專利名稱：一種半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于電力半導(dǎo)體器件測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。具體涉及一種可廣泛用于半導(dǎo)體功率器件選型測(cè)試的半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具。
背景技術(shù)：
目前，電力半導(dǎo)體器件向高壓領(lǐng)域發(fā)展。介于單只半導(dǎo)體功率器件耐壓技術(shù)瓶頸，多采用多只器件串聯(lián)。由于單只器件的特性曲線并不完全一致，緊緊依靠特性參數(shù)選型，不能完全驗(yàn)證器件在不同工況串聯(lián)使用是否特性一致。故需要將使用的多只器件串聯(lián)起來在實(shí)際應(yīng)用的工況下驗(yàn)證其動(dòng)靜態(tài)均壓特性。由于高壓半導(dǎo)體功率器件實(shí)際多為高壓大電流應(yīng)用領(lǐng)域，器件需施加規(guī)定的壓力和安裝動(dòng)靜態(tài)均壓系統(tǒng)后方可使用。所以開發(fā)一種可提高工作效率的半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具，解決閥組安裝不方便、效率低下的問題。
發(fā)明內(nèi)容為解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種可提高工作效率的半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具，其結(jié)構(gòu)可以過載高壓和大電流，并采用氣動(dòng)的方式實(shí)現(xiàn)器件的快速壓接到規(guī)定的壓力要求。從而保護(hù)被測(cè)半導(dǎo)體功率器件，減少安裝沖擊力。本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是一種半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具，其特征在于包括氣缸、螺桿、螺母、導(dǎo)電電極、上壓板、下壓板、上底板、下底板、支撐柱、長(zhǎng)連接板和短連接板；所述上底板與下底板之間通過螺桿、螺母連接成框架，支撐柱連接在螺桿之間，下底板固定在氣缸上；所述上壓板固定在上底板上，下壓板固定在氣缸的工作活塞上；在所述上壓板與下壓板之間設(shè)有電極支撐板組，電極支撐板上設(shè)有導(dǎo)電電極；所述長(zhǎng)連接板與短連接板構(gòu)成伸縮式鉸鏈結(jié)構(gòu)，分設(shè)于支撐板組兩側(cè)，并與支撐板組中各支撐板對(duì)應(yīng)連接；所述上底板為絕緣底板。本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案中所述的下壓板與氣缸工作活塞的中心位置安裝有軸承滾珠。本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案中所述的長(zhǎng)連接板與長(zhǎng)連接板中間鉸接、并固定在支撐板的兩側(cè)構(gòu)成一層鉸鏈結(jié)構(gòu)；相鄰層鉸鏈結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)連接板端部相互鉸接，構(gòu)成伸縮式鉸鏈結(jié)構(gòu)；上端的長(zhǎng)連接板端部分別通過鉸結(jié)的短連接板鉸接在上壓板上，下端的長(zhǎng)連接板端部分別通過鉸接的短連接板鉸結(jié)在下壓板上。本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案中所述的支撐板組為2-11個(gè)帶導(dǎo)電電極的支撐板。本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案中所述的相鄰支撐板的導(dǎo)電電極間配有動(dòng)靜態(tài)吸收系統(tǒng)接口。本實(shí)用新型由于采用由氣缸、螺桿、螺母、導(dǎo)電電極、上壓板、下壓板、上底板、下底板、支撐柱、長(zhǎng)連接板和短連接板構(gòu)成的一種半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具，其中，上底板與下底板之間通過螺桿、螺母連接成框架，支撐柱連接在螺桿之間，下底板固定在氣缸上，上壓板固定在上底板上，下壓板固定在氣缸的工作活塞上，上壓板與下壓板之間設(shè)有電極支撐板組，電極支撐板上設(shè)有導(dǎo)電電極，長(zhǎng)連接板與短連接板構(gòu)成伸縮式鉸鏈結(jié)構(gòu)，分設(shè)于支撐板組兩側(cè)，并與支撐板組中各支撐板對(duì)應(yīng)連接，上底板為絕緣底板，因而測(cè)試時(shí)，將待測(cè)試器件分別放入各層支撐板上，啟動(dòng)氣缸使活塞推動(dòng)下壓板向上移動(dòng)，各層間均勻間隔作用，至所安裝的所有半導(dǎo)體器件面面接觸，然后施加固定的緊固壓力將半導(dǎo)體功率器件壓緊，便可進(jìn)行測(cè)試。本實(shí)用新型由于上底板為高強(qiáng)度環(huán)氧結(jié)構(gòu)，因而可提高夾具絕緣性能，防止框架回路在大電流下產(chǎn)生感應(yīng)電流。本實(shí)用新型支撐板組由于可能為2-11個(gè)帶導(dǎo)電電極的支撐板，因而可測(cè)試ι- ο只半導(dǎo)體功率器件，支撐板起支撐和限位作用。本實(shí)用新型由于在下壓板與氣缸工作活塞的中心位置安裝有軸承滾珠，可矯正各層面接觸后的傾斜，起自動(dòng)找平的效果。本實(shí)用新型由于每層電極間配有動(dòng)靜態(tài)吸收系統(tǒng)接口，可配置不同參數(shù)動(dòng)靜態(tài)吸收系統(tǒng)。本實(shí)用新型由于在相鄰支撐板的導(dǎo)電電極間配有動(dòng)靜態(tài)吸收系統(tǒng)接口，因而每層導(dǎo)電電極可獨(dú)立輸出。本實(shí)用新型具有可提高工作效率、可過載高壓和大電流、可快速壓接到規(guī)定的壓力要求、減少安裝沖擊力的特點(diǎn)。本實(shí)用新型主要用于半導(dǎo)體功率器件選型的測(cè)試夾具。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1的部分結(jié)構(gòu)左視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述。如圖1、圖2所示。本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具由氣缸1、框架、螺桿3、螺母4、軸承滾珠5、導(dǎo)電電極7、下壓板6、上壓板10、下底板2、上底板12、絕緣塊11、支撐柱8、長(zhǎng)連接板13、短連接板14、動(dòng)靜態(tài)均壓系統(tǒng)接口 9組成。上底板12與下底板2之間通過四角的4根螺桿3及配合的螺母4連接成框架，支撐柱8連接在螺桿3之間，下底板2固定在氣缸I上。上底板為高強(qiáng)度環(huán)氧結(jié)構(gòu)的絕緣底板，可提高夾具絕緣性能，防止框架回路在大電流下產(chǎn)生感應(yīng)電流。上壓板10固定在上底板12上，下壓板6固定在氣缸I的工作活塞上。下壓板6與氣缸I工作活塞的中心位置安裝有軸承滾珠5，在施加壓力過程中，由于下壓板、各電極、支撐板、上壓板、及被測(cè)試功率器件如工藝原因或者安裝的精度等出現(xiàn)問題而導(dǎo)致的各層面不水平、壓力出現(xiàn)偏執(zhí)時(shí)，可矯正各層面接觸后的傾斜，起自動(dòng)找平的效果。在上壓板10與下壓板6之間設(shè)有電極支撐板組，電極支撐板上設(shè)有導(dǎo)電電極7。支撐板組為2-11個(gè)帶導(dǎo)電電極的支撐板，可測(cè)試1-10只半導(dǎo)體閥片的功率測(cè)試，支撐板起支撐和限位作用，每層導(dǎo)電電極可獨(dú)立輸出，支撐板支撐時(shí)，兩極板間隙>40cm，限位時(shí)兩極板間隙<20cm。相鄰支撐板的導(dǎo)電電極間配有動(dòng)靜態(tài)吸收系統(tǒng)接口，可配置不同參數(shù)動(dòng)靜態(tài)吸收系統(tǒng)，每層導(dǎo)電電極可獨(dú)立輸出。長(zhǎng)連接板13與長(zhǎng)連接板13中間通過軸鉸接，該軸固定在支撐板的側(cè)端，構(gòu)成一層鉸鏈結(jié)構(gòu)。相鄰層鉸鏈結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)連接板13端部相互鉸接，構(gòu)成伸縮式鉸鏈結(jié)構(gòu)，分設(shè)于支撐板組兩側(cè)。上端的長(zhǎng)連接板13端部分別通過鉸接的短連接板14鉸結(jié)接在上壓板10上，下端的長(zhǎng)連接板13端部分別通過鉸接的短連接板14鉸接在下壓板6上。支撐柱8可使各電極間上下均勻，各層間均勻間隔作用，二輔助支撐板起上下限位作用。氣動(dòng)裝置設(shè)有緩沖設(shè)計(jì)，氣缸上升有兩路電磁閥控制，一路電磁閥控制較小的壓力使被測(cè)器件緩慢接觸。器件接觸后另一路電磁閥控制氣缸施加規(guī)定壓力。首先工作時(shí)，活塞推動(dòng)下壓板11向上移動(dòng)，首先施加一小壓力降各半導(dǎo)體功率器件緩慢接觸，至所安裝的所有半導(dǎo)體器件面面接觸，然后施加固定的緊固壓力將半導(dǎo)體功率器件壓緊。本實(shí)用新型可測(cè)試管殼為平板型的整流二極管、快恢復(fù)二極管、門極可關(guān)斷晶閘管、雙向晶閘管、相控晶閘管、快速晶閘管、光控晶閘管等電力半導(dǎo)體器件中任意一種。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具，其特征在于包括氣缸(I)、螺桿(3)、螺母(4)、導(dǎo)電電極(7)、上壓板(10)、下壓板(6)、上底板(12)、下底板(2)、支撐柱(8)、長(zhǎng)連接板(13)和短連接板(14);所述上底板(12)與下底板(2)之間通過螺桿(3)、螺母(4)連接成框架，支撐柱(8 )連接在螺桿(3 )之間，下底板(2 )固定在氣缸(I)上；所述上壓板(10 )通過絕緣塊 (11)固定在上底板(2 )上，下壓板(6 )固定在氣缸(I)的工作活塞上；在所述上壓板(10 )與下壓板(6)之間設(shè)有電極支撐板組，電極支撐板上設(shè)有導(dǎo)電電極(7);所述長(zhǎng)連接板(13)與短連接板構(gòu)(14)成伸縮式鉸鏈結(jié)構(gòu)，分設(shè)于支撐板組兩側(cè)，并與支撐板組中各支撐板對(duì)應(yīng)連接；所述上底板(12)為絕緣底板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具，其特征在于所述的下壓板 (6)與氣缸(I)工作活塞的中心位置安裝有軸承滾珠(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具，其特征在于所述的長(zhǎng)連接板與長(zhǎng)連接板中間鉸接、并固定在支撐板的兩側(cè)構(gòu)成一層鉸鏈結(jié)構(gòu)；相鄰層鉸鏈結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)連接板端部相互鉸接，構(gòu)成伸縮式鉸鏈結(jié)構(gòu)；上端的長(zhǎng)連接板端部分別通過鉸結(jié)的短連接板鉸接在上壓板上，下端的長(zhǎng)連接板端部分別通過鉸接的短連接板(14)鉸結(jié)在下壓板(6)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具，其特征在于所述的支撐板組為2-11個(gè)帶導(dǎo)電電極(7)的支撐板和支撐柱(8)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具，其特征在于所述的相鄰支撐板的導(dǎo)電電極(7)間配有動(dòng)靜態(tài)吸收系統(tǒng)接口。
專利摘要本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體功率器件測(cè)試夾具，屬于電力半導(dǎo)體器件測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。它主要是解決現(xiàn)有半導(dǎo)體功率器件測(cè)試中安裝不方便、效率低下的問題。它的主要特征是包括氣缸，螺桿，螺母，導(dǎo)電電極，上、下壓板，上、下底板，支撐柱，長(zhǎng)、短連接板；上、下底板之間通過螺桿、螺母連接成框架，下底板固定在氣缸上；上壓板固定在上底板上，下壓板固定在活塞上；上壓板與下壓板之間設(shè)有電極支撐板組，電極支撐板上設(shè)有導(dǎo)電電極；長(zhǎng)、短連接板構(gòu)成伸縮式鉸鏈結(jié)構(gòu)，分設(shè)于支撐板組兩側(cè)。本實(shí)用新型具有可提高工作效率、可過載高壓和大電流、可快速壓接到規(guī)定的壓力要求、減少安裝沖擊力的特點(diǎn)，主要用于半導(dǎo)體功率器件選型的測(cè)試夾具。
文檔編號(hào)G01R1/04GK202886417SQ201220591248
公開日2013年4月17日 申請(qǐng)日期2012年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月12日
發(fā)明者鄒宗林, 肖彥, 黃 俊, 可家軍, 曾慶泉 申請(qǐng)人:湖北臺(tái)基半導(dǎo)體股份有限公司