專利名稱：一種內(nèi)封結(jié)構(gòu)機(jī)油mems壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種汽車壓力傳感器，特別涉及一種用MEMS技術(shù)研制的體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、低成本的機(jī)油壓力傳感器。
背景技術(shù)：
汽車傳感器作為汽車電子控制系統(tǒng)的信息源，是汽車電子控制系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，也是汽車電子技術(shù)領(lǐng)域研究的核心內(nèi)容之一。汽車傳感器對(duì)溫度、壓力、位置、轉(zhuǎn)速、加速度和振動(dòng)等各種信息進(jìn)行實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確的測(cè)量和控制。衡量現(xiàn)代高級(jí)轎車控制系統(tǒng)水平的關(guān)鍵就在于其傳感器的數(shù)量和水平。從半導(dǎo)體集成電路技術(shù)發(fā)展而來(lái)的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)日漸成熟，利用這一技術(shù)可以制作各種微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實(shí)現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，非常適合在汽車上應(yīng)用。由于MEMS傳感器具有不可替代的優(yōu)勢(shì)，傳統(tǒng)的汽車用壓力傳感器將逐步被其所代替。MEMS汽車發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油與ABS壓力傳感器按目前需求國(guó)內(nèi)逐年遞增，隨著國(guó)內(nèi)MEMS汽車壓力傳感器技術(shù)的成熟，具有微型化、低功耗、高靈敏度、高可靠性等特點(diǎn)的MEMS壓力傳感器，將會(huì)是全球汽車傳感器市場(chǎng)產(chǎn)品需求的熱點(diǎn)。目前，可以提供汽車MEMS壓力傳感器的主要以國(guó)外公司為主，有美國(guó)凱樂爾、特種測(cè)量、SS1、菲爾科、德州儀器、德國(guó)Bosch、日本電裝等公司，年產(chǎn)量在200萬(wàn)只以上。國(guó)外Motorola、InfineoruGE等國(guó)際知名公司開發(fā)生產(chǎn)的汽車MEMS壓力傳感器大多采用疊娃技術(shù)，體硅工藝等工藝技術(shù)，具有靈敏度高，精度高等特點(diǎn)，量程50到1400KPa，精度0.03%FS，但在某些方面還存在制作工藝復(fù)雜，高精度的電容式壓力傳感器容易受環(huán)境干擾，且容易受到環(huán)境的污染以及多信號(hào)之間干擾等問(wèn)題。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的MEMS壓力傳感器的內(nèi)部連接件與殼體之間采用在連接件的側(cè)面密封，而且只是單層密封圈的結(jié)構(gòu)，密封效果較差。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種內(nèi)封結(jié)構(gòu)機(jī)油MEMS壓力傳感器，解決傳感器殼體與連接件之間采用側(cè)密封，進(jìn)而帶來(lái)密封性差的問(wèn)題。本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種內(nèi)封結(jié)構(gòu)機(jī)油MEMS壓力傳感器，包括殼體、連接件，所述連接件安裝在殼體的內(nèi)部，所述連接件與殼體的接觸面之間設(shè)有兩個(gè)同心的環(huán)切凹槽，在內(nèi)側(cè)的環(huán)切凹槽內(nèi)鑲嵌有第一環(huán)形密封圈，在外側(cè)的環(huán)切凹槽內(nèi)鑲嵌有第二環(huán)形密封圈，所述第二環(huán)形密封圈的直徑大于第一環(huán)形密封圈的直徑，第一環(huán)形密封圈和第二環(huán)形密封圈的截面均為橢圓形。進(jìn)一步的，還包括壓環(huán)，所述壓環(huán)與殼體之間通過(guò)螺紋連接，連接件的最大直徑小于壓環(huán)的最大直徑，壓環(huán)的內(nèi)端面頂緊連接件的外端面。本實(shí)用新型通過(guò)在連接件與殼體的接觸面上設(shè)有兩道密封結(jié)構(gòu)，可以起到很好的密封效果，而通過(guò)外部壓環(huán)的作用，可以加強(qiáng)密封效果。

下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。圖1是現(xiàn)有技術(shù)機(jī)油壓力傳感器的結(jié)構(gòu)圖。圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的內(nèi)封結(jié)構(gòu)機(jī)油MEMS壓力傳感器的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
如圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例所述的內(nèi)封結(jié)構(gòu)機(jī)油MEMS壓力傳感器，包括殼體
1、連接件2，所述連接件2安裝在殼體I的內(nèi)部，所述連接件2與殼體的接觸面之間設(shè)有兩個(gè)同心的環(huán)切凹槽，在內(nèi)側(cè)的環(huán)切凹槽內(nèi)鑲嵌有第一環(huán)形密封圈3，在外側(cè)的環(huán)切凹槽內(nèi)鑲嵌有第二環(huán)形密封圈4，所述第二環(huán)形密封圈4的直徑大于第一環(huán)形密封圈3的直徑，第一環(huán)形密封圈3和第二環(huán)形密封圈4的截面均為橢圓形。進(jìn)一步的，還包括壓環(huán)5，所述壓環(huán)5與殼體I之間通過(guò)螺紋連接，連接件2的最大直徑小于壓環(huán)5的最大直徑，壓環(huán)5的內(nèi)端面頂緊連接件2的外端面。本實(shí)用新型通過(guò)在連接件與殼體的接觸面上設(shè)有兩道密封結(jié)構(gòu)，可以起到很好的密封效果，而通過(guò)外部壓環(huán)的作用，可以加強(qiáng)密封效果。
權(quán)利要求1.一種內(nèi)封結(jié)構(gòu)機(jī)油MEMS壓力傳感器，其特征在于，包括殼體、連接件，所述連接件安裝在殼體的內(nèi)部，所述連接件與殼體的接觸面之間設(shè)有兩個(gè)同心的環(huán)切凹槽，在內(nèi)側(cè)的環(huán)切凹槽內(nèi)鑲嵌有第一環(huán)形密封圈，在外側(cè)的環(huán)切凹槽內(nèi)鑲嵌有第二環(huán)形密封圈，所述第二環(huán)形密封圈的直徑大于第一環(huán)形密封圈的直徑，第一環(huán)形密封圈和第二環(huán)形密封圈的截面均為橢圓形。
2.如權(quán)利要求1所述的內(nèi)封結(jié)構(gòu)機(jī)油MEMS壓力傳感器，其特征在于，還包括壓環(huán)，所述壓環(huán)與殼體之間通過(guò)螺紋連接，連接件的最大直徑小于壓環(huán)的最大直徑，壓環(huán)的內(nèi)端面頂緊連接件的外端面。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種內(nèi)封結(jié)構(gòu)機(jī)油MEMS壓力傳感器，包括殼體、連接件，所述連接件安裝在殼體的內(nèi)部，所述連接件與殼體的接觸面之間設(shè)有兩個(gè)同心的環(huán)切凹槽，在內(nèi)側(cè)的環(huán)切凹槽內(nèi)鑲嵌有第一環(huán)形密封圈，在外側(cè)的環(huán)切凹槽內(nèi)鑲嵌有第二環(huán)形密封圈，所述第二環(huán)形密封圈的直徑大于第一環(huán)形密封圈的直徑，第一環(huán)形密封圈和第二環(huán)形密封圈的截面均為橢圓形。本實(shí)用新型通過(guò)在連接件與殼體的接觸面上設(shè)有兩道密封結(jié)構(gòu)，可以起到很好的密封效果，而通過(guò)外部壓環(huán)的作用，可以加強(qiáng)密封效果。
文檔編號(hào)G01L19/00GK203011605SQ20122074071
公開日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2012年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月31日
發(fā)明者鄭詩(shī)良 申請(qǐng)人:江蘇奧力威傳感高科股份有限公司