專利名稱：感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用設(shè)置于轉(zhuǎn)子和定子的布線間的磁通耦合來測量物體的旋轉(zhuǎn)角的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器。
背景技術(shù)：
旋轉(zhuǎn)編碼器具備配置有發(fā)送線圈和接收線圈的定子以及配置有能夠與這些線圈發(fā)生磁通耦合的磁通耦合體的轉(zhuǎn)子(參照US7，385，389)。在將旋轉(zhuǎn)編碼器應(yīng)用于測微器(micrometer)等手動工具的情況下，需要將產(chǎn)生波長不同的信號的多個磁道(發(fā)送線圈、接收線圈以及磁通耦合體)匯總來減小其外徑。另外，在感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器中，為了測量絕對位置，需要至少兩個磁道以上的磁道(參照US7，385，389)。然而，當(dāng)如US7, 385，389所記載的裝置那樣兩個磁道被配置成同心圓狀時，感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器的外徑變大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器的特征在于，具備:定子；轉(zhuǎn)子，其配置成能夠以旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)且與上述定子相對；發(fā)送線圈，其以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于上述定子；第一接收線圈和第二接收線圈，該第一接收線圈和第二接收線圈沿著上述發(fā)送線圈以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于上述定子；以及第一磁通耦合體和第二磁通耦合體，該第一磁通耦合體和第二磁通耦合體以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于上述轉(zhuǎn)子，分別與上述發(fā)送線圈 、上述第一接收線圈及上述第二接收線圈發(fā)生磁通耦合，其中，上述第一接收線圈和上述第一磁通耦合體形成具有在上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以第一間距周期性地變化的形狀的第一磁道，上述第二接收線圈和上述第二磁通耦合體形成具有在上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以與上述第一間距不同的第二間距周期性地變化的形狀的第二磁道，上述第一接收線圈和上述第二接收線圈在上述旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第一絕緣層層疊形成，上述第一磁通耦合體和上述第二磁通耦合體在上述旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第二絕緣層層疊形成。另外，本發(fā)明所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器具備:定子；轉(zhuǎn)子，其配置成能夠以旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)且與定子相對；第一發(fā)送線圈和第二發(fā)送線圈，該第一發(fā)送線圈以旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于定子，該第二發(fā)送線圈以旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成在第一發(fā)送線圈的內(nèi)周側(cè)；第一接收線圈和第二接收線圈，該第一接收線圈和第二接收線圈沿著發(fā)送線圈以旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于定子；以及第一磁通耦合體和第二磁通耦合體，該第一磁通耦合體和第二磁通耦合體以旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于轉(zhuǎn)子，分別與第一發(fā)送線圈、第二發(fā)送線圈、第一接收線圈及第二接收線圈發(fā)生磁通耦合。第一接收線圈和第一磁通耦合體形成具有在轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以第一間距周期性地變化的形狀的第一磁道，第二接收線圈和第二磁通耦合體形成具有在轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以與第一間距不同的第二間距周期性地變化的形狀的第二磁道。另外，第一接收線圈和第二接收線圈在旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第一絕緣層層疊形成，第一磁通耦合體和第二磁通耦合體在旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第二絕緣層層疊形成。并且，上述的第一磁通耦合體具有以第一間距變化的齒輪狀的第一電流路徑和將第一電流路徑的內(nèi)周側(cè)進(jìn)行連接的環(huán)狀的第二電流路徑，第二磁通耦合體具有環(huán)狀的第三電流路徑和外周側(cè)被第三電流路徑所連接的以第二間距變化的齒輪狀的第四電流路徑。在上述結(jié)構(gòu)中，第一接收線圈和第二接收線圈以及第一磁通耦合體和第二磁通耦合體在旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上層疊形成，因此能夠?qū)⒔^對位置檢測型的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器構(gòu)成為小型。另外，由于將第一發(fā)送線圈和第二發(fā)送線圈獨立地構(gòu)成，因此能夠通過容易的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)。并且，由于在第一磁通耦合體和第二磁通耦合體中分別設(shè)置有與第一接收線圈和第二接收線圈強(qiáng)烈地發(fā)生磁通耦合的電流路徑以及幾乎不與第一接收線圈和第二接收線圈發(fā)生磁通耦合的電流路徑，因此能夠減少第一磁道與第二磁道之間的串?dāng)_，從而能夠進(jìn)行高精確度的測量。另外，在上述感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器中能夠具備交替地向第一發(fā)送線圈和第二發(fā)送線圈供給電流的電流供給單元。由此，能夠減少第一磁道與第二磁道之間的串?dāng)_。另外，上述第一接收線圈和第二接收線圈以及第一磁通耦合體和第二磁通耦合體能夠如下那樣進(jìn)行層疊。即，第一接收線圈與第一磁通耦合體相對，在第二接收線圈與第二磁通耦合體之間配置有第一接收線圈和第一磁通耦合體。另外，在這種情況下，能夠使第一間距短于第二間距。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于具有較短的間距的磁道的靈敏度高，因此能夠使測量精確度提高。本發(fā)明所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器的特征在于，具備:定子；第一轉(zhuǎn)子，其卡合于旋轉(zhuǎn)軸，與上述旋轉(zhuǎn)軸一起旋轉(zhuǎn)，并與上述定子在軸向上相對；第二轉(zhuǎn)子，其配置在上述第一轉(zhuǎn)子的外周側(cè)， 能夠相對于上述第一轉(zhuǎn)子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并與上述定子在軸向上相對；旋轉(zhuǎn)傳遞單元，其傳遞上述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，使上述第二轉(zhuǎn)子以與上述第一轉(zhuǎn)子不同的速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；第一角度檢測磁道和第二角度檢測磁道，該第一角度檢測磁道和第二角度檢測磁道以與上述旋轉(zhuǎn)軸同軸的方式形成在上述定子的與上述第一轉(zhuǎn)子相對的面和上述第一轉(zhuǎn)子的與上述定子相對的面；以及第三角度檢測磁道和第四角度檢測磁道，該第三角度檢測磁道和第四角度檢測磁道以與上述旋轉(zhuǎn)軸同軸的方式形成在上述定子的與上述第二轉(zhuǎn)子相對的面和上述第二轉(zhuǎn)子的與上述定子相對的面，其中，上述第一角度檢測磁道在上述第一轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時生成NI次的周期性變化，上述第二角度檢測磁道在上述第一轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時生成N2次的周期性變化，上述第三角度檢測磁道在上述第二轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時生成N3次的周期性變化，上述第四角度檢測磁道在上述第二轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時生成N4次的周期性變化，NI與N2不同，N3與N4不同。


圖1是搭載有第一實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器的數(shù)字式測微器I的主視圖。圖2是第一實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器11的截面圖。圖3A和圖3B是第一實施方式所涉及的定子13和轉(zhuǎn)子15的截面圖。圖4是表示第一實施方式所涉及的發(fā)送線圈31和第一接收線圈32a的平面圖。圖5是表示第一實施方式所涉及的接收線圈321a的平面圖。圖6是表示第一實施方式所涉及的第二接收線圈32b的平面圖。圖7是表示第一實施方式所涉及的接收線圈321b的平面圖。圖8是表示第一實施方式所涉及的第一磁通耦合體41a的平面圖。圖9是表示第一實施方式所涉及的第二磁通耦合體41b的平面圖。圖10是表示由第一實施方式所涉及的第一接收線圈32a和第二接收線圈32b獲得的信號的圖。圖1lA和圖1lB是表示第二實施方式所涉及的定子13和轉(zhuǎn)子15的截面圖。圖12是表示第二實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈31a、第一接收線圈32a的平面圖。圖13是表示第二實施方式所涉及的第二發(fā)送線圈31b、第二接收線圈32b的平面圖。圖14是表示 第二實施方式所涉及的第二磁通耦合體41c的平面圖。圖15是表示由于流經(jīng)第二實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈31a的電流Idl而在第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41c中產(chǎn)生的感應(yīng)電流的概略圖。圖16是表示由于流經(jīng)第二實施方式所涉及的第二發(fā)送線圈31b的電流Idl而在第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41c中產(chǎn)生的感應(yīng)電流的概略圖。圖UfC圖17C是表示第三實施方式所涉及的發(fā)送線圈31c的概略圖。圖18A和圖18B是第四實施方式所涉及的定子13和轉(zhuǎn)子15的截面圖。圖19是表示第四實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈31a、第二發(fā)送線圈31b以及第一接收線圈32a的平面圖。圖20是表示第四實施方式所涉及的第一磁通耦合體41a的平面圖。圖21是表示第四實施方式所涉及的第二磁通耦合體41b的平面圖。圖22是表示向第四實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈31a和第二發(fā)送線圈31b供給電流的電流供給單元的電路圖。圖23是表示由于流經(jīng)第四實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈31a的電流而在第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41b中產(chǎn)生的感應(yīng)電流的概略圖。圖24是表示由于流經(jīng)第四實施方式所涉及的第二發(fā)送線圈31b的電流而在第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41b中產(chǎn)生的感應(yīng)電流的概略圖。圖25是表示第五實施方式所涉及的測微頭I'的截面圖。圖26是構(gòu)成第五實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4'的第一轉(zhuǎn)子42'、第二轉(zhuǎn)子51'的立體圖。圖27是構(gòu)成第五實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4'的第一轉(zhuǎn)子42'、第二轉(zhuǎn)子51'的分解立體圖。圖28是第五實施方式所涉及的定子41'以及轉(zhuǎn)子42'、51'的截面圖。
圖29是表示第五實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'、第一接收線圈413a'以及第三接收線圈413c'的平面圖。圖30是表示第五實施方式所涉及的接收線圈413aa'、413ca'的平面圖。圖31是表示第五實施方式所涉及的第二接收線圈413b'以及第四接收線圈413d'的平面圖。圖32是表示第五實施方式所涉及的接收線圈413ba'、413da'的平面圖。圖33A是表不第五實施方式所涉及的第一磁通f禹合體422a'的平面圖。圖33B是表不第五實施方式所涉及的第三磁通f禹合體512a'的平面圖。圖34A是表示第五實施方式所涉及的第二磁通耦合體422b'的平面圖。圖34B是表示第五實施方式所涉及的第四磁通耦合體512b'的平面圖。圖35是表示向第五實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'供給電流的電流供給單元的電路圖。圖36A是表示由于流經(jīng)第五實施方式所涉及的第二發(fā)送線圈412b'的電流而在第一磁通耦合體422a'、第二磁通耦合體422b'、第三磁通耦合體512a'、第四磁通耦合體512b'中產(chǎn)生的感應(yīng)電流的概略圖。圖36B是表示由于流經(jīng)第五實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈412a'和第三發(fā)送線圈412c'的電流而在第一磁通耦合體422a'、第二磁通耦合體422b'、第三磁通耦合體512a'、第四磁通耦合體512b'中產(chǎn)生的感應(yīng)電流的概略圖。

圖37是由第五實施方式所涉及的第一接收線圈413a' 第四接收線圈413d'獲得的信號的圖。圖38是表示第五實施方式的發(fā)送接收控制部6'以及運算處理部7'的結(jié)構(gòu)的框圖。圖39是表示第六實施方式所涉及的測微頭Ia'的截面圖。圖40是第六實施方式的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4a'的分解立體圖。圖41是表示向第七實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'供給電流的電流供給單元的電路圖。圖42是表示第七實施方式的發(fā)送接收控制部6'以及運算處理部7'的結(jié)構(gòu)的框圖。
具體實施例方式接著，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實施方式。參照圖1，說明搭載有本發(fā)明的第一實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器的數(shù)字式測微器的結(jié)構(gòu)。圖1是數(shù)字式測微器的主視圖。在數(shù)字式測微器的框架3中，以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝有測微套筒5。作為測量觸頭的測桿7以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承在框架3的內(nèi)部。測桿7的一端側(cè)突出到外部，該一端抵接測量對象物。另一方面，在測桿7的另一端側(cè)切削出進(jìn)給絲杠(在圖1中未圖示)。該進(jìn)給絲杠被嵌入在測微套筒5內(nèi)的螺母中。在該結(jié)構(gòu)中，當(dāng)使測微套筒5正向旋轉(zhuǎn)時，測桿7沿著其軸向前進(jìn)，當(dāng)使測微套筒5逆向旋轉(zhuǎn)時，測桿7沿著其軸向后退。在框架3中設(shè)置有能夠顯示數(shù)字式測微器的測量值的液晶顯示部9。[第一實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器11的結(jié)構(gòu)]接著，參照圖2說明安裝在圖1的數(shù)字式測微器中的第一實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器11的結(jié)構(gòu)。圖2是感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器11的截面圖。感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器11具備定子13以及轉(zhuǎn)子15，該轉(zhuǎn)子15配置成能夠以測桿7(旋轉(zhuǎn)軸)為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)且與定子13相對。轉(zhuǎn)子15固定于圓筒狀的轉(zhuǎn)子襯套19的端面。測桿7插入轉(zhuǎn)子襯套19中。定子襯套21固定于框架3。在測桿7的表面形成有嵌入到配置在圖1的測微套筒5的內(nèi)部的螺母中的進(jìn)給絲杠23。另外，在測桿7的表面，沿著測桿7的長度方向(即，測桿7的進(jìn)退方向)挖出鍵槽25。固定于轉(zhuǎn)子襯套19的銷27的前端部嵌入鍵槽25中。當(dāng)測桿7旋轉(zhuǎn)時，其旋轉(zhuǎn)力通過銷27傳遞到轉(zhuǎn)子襯套19，從而轉(zhuǎn)子15旋轉(zhuǎn)。換言之，轉(zhuǎn)子15與測桿7的旋轉(zhuǎn)聯(lián)動地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。由于銷27沒有固定在鍵槽25中，因此能夠使轉(zhuǎn)子15旋轉(zhuǎn)而不使轉(zhuǎn)子15與測桿7一起移動。接著，參照圖3A說明定子13以及轉(zhuǎn)子15的結(jié)構(gòu)。圖3A是定子13以及轉(zhuǎn)子15的截面圖。定子13具有如圖3A所示那樣層疊的絕緣層33A 33D。定子13在轉(zhuǎn)子15側(cè)的絕緣層33A具備發(fā)送線圈31和第一接收線圈32a，在中間的絕緣層33C具備第二接收線圈32b。此外，在絕緣層33A13D形成有用于使測桿7貫通的貫通孔34，發(fā)送線圈31、第一接收線圈32a以及第二接收線圈32b以貫通孔34為中心形成為環(huán)狀。另一方面，轉(zhuǎn)子15具有如圖3A所示那樣層疊的絕緣層42A和42B。轉(zhuǎn)子15在絕緣層42A具備第一磁通耦合體41a，在絕緣層42B具備第二磁通耦合體41b。此外，在絕緣層42A、42B形成有用于使測桿7貫通的貫通孔43，第一磁通耦合體41a以及第二磁通耦合體41b以貫通孔43為中心形成為環(huán)狀。發(fā)送線圈31中 流動隨時間而變化的驅(qū)動信號，將由此產(chǎn)生的磁場施加到形成于轉(zhuǎn)子15的第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41b。發(fā)送線圈31設(shè)置在絕緣層33A的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面。第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41b各自基于由流經(jīng)發(fā)送線圈31的驅(qū)動信號產(chǎn)生的磁場而產(chǎn)生感應(yīng)電流。第一磁通耦合體41a設(shè)置在絕緣層42A的定子13側(cè)的表面。第二磁通稱合體41b設(shè)置在絕緣層42B的定子13側(cè)的表面。第一磁通稱合體41a、第二磁通耦合體41b隔著絕緣層42A層疊在層疊方向上彼此重疊的位置。在由于發(fā)送線圈31與第一磁通稱合體41a的磁通稱合而在第一磁通稱合體41a中產(chǎn)生了感應(yīng)電流的情況下，第一接收線圈32a檢測通過基于該情況的磁通耦合產(chǎn)生的感應(yīng)電壓。在由于發(fā)送線圈31與第二磁通耦合體41b的磁通耦合而在第二磁通耦合體41b中產(chǎn)生了感應(yīng)電流的情況下，第二接收線圈32b檢測通過基于該情況的磁通耦合產(chǎn)生的感應(yīng)電壓。第一接收線圈32a的一部分形成在絕緣層33A的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面，第一接收線圈32a的其余部分形成在絕緣層33B的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面，兩者通過貫通絕緣層33A的通孔或者導(dǎo)通孔來彼此連接。第二接收線圈32b的一部分形成在絕緣層33C的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面，第二接收線圈32b的其余部分形成在絕緣層33D的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面，兩者通過貫通絕緣層33C的通孔或者導(dǎo)通孔來彼此連接。第一接收線圈32a和第二接收線圈32b隔著絕緣層33B層疊在層疊方向上彼此重疊的位置。在圖3A中，第一接收線圈32a與第一磁通耦合體41a相對。另外，在第二接收線圈32b與第二磁通耦合體41b之間配置有第一接收線圈32a和第一磁通耦合體41a。通過該配置，能夠提高由第一接收線圈32a接收的信號強(qiáng)度。在第一接收線圈32a的接收信號影響測量精確度的情況下，該配置是優(yōu)選的。作為一例，如圖3A所示，第一接收線圈32a和第二接收線圈32b具有相同的直徑，第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41b具有相同的直徑。然而，僅第一接收線圈32a的直徑與第一磁通耦合體41a的直徑相同、第二接收線圈32b的直徑與第二磁通耦合體41b的直徑相同這一點是必須的。因而，也可以第一接收線圈32a和第二接收線圈32b具有不同的直徑，第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41b具有不同的直徑。例如，如圖3B所示，第一接收線圈32a的直徑也可以大于第二接收線圈32b的直徑，第一磁通耦合體41a的直徑也可以大于第二磁通耦合體41b的直徑。接著，說明發(fā)送線圈31、第一接收線圈32a、第二接收線圈32b、第一磁通耦合體41a以及第二磁通耦合體41b的平面形狀。圖4是表示發(fā)送線圈31和第一接收線圈32a的平面圖。發(fā)送線圈31如圖4所示那樣形成為與測桿7同軸，在外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)具有大致圓形的電流路徑。發(fā)送線圈31形成為在發(fā)送線圈31的外周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向與在發(fā)送線圈31的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向相同(參照箭頭)。第一接收線圈32a如圖4所示那樣形成為與測桿7同軸，以位于發(fā)送線圈31的外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)的電流路徑之間的方式形成為環(huán)狀。第一接收線圈32a由相位在旋轉(zhuǎn)方向上不同的三個接收線圈321a 323a構(gòu)成。接收線圈321a 323a為了不使交叉部短路而將相互交叉的部分隔著絕緣層33A上下排列，彼此通過通孔或?qū)走M(jìn)行連接，由此各自被絕緣分離地進(jìn)行配置。接著，參照圖5 說明接收線圈321a的形狀。圖5是表示接收線圈321a的平面圖。接收線圈321a如圖5所示那樣具有在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以間距\ I周期性地變化的環(huán)狀(菱形形狀)的形狀。在接收線圈321a中，在圖5所示的例子中設(shè)置有十個菱形形狀的對PA1。此外，接收線圈322a、323a也具有與接收線圈321a相同的形狀。接著，參照圖6說明第二接收線圈32b的形狀。圖6是表示第二接收線圈32b的平面圖。第二接收線圈32b如圖6所示那樣形成為與測桿7同軸，以與第一接收線圈32a在層疊方向上重疊的方式形成為環(huán)狀。第二接收線圈32b由相位在旋轉(zhuǎn)方向上不同的三個接收線圈321b 323b構(gòu)成。接收線圈321b 323b為了不使交叉部短路而將相互交叉的部分隔著絕緣層33C上下排列，彼此通過通孔或?qū)走M(jìn)行連接，由此各自被絕緣分離地進(jìn)行配置。接著，參照圖7說明接收線圈321b的形狀。圖7是表示接收線圈321b的平面圖。接收線圈321b如圖7所示那樣具有在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以與間距X I不同的間距入2(入2古Al)周期性地變化的環(huán)狀(菱形形狀)的形狀。在接收線圈321b中，在圖7所示的例子中設(shè)置有九個菱形形狀的對PA2。在本實施方式中，間距X I短于間距入2(入I〈入2)。此外，接收線圈322b、323b也具有與接收線圈321b相同的形狀。接著，參照圖8說明第一磁通I禹合體41a的形狀。圖8是表不第一磁通I禹合體41a的平面圖。第一磁通耦合體41a如圖8所示那樣形成為與測桿7同軸，并形成為與第一接收線圈32a隔著空隙相重疊。第一磁通耦合體41a具有在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以與第一接收線圈32a相同的間距X I周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的形狀。第一磁通耦合體41a交替地構(gòu)成向靠近測桿7的方向凹陷的凹部411a和向離開測桿7的方向突出的凸部412a。在圖8所示的例子中，設(shè)置有十個凹部411a與凸部412a的對PA3。接著，參照圖9說明第二磁通耦合體41b的形狀。圖9是表示第二磁通耦合體41b的平面圖。第二磁通耦合體41b如圖9所示那樣形成為與測桿7同軸，并形成為與第一磁通耦合體41a隔著絕緣層42A在層疊方向上重疊。第二磁通耦合體41b具有在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以間距X 2周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的形狀。第二磁通耦合體41b交替地構(gòu)成向靠近測桿7的方向凹陷的凹部411b和向離開測桿7的方向突出的凸部412b。在圖9所示的例子中，設(shè)置有九個凹部411b與凸部412b的對PA4。通過以上的圖3 圖9所示的結(jié)構(gòu)，第一接收線圈32a和第一磁通耦合體41a形成具有在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以間距\ I周期性地變化的形狀的第一磁道。另外，第二接收線圈32b和第二磁通耦合體41b形成具有在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以與間距\ I不同的間距入2周期性地變化的形狀的第二磁道。在本實施方式中，第一磁道的間距X I短于第二磁道的間距X 2，因此與第二磁道相比，第一磁道更加影響測量精確度。由于使基于該間距入I的第一磁道的信號強(qiáng)度比第二磁道的信號強(qiáng)度高，因此能夠獲得較高的測量精確度。接著，參照圖10說明由第一接收線圈32a和第二接收線圈32b獲得的信號。當(dāng)在發(fā)送線圈31的外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)的電流路徑中例如圖4所示那樣電流順時針流動時，在各電流路徑中沿右螺旋方向產(chǎn)生磁場，因此該磁場與第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41b發(fā)生耦合，從而在第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41b中電流逆時針流動。由此，在第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41b的凹部411a、411b產(chǎn)生從圖8和圖9的紙面的表面進(jìn)到背面的磁場，在凸部412a、412b產(chǎn)生從紙面的背面進(jìn)到表面的磁場。由第一接收線圈32a和第二接收線圈32b接收這些磁場。不只是來自第一磁通耦合體41a的磁場，來自第二磁通稱合體41b的磁場也與第一接收線圈32a發(fā)生稱合。但是,相對于第一磁通率禹合體41a—周的長度為間距X IX 10,第二磁通稱合體41b—周的長度為間距X2X9,因此關(guān)于與第一接收線圈 32a發(fā)生耦合的磁場的影響，就一周總體來說來自第二磁通耦合體41b的磁場的影響被抵消,僅為來自第一磁通稱合體41a的磁場所產(chǎn)生的影響。由此,在第一接收線圈32a中能夠獲得僅由與第一磁通耦合體41a的耦合相位決定的接收信號。同樣地，在第二接收線圈32b中能夠獲得僅由與第二磁通耦合體41b的耦合相位決定的接收信號。這樣，根據(jù)不同的間距入1、入2，在第一接收線圈32a中，由第二磁通耦合體41b引起的感應(yīng)電壓相互抵除，因此檢測不出其信號。即，能夠在第一接收線圈32a中抑制來自第二磁通耦合體41b的串?dāng)_，能夠在第二接收線圈32b中抑制來自第一磁通耦合體41a的串?dāng)_。其結(jié)果，如圖10所示那樣能夠從第一接收線圈32a和第二接收線圈32b獲得與轉(zhuǎn)子15相對于定子13的位置相應(yīng)地改變的接收信號。兩個接收信號在轉(zhuǎn)子15旋轉(zhuǎn)一周的期間錯開了一個周期，因此能夠基于兩個接收信號檢測出旋轉(zhuǎn)一周時的絕對位置。此外，圖10僅圖示了 I相的信號，但是實際上能夠獲得各錯開120°的3相的接收信號。以上，根據(jù)本實施方式，能夠?qū)⒌谝唤邮站€圈32a、第二接收線圈32b在測桿7的長度方向上隔著絕緣層進(jìn)行重疊，另外，也能夠?qū)⒌谝淮磐詈象w41a、第二磁通耦合體41b在測桿7的長度方向上隔著絕緣層進(jìn)行重疊，因此能夠減小編碼器的外徑。并且，也不會產(chǎn)生串?dāng)_。[第二實施方式]接著，參照圖1lA說明第二實施方式所涉及的定子13和轉(zhuǎn)子15。圖1lA是表示第二實施方式所涉及的定子13和轉(zhuǎn)子15的截面圖。第二實施方式所涉及的定子13如圖11所示那樣具有第一發(fā)送線圈31a和第二發(fā)送線圈31b。第二實施方式在這一點上與僅具有一個發(fā)送線圈31的第一實施方式不同。另外，設(shè)置在轉(zhuǎn)子15上的第二磁通耦合體41c具有與第一實施方式不同的形狀。除此之外，第二實施方式所涉及的第一接收線圈32a、第二接收線圈32b以及第一磁通耦合體41a等與第一實施方式相同，因此省略其說明。第一發(fā)送線圈31a中流動隨時間而變化的驅(qū)動信號，將由此產(chǎn)生的磁場施加到第一磁通耦合體41a。第二發(fā)送線圈31b中流動隨時間而變化的驅(qū)動信號，將由此產(chǎn)生的磁場施加到第二磁通耦合體41c。在不同的定時進(jìn)行對第一發(fā)送線圈31a、第二發(fā)送線圈31b的電流供給。第一發(fā)送線圈31a如圖1lA所示那樣形成在絕緣層33A的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面。第二發(fā)送線圈31b形成在絕緣層33C的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面。作為一例，如圖1lA所示，第一接收線圈32a和第二接收線圈32b具有相同的直徑，第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41c具有相同的直徑。然而，僅第一接收線圈32a的直徑與第一磁通耦合體41a的直徑相同、第二接收線圈32b的直徑與第二磁通耦合體41c的直徑相同這一點是必須的。因而，也可以第一接收線圈32a和第二接收線圈32b具有不同的直徑，第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41c具有不同的直徑。例如，如圖1lB所示，第一接收線圈32a的直徑也可以大于第二接收線圈32b的直徑，第一磁通耦合體41a的直徑也可以大于第二磁通耦合體41c的直徑。接著，參照圖 12說明第一發(fā)送線圈31a的形狀。圖12是表示第一發(fā)送線圈31a和第一接收線圈32a的平面圖。第一發(fā)送線圈31a如圖12所示那樣形成為與測桿7同軸，具有外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)的大致圓形的電流路徑。將第一發(fā)送線圈31a形成為在第一發(fā)送線圈31a的外周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向與在第一發(fā)送線圈31a的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向相同(參照箭頭)。在第一發(fā)送線圈31a的外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)的電流路徑之間配置有第一接收線圈32a。接著，參照圖13說明第二發(fā)送線圈31b的形狀。圖13是表示第二發(fā)送線圈31b和第二接收線圈32b的平面圖。第二發(fā)送線圈31b如圖13所示那樣形成為與測桿7同軸，具有外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)的大致圓形的電流路徑。將第二發(fā)送線圈31b形成為在第二發(fā)送線圈31b的外周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向與在第二發(fā)送線圈31b的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向相反(參照箭頭)。在第二發(fā)送線圈31b的外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)的電流路徑之間配置有第二接收線圈32b。接著，參照圖14說明第二磁通耦合體41c的形狀。圖14是表示第二磁通耦合體41c的平面圖。第二磁通耦合體41c如圖14所示那樣形成為與測桿7同軸，形成為在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以固定間距X 2配置的多個獨立的矩形環(huán)那樣的島狀。在圖14所示的例子中設(shè)置有九個第二磁通耦合體41c。此外，由于第二實施方式所涉及的第一磁通耦合體41a的形狀與第一實施方式相同，因此省略其說明。
接著，參照圖15說明由于流經(jīng)第一發(fā)送線圈31a的電流Idl而在第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41c中產(chǎn)生的感應(yīng)電流。在圖15所示的例子中，在第一發(fā)送線圈31a的外周側(cè)的電流路徑中電流Idl順時針流動。在這種情況下，在第一發(fā)送線圈31a的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中電流Idl也順時針流動。由此,在第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41c的外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)的電流路徑中各感應(yīng)電流Id2逆時針流動。因而，由于其形狀而在第一磁通耦合體41a的整個電流路徑中都產(chǎn)生感應(yīng)電流。另一方面，由于其形狀而在第二磁通耦合體41c的外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)的電流路徑中流動的感應(yīng)電流Id2相互大致抵除，因此在第二磁通耦合體41c的整個電流路徑中大致不產(chǎn)生感應(yīng)電流。接著，參照圖16說明由于流經(jīng)第二發(fā)送線圈31b的電流Idl而在第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41c中產(chǎn)生的感應(yīng)電流。在圖16所示的例子中，在第二發(fā)送線圈31b的外周側(cè)的電流路徑中電流Idl順時針流動。在這種情況下，在第二發(fā)送線圈31b的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中電流Idl逆時針流動。由此，在第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41c的外周側(cè)的電流路徑中感應(yīng)電流Id2逆時針流動，在第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41c的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中感應(yīng)電流Id2順時針流動。因而，由于其形狀而在第一磁通耦合體41a的外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)的電流路徑中流動的感應(yīng)電流Id2相互大致抵除，因此在第一磁通耦合體41a的整個電流路徑中大致不產(chǎn)生感應(yīng)電流。另一方面，由于其形狀而在第二磁通耦合體41c的整個電流路徑中產(chǎn)生感應(yīng)電流。在此，在上述第一實施方式中，如果不正確地調(diào)整定子與轉(zhuǎn)子的配置(對準(zhǔn)、軸偏心、傾斜度等)，則產(chǎn)生串?dāng)_，從而測量精確度變差。另一方面，在第二實施方式中，如圖15和圖16所示那樣由于在第一發(fā)送線圈31a中流動的電流Idl而對第二磁通耦合體41c抑制感應(yīng)電流，另外，由于在第二發(fā)送線圈31b中流動的電流Idl而對第一磁通稱合體41a抑制感應(yīng)電流。即，即使沒有正確地調(diào)整定子與轉(zhuǎn)子的配置，在第二實施方式中，通過在第一發(fā)送線圈31a和第二發(fā)送線圈31b中交替地流動電流，能夠與第一實施方式相比更加抑制串?dāng)_，提高測量精確度。此外，第二實施方式也起到與第一實施方式相同的效果。[第三實施方式]
接著，說明第三實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器。第三實施方式是將第二實施方式的第一發(fā)送線圈31a、第二發(fā)送線圈31b替換為一個發(fā)送線圈31c、并對電流流動的方向進(jìn)行切換的實施方式。發(fā)送線圈31c用于流動隨時間而變化的驅(qū)動信號，將由此產(chǎn)生的磁場施加到第一磁通耦合體41a、第二磁通耦合體41c。第三實施方式的除此之外的結(jié)構(gòu)與第二實施方式相同。因此，下面參照圖HfC圖17C僅說明第三實施方式所涉及的發(fā)送線圈31c及其周邊電路。本實施方式的旋轉(zhuǎn)編碼器如圖17A所示那樣具有用于使在發(fā)送線圈31c的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向反轉(zhuǎn)的開關(guān)S1、S2。通過該開關(guān)S1、S2的切換，發(fā)送線圈31c能夠被設(shè)定為圖17B所示的狀態(tài)A、圖17C所示的狀態(tài)B。在圖17B所示的狀態(tài)A中，在發(fā)送線圈31c的外周側(cè)的路徑中流動的電流的方向與在發(fā)送線圈31c的內(nèi)周側(cè)的路徑中流動的電流的方向相同(參照箭頭)。在圖17C所示的狀態(tài)B中，在發(fā)送線圈31c的外周側(cè)的路徑中流動的電流的方向與在發(fā)送線圈31c的內(nèi)周側(cè)的路徑中流動的電流的方向相反(參照箭頭)。此外，發(fā)送線圈31c與第一實施方式所涉及的發(fā)送線圈31同樣地在內(nèi)周側(cè)和外周側(cè)的電流路徑之間配置有第一接收線圈32a、第二接收線圈32b。相對于第二實施方式的第一發(fā)送線圈31a、第二發(fā)送線圈31b分別被設(shè)置在絕緣層33A、33C的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面，第三實施方式的發(fā)送線圈31c的內(nèi)周側(cè)和外周側(cè)的電流路徑為了獲得更高的信號強(qiáng)度，而僅設(shè)置在絕緣層33A的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面。根據(jù)以上內(nèi)容，第三實施方式起到與第二實施方式相同的效果。另外，第三實施方式由于僅具有一個發(fā)送線圈31c，因此與具有兩個發(fā)送線圈31a、31b的第二實施方式相比，能夠簡化線圈周圍的結(jié)構(gòu)。此外，發(fā)送線圈31c的內(nèi)周側(cè)和外周側(cè)的電流路徑也可以僅設(shè)置在絕緣層33C的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面。另外，也可以為發(fā)送線圈31c的內(nèi)周側(cè)的電流路徑設(shè)置在絕緣層33A的轉(zhuǎn)子15c的表面、發(fā)送線圈31c的外周側(cè)的電流路徑設(shè)置在絕緣層33C的轉(zhuǎn)子15c的表面?；蛘撸部梢詾榘l(fā)送線圈31c的外周側(cè)的電流路徑設(shè)置在絕緣層33A的轉(zhuǎn)子15c的表面、發(fā)送線圈31c的內(nèi)周側(cè)的電流路徑設(shè)置在絕緣層33C的轉(zhuǎn)子15c的表面。[第四實施方式]接著，說明第四實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器。在第四實施方式中，發(fā)送線圈和磁通耦合體的形狀與第一實施方式不同。首先，參照圖18A和圖19說明第四實施方式所涉及的發(fā)送線圈。圖18A是第四實施方式所涉及的定子13和轉(zhuǎn)子15的截面圖。圖19是表示第四實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈31d和第二發(fā)送線圈31e以及第一接收線圈32a的平面圖。此外，關(guān)于第四實施方式的其它結(jié)構(gòu)，由于與第一實施方式相同，因此省略它們的說明。在第四實施方式中，如圖18A和圖19所示那樣在絕緣層33A上設(shè)置有電分離的兩個第一發(fā)送線圈31d和第二發(fā)送線圈31e。第一發(fā)送線圈31d如圖18A和圖19所示那樣形成為與測桿7同軸，具有大致圓形的電流路徑。另外，第二發(fā)送線圈31e形成為與測桿7同軸且在第一發(fā)送線圈31d的內(nèi)周，具有大致圓形的電流路徑。作為一例，如圖18A所示，第一接收線圈32a和第二接收線圈32b具有相同的直徑，第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41b具有相同的直徑。然而，僅第一接收線圈32a的直徑與第一磁通 耦合體41a的直徑相同、第二接收線圈32b的直徑與第二磁通耦合體41b的直徑相同這一點是必須的。因而，也可以第一接收線圈32a和第二接收線圈32b具有不同的直徑，第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41b具有不同的直徑。例如，如圖18B所示，第一接收線圈32a的直徑也可以大于第二接收線圈32b的直徑，第一磁通耦合體41a的直徑也可以大于第二磁通耦合體41b的直徑。接著，參照圖20說明第四實施方式所涉及的第一磁通耦合體41a的形狀。圖20是表示第一磁通耦合體41a的平面圖。第一磁通耦合體41a如圖20所示那樣形成為與測桿7同軸，并形成為與第一接收線圈32a隔著空隙相重疊。第一磁通耦合體41a具有如下形狀的布線，即在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以與第一接收線圈32a相同的間距\ I周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的布線部分和內(nèi)切于該齒輪狀的布線部分的圓形狀的布線部分相疊加的形狀。更具體地說，第一磁通耦合體41a交替地構(gòu)成向靠近測桿7的方向凹陷的凹部411a和向離開測桿7的方向突出的凸部412a。另外，第一磁通耦合體41a具有將多個凹部411a連接的圓環(huán)狀的連接部413a。S卩，多個凹部411a以及凸部412a形成齒輪狀的第一電流路徑，多個凹部411a以及連接部413a形成圓環(huán)狀的第二電流路徑。在圖20所示的例子中設(shè)置有十個凹部411a、凸部412a以及連接部413a的組合PA3。接著，參照圖21說明第二磁通耦合體41b的形狀。圖21是表示第二磁通耦合體41b的平面圖。第二磁通耦合體41b如圖21所示那樣形成為與測桿7同軸，并形成為與第一磁通耦合體41a隔著絕緣層42A在層疊方向上相重疊。第二磁通耦合體41b具有如下形狀的布線，即在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以間距\ 2周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的布線部分和外切于該齒輪狀的布線部分的圓形狀的布線部分相疊加的形狀。更具體地說，第二磁通耦合體4Ib交替地構(gòu)成向靠近測桿7的方向凹陷的凹部41 Ib和向離開測桿7的方向突出的凸部412b。另外，第二磁通耦合體41b具有將多個凸部412b連接的圓環(huán)連接部413b。SP，多個凸部412b以及連接部413b形成圓環(huán)狀的第三電流路徑，多個凹部411b以及凸部412b形成齒輪狀的第四電流路徑。在圖21所示的例子中設(shè)置有九個凹部411b和凸部412b的組合PA4。根據(jù)以上的圖18A 圖21所示的結(jié)構(gòu)，第一接收線圈32a和第一磁通耦合體41a形成具有在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以間距\ I周期性地變化的形狀的第一磁道。另外，第二接收線圈32b和第二磁通耦合體41b形成具有在轉(zhuǎn)子15的旋轉(zhuǎn)方向上以與間距X I不同的間距X 2周期性地變化的形狀的第二磁道。在本實施方式中，由于第一磁道的間距X I短于第二磁道的間距X 2，因此第一磁道能夠得到比第二磁道高的測量精確度。而且，由于使基于間距X I的第一磁道的信號強(qiáng)度比第二磁道的信號強(qiáng)度高，因此能夠獲得更高的測量精確度。圖22示出了向第一發(fā)送線圈31d和第二發(fā)送線圈31e供給電流的電流供給單元。第一發(fā)送線圈31d和第二發(fā)送線圈31e的一端都接地，另一端通過開關(guān)S3連接交流電源V。在測量時，通過開關(guān)S3的切換將隨時間而變化的驅(qū)動信號交替地供給給第一發(fā)送線圈31d和第二發(fā)送線圈31e。[第四實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器11的動作]接著，參照圖23和圖24說明由第一接收線圈32a和第二接收線圈32b獲得的信號。如上所述，第一發(fā)送線圈31d和第二發(fā)送線圈31e交替地、即分時地流動隨時間而變化的驅(qū)動信號，在第一發(fā)送線圈31d中流動電流的情況下，由第一接收線圈32a接收信號，在第二發(fā)送線圈31e中流動 電流的情況下，由第二接收線圈32b接收信號。首先，參照圖23說明在第一發(fā)送線圈31d中流動電流的情況。當(dāng)在第一發(fā)送線圈31d中例如電流順時針流動時，在各電流路徑中沿右螺旋方向產(chǎn)生磁場，因此該磁場與第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41b發(fā)生耦合，從而在第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41b中電流逆時針流動。在第一磁通耦合體41a中大部分主要是在凸部412a感應(yīng)出的電流。因而，在磁通耦合體41a中感應(yīng)出的電流主要在由凹部411a和凸部412a形成的齒輪狀的第一電流路徑中流動。由此,在第一磁通耦合體41a的凹部411a產(chǎn)生從圖23的紙面的表面進(jìn)到背面的磁場，在凸部412a產(chǎn)生從紙面的背面進(jìn)到表面的磁場，這些磁場形成間距Al的周期性的磁性圖案。由第一接收線圈32a接收這些磁場。另外，在第二磁通耦合體41b中，在凸部412b和連接部413b中感應(yīng)出電流，電流主要在圓環(huán)狀的第三電流路徑中流動。在由凹部411b和凸部412b構(gòu)成的齒輪狀的第四電流路徑中流動的電流為在第三電流路徑中流動的電流的十分之一左右的值。因而，在第二磁通耦合體41b中產(chǎn)生的形成間距\ 2的磁性圖案的磁場與在第一磁通耦合體41a中產(chǎn)生的形成間距X I的磁性圖案的磁場相比小。另外，相對于第一磁通耦合體41a—周的長度為間距AlXlO，第二磁通耦合體41b—周的長度為間距入2X9，因此關(guān)于與第一接收線圈32a發(fā)生耦合的磁場的影響，如上述的圖10所示，就一周總體來說來自第二磁通耦合體41b的磁場的影響被抵消。即，根據(jù)不同的間距入1、入2，在第一接收線圈32a中，由第二磁通耦合體41b引起的感應(yīng)電壓相互抵除，因此其信號非常小。即，能夠在第一接收線圈32a中抑制來自第二磁通I禹合體41b的串?dāng)_。接著，參照圖24說明在第二發(fā)送線圈31e中流動電流的情況。當(dāng)在第二發(fā)送線圈31e中例如電流順時針流動時，與在第一發(fā)送線圈31d中流動電流的情況同樣地在第一磁通耦合體41a和第二磁通耦合體41b中電流逆時針流動。在第二磁通耦合體41b中大部分是在凹部411b感應(yīng)出的電流。因此，電流主要在由凹部411b和凸部412b形成的齒輪狀的第四電流路徑中流動。由此，在第二磁通耦合體41b的凹部411b產(chǎn)生從圖24的紙面的表面進(jìn)到背面的磁場，在凸部412b產(chǎn)生從紙面的背面進(jìn)到表面的磁場，這些磁場形成間距X 2的周期性的磁性圖案。由第二接收線圈32b接收這些磁場。另一方面,在第一磁通稱合體41a中，在凹部411a和連接部413a中感應(yīng)出電流，電流主要在圓環(huán)狀的第二電流路徑中流動。因而，與上述的情況同樣地在第一磁通耦合體41a中產(chǎn)生的形成間距\ I的磁性圖案的磁場與在第二磁通耦合體41b中產(chǎn)生的形成間距A 2的磁性圖案的磁場相比非常小。另外，即使在若干磁場使第二接收線圈32b感應(yīng)出電流的情況下，該電流也會由于第一磁通耦合體41a與第二接收線圈32b的相位的差而相互抵除，從而檢測出的信號非常小。根據(jù)以上內(nèi)容，如上述的圖10所示那樣能夠從第一接收線圈32a和第二接收線圈32b獲得與轉(zhuǎn)子15相對于定子13的位置相應(yīng)地改變的接收信號。兩個接收信號在轉(zhuǎn)子15旋轉(zhuǎn)一周時錯開了一個周期，因此能夠基于兩個接收信號檢測旋轉(zhuǎn)一周時的絕對位置。此夕卜，圖10僅圖示了 I相的信號，但是實際上能夠獲得各錯開120°的3相的接收信號。以上，根據(jù)第 四實施方式，能夠?qū)⒌谝唤邮站€圈32a、第二接收線圈32b在測桿7的長度方向上隔著絕緣層進(jìn)行重疊，并且也能夠?qū)⒌谝淮磐詈象w41a、第二磁通耦合體41b在測桿7的長度方向上隔著絕緣層進(jìn)行重疊，因此能夠減小編碼器的外徑。并且，也不會產(chǎn)生串?dāng)_。[第五實施方式]接著，參照圖25說明搭載有第五實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4'的測微頭I'的整體結(jié)構(gòu)。圖25是表示第五實施方式所涉及的測微頭I'的截面圖。測微頭I'具有主體2'、從主體2'延伸出的測桿3'以及以測桿3'為中心設(shè)置的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4'。另外，測微頭I'具有發(fā)送接收控制部6'、運算處理部7'以及顯示部8'。發(fā)送接收控制部6'控制與感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4'之間的發(fā)送和接收。運算處理部7'根據(jù)來自發(fā)送接收控制部6'(感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4')的信號執(zhí)行運算處理。顯示部8'顯示運算處理部7'的運算結(jié)果。主體2'形成為大致圓筒狀，在內(nèi)部具備容納空間21'、22’。容納空間21'、22'被間隔板23'分隔。該大致圓筒狀的主體2'的測桿前端側(cè)(圖中的左側(cè))的壁以及間隔板23'分別形成有被測桿3'貫通的貫通孔24'、25'，在主體2'的基端側(cè)(圖中的右側(cè))的端部形成有內(nèi)螺紋26'。這些貫通孔24'、25'以及內(nèi)螺紋26'配置在相同的軸上。測桿3'形成為大致圓柱狀，在前端部具有與被測量物(未圖示)接觸的接觸面31'，在基端部具有把手部32'。該把手部32'用于從外部對測桿3'進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作。并且，測桿3'貫通主體2'的貫通孔24'、25'，形成為兩端從主體2'突出的狀態(tài)。另外，在測桿3'的外周形成進(jìn)給絲杠33'，該進(jìn)給絲杠33'與主體2'的內(nèi)螺紋26'相螺合。通過這樣，使得當(dāng)轉(zhuǎn)動把手部32'時，通過進(jìn)給絲杠33'與內(nèi)螺紋26'的螺合，測桿3'沿著貫通孔24'、25'前進(jìn)或后退。進(jìn)給絲杠33'例如以0.5mm為間距形成旋轉(zhuǎn)40周的量，能夠使測桿3'前進(jìn)或后退20_。另外，在測桿3'的大致中央部沿著軸向形成有直線狀的鍵槽34'。接著，參照圖25 圖27說明構(gòu)成感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4'的第一轉(zhuǎn)子42'、第二轉(zhuǎn)子51'的結(jié)構(gòu)。圖26是構(gòu)成感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4'的第一轉(zhuǎn)子42'、第二轉(zhuǎn)子51'的立體圖。圖27是感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4'的分解立體圖。感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4'如圖25所示那樣包括第一旋轉(zhuǎn)編碼器40'以及第二旋轉(zhuǎn)編碼器50'，被收納在主體2'的容納空間22'中。第一旋轉(zhuǎn)編碼器40'具備定子41'、第一轉(zhuǎn)子42'以及第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'。定子41'在圓板的中央具有穿通孔44'，測桿3'穿通該穿通孔44'，定子41'固定于間隔板23'。具體地說，定子41'外嵌在邊緣部件27'上，該邊緣部件27'形成在間隔板23'的貫通孔25'周圍。第一轉(zhuǎn)子42'在圓板的中央具有穿通孔45'，在軸向上與定子41'相對地配置在與定子41'相距規(guī)定尺寸的位置上，其中，測桿3'穿通該穿通孔45'。第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'在測桿3'貫通該第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'的狀態(tài)下，配設(shè)在比定子41'更靠近測桿3'的前端側(cè)的位置上，第一轉(zhuǎn)子42'被以能夠圍繞測桿3'的軸旋轉(zhuǎn)的方式支承。即，在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'的定子41'側(cè)的端部沿著測桿3'的外周形成轉(zhuǎn)子支承部46'，在該轉(zhuǎn)子支承 部46'的外周外嵌有第一轉(zhuǎn)子42'。另外，第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'具備從外周向中心螺旋進(jìn)入的螺旋狀的鍵47'。該鍵47'的前端從第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'的內(nèi)周突出，與測桿3'的外周的鍵槽34'相卡合。即，使得當(dāng)測桿3'旋轉(zhuǎn)時，由于鍵47'卡合在測桿3'的鍵槽34'中，因此第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'與測桿3'同步地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。另外，在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'的外周形成有第一齒輪48'。該齒輪48'設(shè)置在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'中的測桿3'的前端側(cè)的端部，具有大于旋轉(zhuǎn)圓筒43'的其它部分的外周的外徑尺寸。第一齒輪48'的齒數(shù)例如被設(shè)定為40個。第二旋轉(zhuǎn)編碼器50'具備上述的定子41'、第二轉(zhuǎn)子51'、第二旋轉(zhuǎn)圓筒(保持體)52'以及中繼齒輪53'。定子41'是第一旋轉(zhuǎn)編碼器40'的定子41'，是旋轉(zhuǎn)編碼器40'、50'所共用的部件。第二轉(zhuǎn)子51'在圓板的中央具有能夠配置第一轉(zhuǎn)子42'的孔54'，以包圍該第一轉(zhuǎn)子42'的方式配置在該第一轉(zhuǎn)子42'的外周。另外，第二轉(zhuǎn)子51'和第一轉(zhuǎn)子42'同樣地在軸向上與定子41'相對地配置在與定子41'相距規(guī)定尺寸的位置上。這樣，各轉(zhuǎn)子42'、51'的與定子41'相對的面大致形成同一平面。
第二旋轉(zhuǎn)圓筒52'在內(nèi)部被第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'(除第一齒輪48'以外的部分)貫通的狀態(tài)下被該第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'所支承。第二轉(zhuǎn)子51'粘貼在該第二旋轉(zhuǎn)圓筒52'的定子41'側(cè)的端部。通過這樣，第二轉(zhuǎn)子51'被以能夠圍繞測桿3'的軸旋轉(zhuǎn)的方式支承。即，第一轉(zhuǎn)子42'、第二轉(zhuǎn)子51'分別配置在內(nèi)側(cè)和外側(cè)，構(gòu)成了雙層圓筒結(jié)構(gòu)。另外，在第二旋轉(zhuǎn)圓筒52'的外周形成有第二齒輪55'。該齒輪55'設(shè)置在第二旋轉(zhuǎn)圓筒52'中的測桿3'的前端側(cè)的端部，具有與第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'的齒輪48'大致相同的外徑尺寸。第二齒輪55'的齒數(shù)例如被設(shè)定為41個，僅比第一齒輪48'的齒數(shù)多一個。中繼齒輪53'以能夠旋轉(zhuǎn)的方式被主體2'所支承，在與第一齒輪48'和第二齒輪55'這兩個齒輪相嚙合的狀態(tài)下進(jìn)行配置。S卩，中繼齒輪53'構(gòu)成為具有與第一齒輪48'相嚙合的第一中繼齒輪53A'、與第二齒輪55'相嚙合的第二中繼齒輪53B'以及將這些中繼齒輪53A'、53B'樞轉(zhuǎn)支承在同一軸上的軸部53C'。中繼齒輪53A'、53B'的各齒數(shù)被設(shè)定為相同，例如是12個。在此,構(gòu)成一對齒輪的第一齒輪48'和第一中繼齒輪53A,的各組件是一致的，構(gòu)成另一對齒輪的第二齒輪55'和第二中繼齒輪53B'的各組件也是一致的，由此，當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)圓筒43'旋轉(zhuǎn)時，通過中繼齒輪53'，使第二旋轉(zhuǎn)圓筒52'能夠平滑地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。此時，根據(jù)齒輪48'與齒輪55'的齒數(shù)的差異，各轉(zhuǎn)子42'、51'以不同的速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。例如本實施方式那樣在將齒輪48'的齒數(shù)設(shè)為40個、將齒輪55'的齒數(shù)設(shè)為41個的情況下，在測桿3'在進(jìn)退移動范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)40周時，第一轉(zhuǎn)子42'旋轉(zhuǎn)40周、第二轉(zhuǎn)子51'旋轉(zhuǎn)約39周。另外，第一旋轉(zhuǎn)編碼器40'和第二旋轉(zhuǎn)編碼器50'能夠檢測各自的轉(zhuǎn)子42'、51'旋轉(zhuǎn)一周以內(nèi)的絕對角度。即，定子41'在第一轉(zhuǎn)子42'每旋轉(zhuǎn)一周時輸出表示一個周期的變化的相位信號。并且，由于第一轉(zhuǎn)子42'與測桿3'同步地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此與第一轉(zhuǎn)子42'有關(guān)的相位信號根據(jù)測桿3'旋轉(zhuǎn)一周而表示本發(fā)明的第一周期的變化。例如，在測桿3'旋轉(zhuǎn)40周時表示 40個周期的變化。定子41'對于第二轉(zhuǎn)子51'也在其每旋轉(zhuǎn)一周時輸出表示一個周期的變化的相位信號。并且，由于在測桿3'旋轉(zhuǎn)40周時第二轉(zhuǎn)子51'旋轉(zhuǎn)約39周，因此與第二轉(zhuǎn)子51'有關(guān)的相位信號根據(jù)測桿3'旋轉(zhuǎn)40周而表示約39個周期的變化。接著，參照圖28說明定子41'、第一轉(zhuǎn)子42'以及第二轉(zhuǎn)子51'的結(jié)構(gòu)。圖28是定子41'、第一轉(zhuǎn)子42'以及第二轉(zhuǎn)子51'的截面圖。定子41'如圖28所示那樣具有層疊的絕緣層411A' 411D'。定子41'在絕緣層411A'的轉(zhuǎn)子42'、51'側(cè)的表面具有第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'。第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'以穿通孔44'為中心形成為環(huán)狀。另外，定子41'在轉(zhuǎn)子42'、51'側(cè)的絕緣層411A'具有第一接收線圈413a'，在中間的絕緣層411C'具有第二接收線圈413b'。另外，定子41'在絕緣層411A'具有第三接收線圈413c'，在絕緣層411C'具有第四接收線圈413d'。第一接收線圈413a'、第三接收線圈413c'的一部分形成在絕緣層411A'的轉(zhuǎn)子42'、51'側(cè)的表面，第一接收線圈413a'、第三接收線圈413c'的其余部分形成在絕緣層411B'的轉(zhuǎn)子42'、51'側(cè)的表面，兩者通過貫通絕緣層411A'的通孔或者導(dǎo)通孔彼此進(jìn)行了連接。第二接收線圈413b'、第四接收線圈413d'的一部分形成在絕緣層411C'的轉(zhuǎn)子42'、51'側(cè)的表面，第二接收線圈413b'、第四接收線圈413d'的其余部分形成在絕緣層411D'的轉(zhuǎn)子42'、51'側(cè)的表面，兩者通過貫通絕緣層411C'的通孔或者導(dǎo)通孔彼此進(jìn)行了連接。第一接收線圈413a' 第四接收線圈413d'以穿通孔44'為中心形成為環(huán)狀。第一接收線圈413a'、第二接收線圈413b'隔著絕緣層411B'層疊在層疊方向上相互重疊的位置。第三接收線圈413c'、第四接收線圈413d'設(shè)置在比第一接收線圈413a'、第二接收線圈413b'更靠近定子41'的外周側(cè)的位置。第三接收線圈413c'、第四接收線圈413d'隔著絕緣層411B'層疊在層疊方向上相互重疊的位置。另一方面，第一轉(zhuǎn)子42'如圖28所示那樣具有層疊的絕緣層421A'和421B'。第一轉(zhuǎn)子42'在絕緣層421A'的定子41'側(cè)的表面具有第一磁通耦合體422a'，在絕緣層421B'的定子41'側(cè)的表面具有第二磁通耦合體422b'。第一磁通耦合體422a'和第二磁通耦合體422b'以穿通孔45'為中心形成為環(huán)狀。第一磁通耦合體422a'、第二磁通耦合體422b'隔著絕緣層421A'層疊在層疊方向上相互重疊的位置。第二轉(zhuǎn)子51'如圖28所示那樣具有層疊的絕緣層511A'和511B'。第二轉(zhuǎn)子51'在絕緣層511A'的定子41'側(cè)的表面具有第三磁通耦合體512a'，在絕緣層511B'的定子41'側(cè)的表面具有第四磁通耦合體512b'。第三磁通耦合體512a'和第四磁通耦合體512b'以孔54'為中心形成為環(huán)狀。第三磁通耦合體512a'、第四磁通耦合體512b'隔著絕緣層511A'層疊在層疊方向上相互重疊的位置。第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'分時地流動隨時間而改變的驅(qū)動信號，將由此產(chǎn)生的磁場施加到第一磁通耦合體422a'、第二磁通耦合體422b'、第三磁通耦合體512a'、第四磁通耦合體512b'。第一磁通耦合體422a'、第二磁通耦合體422b '基于由流經(jīng)第一發(fā)送線圈412a'、第二發(fā)送線圈412b'的驅(qū)動信號產(chǎn)生的磁場而產(chǎn)生感應(yīng)電流。第三磁通耦合體512a'、第四磁通耦合體 512b'基于由流經(jīng)第二發(fā)送線圈412b'、第三發(fā)送線圈412c'的驅(qū)動信號產(chǎn)生的磁場而產(chǎn)生感應(yīng)電流。在由于第二發(fā)送線圈412b'與第一磁通I禹合體422a'的磁通I禹合而在第一磁通耦合體422a'中產(chǎn)生了感應(yīng)電流的情況下，第一接收線圈413a'檢測通過基于該情況的磁通耦合產(chǎn)生的感應(yīng)電壓。在由于第一發(fā)送線圈412a'與第二磁通耦合體422b'的磁通耦合而在第二磁通耦合體422b'中產(chǎn)生了感應(yīng)電流的情況下，第二接收線圈413b'檢測通過基于該情況的磁通耦合產(chǎn)生的感應(yīng)電壓。在由于第三發(fā)送線圈412c'與第三磁通耦合體512a'的磁通耦合而在第三磁通耦合體512a'中產(chǎn)生了感應(yīng)電流的情況下，第三接收線圈413c'檢測通過基于該情況的磁通耦合產(chǎn)生的感應(yīng)電壓。在由于第二發(fā)送線圈412b'與第四磁通耦合體512b'的磁通耦合而在第四磁通耦合體512b'中產(chǎn)生了感應(yīng)電流的情況下，第四接收線圈413d'檢測通過基于該情況的磁通耦合產(chǎn)生的感應(yīng)電壓。在圖28中，第一接收線圈413a'與第一磁通耦合體422a'相對。另外，在第二接收線圈413b'與第二磁通耦合體422b'之間配置有第一接收線圈413a'和第一磁通耦合體422a'。通過該配置，能夠提高由第一接收線圈413a'接收的信號強(qiáng)度。在第一接收線圈413a'的接收信號影響測量精確度的情況下，該配置是優(yōu)選的。
同樣地，在圖28中，第三接收線圈413c'與第三磁通耦合體512a'相對。另外，在第四接收線圈413d'與第四磁通耦合體512b'之間配置有第三接收線圈413c'和第三磁通耦合體512a'。通過該配置，能夠提高由第三接收線圈413c'接收的信號強(qiáng)度。在第三接收線圈413c'的接收信號影響測量精確度的情況下，該配置是優(yōu)選的。接著，說明第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'、第一接收線圈413a' 第四接收線圈413d'、第一磁通耦合體422a'、第二磁通耦合體422b'、第三磁通耦合體512a'、第四磁通耦合體512b'的平面形狀。圖29是表示第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'以及第一接收線圈413a'、第三接收線圈413c'的平面圖。第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'如圖29所示那樣形成為與測桿3'同軸，具有大致圓形的電流路徑。第二發(fā)送線圈412b'形成在第一發(fā)送線圈412a'的外周側(cè)，第三發(fā)送線圈412c'形成在第二發(fā)送線圈412b'的外周側(cè)。第一接收線圈413a'、第三接收線圈413c'如圖29所示那樣與測桿3'同軸地形成為環(huán)狀。第一接收線圈413a'設(shè)置在第一發(fā)送線圈412a'的外周側(cè)且第二發(fā)送線圈412b'的內(nèi)周側(cè)的位置。第三接收線圈413c'設(shè)置在第二發(fā)送線圈412b'的外周側(cè)且第三發(fā)送線圈412c'的內(nèi)周側(cè)的位置。即，第三接收線圈413c'設(shè)置在第一接收線圈413a'的外周。第一接收線圈413a'、第三接收線圈413c'各自由相位在旋轉(zhuǎn)方向上不同的三個接收線圈413aa' 413ac'、413ca' 413cc'構(gòu)成。接收線圈413aa' 413ac'、413ca' 413cc'分別為了不使交叉部短路而將相互交叉的部分隔著絕緣層411A'上下排列，彼此通過通孔或?qū)走M(jìn)行連接，由此各自被絕緣分離地進(jìn)行配置。接著，參照圖30說明接收線圈413aa'、413ca'的形狀。圖30是表示接收線圈413aa'、413ca'的平面圖。接收線圈413aa'如圖30所示那樣具有在轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)方向上以間距Al'周期性地變化的環(huán)狀(菱 形形狀)的形狀。在接收線圈413aa'中，在圖30所示的例子中設(shè)置有十個(NI)菱形形狀的對PAl'。此外，接收線圈413ab'、413ac'也具有與接收線圈413aa'相同的形狀。接收線圈413ca'如圖30所示那樣具有在轉(zhuǎn)子51'的旋轉(zhuǎn)方向上以間距入3'周期性地變化的環(huán)狀(菱形形狀)的形狀。在接收線圈413ca'中，在圖30所示的例子中設(shè)置有十個(N3)菱形形狀的對PA3'。此外，接收線圈413cb'、413cc'也具有與接收線圈413ca/相同的形狀。接著，參照圖31說明第二接收線圈413b'、第四接收線圈413d'的形狀。圖31是表示第二接收線圈413b'、第四接收線圈413d'的平面圖。第二接收線圈413b'、第四接收線圈413d'如圖31所示那樣與測桿3'同軸地形成為環(huán)狀。第二接收線圈413b'形成為與第一接收線圈413a'在層疊方向上相重疊。第四接收線圈413d'位于第二接收線圈413b'的外周側(cè)，被形成為與第三接收線圈413c'在層疊方向上相重疊。第二接收線圈413b'、第四接收線圈413d'各自由相位在旋轉(zhuǎn)方向上不同的三個接收線圈413ba' 413bc'、413da' 413dc'構(gòu)成。接收線圈413ba/ 413bc'、413da' 413dc'分別為了不使交叉部短路而將相互交叉的部分隔著絕緣層411C'上下排列，彼此通過通孔或?qū)走M(jìn)行連接，由此各自被絕緣分離地進(jìn)行配置。接著，參照圖32說明接收線圈413ba'、413da'的形狀。圖32是表示接收線圈413ba/、413(^'的平面圖。接收線圈413ba'如圖32所示那樣具有在轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)方向上以與間距入I'不同的間距W {\2'周期性地變化的環(huán)狀(菱形形狀)的形狀。在接收線圈413ba'中，在圖32所示的例子中設(shè)置有九個(N2)菱形形狀的對PA2'。在本實施方式中，間距M'短于間距X2' (Ar <A2/ )。此外，接收線圈413bb'、413bc'也具有與接收線圈413ba'相同的形狀。接收線圈413da'如圖32所示那樣具有在轉(zhuǎn)子51'的旋轉(zhuǎn)方向上以與間距入3'不同的間距X 4' U 4'古X 3')周期性地變化的環(huán)狀(菱形形狀)的形狀。在接收線圈413da'中，在圖32所示的例子中設(shè)置有九個(N4)菱形形狀的對PA4'。在本實施方式中，間距X3'短于間距X4' (A3/ <A4;)。此外，接收線圈413db'、413dc'也具有與接收線圈413da'相同的形狀。接著，參照圖33A說明第一磁通耦合體422a'的形狀。圖33A是表示第一磁通耦合體422a'的平面圖。第一磁通耦合體422a'如圖33A所示那樣形成為與測桿3'同軸，并形成為與第一接收線圈413a'隔著空隙相重疊。第一磁通耦合體422a'具有如下形狀的布線，即在轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)方向上以與第一接收線圈413a'相同的間距入I'周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的布線部分和內(nèi)切于該齒輪狀的布線部分的圓形狀的布線部分相疊加的形狀。更具體地說，第一磁通耦合體422a'交替地構(gòu)成向靠近測桿3'的方向凹陷的凹部422aa'和向離開測桿3'的方向突出的凸部422ab'。另外，第一磁通耦合體422a'具有將多個凹部422aa'連接的圓環(huán)狀的連接部422ac '。S卩，多個凹部422aa'以及凸部422ab'形成齒輪狀的電流路徑，多個凹部422aa'以及連接部422ac'形成圓環(huán)狀的電流路徑。在圖33A所示的例子中設(shè)置有十個(NI)凹部422aa'、凸部422ab'以及連接部422ac'的組合 PA5,。接著，參照圖 33B說明第三磁通耦合體512a'的形狀。圖33B是表示第三磁通耦合體512a'的平面圖。第三磁通耦合體512a'如圖33B所示那樣形成為與測桿3'同軸，并形成為與第三接收線圈413c'隔著空隙相重疊。第三磁通耦合體512a'具有如下形狀的布線，即在轉(zhuǎn)子51'的旋轉(zhuǎn)方向上以與第三接收線圈413c'相同的間距入3'周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的布線部分和內(nèi)切于該齒輪狀的布線部分的圓形狀的布線部分相疊加的形狀。更具體地說，第三磁通耦合體512a'交替地構(gòu)成向靠近測桿3'的方向凹陷的凹部512aa'和向離開測桿3'的方向突出的凸部512ab'。另外，第三磁通耦合體512a'具有將多個凹部512aa'連接的圓環(huán)狀的連接部512ac'。S卩，多個凹部512aa'以及凸部512ab'形成齒輪狀的電流路徑，多個凹部512aa'以及連接部512ac'形成圓環(huán)狀的電流路徑。在圖33B所示的例子中設(shè)置有十個(N3)凹部512aa'、凸部512ab'以及連接部512ac/ 的組合 PA6,。接著，參照圖34A說明第二磁通耦合體422b'的形狀。圖34A是表示第二磁通耦合體422b'的平面圖。第二磁通耦合體422b'如圖34A所示那樣形成為與測桿3'同軸，并形成為與第一磁通耦合體422a'隔著絕緣層421A'在層疊方向上相重疊。第二磁通耦合體422b'具有如下形狀的布線，即在轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)方向上以間距入2'周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的布線部分和外切于該齒輪狀的布線部分的圓形狀的布線部分相疊加的形狀。更具體地說，第二磁通耦合體422b'交替地構(gòu)成向靠近測桿3'的方向凹陷的凹部422ba/和向離開測桿3'的方向突出的凸部422bb'。另外，第二磁通耦合體422b'具有將多個凸部422bb'連接的圓環(huán)連接部422bc'。即，多個凸部422bb'以及連接部422bc'形成圓環(huán)狀的電流路徑，多個凹部422ba'以及凸部422bb'形成齒輪狀的電流路徑。在圖34A所示的例子中設(shè)置有九個(N2)凹部422ba'、凸部422bb'以及連接部422bc'的組合PA7'。接著，參照圖34B說明第四磁通耦合體512b'的形狀。圖34B是表示第四磁通耦合體512b'的平面圖。第四磁通耦合體512b'如圖34B所示那樣形成為與測桿3'同軸，并形成為與第三磁通耦合體512a'隔著絕緣層511A'在層疊方向上相重疊。第四磁通耦合體512b'具有如下形狀的布線，即在轉(zhuǎn)子51'的旋轉(zhuǎn)方向上以間距入4'周期性地變化的連續(xù)的齒輪狀的布線部分和外切于該齒輪狀的布線部分的圓形狀的布線部分相疊加的形狀。更具體地說，第四磁通耦合體512b'交替地構(gòu)成向靠近測桿3'的方向凹陷的凹部512ba/和向離開測桿3'的方向突出的凸部512bb'。另外，第四磁通耦合體512b'具有將多個凸部512bb'連接的圓環(huán)連接部512bc'。即，多個凸部512bb'以及連接部512bc'形成圓環(huán)狀的電流路徑，多個凹部512ba'以及凸部512bb'形成齒輪狀的電流路徑。在圖34B所示的例子中設(shè)置有九個(N4)凹部512ba'、凸部512bb'以及連接部512bc'的組合PA8'。根據(jù)以上的圖27 圖34B所示的結(jié)構(gòu)，第一接收線圈413a'和第一磁通耦合體422a'形成具有在轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)方向上以間距Al'周期性地變化的形狀的第一磁道。該第一磁道在轉(zhuǎn)子42'旋轉(zhuǎn)一周時生成十次(NI)的周期性變化。第二接收線圈413b'和第二磁通耦合體422b'形成具有在轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)方向上以與間距Al'不同的間距入2'周期性地變化的形狀的第二磁道。該第二磁道在轉(zhuǎn)子42'旋轉(zhuǎn)一周時生成九次(N2)的周期性變化。在本實施方式中，第一磁道的間距X I'短于第二磁道的間距X 2'且第一磁道的第一接收線圈413a'與第一磁通耦合體422a'之間的距離短于第二磁道的第二接收線圈413b'與第二磁通耦合體422b'之間的距離。由此，由于基于間距入I'的第一磁道的信號強(qiáng)度高于第二 磁道的信號強(qiáng)度，因此能夠獲得較高的測量精確度。另外，第三接收線圈413c'和第三磁通耦合體512a'形成具有在轉(zhuǎn)子51'的旋轉(zhuǎn)方向上以間距X 3'周期性地變化的形狀的第三磁道。該第三磁道在轉(zhuǎn)子51'旋轉(zhuǎn)一周時生成十次(N3)的周期性變化。第四接收線圈413d'和第四磁通耦合體512b'形成具有在轉(zhuǎn)子51'的旋轉(zhuǎn)方向上以與間距入3'不同的間距入4'周期性地變化的形狀的第四磁道。該第四磁道在轉(zhuǎn)子51'旋轉(zhuǎn)一周時生成九次(N4)的周期性變化。在本實施方式中，第三磁道的間距入3'短于第四磁道的間距入4'且第三磁道的第三接收線圈413c'與第三磁通耦合體512a'之間的距離短于第四磁道的第四接收線圈413d'與第四磁通耦合體512b'之間的距離。由此，由于基于間距X 3'的第三磁道的信號強(qiáng)度高于第四磁道的信號強(qiáng)度，因此能夠獲得較高的測量精確度。圖35示出了向第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'供給電流的電流供給單元。第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'分別為一端接地，另一端通過開關(guān)SI'連接交流電源V。在測量時，通過開關(guān)SI'的切換將隨時間而變化的驅(qū)動信號供給給第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'。具體地說，僅向第二發(fā)送線圈412b'供給驅(qū)動信號，之后僅向第一發(fā)送線圈412a'和第三發(fā)送線圈412c'同時供給驅(qū)動信號。重復(fù)進(jìn)行這些工序。接著，參照圖36A、圖36B以及圖37說明由第一接收線圈413a' 第四接收線圈413d'獲得的信號。如上所述，第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'中分時地流動隨時間而變化的驅(qū)動信號。首先，參照圖36A說明在第二發(fā)送線圈412b'中流動電流的情況。當(dāng)在第二發(fā)送線圈412b'中電流順時針流動時，在各電流路徑中沿右螺旋方向產(chǎn)生磁場，因此該磁場與第一磁通耦合體422a'、第二磁通耦合體422b'、第三磁通耦合體512a'、第四磁通耦合體512b'發(fā)生耦合，從而在第一磁通耦合體422a'、第二磁通耦合體422b'、第三磁通耦合體512a'、第四磁通耦合體512b'中電流逆時針流動。在第一磁通耦合體422a'中，如圖36A所示那樣大部分主要是在凸部422ab'感應(yīng)出的電流。因而，在第一磁通耦合體422a'中感應(yīng)出的電流主要在由凹部422aa'和凸部422ab'形成的齒輪狀的電流路徑中流動。由此，在第一磁通耦合體422a'的凹部422aa/產(chǎn)生從圖36A的紙面的表面進(jìn)到背面的磁場，在凸部422ab'產(chǎn)生從紙面的背面進(jìn)到表面的磁場，這些磁場形成間距Al'的周期性的磁性圖案。由第一接收線圈413a'接收這些磁場。另外，在第二磁通耦合體422b'中，如圖36A所示那樣在凸部422bb'和連接部422bc/中感應(yīng)出電流，電流主要在圓環(huán)狀的電流路徑中流動。在由凹部422ba'和凸部422bb'構(gòu)成的齒輪狀的電流路徑中流動的電流為在圓環(huán)狀的電流路徑中流動的電流的十分之一左右的值。因而，在第二磁通耦合體422b'中產(chǎn)生的形成間距入2'的磁性圖案的磁場與在第一磁通耦合體422a'中產(chǎn)生的形成間距Al'的磁性圖案的磁場相比小。另夕卜，相對于第一磁通耦合體422a' —周的長度為間距Al' X 10，第二磁通耦合體422b'一周的長度為間距入2' X9，因此關(guān)于與第一接收線圈413a'發(fā)生耦合的磁場的影響，如圖37所示，就一周總體 來說來自第二磁通耦合體422b'的磁場的影響被抵消。即，根據(jù)不同的間距入I'、入2'，在第一接收線圈413a'中，由于第二磁通耦合體422b'所引起的感應(yīng)電壓相互抵除，因此其信號非常小。能夠在第一接收線圈413a'中抑制來自第二磁通耦合體422b'的串?dāng)_。在第三磁通耦合體512a'中，如圖36A所示那樣在凹部512aa'和連接部512ac'中感應(yīng)出電流，電流主要在圓環(huán)狀的電流路徑中流動。因而，與上述的情況同樣地幾乎不會從第三磁通耦合體512a'產(chǎn)生磁場，并且即使在若干磁場在第四接收線圈413d'中感應(yīng)出了電流的情況下，該電流也會由于第三磁通耦合體512a'與第四接收線圈413d'的相位的差而相互抵除，從而檢測出的信號非常小。另一方面，在第四磁通耦合體512b'中大部分是在凹部512ba'感應(yīng)出的電流。因此，電流主要在由凹部512ba'和凸部512bb'形成的齒輪狀的電流路徑中流動。由此，在第四磁通耦合體512b'的凹部512ba'產(chǎn)生從圖36A的紙面的表面進(jìn)到背面的磁場，在凸部512bb'產(chǎn)生從紙面的背面進(jìn)到表面的磁場，這些磁場形成間距X 4'的周期性的磁性圖案。由第四接收線圈413d'接收這些磁場。接著，參照圖36B說明在第一發(fā)送線圈412a'和第三發(fā)送線圈412c'中流動電流的情況。當(dāng)在第一發(fā)送線圈412a'和第三發(fā)送線圈412c'中電流順時針流動時，與在第二發(fā)送線圈412b'中流動電流的情況同樣地在第一磁通耦合體422a'、第二磁通耦合體422bf、第三磁通耦合體512a'、第四磁通耦合體512b'中電流逆時針流動。在第一磁通耦合體422a^中，如圖36B所示那樣在凹部422aa'和連接部422ac'中感應(yīng)出電流，電流主要在圓環(huán)狀的電流路徑中流動。因而，與上述的情況同樣地幾乎不從第一磁通耦合體422a'產(chǎn)生間距Al'的磁場，并且即使在若干間距Al'的磁場在第二接收線圈413b'感應(yīng)出電流的情況下，在第二接收線圈413b'中由第一磁通耦合體422a/引起的感應(yīng)電壓也會由于第一磁通耦合體422a'與第二接收線圈413b'的間距的差而相互抵除，因此檢測出的信號非常小。另一方面，在第二磁通耦合體422b'中如圖36B那樣大部分是在凹部422ba'感應(yīng)出的電流。因此，電流主要在由凹部422ba'和凸部422bb'形成的齒輪狀的電流路徑中流動。由此，在第二磁通耦合體422b'的凹部422ba'產(chǎn)生從圖36B的紙面的表面進(jìn)到背面的磁場，在凸部422bb'產(chǎn)生從紙面的背面進(jìn)到表面的磁場，這些磁場形成間距X 2'的周期性的磁性圖案。由第二接收線圈413b'接收這些磁場。在第三磁通耦合體512a'中如圖36B所示那樣大部分是在凸部512ab'感應(yīng)出的電流。因此，電流主要在由凹部512aa'和凸部512ab'形成的齒輪狀的電流路徑中流動。由此，在第三磁通耦合體512a'的凹部512aa'產(chǎn)生從圖36B的紙面的表面進(jìn)到背面的磁場，在凸部512ab'產(chǎn)生從紙面的背面進(jìn)到表面的磁場，這些磁場形成間距X 3'的周期性的磁性圖案。由第三接收線圈413c'接收這些磁場。另一方面，在第四磁通耦合體512b'中，如圖36B所示那樣在凸部512bb'和連接部512bc'感應(yīng)出電流，電流主要在圓環(huán)狀的電流路徑中流動。因而，與上述的情況同樣地幾乎不從第四磁通耦合體512b'產(chǎn)生間距入4'的磁場，并且即使在若干間距入4'的磁場在第三接收線圈413c'中感應(yīng)出電流的情況下，在第四接收線圈413d'中由第三磁通耦合體512a'引起的感應(yīng)電壓也會由于第三磁通耦合體512a'與第四接收線圈413d'的間距的差而相互抵除， 因此檢測出的信號非常小。根據(jù)以上內(nèi)容，從第一接收線圈413a' 第四接收線圈413d'獲得如圖37所示那樣與轉(zhuǎn)子42'、51'相對于定子41'的位置相應(yīng)地改變的接收信號。由第一接收線圈413a'和第二接收線圈413b'獲得的接收信號在轉(zhuǎn)子42'旋轉(zhuǎn)一周時錯開了一個周期，因此能夠基于這兩個接收信號檢測出旋轉(zhuǎn)一周時的絕對位置。同樣地，由第三接收線圈413c'和第四接收線圈413d'獲得的接收信號在轉(zhuǎn)子51'旋轉(zhuǎn)一周時錯開了一個周期，因此能夠基于這兩個接收信號檢測出旋轉(zhuǎn)一周時的絕對位置。此外，圖37僅圖示了一相的信號，但是實際上能夠獲得各錯開120°的三相的接收信號。以上，根據(jù)本實施方式，能夠?qū)⒌谝唤邮站€圈413a'、第二接收線圈413b'在測桿3'的長度方向上隔著絕緣層進(jìn)行重疊，同樣地，能夠?qū)⒌谌邮站€圈413c'、第四接收線圈413d'在測桿3'的長度方向上隔著絕緣層進(jìn)行重疊。另外，也能夠?qū)⒌谝淮磐詈象w422a'、第二磁通耦合體422b'在測桿3'的長度方向上隔著絕緣層進(jìn)行重疊，同樣地，也能夠?qū)⒌谌磐詈象w512a'、第四磁通耦合體512b'在測桿3'的長度方向上隔著絕緣層進(jìn)行重疊。因而，能夠減小編碼器的外徑，并能夠抑制串?dāng)_的產(chǎn)生。并且，由于能夠通過三個發(fā)送線圈412a' 412c'驅(qū)動四個磁道，因此能夠使感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器的結(jié)構(gòu)變得更簡單。接著，參照圖38詳細(xì)說明發(fā)送接收控制部6'和運算處理部7'的結(jié)構(gòu)。圖38是表示發(fā)送接收控制部6'和運算處理部7'的結(jié)構(gòu)的框圖。首先，說明發(fā)送接收控制部6'。發(fā)送接收控制部6'具有發(fā)送控制部60'、第一接收控制部64'以及第二接收控制部66'。發(fā)送控制部60'控制向第一旋轉(zhuǎn)編碼器40'和第二旋轉(zhuǎn)編碼器50'的信號的發(fā)送。發(fā)送控制部60'向定子41'發(fā)送第一轉(zhuǎn)子42'和第二轉(zhuǎn)子51'用(第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'用)的規(guī)定的交流信號。第一接收控制部64'從定子41'(第一接收線圈413a'和第二接收線圈413b')接收第一轉(zhuǎn)子42'的相位信號。在此，相位信號是表示基于第一磁通耦合體422a'的信號與基于第二磁通耦合體422b'的信號之間的相位差的信號。第二接收控制部66'從定子41'(第三接收線圈413c'和第四接收線圈413d')接收第二轉(zhuǎn)子51'的相位信號。在此，相位信號是表示基于第三磁通耦合體512a'的信號與基于第四磁通耦合體512b'的信號之間的相位差的信號。第一接收控制部64'和第二接收控制部66'將從定子41'接收到的各轉(zhuǎn)子42'、51'的相位信號輸出到運算處理部7'。接著，說明運算處理部7'。運算處理部7'具備旋轉(zhuǎn)角計算部71'、旋轉(zhuǎn)相位計算部72'以及測桿位置計算部73'。旋轉(zhuǎn)角計算部71'分別計算第一轉(zhuǎn)子42'和第二轉(zhuǎn)子51'的旋轉(zhuǎn)角0 1、0 2。旋轉(zhuǎn)相位計算部72'根據(jù)由旋轉(zhuǎn)角計算部71'計算出的各轉(zhuǎn)子42'、51'的旋轉(zhuǎn)角9 1、0 2來計算測桿3'的旋轉(zhuǎn)相位。測桿位置計算部73'根據(jù)由旋轉(zhuǎn)相位計算部72'計算出的測桿3'的旋轉(zhuǎn)相位來計算測桿3'的絕對位置。旋轉(zhuǎn)角計算 部71'具備第一旋轉(zhuǎn)角計算部74'以及第二旋轉(zhuǎn)角計算部75'。第一旋轉(zhuǎn)角計算部74'根據(jù)來自第一接收控制部64'的相位信號來計算第一轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)角0 1。第二旋轉(zhuǎn)角計算部75'根據(jù)來自第二接收控制部66'的相位信號來計算第二轉(zhuǎn)子51'的旋轉(zhuǎn)角0 2。第一旋轉(zhuǎn)角計算部74'根據(jù)來自第一接收控制部64'的相位信號來計算第一轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)角0 I作為旋轉(zhuǎn)一周內(nèi)的絕對角度(0°〈0 1〈360° )。在此，來自第一接收控制部64'的相位信號在第一轉(zhuǎn)子42'旋轉(zhuǎn)一周內(nèi)不產(chǎn)生相同的相位。在第一旋轉(zhuǎn)角計算部74'中將第一轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)角0 1與相位信號以一對一的關(guān)系進(jìn)行設(shè)定并存儲。由此，根據(jù)從第一接收控制部64'輸出的相位信號，第一轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)角0 1唯一地確定，從而能夠計算出第一轉(zhuǎn)子42'旋轉(zhuǎn)一周以內(nèi)的絕對角度。另外，第二旋轉(zhuǎn)角計算部75'與第一旋轉(zhuǎn)角計算部74'同樣地根據(jù)來自第二接收控制部66'的相位信號，計算第二轉(zhuǎn)子51'的旋轉(zhuǎn)角0 2作為旋轉(zhuǎn)一周內(nèi)的絕對角度。旋轉(zhuǎn)相位計算部72'具備差計算部76'以及總旋轉(zhuǎn)相位計算部77'。差計算部76'計算由旋轉(zhuǎn)角計算部71'計算出的各轉(zhuǎn)子42'、51'的旋轉(zhuǎn)角0 1、0 2的差0 3?？傂D(zhuǎn)相位計算部77'根據(jù)差0 3計算測桿3'的總旋轉(zhuǎn)相位。在總旋轉(zhuǎn)相位計算部77'中將差0 3與測桿3'的總旋轉(zhuǎn)相位以一對一的關(guān)系進(jìn)行設(shè)定并存儲。即，設(shè)定成在測桿3'在進(jìn)退移動范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)40周時各轉(zhuǎn)子42'、51'的旋轉(zhuǎn)角0 1、0 2之差為旋轉(zhuǎn)一周，因此差0 3是在0° 360°的范圍內(nèi)計算的，根據(jù)該差0 3唯一地計算出測桿3'的總旋轉(zhuǎn)相位0T。在測桿位置計算部73'中預(yù)先設(shè)定并存儲了測桿3'旋轉(zhuǎn)一周時的移動間距(0.5mm)。并且，在測桿位置計算部73'中，通過將移動間距(0.5mm)與總旋轉(zhuǎn)相位0T相乘來計算出測桿3'的總移動量、即測桿3'的絕對位置。顯示部8'例如通過數(shù)字顯示來顯示測桿3'的絕對位置。接著，說明本實施方式的機(jī)械動作。當(dāng)通過把手部32'使測桿3'旋轉(zhuǎn)時，通過主體2'的內(nèi)螺紋26'與測桿3'的進(jìn)給絲杠33'的螺合使測桿3'沿軸向前進(jìn)或后退。當(dāng)測桿3'旋轉(zhuǎn)時，第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'通過卡合在測桿3'的鍵槽34'中的鍵47'與測桿3' 一起旋轉(zhuǎn)。當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)圓筒43'旋轉(zhuǎn)時，第一轉(zhuǎn)子42'與第一旋轉(zhuǎn)圓筒43' —起旋轉(zhuǎn)。第一轉(zhuǎn)子42'的旋轉(zhuǎn)被定子41'檢測出并被發(fā)送至第一接收控制部64'。接著，在第一旋轉(zhuǎn)角計算部74'中計算出第一轉(zhuǎn)子42'旋轉(zhuǎn)一周以內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角9 1。在此，由于第一轉(zhuǎn)子42'與測桿3'同步地旋轉(zhuǎn)，因此第一轉(zhuǎn)子42'旋轉(zhuǎn)一周內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角Q I表示測桿3'旋轉(zhuǎn)一周內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角。另外，當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)圓筒43'旋轉(zhuǎn)時，與第一旋轉(zhuǎn)圓筒43'的齒輪48'相嚙合的中繼齒輪53'的第一中繼齒輪53A'旋轉(zhuǎn)。并且，與中繼齒輪53'的第二中繼齒輪53B'相嚙合的第二旋轉(zhuǎn)圓筒52'的齒輪55'旋轉(zhuǎn)，第二轉(zhuǎn)子51'與第二旋轉(zhuǎn)圓筒52' —起旋轉(zhuǎn)。第二轉(zhuǎn)子51'旋轉(zhuǎn)一周以內(nèi)的相位信號被定子41'檢測出并被發(fā)送至第二接收控制部66'。接著,在第二旋轉(zhuǎn)角計算部75'中計算出第二轉(zhuǎn)子51'旋轉(zhuǎn)一周以內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角0 2。接著，在旋轉(zhuǎn)相位計算部72'中，計算出各轉(zhuǎn)子42'、51'的旋轉(zhuǎn)角0 1、02的差9 3，根據(jù)該差03計算出測桿3'的總旋轉(zhuǎn)相位0T。最后，在測桿位置計算部73'中，根據(jù)總旋轉(zhuǎn)相位9 T與測 桿3'的進(jìn)給間距(0.5_)計算出測桿3'的絕對位置，并顯示在顯示部8'上。[第六實施方式]接著，參照圖39說明搭載有第六實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4a'的測微頭Ia'的整體結(jié)構(gòu)。圖39是表示第六實施方式所涉及的測微頭Ia'的截面圖。此夕卜，在第六實施方式中，針對與第五實施方式相同的結(jié)構(gòu)附加相同的附圖標(biāo)記，并省略其說明。測微頭Ia'如圖39所示那樣具有與第五實施方式不同的測桿3a'以及以測桿3a'為中心設(shè)置的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4a'。此外，測微頭Ia'的除此之外的結(jié)構(gòu)與第五實施方式相同。測桿3a'與第五實施方式同樣地形成為大致圓柱狀，在前端側(cè)的端部具有與被測量物(未圖示)接觸的接觸面31'，在基端側(cè)的端部具有把手部32'。與第五實施方式不同，在測桿3a'的中央部設(shè)置有螺紋升角不同的兩個鍵槽34a'、34b'。第一鍵槽34a'與測桿3a'的軸平行地設(shè)置成直線狀。第二鍵槽34b'相對于測桿3a'設(shè)置成螺旋狀。第一鍵槽34a'和第二鍵槽34b'的起點和終點的位置在測桿3a'的軸向上大致一致。即，第一鍵槽34a'和第二鍵槽34b'被形成在測桿3a'的軸向上大致相同的范圍。
此外，在測桿3a'前進(jìn)或后退時，鍵槽34a'、34b'與測桿3a' —起出到主體2'的外部，但是外側(cè)框架11'設(shè)置成即使測桿3a'前進(jìn)到最大限度而鍵槽34a'、34b'也不會露出到外部。接著，說明感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4a'。圖40是感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4a'的分解立體圖。感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器4a'如圖40所示那樣包括第一旋轉(zhuǎn)編碼器40a'以及第二旋轉(zhuǎn)編碼器50a'，配設(shè)在主體2'的容納空間22'內(nèi)。第一旋轉(zhuǎn)編碼器40a'具有定子41a'以及第一轉(zhuǎn)子42a'，該第一轉(zhuǎn)子42a'具有與鍵槽34a'相卡合的鍵47a'，被設(shè)置成能夠以測桿3a'為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。定子41a'在被測桿3a'穿通的狀態(tài)下固定在容納空間22'的前端側(cè)內(nèi)壁28'上。第一轉(zhuǎn)子42a'就配設(shè)在測桿3a'的外側(cè)。第一轉(zhuǎn)子42a'在軸向上與定子41a'相對地配置在與定子41a'相距規(guī)定距離的位置。第一轉(zhuǎn)子42a'與定子41a'成對，具備在與定子41a'相對的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)的第一轉(zhuǎn)子板48a'、支承第一轉(zhuǎn)子板48a'以測桿3a'為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'以及與第一鍵槽34a'相卡合的第一鍵47a'。第一轉(zhuǎn)子板48a'是具有被測桿3a'穿通的孔的小圓板。第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'是外嵌于測桿3a'的圓筒狀，連接在第一轉(zhuǎn)子板48a'的背面并支承第一轉(zhuǎn)子板48a'的旋轉(zhuǎn)。在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'上設(shè)置有在與軸正交的方向上貫通形成的兩個孔43aa' >43ab 1 ,第一鍵47a'螺合在第一孔43aa'中。另外，第二孔43ab'形成為在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'的圓周方向上具有長度的長孔狀。第二旋轉(zhuǎn)編碼器50a'具有定子41a'以及第二轉(zhuǎn)子51a'，該第二轉(zhuǎn)子51a'具有與鍵槽34b'相卡合的鍵47b'，被設(shè)置成能夠以測桿3a'為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。第二轉(zhuǎn)子51a'以包圍第一轉(zhuǎn)子42a'的方式配置在其外側(cè)。第二轉(zhuǎn)子51a'在軸向上與定子41a'相對地 配置在與定子41a'相距規(guī)定距離的位置。第二轉(zhuǎn)子51a'與第一轉(zhuǎn)子42a'同樣地與定子41a'成對，具備在與定子41a'相對的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)的第二轉(zhuǎn)子板55a'、支承第二轉(zhuǎn)子板55a'以測桿3a'為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'以及與第二鍵槽34b'相卡合的第二鍵47b'。第二轉(zhuǎn)子板55a'是具有將第一轉(zhuǎn)子板48a'動配合于內(nèi)側(cè)的程度的內(nèi)孔的環(huán)狀板。第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'連接在第二轉(zhuǎn)子板55a'的背面，是具有將第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'動配合于內(nèi)側(cè)的孔的圓筒狀。第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'具有從與軸正交的方向貫通形成的孔52aa'，第二鍵47b'螺合在該孔52aa'中。此外，第二鍵47b'通過第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'的長孔即第二孔43ab'卡合在第二鍵槽34b'中。并且，第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'隔著第一轉(zhuǎn)子42a'在與定子41a'相反一側(cè)具有軸支承測桿3a'的軸承部52ab'。另外，在測桿軸向上，第二鍵47b'的位置與設(shè)置在第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'中的第一鍵47a'的位置大致相同。此外，在固定有定子41a'的容納空間22'的前端側(cè)內(nèi)壁28'上，測桿軸承27a'與定子41a'相比再向后端側(cè)延伸出少許。第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'的測桿軸承43ac'與第一轉(zhuǎn)子板48a'相比向定子41a'側(cè)延伸出少許。通過第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'的測桿軸承43ac'抵接主體2'的測桿軸承27a'，來適當(dāng)?shù)卮_保定子41a'與第一轉(zhuǎn)子板48a'的間隙。
另外，在第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'與間隔板23'之間插入未圖示的螺旋彈簧(施力單元)，從而第二轉(zhuǎn)子51a'向定子41a'側(cè)施力，并且通過第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'的內(nèi)壁按壓第一轉(zhuǎn)子42a'，從而第一轉(zhuǎn)子42a'也向定子41a'施力。接著，說明具備這樣的結(jié)構(gòu)的第六實施方式所涉及的測微頭Ia'的動作。當(dāng)通過把手部32'對測桿3a'進(jìn)行旋轉(zhuǎn)操作時，測桿3a'通過主體2'的內(nèi)螺紋26'與測桿3a'的進(jìn)給絲杠33'的螺合而在軸向上前進(jìn)或后退。另外，當(dāng)使測桿3a'旋轉(zhuǎn)時，第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'的第一鍵47a'和第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'的第二鍵47b'分別卡合在測桿3a'的第一鍵槽34a'和第二鍵槽34b'中，因此第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'和第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'隨著測桿3a'的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。此時，第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'通過測桿軸承43ac'軸支承測桿3a'，因此第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'以測桿3a'為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。另外，第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'通過軸承部622'軸支承測桿3a'，因此第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'也以測桿3a'為基準(zhǔn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。并且，第一鍵槽34a'與第二鍵槽34b'的螺紋升角互不相同，因此在測桿3a'旋轉(zhuǎn)一周時，第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a'和第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'以互不相同的旋轉(zhuǎn)量(旋轉(zhuǎn)相位)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)圓筒43a'和第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a'通過測桿3a'的旋轉(zhuǎn)而轉(zhuǎn)動時，第一轉(zhuǎn)子板48a'與第一旋轉(zhuǎn)圓筒43a' —起旋轉(zhuǎn),第二轉(zhuǎn)子板55a'與第二旋轉(zhuǎn)圓筒52a' —起旋轉(zhuǎn)。S卩，在第六實施方式中，也與第五實施方式同樣地，第一轉(zhuǎn)子42a'以與第二轉(zhuǎn)子51a'不同的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。此外,在第六實施方式中，也與第五實施方式同樣地,在與定子41'相對的第一轉(zhuǎn)子42a'上形成有第一磁通耦合體422a'、第二磁通耦合體422b'(省略圖示)。在與定子41'相對的第二轉(zhuǎn)子51a'上形成有第三磁通耦合體512a'、第四磁通耦合體512b'(省略圖示)。在與第一轉(zhuǎn)子42a'、第二轉(zhuǎn)子51a'相對的定子41a'上形成有第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'以及第一接收線圈413a' 第四接收線圈413d'(省略圖示)。

第六實施方式所涉及的測微頭Ia'與第五實施方式大致同樣地構(gòu)成，因此起到與第五實施方式相同的效果。[第七實施方式]接著，說明第七實施方式所涉及的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器。此外，在第七實施方式中，針對與第五實施方式相同的結(jié)構(gòu)附加相同的附圖標(biāo)記，省略其說明。圖41是表示向第七實施方式所涉及的第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'供給電流的電流供給單元的圖。如圖41所示，在第七實施方式中，通過開關(guān)SI'向第一發(fā)送線圈412a' 第三發(fā)送線圈412c'分開地供給驅(qū)動信號。第七實施方式在這一點上與同時向第一發(fā)送線圈412a'和第三發(fā)送線圈412c'供給驅(qū)動信號的第五實施方式不同。接著，參照圖42說明第七實施方式所涉及的發(fā)送接收控制部6'的結(jié)構(gòu)。圖42是表示第七實施方式所涉及的發(fā)送接收控制部6'以及運算處理部7'的結(jié)構(gòu)的框圖。發(fā)送接收控制部6'如圖42所示那樣具備:第一發(fā)送接收控制部61'，其控制針對第一旋轉(zhuǎn)編碼器40'的信號的發(fā)送和接收；以及第二發(fā)送接收控制部62'，其控制針對第二旋轉(zhuǎn)編碼器50'的信號的發(fā)送和接收。
第一發(fā)送接收控制部61'具備第一發(fā)送控制部63'和第一接收控制部64'。第一發(fā)送控制部63'向定子41'發(fā)送第一轉(zhuǎn)子42'用(第一發(fā)送線圈412a'、第二發(fā)送線圈412b'用)的規(guī)定的交流信號。第二發(fā)送接收控制部62'具備第二發(fā)送控制部65'和第二接收控制部66'。第二發(fā)送控制部65'向定子41'發(fā)送第二轉(zhuǎn)子51'用(第二發(fā)送線圈412b'、第三發(fā)送線圈412c'用)的規(guī)定的交流信號。上述第七實施方式也起到與第五實施方式相同的效果。以上說明了發(fā)明的實施方式，但是本發(fā)明并不限定于這些實施方式，在不脫離發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更、追加等。例如，在第一實施方式中，也可以為第二接收線圈32b與第二磁通耦合體41b相對，在第一接收線圈32a與第一磁通耦合體41a之間配置有第二接收線圈32b和第二磁通耦合體41b。另外，也可以為第二接收線圈32b與第一磁通耦合體41a相對，在第一接收線圈32a與第二磁通耦合體41b之間配置有第二接收線圈32b和第一磁通耦合體41a。另外，也可以為第一接收線圈32a與第二磁通耦合體41b相對，在第二接收線圈32b與第一磁通耦合體41a之間配置有第一接收線圈32a和第二磁通耦合體41b。另外，第一實施方式的發(fā)送線圈31也可以設(shè)為僅在外周側(cè)或僅在內(nèi)周側(cè)具有電流路徑的形狀。第二實施方式的第二發(fā)送線圈31b也可以形成在絕緣層33B的轉(zhuǎn)子15側(cè)的表面。另外，在第五實施方式中，第一磁通耦合體 第四磁通耦合體也可以是形成于電極、導(dǎo)電板的孔、凹部等。另外，第五實施方式根據(jù)第一轉(zhuǎn)子42'與第二轉(zhuǎn)子51'的位置關(guān)系來檢測第一轉(zhuǎn)子42'旋轉(zhuǎn)第幾周。然而，第五實施方式也可以根據(jù)第一轉(zhuǎn)子42'與第二轉(zhuǎn)子51'的位置關(guān)系來檢測第二轉(zhuǎn)子51'旋轉(zhuǎn)第幾周。

另外，在第五實施方式中，是N1=N3、N2=N4以及N4_N3=N2_N1 = 1，但是也可以是NI 幸 N3、N2 幸 N4 以及 N4-N3 幸 N2-N1 幸 1，還可以是 N1=N4、N2=N3?；蛘?N1、N2、N3、N4 也可以都不相同。另外，在第五實施方式中，也可以為第二接收線圈413b'與第二磁通耦合體422b/相對，在第一接收線圈413a'與第一磁通耦合體422a'之間配置有第二接收線圈413b'和第二磁通耦合體422b'。同樣地，也可以為第四接收線圈413d'與第四磁通耦合體512b'相對，在第三接收線圈413c'與第三磁通耦合體512a'之間配置有第四接收線圈413d'和第四磁通耦合體512b'。另外，在第五實施方式中，也可以為第二接收線圈413b'與第一磁通耦合體422a/相對，在第一接收線圈413a'與第二磁通耦合體422b'之間配置有第二接收線圈413b'和第一磁通耦合體422a'。同樣地，也可以為第四接收線圈413d'與第三磁通耦合體512a'相對，在第三接收線圈413c'與第四磁通耦合體512b'之間配置有第四接收線圈413d'和第三磁通耦合體512a'。另外，在第五實施方式中，也可以為第一接收線圈413a'與第二磁通耦合體422b/相對，在第二接收線圈413b'與第一磁通耦合體422a'之間配置有第一接收線圈413a'和第二磁通耦合體422b'。同樣地，也可以為第三接收線圈413c'與第四磁通耦合體512b'相對，在第四接收線圈413d'與第三磁通耦合體512a'之間配置有第三接收線圈413c'和第四磁通耦合體512b'。另外，上述實施方式是電磁感應(yīng)型旋轉(zhuǎn)編碼器，但是本發(fā)明也能夠應(yīng)用于靜電電容型、光電式的旋轉(zhuǎn) 編碼器。
權(quán)利要求
1.一種感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于，具備: 定子; 轉(zhuǎn)子，其配置成能夠以旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)且與上述定子相對； 發(fā)送線圈，其以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于上述定子； 第一接收線圈和第二接收線圈，該第一接收線圈和第二接收線圈沿著上述發(fā)送線圈以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于上述定子；以及 第一磁通耦合體和第二磁通耦合體，該第一磁通耦合體和第二磁通耦合體以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于上述轉(zhuǎn)子，分別與上述發(fā)送線圈、上述第一接收線圈及上述第二接收線圈發(fā)生磁通耦合， 其中，上述第一接收線圈和上述第一磁通耦合體形成第一磁道，該第一磁道具有在上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以第一間距周期性地變化的形狀， 上述第二接收線圈和上述第二磁通耦合體形成第二磁道，該第二磁道具有在上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以與上述第一間距不同的第二間距周期性地變化的形狀， 上述第一接收線圈和上述第二接收線圈在上述旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第一絕緣層層疊形成， 上述第一磁通耦合體和上述第二磁通耦合體在上述旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第二絕緣層層疊形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1 所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 上述發(fā)送線圈包括第一發(fā)送線圈和第二發(fā)送線圈， 上述第一發(fā)送線圈具有外周側(cè)的電流路徑和內(nèi)周側(cè)的電流路徑，由這些電流路徑包圍上述第一接收線圈， 上述第二發(fā)送線圈具有外周側(cè)的電流路徑和內(nèi)周側(cè)的電流路徑，由這些電流路徑包圍上述第二接收線圈， 在上述第一發(fā)送線圈的外周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向與在上述第一發(fā)送線圈的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向相同， 在上述第二發(fā)送線圈的外周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向與在上述第二發(fā)送線圈的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向相反， 上述第一磁通耦合體以齒輪狀連續(xù)地形成， 上述第二磁通耦合體以島狀間斷地形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 上述發(fā)送線圈構(gòu)成為具有外周側(cè)的電流路徑和內(nèi)周側(cè)的電流路徑，由這些電流路徑包圍上述第一接收線圈和上述第二接收線圈，并且能夠?qū)⑦B接關(guān)系切換為第一狀態(tài)和第二狀態(tài)， 在上述第一狀態(tài)下，在上述發(fā)送線圈的外周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向與在上述發(fā)送線圈的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向相同， 在上述第二狀態(tài)下，在上述發(fā)送線圈的外周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向與在上述發(fā)送線圈的內(nèi)周側(cè)的電流路徑中流動的電流的方向相反， 上述第一磁通耦合體以齒輪狀連續(xù)地形成， 上述第二磁通耦合體以島狀間斷地形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 上述第一接收線圈與上述第一磁通耦合體相對， 在上述第二接收線圈與上述第二磁通耦合體之間配置有上述第一接收線圈和上述第一磁通稱合體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 上述第一間距短于上述第二間距。
6.一種感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于，具備: 定子; 轉(zhuǎn)子，其配置成能夠以旋轉(zhuǎn)軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)且與上述定子相對； 第一發(fā)送線圈和第二發(fā)送線圈，該第一發(fā)送線圈以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于上述定子，該第二發(fā)送線圈以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成在上述第一發(fā)送線圈的內(nèi)周側(cè)；第一接收線圈和第二接收線圈，該第一接收線圈和第二接收線圈沿著上述發(fā)送線圈以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于上述定子；以及 第一磁通耦合體和第二磁通耦合體，該第一磁通耦合體和第二磁通耦合體以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心呈環(huán)狀形成于上述轉(zhuǎn)子，分別與上述第一發(fā)送線圈、上述第二發(fā)送線圈、上述第一接收線圈及上述第二接收線圈發(fā)生磁通耦合， 其中，上述第一接收線圈和上述第一磁通耦合體形成第一磁道，該第一磁道具有在上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以第一間距周期性地變化的形狀， 上述第二接收線圈和上述第二磁通耦合體形成第二磁道，該第二磁道具有在上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以與上述第一間距不同的第二間距周期性地變化的形狀， 上述第一接收線圈和上述第二接收線圈在上述旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第一絕緣層層疊形成， 上述第一磁通耦合體和上述第二磁通耦合體在上述旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第二絕緣層層疊形成， 上述第一磁通耦合體具有以上述第一間距變化的齒輪狀的第一電流路徑和將上述第一電流路徑的內(nèi)周側(cè)進(jìn)行連接的環(huán)狀的第二電流路徑， 上述第二磁通耦合體具有環(huán)狀的第三電流路徑和外周側(cè)通過上述第三電流路徑連接的以上述第二間距變化的齒輪狀的第四電流路徑。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 還具備電流供給單元，該電流供給單元交替地向上述第一發(fā)送線圈和上述第二發(fā)送線圈供給電流。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 上述第一接收線圈與上述第一磁通耦合體相對， 在上述第二接收線圈與上述第二磁通耦合體之間配置有上述第一接收線圈和上述第一磁通稱合體。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 上述第一間距短于上述第二間距。
10.一種感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于，具備: 定子;第一轉(zhuǎn)子，其卡合于旋轉(zhuǎn)軸，與上述旋轉(zhuǎn)軸一起旋轉(zhuǎn)，并與上述定子在軸向上相對； 第二轉(zhuǎn)子，其配置在上述第一轉(zhuǎn)子的外周側(cè)，能夠相對于上述第一轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，并與上述定子在軸向上相對； 旋轉(zhuǎn)傳遞單元，其傳遞上述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，使上述第二轉(zhuǎn)子以與上述第一轉(zhuǎn)子不同的速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)； 第一角度檢測磁道和第二角度檢測磁道，該第一角度檢測磁道和第二角度檢測磁道以與上述旋轉(zhuǎn)軸同軸的方式形成在上述定子的與上述第一轉(zhuǎn)子相對的面和上述第一轉(zhuǎn)子的與上述定子相對的面；以及 第三角度檢測磁道和第四角度檢測磁道，該第三角度檢測磁道和第四角度檢測磁道以與上述旋轉(zhuǎn)軸同軸的方式形成在上述定子的與上述第二轉(zhuǎn)子相對的面和上述第二轉(zhuǎn)子的與上述定子相對的面， 其中，上述第一角度檢測磁道在上述第一轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時生成NI次的周期性變化， 上述第二角度檢測磁道在上述第一轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時生成N2次的周期性變化， 上述第三角度檢測磁道在上述第二轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時生成N3次的周期性變化， 上述第四角度檢測磁道在上述第二轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時生成N4次的周期性變化， NI與N2不同，N3與N4不同。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于，還具備: 發(fā)送線圈，其設(shè)置于上述定子，以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀； 第一接收線圈和第二接收線圈，該第一接收線圈和第二接收線圈設(shè)置于上述定子，沿著上述發(fā)送線圈以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀； 第三接收線圈和第四接收線圈，該第三接收線圈和第四接收線圈在上述定子上設(shè)置在上述第一接收線圈和上述第二接收線圈的外周側(cè)，沿著上述發(fā)送線圈以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀； 第一磁通耦合體和第二磁通耦合體，該第一磁通耦合體和第二磁通耦合體設(shè)置于上述第一轉(zhuǎn)子，以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀，分別與上述發(fā)送線圈、上述第一接收線圈及上述第二接收線圈發(fā)生磁通耦合；以及 第三磁通耦合體和第四磁通耦合體，該第三磁通耦合體和第四磁通耦合體設(shè)置于上述第二轉(zhuǎn)子，以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心形成為環(huán)狀，分別與上述發(fā)送線圈、上述第三接收線圈及上述第四接收線圈發(fā)生磁通耦合， 其中，上述第一接收線圈和上述第一磁通耦合體以具有在上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以第一間距周期性地變化的形狀的方式形成上述第一角度檢測磁道， 上述第二接收線圈和上述第二磁通耦合體以具有在上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以第二間距周期性地變化的形狀的方式形成上述第二角度檢測磁道， 上述第三接收線圈和上述第三磁通耦合體以具有在上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以第三間距周期性地變化的形狀的方式形成上述第三角度檢測磁道， 上述第四接收線圈和上述第四磁通耦合體以具有在上述轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上以第四間距周期性地變化的形狀的方式形成上述第四角度檢測磁道， 上述第一間距與上述第二間距不同， 上述第三間距 與上述第四間距不同，上述第一接收線圈和上述第二接收線圈在上述旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第一絕緣層層疊形成， 上述第三接收線圈和上述第四接收線圈在上述旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第二絕緣層層疊形成， 上述第一磁通耦合體和上述第二磁通耦合體在上述旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第三絕緣層層疊形成， 上述第三磁通耦合體和上述第四磁通耦合體在上述旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第四絕緣層層疊形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， N1、N2、N3、N4互不相同。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， NI與N2之差為1，N3與N4之差為I。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于，N1=N3, N2=N4。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于，上述發(fā)送線圈具備: 第一發(fā)送線圈，其設(shè)置在上述第一接收線圈和上述第二接收線圈的內(nèi)周側(cè)； 第二發(fā)送線圈，其設(shè)置在上述第一接收線圈和上述第二接收線圈的外周側(cè)且在上述第三接收線圈和上述第四接收線圈的內(nèi)周側(cè)；以及 第三發(fā)送線圈，其設(shè)置在上述第`三接收線圈和上述第四接收線圈的外周側(cè)。
16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于， 上述第一磁通耦合體具有以上述第一間距變化的齒輪狀的第一電流路徑和將上述第一電流路徑的內(nèi)周側(cè)進(jìn)行連接的環(huán)狀的第二電流路徑， 上述第二磁通耦合體具有環(huán)狀的第三電流路徑和外周側(cè)通過上述第三電流路徑連接的以上述第二間距變化的齒輪狀的第四電流路徑， 上述第三磁通耦合體具有以上述第三間距變化的齒輪狀的第五電流路徑和將上述第五電流路徑的內(nèi)周側(cè)進(jìn)行連接的環(huán)狀的第六電流路徑， 上述第四磁通耦合體具有環(huán)狀的第七電流路徑和外周側(cè)通過上述第七電流路徑連接的以上述第四間距變化的齒輪狀的第八電流路徑。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感應(yīng)檢測型旋轉(zhuǎn)編碼器。第一接收線圈和第一磁通耦合體形成具有以第一間距在轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上周期性地變化的形狀的第一磁道。第二接收線圈和第二磁通耦合體形成具有以第二間距在轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方向上周期性地變化的形狀的第二磁道。第一接收線圈和第二接收線圈在旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第一絕緣層層疊。第一磁通耦合體和第二磁通耦合體在旋轉(zhuǎn)軸延伸的方向上隔著第二絕緣層層疊。
文檔編號G01D5/20GK103226026SQ20131003047
公開日2013年7月31日 申請日期2013年1月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月25日
發(fā)明者佐佐木康二 申請人:株式會社三豐