專利名稱：一種光束檢測(cè)儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光束檢測(cè)儀，用于激光加工領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在光機(jī)設(shè)備裝調(diào)過程中經(jīng)常需要檢測(cè)光束的位置及光束截面的形狀，而目前采用的檢測(cè)方式是通過一平面反射鏡將光束所成的像反射至CXD模塊，如圖1所示。光束I經(jīng)過45度反射鏡反射后，經(jīng)過聚焦鏡頭4，入射到CXD芯片，CXD檢測(cè)模塊3將CXD芯片輸出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)后輸入到數(shù)據(jù)處理器10做進(jìn)一步分析運(yùn)算，并將計(jì)算的結(jié)果和采集的圖像信息顯示到顯示器9上。這個(gè)檢測(cè)方式直接將光斑成像，雖然檢測(cè)速度較快，但是光斑成像不清晰，檢測(cè)精度較低。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)上述問題，提出一種利用半透半反鏡片成像的光束檢測(cè)儀。具體如下:包括:C⑶模塊、聚焦鏡頭，沿光線傳播方向依次設(shè)置半透半反鏡片、光屏，半透半反鏡片的平面與光線呈45度放置，光屏的平面與光束垂直，其一端與半透半反鏡片的一端相接；光線透過半透半反鏡片照射到光屏上，經(jīng)過光屏的反射后，再經(jīng)過半透半反鏡片反射，由聚焦鏡頭將光線會(huì)聚到CCD模塊上。進(jìn)一步地,光屏上帶有分劃刻度。進(jìn)一步地，CXD模塊內(nèi)部具有與CXD芯片，光線會(huì)聚到CXD芯片上。進(jìn)一步地，CXD模塊上具有一 C⑶輸出接口。進(jìn)一步地，還包括數(shù)據(jù)線、數(shù)據(jù)處理器、顯示器；C⑶輸出接口將CXD模塊中的光線信號(hào)經(jīng)過數(shù)據(jù)線，輸出至數(shù)據(jù)處理器運(yùn)算，運(yùn)算的結(jié)果和采集的圖像信息顯示到顯示器上。本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型提出的利用半透半反鏡片的檢測(cè)儀提高了成像清晰度，提高檢測(cè)精度。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的光束檢測(cè)儀結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型的光束檢測(cè)儀結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實(shí)用新型的光束檢測(cè)儀中光屏8的俯視圖。
具體實(shí)施方式
如圖2所示，該光束檢測(cè)儀O包括:半透半反鏡片2、CXD模塊3、聚焦鏡頭4、光屏
8。C⑶模塊3中具有一 CXD芯片。半透半反鏡片2的平面與光線方向呈45度夾角，光線I透過半透半反鏡片2照射到光屏8上，經(jīng)過光屏8的反射后，光線5經(jīng)過半透半反鏡片2反射，由聚焦鏡頭4將光線會(huì)聚到CCD芯片7上。光屏8是一個(gè)帶有分劃刻度13的漫反射板(如圖3所示，12是光斑)，反射到CXD芯片7上的光線中攜帶了分劃刻度和光束兩部分的信息，該信息經(jīng)過CCD模塊3內(nèi)部運(yùn)算后經(jīng)由C⑶輸出接口 6和數(shù)據(jù)線11進(jìn)入數(shù)據(jù)處理器10做進(jìn)一步分析運(yùn)算，并將計(jì)算的結(jié)果和采集的圖像信息顯示到顯示器9上。由于在光屏8上帶有分劃刻度，可以不經(jīng)過處理器的運(yùn)算計(jì)算即可人工判斷光束的位置信息。
權(quán)利要求1.一種光束檢測(cè)儀，包括:CCD模塊(3)、聚焦鏡頭(4)，其特征在于:沿光線傳播方向依次設(shè)置半透半反鏡片(2)、光屏(8)，半透半反鏡片(2)的平面與光線呈45度放置，光屏(8)的平面與光束垂直，其一端與半透半反鏡片(2)的一端相接；光線(I)透過半透半反鏡片(2)照射到光屏(8)上，經(jīng)過光屏(8)的反射后，再經(jīng)過半透半反鏡片(2)反射，由聚焦鏡頭(4)將光線會(huì)聚到CCD模塊(3)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光束檢測(cè)儀，其特征在于:光屏(8)上帶有分劃刻度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光束檢測(cè)儀，其特征在于:CCD模塊(3)內(nèi)部具有與CCD芯片，光線會(huì)聚到CXD芯片上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光束檢測(cè)儀，其特征在于:CCD模塊(3)上具有一CCD輸出接口(6)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光束檢測(cè)儀，其特征在于:還包括數(shù)據(jù)線(11)、數(shù)據(jù)處理器(10)、顯示器(9) ;CCD輸出接口(6)將CCD模塊(3)中的光線信號(hào)經(jīng)過數(shù)據(jù)線(11)，輸出至數(shù)據(jù)處理器(10)運(yùn)算，運(yùn)算的結(jié)果和采集的圖像信息顯示到顯示器(9)上。
專利摘要一種光束檢測(cè)儀，包括CCD模塊(3)、聚焦鏡頭(4)，沿光線傳播方向依次設(shè)置半透半反鏡片(2)、光屏(8)，半透半反鏡片(2)的平面與光線呈45度放置，光屏(8)的平面與光束垂直，其一端與半透半反鏡片(2)的一端相接；光線(1)透過半透半反鏡片(2)照射到光屏(8)上，經(jīng)過光屏(8)的反射后，再經(jīng)過半透半反鏡片(2)反射，由聚焦鏡頭(4)將光線會(huì)聚到CCD模塊(3)上。本實(shí)用新型提出的利用半透半反鏡片的檢測(cè)儀提高了成像清晰度，提高檢測(cè)精度。
文檔編號(hào)G01B11/00GK202994090SQ20122072491
公開日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2012年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月24日
發(fā)明者武杰杰, 趙華龍, 楊小君 申請(qǐng)人:中科中涵激光設(shè)備(福建)股份有限公司