像(參照?qǐng)D16的下層的右側(cè))中將第I像98及第2像99正投影到相當(dāng)于中心線95的圖像內(nèi)的線96時(shí)的像98、99的距離，能夠測(cè)量yd。

在基于圖像測(cè)量7(1的值后，通過(guò)利用折射角β計(jì)算下示的式(2)，能夠求出缺陷83的高度方向位置d。d=yd/ (2.tan β )式⑵另外，將從線性相機(jī)81朝向第I像的拍攝位置91的直線正投影到玻璃基板的界面所成的直線與中心線95所成的角設(shè)為Θ。此時(shí)，在所拍攝到的圖像(參照?qǐng)D16的下層的右側(cè))中，使通過(guò)第I像98及第2像99的各中心的直線與線96所成的角也為Θ。另外此時(shí)，可如下那樣計(jì)算tan Θ。下面，在說(shuō)明了圖16的下層的左側(cè)的俯視圖所示的y。的基礎(chǔ)上，說(shuō)明tan Θ的計(jì)算。圖16中表示了缺陷83從線性相機(jī)81的正面偏離的情況。如圖17所示，在假設(shè)缺陷83存在于線性相機(jī)81的正面時(shí)，將拍攝第2像的位置92正投影到玻璃基板82的界面的位置與將線性相機(jī)81的透鏡部分正投影到玻璃基板82的界面的位置的距離稱為攝像距離y。。但是，攝像距離Ic隨缺陷83的高度方向位置d而變化。d為最大時(shí)，攝像距離為最小值I1, d為最小時(shí)，攝像距離y。為最大值y2(參照?qǐng)D17的上層所示的側(cè)視圖)。即，Y1 ^ yc ^ y2。如此，y。嚴(yán)格來(lái)說(shuō)取決于d,但也可以例如在Y1彡y。彡y2的范圍內(nèi)預(yù)先決定yco即使y。不是正確的值，只要其為Y1 < y。< y2的范圍的值，則tan Θ僅包含可以忽略的誤差。另外，將缺陷83從線性相機(jī)的正面方向的偏離記作x?！箙⒄?qǐng)D16的下層的左側(cè))。在所拍攝到的圖像(參照?qǐng)D16的下層的右側(cè))中，能夠基于相當(dāng)于中心線95的線96到第2像99的距離來(lái)確定X。。。即，在圖像內(nèi)，對(duì)相當(dāng)于從線96到第2像99的距離的像素?cái)?shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。由于線性相機(jī)81的位置固定，因而每像素在實(shí)際空間中的距離也確定為固定值。通過(guò)將相當(dāng)于從線96到第2像99的距離的像素?cái)?shù)乘以每像素在實(shí)際空間中的距離，能夠計(jì)算X。。的長(zhǎng)度。在此，如下式(3)所示，可以利用y。及X。。以近似式來(lái)表示tan0。S卩，能夠利用及X。。通過(guò)式⑶的計(jì)算求出tan Θ。[數(shù)I]
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板,其特征在于， 設(shè)玻璃基板的板厚為τ( μ m)、從該玻璃基板的表面到該玻璃基板內(nèi)存在的氣泡的距離為D ( μ m)、上述氣泡的換算球形直徑為e ( μ m)時(shí)，距至少一個(gè)表面為T/2 ( μ m)以內(nèi)的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足:e ≤ 0.01XDL6+15o
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板,其中， 通過(guò)如下的玻璃基板檢查方法判斷為距至少上述表面為Τ/2(μπι)以內(nèi)的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足:e ≤0.01XDL6+15, 所述玻璃基板檢查方法包括以下步驟: 拍攝步驟，從光源向沿著痕紋方向傳送的玻璃基板照射光，通過(guò)在經(jīng)上述玻璃基板反射的光所到達(dá)的位置配置的拍攝單元，對(duì)上述玻璃基板進(jìn)行拍攝； 運(yùn)算步驟，基于由上述拍攝單元拍攝到的圖像內(nèi)的、由上述玻璃基板內(nèi)的同一氣泡引起的兩個(gè)相互重疊的橢圓形的像的位置關(guān)系，計(jì)算上述玻璃基板內(nèi)的上述氣泡的高度方向位置； 換算球形直徑計(jì)算步驟，計(jì)算上述氣泡的換算球形直徑e ;以及判斷步驟，判斷在由上述氣泡的高度方向位置決定的從玻璃基板的表面到氣泡的距離D和上述氣泡的換算球形直徑e之間，是否滿足e < 0.01XD16+15。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板，其中， 玻璃基板檢查方法 在運(yùn)算步驟中，計(jì)算從由同一氣泡引起的兩個(gè)相互重疊的像的外切矩形的、與相當(dāng)于玻璃基板的傳送方向的方向平行的邊的像素?cái)?shù)所對(duì)應(yīng)的在實(shí)際空間中的長(zhǎng)度減去氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長(zhǎng)度所得的值，通過(guò)所計(jì)算的上述值和上述玻璃基板內(nèi)的光的折射角來(lái)計(jì)算上述玻璃基板內(nèi)的上述氣泡的高度方向位置； 包括利用由拍攝單元拍攝到的圖像來(lái)計(jì)算氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長(zhǎng)度的步驟； 在換算球形直徑計(jì)算步驟中，設(shè)氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長(zhǎng)度為s ( μ m)、氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長(zhǎng)度為t(ym)時(shí)，通過(guò)計(jì)算(sXt2)1/3來(lái)計(jì)算該氣泡的換算球形直徑e ；以及 在判斷步驟中，判斷在由上述氣泡的高度方向位置決定的從玻璃基板的表面到氣泡的距離D和上述氣泡的換算球形直徑e之間，是否滿足e ( 0.01XD16+15， 通過(guò)上述玻璃基板檢查方法，判斷為距至少上述表面為T/2 ( μ m)以內(nèi)的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足:e ≤ 0.01XDL6+15o
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板，其中， 玻璃基板檢查方法 在運(yùn)算步驟中，根據(jù)由同一氣泡引起的兩個(gè)相互重疊的像的位置關(guān)系，利用包含與傳送方向正交的玻璃基板的寬度方向上的像的位置作為變量的、預(yù)先確定的計(jì)算式，計(jì)算上述氣泡的特征量，利用該特征量，計(jì)算從上述兩個(gè)相互重疊的像的外切矩形的、與相當(dāng)于玻璃基板的傳送方向的方向平行的邊的像素?cái)?shù)所對(duì)應(yīng)的在實(shí)際空間中的長(zhǎng)度減去氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長(zhǎng)度所得的值，通過(guò)所計(jì)算的上述值和上述玻璃基板內(nèi)的光的折射角來(lái)計(jì)算上述玻璃基板內(nèi)的上述氣泡的高度方向位置； 包括利用由拍攝單元拍攝到的圖像來(lái)計(jì)算氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長(zhǎng)度的步驟； 在換算球形直徑計(jì)算步驟中，設(shè)氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長(zhǎng)度為s(ym)、氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長(zhǎng)度為t(ym)時(shí)，通過(guò)計(jì)算(sXt2)1/3來(lái)計(jì)算該氣泡的換算球形直徑e ；以及 在判斷步驟中，判斷在由上述氣泡的高度方向位置決定的從玻璃基板的表面到氣泡的距離D和上述氣泡的換算球形直徑e之間，是否滿足e ( 0.01XD16+15， 通過(guò)上述玻璃基板檢查方法，判斷為距至少上述表面為T/2 ( μ m)以內(nèi)的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足:e ≤ 0.01XDL6+15o
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板，其中， 玻璃基板檢查方法 在運(yùn)算步驟中，根據(jù)由同一氣 泡引起的兩個(gè)相互重疊的像的位置關(guān)系，利用預(yù)先確定的計(jì)算式，作為特征量而計(jì)算氣泡的與傳送方向平行的直徑的長(zhǎng)度，并計(jì)算從上述兩個(gè)相互重疊的像的外切矩形的、與相當(dāng)于上述傳送方向的方向平行的邊的像素?cái)?shù)所對(duì)應(yīng)的在實(shí)際空間中的長(zhǎng)度減去上述直徑的長(zhǎng)度所得的值，通過(guò)所計(jì)算的上述值和上述玻璃基板內(nèi)的光的折射角，計(jì)算上述玻璃基板內(nèi)的上述氣泡的高度方向位置； 包括利用由拍攝單元拍攝到的圖像來(lái)計(jì)算氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長(zhǎng)度的步驟； 在換算球形直徑計(jì)算步驟中，設(shè)氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長(zhǎng)度為s(ym)、氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長(zhǎng)度為t(ym)時(shí)，通過(guò)計(jì)算(sXt2)1/3來(lái)計(jì)算該氣泡的換算球形直徑e ；以及 在判斷步驟中，判斷在由上述氣泡的高度方向位置決定的從玻璃基板的表面到氣泡的距離D和上述氣泡的換算球形直徑e之間，是否滿足e ( 0.01XD16+15， 通過(guò)上述玻璃基板檢查方法，判斷為距至少上述表面為T/2 ( μ m)以內(nèi)的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足:e ≤0.01XDL6+15o
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板，其中， 玻璃基板檢查方法 在運(yùn)算步驟中，利用預(yù)先確定的計(jì)算式，根據(jù)由同一氣泡引起的兩個(gè)相互重疊的像的位置關(guān)系，作為特征量而計(jì)算氣泡的兩個(gè)直徑的比，通過(guò)相當(dāng)于拍攝單元的正面方向的拍攝位置的圖像內(nèi)的線與經(jīng)過(guò)上述兩個(gè)像的各中心的線所成的角以及上述比，計(jì)算上述兩個(gè)相互重疊的像的外切矩形的、與相當(dāng)于玻璃基板的傳送方向的方向平行的邊的像素?cái)?shù)所對(duì)應(yīng)的在實(shí)際空間中的長(zhǎng)度減去氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長(zhǎng)度所得的值，通過(guò)所計(jì)算的上述值和上述玻璃基板內(nèi)的光的折射角，計(jì)算上述玻璃基板內(nèi)的上述氣泡的高度方向位置；包括利用由拍攝單元拍攝到的圖像來(lái)計(jì)算氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長(zhǎng)度的步驟； 在換算球形直徑計(jì)算步驟中，設(shè)氣泡的與上述傳送方向平行的直徑的長(zhǎng)度為S ( μ m)、氣泡的與上述傳送方向正交的方向的直徑的長(zhǎng)度為t(ym)時(shí)，通過(guò)計(jì)算(sXt2)1/3來(lái)計(jì)算該氣泡的換算球形直徑e ；以及 在判斷步驟中，判斷在由上述氣泡的高度方向位置決定的從玻璃基板的表面到氣泡的距離D和上述氣泡的換算球形直徑e之間，是否滿足e ( 0.01XD16+15， 通過(guò)上述玻璃基板檢查方法，判斷為距至少上述表面為T/2 ( μ m)以內(nèi)的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足:e 彡 0.01XDL6+15o
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6的任意一項(xiàng)所述的玻璃基板,其中， 是從通過(guò)浮法制造的玻璃帶進(jìn)行采板而得的玻璃基板，距與上述玻璃帶的底面對(duì)應(yīng)的一側(cè)的表面為Τ/2(μ m)以內(nèi)的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足:e 彡 0.01XDL6+15o
8.根據(jù)權(quán)利要求1 6的任意一項(xiàng)所述的玻璃基板,其中， 是液晶顯示面板的玻璃基板，距面向液晶側(cè)的一側(cè)的表面為Τ/2(μπι)以內(nèi)的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足:e 彡 0.01XDL6+15o
全文摘要
提供至少一個(gè)表面不會(huì)膨脹的玻璃基板。設(shè)玻璃基板(51)的板厚為T(μm)。另外，設(shè)從該玻璃基板(51)的表面(52)到玻璃基板(51)內(nèi)存在的氣泡(57)的距離為D(μm)。在設(shè)該氣泡的換算球形直徑為e(μm)時(shí)，距至少一個(gè)表面(52)為T/2(μm)以內(nèi)的層中存在的氣泡的換算球形直徑e滿足e≤0.01×D1.6+15。在玻璃基板(51)是從通過(guò)浮法制造的玻璃帶進(jìn)行采板而得的玻璃基板的情況下，以與玻璃基板的底面對(duì)應(yīng)的面為基準(zhǔn)來(lái)確定到氣泡(57)的距離D。
文檔編號(hào)G01N21/896GK103250046SQ201180059400
公開(kāi)日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2011年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月9日
發(fā)明者樋口誠(chéng)彥, 楜澤信, 藤井信治 申請(qǐng)人:旭硝子株式會(huì)社