專利名稱：一種批量化潔凈度檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種屬于半導(dǎo)體相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種單拋藍(lán)寶石平片襯底表面潔凈度的檢測(cè)方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今，隨著LED技術(shù)的發(fā)展以及節(jié)能減排等新能源戰(zhàn)略的實(shí)施，整個(gè)LED產(chǎn)業(yè)鏈得到了突飛猛進(jìn)的成長(zhǎng)。近年來LED外延廠裝機(jī)量一直在攀升，而作為目前LED芯片外延生長(zhǎng)的重要襯底藍(lán)寶石，其需求量也在穩(wěn)步增加。全球范圍內(nèi)的藍(lán)寶石廠商都相繼進(jìn)行了一些擴(kuò)產(chǎn)，尤其國(guó)內(nèi)出現(xiàn)了許多藍(lán)寶石襯底加工的企業(yè)，然而藍(lán)寶石被加工出來后需要清洗干凈并包裝好才能賣給客戶，也恰恰是在清洗這段工序，清洗后襯底干凈與否的檢測(cè)始終沒能找到簡(jiǎn)單經(jīng)濟(jì)的做法。藍(lán)寶石襯底在LED產(chǎn)業(yè)鏈中是必需材料，尤其現(xiàn)在采用的圖案化藍(lán)寶石襯底技術(shù)在LED提高亮度方面的作用，也愈加促使藍(lán)寶石襯底表面潔凈度檢測(cè)成為了產(chǎn)線上的必須工序。圖案化藍(lán)寶石襯底是以平片藍(lán)寶石為基礎(chǔ)，通過光刻、刻蝕在其表面形成一層規(guī)則的圖案，為了提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，必須保證每片藍(lán)寶石平片表面潔凈度，因此加工前會(huì)對(duì)藍(lán)寶石平片進(jìn)行批量化潔凈度檢測(cè)，保證檢測(cè)準(zhǔn)確、簡(jiǎn)單、高效成為目前圖案化藍(lán)寶石襯底加工中降低成本的必要環(huán)節(jié)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:提出一種批量化潔凈度檢測(cè)方法，該方法成本低，操作方便，適合批量化藍(lán)寶石平片潔凈度的檢驗(yàn)。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為:一種批量化潔凈度檢測(cè)該方法，用于檢測(cè)藍(lán)寶石襯底表面潔凈度，其特征在于包括以下步驟:I)將待測(cè)樣品置于一定高度，斜上方放置一盞白光燈，前方放置可以產(chǎn)生去離子水蒸汽的發(fā)生裝置；2)通電待去離子水蒸汽發(fā)生裝置加熱至沸騰可以看見明顯的水蒸汽冒出，將所需要測(cè)試的樣品按照要求放置在片盒中，開啟白光燈；3)手持去離子水蒸汽發(fā)生裝置的噴頭將其移至待測(cè)樣品前面，將蒸汽噴到待測(cè)樣品表面，當(dāng)水蒸汽接觸到藍(lán)寶石平片表面時(shí)遇冷會(huì)形成一層薄薄的水膜，借助白光燈照射能清晰看到待測(cè)樣品出現(xiàn)的反射圖像；4)如果待測(cè)樣品表面狀態(tài)一致則會(huì)形成均勻水膜，光照射過來后會(huì)統(tǒng)一形成反射光；相反若表面存在油脂，或者其它未清洗干凈污潰，平片表面會(huì)局部形成水膜，由此在白光照射下臟污部分會(huì)將白光分解成七色光，看見七彩紋路；或燈管虛像。本發(fā)明的有益效果是:方法中利用簡(jiǎn)單的光在介質(zhì)中傳播性能以及薄膜形成機(jī)制設(shè)計(jì)出藍(lán)寶石平片表面潔凈度測(cè)試方案；方法中得到的現(xiàn)象明顯，且易于區(qū)分，易于理解可以在諸多相關(guān)領(lǐng)域推廣應(yīng)用。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。實(shí)施例1本實(shí)例中水蒸汽產(chǎn)生裝置為外購(gòu)燙衣服的裝置改裝而成，白光源為普通白光臺(tái)燈。首先將水蒸汽裝置按照容量要求盛一定的去離子水，連接電源進(jìn)行加熱，待裝置噴頭能明顯看到水蒸汽冒出即可進(jìn)行相關(guān)測(cè)試；然后將待測(cè)試樣品用塑料鑷子取出，移動(dòng)單拋藍(lán)寶石光滑表面略微靠近水蒸汽冒出方向，隨機(jī)移開樣品至白光下觀察，依次操作，將待測(cè)試樣品一一在水蒸汽下進(jìn)行測(cè)試。最后可以看到兩種表面情況:一種在樣品表面出現(xiàn)七彩的紋路，另一種在樣品表面出現(xiàn)臺(tái)燈燈管的虛像，將樣品進(jìn)行相關(guān)光刻工藝，發(fā)現(xiàn)樣品出現(xiàn)脫膠現(xiàn)象；因此可以判定表面出現(xiàn)七彩紋路的樣品表面潔凈度欠佳，不適合后續(xù)對(duì)潔凈度要求高的生產(chǎn)線使用。實(shí)施例2本實(shí)例的流程將依照實(shí)例I進(jìn)行，測(cè)試過程與實(shí)例I相同，不同在于本實(shí)例中將采用本發(fā)明中介紹的方法進(jìn)行批量測(cè)試。在進(jìn)行本實(shí)例前，仍然需要將水蒸汽裝置通電加熱，另外需要將所有測(cè)試的樣品放置于敞開式片盒中，樣品光滑面朝外；待水蒸汽開始從裝置中冒出來后，將噴頭移到待測(cè)樣品上方，進(jìn)行大面積噴水蒸汽操作，此時(shí)借助放置在斜上方的白光源就可以清晰地看到片盒中所有樣品的表面狀態(tài)，并記錄結(jié)果即可。實(shí)例中將本發(fā)明介紹的方法應(yīng)用于實(shí)際批量生產(chǎn)中，可以節(jié)約檢測(cè)時(shí)間，及時(shí)判斷該批次樣品的表面狀況。以上說明書中描述的只是本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，各種舉例說明不對(duì)本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容構(gòu)成限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在閱讀了說明書后可以對(duì)以前所述的具體實(shí)施方式
做修改或變形，而不背離發(fā)明的實(shí)質(zhì)和范圍。
權(quán)利要求
1.一種批量化潔凈度檢測(cè)該方法，用于檢測(cè)藍(lán)寶石襯底表面潔凈度，其特征在于包括以下步驟: 1)將待測(cè)樣品置于一定高度，斜上方放置一盞白光燈，前方放置可以產(chǎn)生去離子水蒸汽的發(fā)生裝置； 2)通電待去離子水蒸汽發(fā)生裝置加熱至沸騰可以看見明顯的水蒸汽冒出，將所需要測(cè)試的樣品按照要求放置在片盒中，開啟白光燈； 3)手持去離子水蒸汽發(fā)生裝置的噴頭將其移至待測(cè)樣品前面，將蒸汽噴到待測(cè)樣品表面，當(dāng)水蒸汽接觸到藍(lán)寶石平片表面時(shí)遇冷會(huì)形成一層薄薄的水膜，借助白光燈照射能清晰看到待測(cè)樣品出現(xiàn)的反射圖像； 4)如果待測(cè)樣品表面狀態(tài)一致則會(huì)形成均勻水膜，光照射過來后會(huì)統(tǒng)一形成反射光；相反若表面存在油脂，或者其它未清洗干凈污潰，平片表面會(huì)局部形成水膜，由此在白光照射下臟污部分會(huì)將白光分解成七色光，看見七彩紋路；或燈管虛像。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種批量化潔凈度檢測(cè)方法，利用簡(jiǎn)單的水蒸汽就可以進(jìn)行單拋藍(lán)寶石平片襯底表面潔凈度檢測(cè)將平片置于一定高度，斜上方放置一盞白光源，前方放置可以產(chǎn)生去離子水蒸汽的裝置；裝置中冒出的水蒸汽在平片表面遇冷成一層薄水霧，此時(shí)在平片側(cè)面借助其前面的光源可以看到表面或是七彩紋路，或者白光源的虛像，這兩種情形便可以說明平片表面潔凈度狀況。本發(fā)明介紹的方法成本低，操作方便，適合批量化藍(lán)寶石平片潔凈度的檢驗(yàn)。
文檔編號(hào)G01N21/55GK103163105SQ20131003941
公開日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2013年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月31日
發(fā)明者盛建明, 江成龍, 涂亮亮, 石劍舫 申請(qǐng)人:常州同泰光電有限公司