陶瓷電阻式壓力傳感器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種陶瓷電阻式壓力傳感器，包括殼體、彈性蓋、感應(yīng)片、引出導(dǎo)線、陶瓷膜片和陶瓷基座，所述陶瓷基座分別設(shè)置于所述殼體底部的兩端，所述陶瓷膜片的兩端分別固定于所述陶瓷基座上，所述陶瓷膜片的兩端分別設(shè)置有絕緣套，所述感應(yīng)片位于所述陶瓷膜片的上表面。傳感器的膜片采用陶瓷膜片，陶瓷膜片在受力發(fā)生小撓度變形時(shí)，電阻與壓力近似成線性函數(shù)關(guān)系，當(dāng)被測(cè)壓力超過(guò)量程一定值后，兩電極發(fā)生接觸，有效地保護(hù)了彈性膜片免受損壞。此外，陶瓷膜片具有抗腐蝕、耐高溫等優(yōu)點(diǎn)，彌補(bǔ)了硅壓力傳感器的上述缺點(diǎn)，可用于高溫、腐蝕等特殊環(huán)境下。
【專(zhuān)利說(shuō)明】陶瓷電阻式壓力傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種壓力傳感器，特別是涉及一種陶瓷電阻式壓力傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器，而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的，這樣的傳感器也稱(chēng)為壓電傳感器。
[0003]晶體是各向異性的，非晶體是各向同性的。某些晶體介質(zhì)，當(dāng)沿著一定方向受到機(jī)械力作用發(fā)生變形時(shí)，就產(chǎn)生了極化效應(yīng)；當(dāng)機(jī)械力撤掉之后，又會(huì)重新回到不帶電的狀態(tài)，也就是受到壓力的時(shí)候，某些晶體可能產(chǎn)生出電的效應(yīng)，這就是所謂的極化效應(yīng)。通過(guò)以上原理研制出了壓力傳感器。
[0004]壓力傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英，石英(二氧化硅)是一種天然晶體，壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的，在一定的溫度范圍之內(nèi)，壓電性質(zhì)一直存在，但溫度超過(guò)這個(gè)范圍之后，壓電性質(zhì)完全消失，由于硅材料本身的限制，使其無(wú)法用于高溫或腐蝕等環(huán)境中。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是為了解決上述問(wèn)題而提供一種具有抗腐蝕、耐高溫、過(guò)載負(fù)荷大、制作簡(jiǎn)單的陶瓷電阻式壓力傳感器。
[0006]本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
一種陶瓷電阻式壓力傳感器，包括殼體、彈性蓋、感應(yīng)片、引出導(dǎo)線、陶瓷膜片和陶瓷基座，所述陶瓷基座分別設(shè)置于所述殼體底部的兩端，所述陶瓷膜片的兩端分別固定于所述陶瓷基座上，所述陶瓷膜片的兩端分別設(shè)置有絕緣套，所述感應(yīng)片位于所述陶瓷膜片的上表面。
[0007]作為本發(fā)明的優(yōu)選是，所述感應(yīng)片采用電阻片，所述電阻片的個(gè)數(shù)為4個(gè)。
[0008]作為本發(fā)明的優(yōu)選是，所述感應(yīng)片分別位于所述陶瓷膜片的四個(gè)頂角，所述感應(yīng)片與所述陶瓷膜片的長(zhǎng)邊之間的夾角為45°
作為本發(fā)明的優(yōu)選是，所述絕緣套為玻璃絕緣套。
[0009]
本發(fā)明的有益效果是:
傳感器的膜片采用陶瓷膜片，陶瓷膜片在受力發(fā)生小撓度變形時(shí)，電阻與壓力近似成線性函數(shù)關(guān)系，當(dāng)被測(cè)壓力超過(guò)量程一定值后，兩電極發(fā)生接觸，有效地保護(hù)了彈性膜片免受損壞。此外，陶瓷膜片具有抗腐蝕、耐高溫等優(yōu)點(diǎn)，彌補(bǔ)了硅壓力傳感器的上述缺點(diǎn)，可用于高溫、腐蝕等特殊環(huán)境下。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是本發(fā)明陶瓷電阻式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。[0011]圖2是本發(fā)明陶瓷電阻式壓力傳感器感應(yīng)片的安裝示意圖。
[0012]圖中:1-殼體，2-彈性蓋，3-陶瓷膜片，4-陶瓷基座，5-絕緣套，6-引出導(dǎo)線，7-感應(yīng)片。
[0013]
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明:
如圖1所示，本發(fā)明陶瓷電阻式壓力傳感器，包括殼體1、彈性蓋2、感應(yīng)片7、引出導(dǎo)線
6、陶瓷膜片4和陶瓷基座4，陶瓷基座4分別設(shè)置于殼體I底部的兩端，陶瓷膜片3的兩端分別固定于陶瓷基座4上，陶瓷膜片3的兩端分別設(shè)置有絕緣套5，感應(yīng)片7位于陶瓷膜片3的上表面。
[0015]如圖2所示，感應(yīng)片7采用電阻片，感應(yīng)片7的個(gè)數(shù)為4個(gè)。感應(yīng)片7分別位于陶瓷膜片3的四個(gè)頂角，感應(yīng)片7與陶瓷膜片3的長(zhǎng)邊之間的夾角為45°。在實(shí)施例中，絕緣套5為玻璃絕緣套。
[0016]陶瓷電阻式壓力傳感器采用陶瓷膜片3，在陶瓷膜片3的兩端燒結(jié)了陶瓷基座4，以消除溫度對(duì)輸出信號(hào)的影響。同時(shí)，在陶瓷膜片3上再燒結(jié)絕緣套防止電極接觸時(shí)漏電。當(dāng)被測(cè)壓力作用在傳感器的陶瓷膜片上時(shí)，陶瓷膜片3發(fā)生變形，使極板的間距發(fā)生變化，導(dǎo)致傳感器的電阻發(fā)生變化，通過(guò)測(cè)量電路的電阻變化即可計(jì)算出傳感器所受壓力的改變，進(jìn)而測(cè)量出壓力，再通過(guò)處理電路，將電阻的變化轉(zhuǎn)化為0.5V?5V輸出電壓信號(hào)。
【權(quán)利要求】
1.一種陶瓷電阻式壓力傳感器，包括殼體、彈性蓋、感應(yīng)片和引出導(dǎo)線，其特征在于:還包括陶瓷膜片和陶瓷基座，所述陶瓷基座分別設(shè)置于所述殼體底部的兩端，所述陶瓷膜片的兩端分別固定于所述陶瓷基座上，所述陶瓷膜片的兩端分別設(shè)置有絕緣套，所述感應(yīng)片位于所述陶瓷膜片的上表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷電阻式壓力傳感器，其特征在于:所述感應(yīng)片采用電阻片，所述電阻片的個(gè)數(shù)為4個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷電阻式壓力傳感器，其特征在于:所述感應(yīng)片分別位于所述陶瓷膜片的四個(gè)頂角，所述感應(yīng)片與所述陶瓷膜片的長(zhǎng)邊之間的夾角為45°。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷電阻式壓力傳感器，其特征在于:所述絕緣套為玻璃絕緣套。
【文檔編號(hào)】G01L9/06GK103575430SQ201210278152
【公開(kāi)日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2012年8月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月7日
【發(fā)明者】謝淑穎 申請(qǐng)人:成都達(dá)瑞斯科技有限公司