用于壓力傳感器的檢測設(shè)備、檢測系統(tǒng)以及檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種用于壓力傳感器的檢測設(shè)備、檢測系統(tǒng)以及檢測方法。該檢測設(shè)備包括：承載裝置、多個固定裝置和壓力輸送裝置。承載裝置上設(shè)置有多個通孔；多個固定裝置分別與多個通孔相對應(yīng)，多個固定裝置構(gòu)造為能夠在承載裝置的第一表面將多個壓力傳感器分別固定至多個通孔處，且通孔構(gòu)造為能夠暴露壓力傳感器的受壓面的至少一部分；壓力輸送裝置具有進氣口和出氣口，承載裝置密封連接至出氣口，且承載裝置的與第一表面相對的第二表面面向壓力輸送裝置，使得壓力傳感器的受壓面面向壓力輸送裝置。該檢測設(shè)備可以一次完成對多個壓力傳感器的檢測，安裝方便，結(jié)構(gòu)簡單并且有利于提高工作效率。
【專利說明】用于壓力傳感器的檢測設(shè)備、檢測系統(tǒng)以及檢測方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明總地涉及傳感器檢測領(lǐng)域，且更具體地涉及一種用于壓力傳感器的檢測設(shè)備和檢測系統(tǒng)，以及利用該檢測系統(tǒng)檢測壓力傳感器的靈敏度的方法。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中對壓力傳感器的檢測一般是通過在待檢測的壓力傳感器的外表面套上一個與其直徑相近的氣管，并使得壓力傳感器的受壓面朝向該氣管，從氣管的進氣口輸入氣體，使其作用于待檢測的壓力傳感器的受壓面，從而進行后續(xù)的靈敏度檢測操作。但是這種檢測方法每次只能對一個壓力傳感器進行檢測，當檢測另外的壓力傳感器的時候，必須重新安裝氣管，工作效率低。
[0003]因此，需要提供一種用于壓力傳感器的檢測設(shè)備和檢測系統(tǒng)，以及利用該檢測系統(tǒng)檢測壓力傳感器的靈敏度的方法，以解決上面提到的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為解決上述技術(shù)問題，根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種用于壓力傳感器的檢測設(shè)備。所述檢測設(shè)備包括:承載裝置、多個固定裝置和壓力輸送裝置。承載裝置上設(shè)置有多個通孔；多個固定裝置分別與多個所述通孔相對應(yīng)，多個所述固定裝置構(gòu)造為能夠在所述承載裝置的第一表面將多個壓力傳感器分別固定至多個所述通孔處，且所述通孔構(gòu)造為能夠暴露所述壓力傳感器的受壓面的至少一部分；所述壓力輸送裝置具有進氣口和出氣口，所述承載裝置密封連接至所述出氣口，且所述承載裝置的與所述第一表面相對的第二表面面向所述壓力輸送裝置，使得所述壓力傳感器的受壓面面向所述壓力輸送裝置。
[0005]優(yōu)選地，每個所述固定裝置均包括密封件，所述密封件上設(shè)有開孔，所述開孔與所述通孔對準，所述密封件在所述壓力傳感器安裝至所述檢測設(shè)備的安裝狀態(tài)下在所述通孔處設(shè)置在所述壓力傳感器和所述承載裝置之間。
[0006]優(yōu)選地，所述固定裝置包括套筒和蓋體，所述套筒圍繞所述通孔固定在所述承載裝置上，用于容置所述壓力傳感器，所述蓋體可拆卸地連接在所述套筒上，所述蓋體在所述壓力傳感器安裝至所述檢測設(shè)備的安裝狀態(tài)下壓靠所述壓力傳感器。
[0007]優(yōu)選地，所述固定裝置還包括彈性件，所述彈性件設(shè)置在所述蓋體的朝向所述套筒的一側(cè)，所述彈性件構(gòu)造為在所述安裝狀態(tài)下能夠?qū)⑺鰤毫鞲衅鞒蛩龀休d裝置偏壓。
[0008]優(yōu)選地，所述套筒與所述蓋體螺接。
[0009]優(yōu)選地，所述承載裝置螺接至所述壓力輸送裝置的所述出氣口。
[0010]優(yōu)選地，所述承載裝置與所述壓力輸送裝置一體地形成。
[0011]優(yōu)選地，所述承載裝置和所述壓力輸送裝置是由金屬材料制成的。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種用于壓力傳感器的檢測系統(tǒng)，所述檢測系統(tǒng)包括:如上所述的任一種檢測設(shè)備；靈敏度檢測裝置，所述靈敏度檢測裝置用于分別檢測安裝在所述檢測設(shè)備上的壓力傳感器的靈敏度；以及壓力源，所述壓力源連接至所述壓力輸送裝置的所述進氣口，用于向所述壓力輸送裝置內(nèi)輸入氣體。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的還一方面，提供了一種使用上述的檢測系統(tǒng)檢測壓力傳感器的靈敏度的方法，所述方法包括以下步驟:通過多個所述固定裝置分別將多個壓力傳感器安裝至所述承載裝置的所述第一表面，且所述壓力傳感器的受壓面由所述通孔暴露；將所述壓力傳感器分別與所述靈敏度檢測裝置連接；將所述壓力輸送裝置的所述進氣口與所述壓力源連接；通過所述進氣口向所述壓力輸送裝置內(nèi)輸入氣體；當所述壓力輸送裝置內(nèi)的壓力穩(wěn)定后，監(jiān)測所述靈敏度檢測裝置的讀數(shù)。
[0014]綜上，本發(fā)明提供的檢測設(shè)備可以同時固定多個壓力傳感器，從而可以一次完成對多個壓力傳感器的檢測，安裝方便，結(jié)構(gòu)簡單并且有利于提高工作效率。
[0015]以下結(jié)合附圖，詳細描述本發(fā)明的優(yōu)點和特征。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]為了使本發(fā)明的優(yōu)點更容易理解，將通過參考在附圖中示出的具體實施例更詳細地描述上文簡要描述的本發(fā)明?？梢岳斫膺@些附圖只描繪了本發(fā)明的典型實施例，因此不應(yīng)認為是對其保護范圍的限制，通過附圖以附加的特性和細節(jié)描述和解釋本發(fā)明。
[0017]圖1為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的檢測設(shè)備的示意圖；
[0018]圖2為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的承載裝置的示意圖；
[0019]圖3為圖1中所示A區(qū)域的放大截面圖；以及
[0020]圖4為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的包括檢測設(shè)備的檢測系統(tǒng)的示意圖。

【具體實施方式】
[0021]在下文的討論中，給出了細節(jié)以便提供對本發(fā)明更為徹底的理解。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以了解，本發(fā)明可以無需一個或多個這些細節(jié)而得以實施。在特定的示例中，為了避免與本發(fā)明發(fā)生混淆，對于本領(lǐng)域公知的一些技術(shù)特征未進行詳盡地描述。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的一個方面，公開了一種壓力傳感器的檢測設(shè)備(以下簡稱檢測設(shè)備)，用于檢測壓力傳感器的靈敏度。如圖1所示，該檢測設(shè)備包括承載裝置110、多個固定裝置120以及壓力輸送裝置130。
[0023]結(jié)合圖2所示，該承載裝置110上設(shè)置有多個通孔111。雖然圖2中示出的通孔111的數(shù)量為8個，但本發(fā)明不限于此，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)實際需要選擇設(shè)置合理數(shù)量的通孔。此外，通孔111的形狀也并非限于圖中所示的圓形，也可以為任何其它形狀，只要能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明的目的即可。多個固定裝置120的數(shù)量與多個通孔111的數(shù)量相對應(yīng)，即每個通孔111處都對應(yīng)地設(shè)置有一個固定裝置120，以便將壓力傳感器固定在通孔111處。當將壓力傳感器固定在通孔111處時，壓力傳感器的受壓面應(yīng)當對準通孔111，以便使通孔111暴露壓力傳感器的受壓面。這樣，多個固定裝置120可以在承載裝置110的第一表面(例如圖1中所示的承載裝置110的左側(cè)表面)將多個壓力傳感器分別固定到多個通孔111處，且通孔111能夠暴露壓力傳感器的受壓面的至少一部分。通孔111可以暴露受壓面的一部分，也可以將受壓面全部暴露，只要能夠?qū)毫斔脱b置130輸送過來的氣體壓力通過通孔111施加到壓力傳感器的受壓面即可。
[0024]壓力輸送裝置130在其兩端分別設(shè)置有進氣口 131和出氣口 132，承載裝置110的第二表面朝向壓力輸送裝置130并連接至壓力輸送裝置130的出氣口 132端。其中，承載裝置110的第二表面與第一表面相對，并使得壓力傳感器的受壓面面向所述壓力輸送裝置130，以使來自壓力輸送裝置130的氣體能夠直接作用于壓力傳感器的受壓面。該檢測設(shè)備可以同時在承載裝置110上安裝并固定多個壓力傳感器，從而可以一次完成對多個壓力傳感器的檢測，安裝方便，結(jié)構(gòu)簡單并且有利于提高工作效率。
[0025]優(yōu)選地，如圖3所示，每個固定裝置120都包括密封件121，密封件121上設(shè)有開孔。在壓力傳感器300安裝到檢測設(shè)備的安裝狀態(tài)下，密封件121在通孔111處設(shè)置在壓力傳感器300和承載裝置110之間，且使得密封件121上的開孔與承載裝置110上的通孔111對準，以保證每個壓力傳感器300和承載裝置110之間僅通過相應(yīng)的通孔111輸送氣體，進而在每個通孔111處實現(xiàn)承載裝置110與相應(yīng)的壓力傳感器300之間的密封性。密封件121的設(shè)置可以保證當通過通孔111向壓力傳感器300的受壓面施加氣體壓力的時候氣體不會泄露，從而保證了該檢測設(shè)備的密封性，有利于提高測試數(shù)據(jù)的準確性。
[0026]更優(yōu)選地，如圖3所示，每個固定裝置120都包括套筒122和蓋體123，套筒122圍繞通孔111固定在承載裝置110上，套筒122的尺寸設(shè)置為略大于待檢測的壓力傳感器300的尺寸，以能夠?qū)毫鞲衅?00容置在其中。優(yōu)選地，套筒122的內(nèi)部尺寸可以與壓力傳感器300的尺寸相匹配，以便在套筒122的橫截面內(nèi)固定壓力傳感器300。雖然，圖中示出的套筒122為圓柱形的，但是本發(fā)明并不限于此，其可以為任何形狀，只要能夠固定壓力傳感器即可。蓋體123可拆卸地連接在套筒122的與承載裝置110相對的一側(cè)，以使得當壓力傳感器300安裝到檢測設(shè)備的時候，蓋體123能夠?qū)毫鞲衅?00朝向承載裝置110的通孔111端壓靠在承載裝置110上，并且當完成對壓力傳感器300的檢測后，可以將蓋體123從套筒122上拆下，從而將壓力傳感器300取出。本發(fā)明的該優(yōu)選實施方式結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，成本低廉且能夠良好的固定壓力傳感器。
[0027]為了更好地將壓力傳感器300固定到檢測設(shè)備上，進一步優(yōu)選地，固定裝置還包括彈性件124，如圖3所示。彈性件124可以設(shè)置在蓋體123的朝向套筒122的一側(cè)。當壓力傳感器300安裝至檢測設(shè)備的時候，彈性件124可以將壓力傳感器300朝向承載裝置110偏壓。該彈性件124可以進一步地將壓力傳感器300緊密地固定到檢測設(shè)備上，避免壓力傳感器300的受壓面與承載裝置110的通孔111接觸的地方出現(xiàn)縫隙，而影響密封性。此夕卜，彈性地偏壓壓力傳感器300還可以避免壓力傳感器300在測試過程中損壞。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選實施方式，套筒122可以與蓋體123螺接。該優(yōu)選的連接方式可以方便地拆卸、安裝蓋體，從而可以方便地將壓力傳感器置入與取出。
[0029]如圖1所示，在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式中，承載裝置110螺接至壓力輸送裝置130的出氣口 132。該優(yōu)選連接方式一方面能夠保證承載裝置110與壓力輸送裝置130之間的密封性能，另一方面能夠方便地拆裝承載裝置110，從而當將壓力傳感器、密封件(如果存在)等部件裝配在承載裝置I1上的時候，可以先將承載裝置110從壓力輸送裝置130上拆卸，以實現(xiàn)方便地裝配。
[0030]在本發(fā)明的另一種優(yōu)選實施方式中，承載裝置110與壓力輸送裝置130 —體地形成，以使壓力輸送裝置130和承接裝置110之間的密封性能更好。
[0031]為了避免該檢測設(shè)備在如氣溫等外界因素的影響下發(fā)生變形而影響設(shè)備的密封性，優(yōu)選地，承載裝置I1和壓力輸送裝置130都是由金屬材料制成。一方面可以延長檢測設(shè)備的使用壽命，另一方面可以避免設(shè)備發(fā)生變形。但是，對于固定裝置120并不限于用金屬材料制成。
[0032]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種用于壓力傳感器的檢測系統(tǒng)。如圖4所示，該檢測系統(tǒng)包括如上文所述的任一種檢測設(shè)備、靈敏度檢測裝置420和壓力源410。對于該檢測設(shè)備，可以參照上文相應(yīng)部分的具體描述，在此不再贅述。該靈敏度檢測裝置420用于分別檢測安裝在檢測設(shè)備上的壓力傳感器(未示出)的靈敏度，雖然圖4中僅示意性地示出了一個靈敏度檢測裝置420，但是，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解的是，應(yīng)當同時為安裝在檢測設(shè)備上的每個壓力傳感器提供靈敏度檢測單元，以便能夠?qū)崿F(xiàn)多個壓力傳感器的同時檢測。作為示例，靈敏度檢測裝置420可以為電壓檢測裝置，例如數(shù)字萬用表，即通過電壓的變化來測量壓力傳感器的靈敏度。壓力源410連接至壓力輸送裝置130的進氣口 131，用于向壓力輸送裝置130內(nèi)輸入氣體。優(yōu)選地，該壓力源410能夠顯示輸送至壓力輸送裝置130的氣體的壓力。
[0033]本發(fā)明還提供了一種使用上述檢測系統(tǒng)檢測壓力傳感器的靈敏度的方法。繼續(xù)參考圖4，根據(jù)本發(fā)明實施例的檢測方法包括以下步驟:
[0034]首先，通過多個固定裝置120分別將多個壓力傳感器安裝至承載裝置的110的第一表面，使得壓力傳感器的受壓面朝向承載裝置110，并由通孔暴露受壓面的至少一部分。
[0035]然后，將多個壓力傳感器分別與多個靈敏度檢測裝置420連接。作為示例，靈敏度檢測裝置420可以為電壓檢測裝置，例如數(shù)字萬用表，即通過電壓的變化來測量壓力傳感器的靈敏度。
[0036]接下來，將壓力輸送裝置130的進氣口 131與壓力源410連接。
[0037]然后，通過進氣口 131向壓力輸送裝置130內(nèi)輸入氣體；
[0038]最后，當壓力輸送裝置130內(nèi)的壓力穩(wěn)定后，監(jiān)測靈敏度檢測裝置420的讀數(shù)。優(yōu)選地，壓力輸送裝置130的進氣口 131可以與壓力檢測表連接，當壓力檢測表顯示的壓力輸送裝置130內(nèi)的壓力數(shù)值維持不變的時候，即可得知壓力輸送裝置130內(nèi)的壓力達到穩(wěn)定，從而可以進行后續(xù)的檢測。
[0039]其中，壓力傳感器的具體的裝配方式在上文對檢測設(shè)備的說明中已有具體描述，在此不再贅述。
[0040]綜上所述，本發(fā)明提供的檢測設(shè)備可以同時固定多個壓力傳感器，從而可以一次完成對多個壓力傳感器的檢測，安裝方便，結(jié)構(gòu)簡單并且有利于提高工作效率。
[0041]為了進行說明，前述描述參照了具體實施例進行描述。然而，上文的示例性的討論并非意欲是無遺漏地或?qū)⒈景l(fā)明限制在所公開的明確形式上。鑒于以上教導(dǎo)，也有可能存在很多變型和變化。選擇并描述了實施例，以最好地解釋本發(fā)明的原理和實際應(yīng)用，以使本領(lǐng)域的其他技術(shù)人員最好地利用本發(fā)明以及具有各種變型的各種實施例，以能適用于期望的特定用途。
[0042]由此描述了根據(jù)本發(fā)明的實施例。雖然本公開已在特定實施例中予以描述，但是應(yīng)當了解，本發(fā)明不應(yīng)理解為由這些實施例所限制，而應(yīng)根據(jù)權(quán)利要求進行理解。
【權(quán)利要求】
1.一種用于壓力傳感器的檢測設(shè)備，所述檢測設(shè)備包括: 承載裝置，其上設(shè)置有多個通孔； 多個固定裝置，其分別與多個所述通孔相對應(yīng)，多個所述固定裝置構(gòu)造為能夠在所述承載裝置的第一表面將多個壓力傳感器分別固定至多個所述通孔處，且所述通孔構(gòu)造為能夠暴露所述壓力傳感器的受壓面的至少一部分； 壓力輸送裝置，所述壓力輸送裝置具有進氣口和出氣口，所述承載裝置密封連接至所述出氣口，且所述承載裝置的與所述第一表面相對的第二表面面向所述壓力輸送裝置，使得所述壓力傳感器的受壓面面向所述壓力輸送裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其特征在于，每個所述固定裝置均包括密封件，所述密封件上設(shè)有開孔，所述開孔與所述通孔對準，所述密封件在所述壓力傳感器安裝至所述檢測設(shè)備的安裝狀態(tài)下在所述通孔處設(shè)置在所述壓力傳感器和所述承載裝置之間。
3.如權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述固定裝置包括套筒和蓋體，所述套筒圍繞所述通孔固定在所述承載裝置上，用于容置所述壓力傳感器，所述蓋體可拆卸地連接在所述套筒上，所述蓋體在所述壓力傳感器安裝至所述檢測設(shè)備的安裝狀態(tài)下壓靠所述壓力傳感器。
4.如權(quán)利要求3所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述固定裝置還包括彈性件，所述彈性件設(shè)置在所述蓋體的朝向所述套筒的一側(cè)，所述彈性件構(gòu)造為在所述安裝狀態(tài)下能夠?qū)⑺鰤毫鞲衅鞒蛩龀休d裝置偏壓。
5.如權(quán)利要求3所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述套筒與所述蓋體螺接。
6.如權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述承載裝置螺接至所述壓力輸送裝置的所述出氣口。
7.如權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述承載裝置與所述壓力輸送裝置一體地形成。
8.如權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述承載裝置和所述壓力輸送裝置是由金屬材料制成的。
9.一種用于壓力傳感器的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測系統(tǒng)包括: 如權(quán)利要求1-8中任一項所述的檢測設(shè)備； 靈敏度檢測裝置，所述靈敏度檢測裝置用于分別檢測安裝在所述檢測設(shè)備上的壓力傳感器的靈敏度；以及 壓力源，所述壓力源連接至所述壓力輸送裝置的所述進氣口，用于向所述壓力輸送裝置內(nèi)輸入氣體。
10.一種使用如權(quán)利要求9所述的檢測系統(tǒng)檢測壓力傳感器的靈敏度的方法，所述方法包括以下步驟: 通過多個所述固定裝置分別將多個壓力傳感器安裝至所述承載裝置的所述第一表面，且所述壓力傳感器的受壓面由所述通孔暴露； 將所述壓力傳感器分別與所述靈敏度檢測裝置連接； 將所述壓力輸送裝置的所述進氣口與所述壓力源連接； 通過所述進氣口向所述壓力輸送裝置內(nèi)輸入氣體； 當所述壓力輸送裝置內(nèi)的壓力穩(wěn)定后，監(jiān)測所述靈敏度檢測裝置的讀數(shù)。
【文檔編號】G01L27/00GK104422561SQ201310379615
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月27日
【發(fā)明者】顧堅儉, 徐伯強 申請人:無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司