專(zhuān)利名稱(chēng)：一種具有獨(dú)立真空室的檢定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢定裝置，尤其是涉及一種采用制冷機(jī)作為冷源的具有獨(dú)立真空室的檢定裝置。
背景技術(shù)：
目前，4K-273K溫區(qū)的精密溫度計(jì)檢定一般采用比較法。根據(jù)熱力學(xué)第零定律:如果兩個(gè)熱力系的每一個(gè)都與第三個(gè)熱力系處于熱平衡，則它們彼此也處于熱平衡。將標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)與被檢溫度計(jì)放入一個(gè)均勻溫度場(chǎng)，如比對(duì)銅塊中，使標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)與被檢溫度計(jì)同時(shí)分別與比對(duì)銅塊之間建立熱平衡，通過(guò)被檢溫度計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)的溫度一電阻關(guān)系比較，實(shí)現(xiàn)對(duì)被檢溫度計(jì)的檢定。如圖1所示，傳統(tǒng)的檢定裝置主要由低溫杜瓦101、低溫恒溫器103和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)三部分組成。低溫杜瓦101中的液氦102作為冷源為整個(gè)裝置提供冷量；低溫恒溫器103通過(guò)抽真空管道將其內(nèi)部的測(cè)量室抽至高真空狀態(tài)，減少真空室中剩余氣體傳熱而給比對(duì)銅塊溫度均勻性帶來(lái)的不利影響，然后通過(guò)控制低溫恒溫器103的加熱器來(lái)控制比對(duì)銅塊的溫度，實(shí)現(xiàn)4K 273K溫區(qū)的任意設(shè)定溫度點(diǎn)，為被檢溫度計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)提供可控溫的高真空工作環(huán)境；當(dāng)比對(duì)銅塊溫度達(dá)到設(shè)定溫度，與引線管相連自動(dòng)化的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)采集到各被檢溫度計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)在設(shè)定溫度點(diǎn)的相關(guān)數(shù)據(jù)，采集后的數(shù)據(jù)處理后，獲得了被檢溫度計(jì)溫度與電阻的對(duì)應(yīng)關(guān)系，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)被檢溫度計(jì)的檢定。上面?zhèn)鹘y(tǒng)的檢定裝置在4K-273K范圍內(nèi)對(duì)溫度計(jì)的標(biāo)定測(cè)量中，必須采用液氦作為冷源，每次實(shí)驗(yàn)消耗的液氦達(dá)到20升以上，然而，我國(guó)是氦氣資源極為匱乏的國(guó)家，嚴(yán)重依賴(lài)進(jìn)口，且自2006年以來(lái)，由于美國(guó)將氦氣定為戰(zhàn)略物資，而限制液氦的出口量，導(dǎo)致液氦的價(jià)格由原來(lái)60 80元/升，上漲到目前240元/升以上。即便是液氦價(jià)格如此昂貴，液氦的供應(yīng)也不是很容易保障。在 液氦供應(yīng)正常的情況下，一般也要等待液氦儲(chǔ)槽的周轉(zhuǎn)；一旦液氦供應(yīng)緊張，時(shí)常會(huì)出現(xiàn)因液氦供應(yīng)的原因無(wú)法按時(shí)開(kāi)展低溫實(shí)驗(yàn)的情況。以液氦為冷源進(jìn)行精密溫度計(jì)檢定測(cè)量時(shí)，為了節(jié)省液氦，通常要先使用液氮進(jìn)行預(yù)冷，預(yù)冷時(shí)間為10-12h ;預(yù)冷后，再用高壓氮?dú)鈱⒍磐咧械囊旱獕喝雰?chǔ)罐，整個(gè)過(guò)程需要Ih左右；然后，進(jìn)一步將杜瓦抽至高真空狀態(tài)，以保證降至液氮溫度的杜瓦瓶?jī)?nèi)不殘留氮?dú)?；接下?lái)再次充入氦氣預(yù)冷；最后才充入液氦進(jìn)行試驗(yàn)。與測(cè)量熱物性等參數(shù)不同，精密的溫度計(jì)檢定測(cè)量的特點(diǎn)是一次能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)幾十支次的溫度計(jì)檢定，且測(cè)量點(diǎn)數(shù)較多，通常為50-100點(diǎn)。因此，測(cè)量周期通?？蛇_(dá)到24小時(shí)以上，測(cè)試周期較長(zhǎng)。為了節(jié)省液氦，實(shí)驗(yàn)操作人員通常幾班倒換連續(xù)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，還要通過(guò)回氣、壓縮，對(duì)氦氣進(jìn)行回收。在控溫過(guò)程中:對(duì)于低溫區(qū)控溫，隨著液氦的蒸發(fā)導(dǎo)致液氦面下降，還要對(duì)液氦面進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，當(dāng)液氦面降低到一定高度時(shí)，恒溫器內(nèi)比對(duì)銅塊的溫度會(huì)有所回升，通常需要補(bǔ)充液氦來(lái)降低溫度，控溫相對(duì)困難；對(duì)于150K至300K溫區(qū)，由于冷源的溫度固定(液氦為4.2K),比對(duì)銅塊與冷源之間的溫差較大，要使比對(duì)銅塊溫場(chǎng)穩(wěn)定必須加大加熱功率，控溫也同樣困難。另外，由于冷源的限制，通常杜瓦中的液氦是要通過(guò)儲(chǔ)液罐來(lái)進(jìn)行傳輸。無(wú)論是杜瓦還是液氦罐體積都非常龐大，不適合移動(dòng)作業(yè)。因此，以液氦為冷源的精密溫度計(jì)檢定測(cè)量費(fèi)時(shí)、費(fèi)力、控溫困難且嚴(yán)重依賴(lài)于冷源供應(yīng)。

發(fā)明內(nèi)容
本專(zhuān)利旨在解決傳統(tǒng)精密檢定裝置所面臨的液氦缺乏、操作復(fù)雜、控溫困難等問(wèn)題。提供一種操作簡(jiǎn)單、測(cè)試周期短、運(yùn)行成本較低的以制冷機(jī)為冷源的精密低溫溫度檢定裝置。本發(fā)明提供一種具有獨(dú)立真空室的檢定裝置，該檢定裝置包括:制冷機(jī)，所述制冷機(jī)為所述檢定裝置提供冷量，作為所述檢定裝置的冷源；所述制冷機(jī)具有至少一個(gè)冷頭，所述制冷機(jī)的冷頭與控溫銅塊連接；其特征在于:所述制冷機(jī)的冷頭與控溫銅塊之間設(shè)置有減震部件，且所述控溫銅塊與防輻射屏之間形成相對(duì)獨(dú)立的真空室。其中，在所述真空室中包括比對(duì)銅塊，在所述比對(duì)銅塊上設(shè)置有控溫溫度計(jì)。其中，所述至少一個(gè)冷頭的溫度可以通過(guò)制冷機(jī)的輸入功率進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述至少一個(gè)冷頭包括一級(jí)冷頭和二級(jí)冷頭。其中，所述檢定裝置包括第一防輻射屏、第二防輻射屏和第三防輻射屏，其中，所述第二防輻射屏與控溫銅塊連接。其中，在所述控溫銅塊上設(shè)置有加熱絲或加熱膜，所述加熱絲或加熱膜實(shí)現(xiàn)對(duì)比對(duì)銅塊的溫度進(jìn)行調(diào)整。其中，所述控溫銅塊與支撐桿連接，在所述支撐桿的下方連接有一級(jí)防輻射屏和比對(duì)銅塊。其中，在所述比對(duì)銅塊上設(shè)置有標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)和至少一個(gè)待測(cè)溫度計(jì)。其中，所述制冷機(jī)選自震動(dòng)較小的脈沖管制冷機(jī)、GM制冷機(jī)或斯特林制冷機(jī)。其中，在制冷機(jī)的保護(hù)殼上設(shè)置真空接口和引線接口。其中，所述真空接口和引線接口通過(guò)一個(gè)共用通道連接到同一真空引線管。在本發(fā)明中制冷機(jī)的運(yùn)行只需要水電維持，運(yùn)行成本較低；實(shí)驗(yàn)開(kāi)始時(shí)，制冷機(jī)的降溫過(guò)程時(shí)間短，不需預(yù)冷，實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，不需回氣壓縮，時(shí)間成本低；制冷機(jī)的冷頭溫度易于調(diào)節(jié)，可與比對(duì)銅塊保持較小的溫差，控溫過(guò)程容易；以制冷機(jī)為冷源，可以擺脫對(duì)液氦的依賴(lài)和供應(yīng)限制，該裝置的結(jié)構(gòu)緊湊，易于移動(dòng)，可以隨時(shí)、隨地開(kāi)展低溫標(biāo)定實(shí)驗(yàn)；容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，可充分利用夜間降溫，提高了工作效率，具有明顯的優(yōu)點(diǎn)。


圖1傳統(tǒng)的檢定裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2本發(fā)明的精密檢定裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為了便于理解本發(fā)明，下面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，下述的說(shuō)明只是為了便于對(duì)發(fā)明進(jìn)行解釋?zhuān)蛔鳛閷?duì)其范圍的具體限定。圖2是本發(fā)明的制冷機(jī)做冷源的精密檢定裝置結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本發(fā)明的溫度檢定裝置主要包括:制冷機(jī)1、真空罩2、法蘭3、支撐桿4、控溫溫度計(jì)5、比對(duì)銅塊6、一級(jí)防輻射屏7、二級(jí)防輻射屏8、三級(jí)防輻射屏9、真空接口 10、引線接口 11、標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)12、待測(cè)溫度計(jì)13、一級(jí)冷頭14、二級(jí)冷頭15、保護(hù)殼16、真空引線管17、內(nèi)屏18、控溫銅塊19、減震器20。本發(fā)明的制冷機(jī)I包括一級(jí)冷頭14和二級(jí)冷頭15，其通過(guò)一級(jí)冷頭14和二級(jí)冷頭15進(jìn)行制冷，所述一級(jí)冷頭14與三級(jí)輻射屏9連接，所述二級(jí)冷頭15與法蘭3相連接，所述法蘭可采用不銹鋼或其他具有良好導(dǎo)熱性能的材料制成，所述法蘭3的下端與二級(jí)防輻射屏8相連接。其中，所述三級(jí)防輻射屏9利用一級(jí)冷頭14的冷量使其保持低溫，以減少與溫度更低的二級(jí)冷頭15相連的二級(jí)防輻射屏8與真空罩2之間的輻射換熱損失。所述制冷機(jī)I優(yōu)選采用震動(dòng)較小的脈沖管制冷機(jī)，當(dāng)然也可其他制冷效果好的裝置進(jìn)行制冷，為了盡量減小制冷機(jī)的震動(dòng)對(duì)測(cè)量不確定度的影響，在法蘭3與控溫銅塊19之間設(shè)置減震器20，所述減震器20可以為彈簧或其他適用于低溫環(huán)境的減震材料或減震部件，在所述減震器20中包含有連接法蘭與控溫銅塊的連接桿，所述連接桿至少為兩個(gè)，連接桿需要具有一定的硬度以支持對(duì)下方設(shè)置的部件的懸掛，且保證二級(jí)冷頭15與控溫銅塊19之間的熱傳遞，所述連接桿還需要有好的導(dǎo)熱性；另外，作為更進(jìn)一步的設(shè)置，為了減小震動(dòng)，在不影響制冷效果的前提下，可在一級(jí)冷頭14和二級(jí)冷頭15之間設(shè)置適用于低溫環(huán)境的減震材料或減震部件。另外，對(duì)于精密或標(biāo)準(zhǔn)型的溫度計(jì)檢定測(cè)量，所述制冷機(jī)采用震動(dòng)較小的脈沖管制冷機(jī)；對(duì)于測(cè)量精度要求不高的工業(yè)級(jí)溫度計(jì)的檢定測(cè)量，所述制冷機(jī)也可采用GM制冷機(jī)、斯特林制冷機(jī)。在所述控溫銅塊19的下端中間位置處連接有支撐桿4，優(yōu)選支撐桿4與控溫銅塊19采用螺紋鏈接，當(dāng)然，也可以通過(guò)焊接、卡扣配合等多種方式實(shí)現(xiàn)連接。在所述支撐桿4的下方連接有一級(jí)防輻射屏7和比對(duì)銅塊6，其中，一級(jí)防輻射屏7與比對(duì)銅塊6相結(jié)合，以減少比對(duì)銅塊6與二級(jí)防輻射屏8之間的輻射換熱損失，保持比對(duì)銅塊6的測(cè)試溫場(chǎng)穩(wěn)定。二級(jí)冷頭15的溫度可以通過(guò)制冷機(jī)I的輸入功率進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)過(guò)程可自動(dòng)控制?？稍诳販劂~塊19上設(shè)置有加熱絲或加熱膜以及控溫溫度計(jì)，由于二級(jí)冷頭15和控溫銅塊19之間的溫差較小，可通過(guò)調(diào)整加熱絲或加熱膜的加熱功率可以控制控溫銅塊19的溫度，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)比對(duì)銅塊6的溫度的調(diào)整。所述支撐桿4與比對(duì)銅塊6之間可通過(guò)螺栓連接，實(shí)現(xiàn)自由拆裝，所述支撐桿4可采用不銹鋼材料制成，優(yōu)選在支撐桿4上設(shè)置有內(nèi)屏18，所述內(nèi)屏18采用高純度銅制成，通過(guò)該內(nèi)屏18能夠有效降低支撐桿5與比對(duì)銅塊6之間的微量輻射換熱，有助于提高比對(duì)銅塊6溫場(chǎng)穩(wěn)定，保證精密測(cè)量。另外，也可以在比對(duì)銅塊6的下方設(shè)置有通過(guò)支撐桿4與控溫銅塊19連接的控溫組件，所述控溫組件位于支撐桿4的下端，在控溫組件上可結(jié)合加熱絲或加熱膜，所述加熱絲或加熱膜對(duì)控溫組件的溫度進(jìn)行調(diào)整，控溫組件與控溫銅塊19在上下兩端對(duì)溫度進(jìn)行控制，進(jìn)一步地設(shè)置控溫溫度計(jì)5，所述控溫溫度計(jì)5可連接到控溫組件，或者所述控溫溫度計(jì)5連接到比對(duì)銅塊6，當(dāng)制冷機(jī)與加熱組件之間時(shí)間的冷量與熱量平衡后，所述控溫溫度計(jì)所測(cè)量到的比對(duì)銅塊6溫度將趨于穩(wěn)定。所述控溫溫度計(jì)5可選自熱電偶、熱敏電阻或熱電阻等測(cè)溫元件，其位于比對(duì)銅塊6的下端，與比 對(duì)銅塊6緊密接觸，實(shí)現(xiàn)對(duì)銅塊溫度的準(zhǔn)確測(cè)量，當(dāng)然，所述控溫溫度計(jì)5也可以用于測(cè)量控溫銅塊19或可位于支撐桿4的下端的控溫組件的溫度。所述比對(duì)銅塊6既能夠?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)12和待測(cè)溫度計(jì)13提供穩(wěn)定溫場(chǎng)，同時(shí)又是安置標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)12和待測(cè)溫度計(jì)13的樣品架，為了保證比對(duì)銅塊6的溫場(chǎng)的均勻性，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性，所述比對(duì)銅塊6優(yōu)選采用高純度銅材料制成，其純度在99.99%以上。比對(duì)銅塊6 —般安放一支標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)12和幾十支待測(cè)溫度計(jì)13。比對(duì)銅塊6可以根據(jù)不同待檢溫度計(jì)的尺寸規(guī)格要求加工成不同的形狀、數(shù)量的樣品孔以承載樣品。另外，保證溫度的穩(wěn)定性，優(yōu)選可在一級(jí)輻射屏、二級(jí)輻射屏、三級(jí)輻射屏以及比對(duì)銅塊6的側(cè)面和/或底面上施加加熱絲或加熱膜，以形成均溫環(huán)境。真空接口 10和引線接口 11設(shè)置在制冷機(jī)I的保護(hù)殼16上，其中真空接口 10可以通過(guò)卡箍與分子泵相連，引線接口 11可以與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)相連，其中把接口 10、11設(shè)計(jì)在保護(hù)殼16上避免了在更換待測(cè)溫度計(jì)過(guò)程中對(duì)真空系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的重新拆卸。作為更進(jìn)一步的設(shè)計(jì)，如圖2所示，真空接口 11和引線接口設(shè)計(jì)在一起，以達(dá)到節(jié)省空間和方便操作的目的，其中，真空接口 10和引線接口 11通過(guò)一個(gè)共用通道連接到同一真空引線管17，真空引線管17的一端與保護(hù)殼16焊接，另一端與二級(jí)冷頭15下方的法蘭3焊接，這種設(shè)計(jì)可以減少傳輸管路，使結(jié)構(gòu)更加緊湊。在本實(shí)施案例中，法蘭3和二級(jí)防輻射屏8共同構(gòu)建一獨(dú)立真空室。工作時(shí)，一方面制冷機(jī)I啟動(dòng)，使一級(jí)冷頭14、二級(jí)冷頭15迅速降溫達(dá)到設(shè)定的溫度；同時(shí)，通過(guò)真空引線管17輸入少量氦氣(溫度為4.2K)，可以使獨(dú)立真空室內(nèi)溫度迅速降低，然后將氦氣抽回，使獨(dú)立真空室保持真空狀態(tài)。該種方法能夠在1、2個(gè)小時(shí)內(nèi)使系統(tǒng)達(dá)到工作溫度，有利于提高工作效率。標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)12和待測(cè)溫度計(jì)13的引線通過(guò)一級(jí)防輻射屏7、二級(jí)防輻射屏8、三級(jí)防輻射屏9的孔引出，如控溫銅塊19上設(shè)有真空引線管17以穿過(guò)引線。其中，控溫溫度計(jì)5、標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)12 、待測(cè)溫度計(jì)13以及加熱絲引線都逐級(jí)由穿線孔引出至引線接口 11。本發(fā)明中把真空接口 10和引線接口 11設(shè)計(jì)在保護(hù)殼16上避免了在更換待測(cè)溫度計(jì)過(guò)程中對(duì)真空系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的重新拆卸?？販販囟扔?jì)5、標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)12、待測(cè)溫度計(jì)13以及加熱絲引線都逐級(jí)由真空引線管17引出至引線接口 11。在工作時(shí)，所述制冷機(jī)I為待測(cè)真空室提供冷量使其內(nèi)部比對(duì)銅塊6降至待測(cè)溫度，為標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)12和待測(cè)溫度計(jì)13提供穩(wěn)定的低溫溫場(chǎng)，保護(hù)殼16與真空罩2相連共同構(gòu)建密閉的測(cè)量室，其為溫度計(jì)提供真空絕熱的測(cè)量環(huán)境；數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)(未示出)，通過(guò)引線接口 11相連的自動(dòng)化數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)通過(guò)數(shù)據(jù)的采集、處理，獲得被檢溫度計(jì)溫度與電阻的對(duì)應(yīng)關(guān)系，實(shí)現(xiàn)對(duì)被檢溫度計(jì)的檢定。本發(fā)明是以制冷機(jī)為冷源的精密檢定裝置，采用制冷機(jī)與真空室的耦合，通過(guò)多級(jí)制冷機(jī)構(gòu)對(duì)控溫銅塊進(jìn)行制冷，通過(guò)熱傳導(dǎo)實(shí)現(xiàn)對(duì)比對(duì)銅塊的溫度的控制，依靠加熱絲或加熱膜對(duì)4K-273K溫區(qū)內(nèi)的比對(duì)銅塊溫度的調(diào)整，為待測(cè)溫度計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)提供均勻的溫度場(chǎng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)被檢溫度計(jì)的檢定。作為本發(fā)明的另一個(gè)變形例，所述制冷機(jī)的冷頭位于溫度計(jì)檢定裝置的下方，而不是如圖2中冷頭位于溫度計(jì)分度裝置的上方，其中，冷頭依然與法蘭連接，在法蘭與控溫銅塊之間設(shè)置減震器，比對(duì)銅塊可通過(guò)支撐或懸掛的方式位于控溫銅塊的上方，且在對(duì)溫度計(jì)檢定過(guò)程中，所述冷頭、控溫銅塊、比對(duì)銅塊之間實(shí)現(xiàn)熱平衡。在本發(fā)明中制冷機(jī)的運(yùn)行只需要水電維持，運(yùn)行成本較低；實(shí)驗(yàn)開(kāi)始時(shí)，制冷機(jī)的降溫過(guò)程時(shí)間短，不需預(yù)冷，實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，不需回氣壓縮，時(shí)間成本低；制冷機(jī)的冷頭溫度易于調(diào)節(jié)，可與控溫銅塊、比對(duì)銅塊保持較小的溫差，控溫過(guò)程容易；以制冷機(jī)為冷源，可以擺脫對(duì)液氦的依賴(lài)和供應(yīng)限制，該裝置的結(jié)構(gòu)緊湊，易于移動(dòng)，可以隨時(shí)、隨地開(kāi)展低溫標(biāo)定實(shí)驗(yàn)；容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，可充分利用夜間降溫，提高了工作效率，具有明顯的優(yōu)點(diǎn)。由具體的實(shí)施例以及工作過(guò)程的描述，可以方便對(duì)本發(fā)明進(jìn)行理解和實(shí)施，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，本說(shuō)明書(shū)中列舉的具體實(shí)施方案或?qū)嵤├?，只不過(guò)是為了理解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，在不背離本發(fā)明的主旨和范圍的情況下，本發(fā)明在形式上和細(xì)節(jié)上可以進(jìn)行多種改變，以及在一定程度上進(jìn)行的細(xì)節(jié)和形式上的變化，其依然將落在本發(fā)明所要求保護(hù)和公開(kāi)的范 圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種檢定裝置，該檢定裝置包括: 制冷機(jī)，所述制冷機(jī)為所述檢定裝置提供冷量，作為所述檢定裝置的冷源；所述制冷機(jī)具有至少一個(gè)冷頭，所述制冷機(jī)的冷頭與控溫銅塊連接；其特征在于:所述制冷機(jī)的冷頭與控溫銅塊之間設(shè)置有減震部件，且所述控溫銅塊與防輻射屏之間形成相對(duì)獨(dú)立的真空室。
2.如權(quán)利要求1所述的檢定裝置，其特征在于:在所述真空室中包括比對(duì)銅塊，在所述比對(duì)銅塊上設(shè)置有控溫溫度計(jì)。
3.如權(quán)利要求1所述的檢定裝置，其特征在于:所述至少一個(gè)冷頭的溫度可以通過(guò)制冷機(jī)的輸入功率進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述至少一個(gè)冷頭包括一級(jí)冷頭和二級(jí)冷頭。
4.如權(quán)利要求3所述的檢定裝置，其特征在于:所述檢定裝置包括第一防輻射屏、第二防輻射屏和第三防輻射屏，其中，所述第二防輻射屏與控溫銅塊連接。
5.如權(quán)利要求1所述的檢定裝置，其特征在于:在所述控溫銅塊上設(shè)置有加熱絲或加熱膜，所述加熱絲或加熱膜實(shí)現(xiàn)對(duì)比對(duì)銅塊的溫度進(jìn)行調(diào)整。
6.如權(quán)利要求1所述的檢定裝置，其特征在于:所述控溫銅塊與支撐桿連接，在所述支撐桿的下方連接有一級(jí)防輻射屏和比對(duì)銅塊。
7.如權(quán)利要求2所述的檢定裝置，其特征在于:在所述比對(duì)銅塊上設(shè) 置有標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)和至少一個(gè)待測(cè)溫度計(jì)。
8.如權(quán)利要求1所述的檢定裝置，其特征在于:所述制冷機(jī)選自震動(dòng)較小的脈沖管制冷機(jī)、GM制冷機(jī)或斯特林制冷機(jī)。
9.如權(quán)利要求1所述的檢定裝置，其特征在于:在制冷機(jī)的保護(hù)殼上設(shè)置真空接口和引線接口。
10.如權(quán)利要求9所述的檢定裝置，其特征在于:所述真空接口和引線接口通過(guò)一個(gè)共用通道連接到同一真空引線管。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種具有獨(dú)立真空室的檢定裝置，該檢定裝置采用制冷機(jī)作為冷源，在制冷機(jī)的冷頭與控溫銅塊之間設(shè)置減震器，所述減震器的設(shè)置可以明顯的消除制冷機(jī)的震動(dòng)對(duì)檢定的影響，并且控溫銅塊與相應(yīng)的防輻射屏配合形成獨(dú)立的真空室，在該獨(dú)立真空室中，標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)與待測(cè)溫度計(jì)具有穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)境，從而提高了對(duì)待測(cè)溫度計(jì)的檢定準(zhǔn)確性。本發(fā)明中的制冷機(jī)相對(duì)于傳統(tǒng)的液氦具有明顯的優(yōu)點(diǎn)，且通過(guò)設(shè)置減震部件消除了制冷機(jī)對(duì)檢定裝置的震動(dòng)影響，保證了檢定的準(zhǔn)確性。
文檔編號(hào)G01K15/00GK103234661SQ20131012369
公開(kāi)日2013年8月7日 申請(qǐng)日期2013年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月10日
發(fā)明者林鵬, 高波 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所