測(cè)量ar減反膜厚度和折射率的裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置，包括至少兩個(gè)光源和一個(gè)計(jì)算裝置，以及對(duì)應(yīng)每個(gè)光源的光學(xué)系統(tǒng)、光線接收器和光譜分析裝置，所述每個(gè)光源的光線通過(guò)對(duì)應(yīng)的光學(xué)系統(tǒng)以大于0度且小于90度的傾斜角照射至AR減反膜膜面同一側(cè)的同一點(diǎn)，且反射后的光線被對(duì)應(yīng)的光線接收器接收，所述每個(gè)光線接收器通過(guò)光路或光纖連接對(duì)應(yīng)的光譜分析裝置，且每個(gè)光譜分析裝置均通過(guò)數(shù)據(jù)線連接計(jì)算裝置，本發(fā)明的AR減反膜測(cè)量裝置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量速度快，測(cè)量準(zhǔn)確的特點(diǎn)。與橢偏儀相比，本裝置無(wú)活動(dòng)部件，所以運(yùn)行的可靠性很高，同時(shí)信號(hào)采集速度也很高，所以可以用于在線測(cè)量。
【專利說(shuō)明】測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置
[0001]

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 本發(fā)明涉及一種光學(xué)測(cè)量裝置，特別涉及一種測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝 置。

【背景技術(shù)】
[0003] AR減反膜通常鍍?cè)诔讐貉硬ＡУ墓饷?，可以有效的提高光伏玻璃的透過(guò)率。目 前測(cè)量AR減反膜的主要方法是使用橢偏儀。橢偏儀精度較高，但是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格較昂貴， 而且測(cè)量速度慢，不能用于在線測(cè)量。
[0004]


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量速度快，測(cè)量準(zhǔn)確測(cè)量AR 減反膜厚度和折射率的裝置。
[0006] 本發(fā)明為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：一種測(cè)量AR減反膜厚度和折 射率的裝置，包括至少兩個(gè)光源和一個(gè)計(jì)算裝置，以及對(duì)應(yīng)每個(gè)光源的光學(xué)系統(tǒng)、光線接收 器和光譜分析裝置，所述每個(gè)光源的光線通過(guò)對(duì)應(yīng)的光學(xué)系統(tǒng)以大于〇度且小于90度的傾 斜角照射至AR減反膜膜面同一側(cè)的同一點(diǎn)，且反射后的光線被對(duì)應(yīng)的光線接收器接收，所 述每個(gè)光線接收器通過(guò)光纖或光路連接對(duì)應(yīng)的光譜分析裝置，且每個(gè)光譜分析裝置均通過(guò) 數(shù)據(jù)線連接計(jì)算裝置。
[0007] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述每個(gè)光學(xué)系統(tǒng)與對(duì)應(yīng)的每個(gè)光線接收器位于同一 平面，并且它們與AR減反膜垂直方向所成的傾斜角度相同且不重合。
[0008] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述光源為寬光譜的光源，且光源通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)后的 光線為偏振光或者非偏振光。
[0009] 作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述光學(xué)系統(tǒng)為一種或多種光學(xué)元件組成的透射式光 學(xué)系統(tǒng)、反射式光學(xué)系統(tǒng)或光纖。
[0010] 本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的AR減反膜測(cè)量裝置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量速度快， 測(cè)量準(zhǔn)確的特點(diǎn)，與橢偏儀相比，本裝置無(wú)活動(dòng)部件，所以運(yùn)行的可靠性很高，同時(shí)信號(hào)采 集速度也很高，所以可以用于在線測(cè)量。
[0011]

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012] 圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖； 圖中標(biāo)示：1_光源；2-計(jì)算裝置；3-光學(xué)系統(tǒng)；4-光線接收器；5-光譜分析裝置；6-AR 減反膜。
[0013]

【具體實(shí)施方式】
[0014] 為了加深對(duì)本發(fā)明的理解，下面將結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述，該 實(shí)施例僅用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。
[0015] 圖1示出了本發(fā)明一種測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置的一種實(shí)施方式，以兩 個(gè)光源和一個(gè)計(jì)算裝置為例，以及對(duì)應(yīng)的兩個(gè)光學(xué)系統(tǒng)3、兩個(gè)光線接收器4和兩個(gè)光譜分 析裝置5,光譜分析裝置5可以是光譜儀，但不限于光譜儀，可以是其它種類的光譜分析儀 器，所述每個(gè)光源1的光線通過(guò)對(duì)應(yīng)的光學(xué)系統(tǒng)2以大于0度且小于90度的傾斜角照射至 AR減反膜6膜面的同一點(diǎn)，且反射后的光線被對(duì)應(yīng)的光線接收器4接收，所述每個(gè)光線接收 器4通過(guò)光纖或光路連接對(duì)應(yīng)的光譜分析裝置5,且每個(gè)光譜分析裝置5均通過(guò)數(shù)據(jù)線最 終連接計(jì)算裝置2,數(shù)據(jù)線可以為各種數(shù)據(jù)線，端口也可以為各種端口；所述每個(gè)光學(xué)系統(tǒng) 3與對(duì)應(yīng)的每個(gè)光線接收器4位于同一平面，并且它們與AR減反膜6垂直方向所成的傾斜 角度相同且不重合，所述光源1為寬光譜的光源，且光源1通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)后的光線為非偏振 光，所述光學(xué)系統(tǒng)3為多種光學(xué)元件組成的透射式光學(xué)系統(tǒng)。
[0016] 如圖1所示，兩個(gè)光源(或兩個(gè)以上光源）1所打出的寬光譜斜入射光打到AR減反 膜6膜面的同一點(diǎn)，光線接收器4得到反射光并通過(guò)光纖或其他光學(xué)系統(tǒng)導(dǎo)入光譜分析裝 置5中，光譜分析裝置5把各波段的光譜信號(hào)通過(guò)數(shù)據(jù)線傳到計(jì)算裝置2里面，計(jì)算裝置2 可以由光譜信號(hào)計(jì)算出A R減反膜6的膜面在兩個(gè)(或兩個(gè)以上，不包括零度）角度的相對(duì) 于波長(zhǎng)的反射率曲線。
[0017] 計(jì)算裝置2再通過(guò)預(yù)先儲(chǔ)存的程序，對(duì)兩個(gè)反射率曲線進(jìn)行分析，計(jì)算出在膜厚 為a，折射率為某個(gè)波長(zhǎng)的函數(shù)或某個(gè)常數(shù)時(shí)，膜面的反射率曲線和測(cè)量的反射率曲線最 接近，從而膜的厚度和折射率被同時(shí)測(cè)得，在對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行分析時(shí)，不限定優(yōu)化算法。
[0018] 該裝置主要用于A R減反膜的膜厚以及折射率測(cè)定，也可用于測(cè)量其他的膜的厚 度或折射率。
【權(quán)利要求】
1. 一種測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：包括至少兩個(gè)光源（1)和一 個(gè)計(jì)算裝置（2)，以及對(duì)應(yīng)每個(gè)光源（1)的光學(xué)系統(tǒng)（3)、光線接收器（4)和光譜分析裝置 (5)，所述每個(gè)光源（1)的光線通過(guò)對(duì)應(yīng)的光學(xué)系統(tǒng)（2)以大于0度且小于90度的傾斜角 照射至AR減反膜（6)膜面同一側(cè)的同一點(diǎn)，且反射后的光線被對(duì)應(yīng)的光線接收器（4)接 收，所述每個(gè)光線接收器（4)通過(guò)光纖或光路連接對(duì)應(yīng)的光譜分析裝置（5)，且每個(gè)光譜分 析裝置（5)均通過(guò)數(shù)據(jù)線最終連接計(jì)算裝置（2)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：所述每個(gè) 光學(xué)系統(tǒng)（3)與對(duì)應(yīng)的每個(gè)光線接收器（4)位于膜面同一側(cè)的同一平面，并且它們與AR減 反膜（6)垂直方向所成的傾斜角度相同且不重合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：所述光源 (1)為寬光譜的光源，且光源（1)通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)后的光線為偏振光或者非偏振光。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的裝置，其特征在于：所述光學(xué) 系統(tǒng)（3)為一種或多種光學(xué)元件組成的透射式光學(xué)系統(tǒng)、反射式光學(xué)系統(tǒng)或光纖。
【文檔編號(hào)】G01B11/06GK104215187SQ201310210421
【公開(kāi)日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2013年5月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月31日
【發(fā)明者】朱崢嶸, 埃德加·吉尼奧, 趙連芳 申請(qǐng)人:昆山勝澤光電科技有限公司