壓電式加速度傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種壓電式加速度傳感器，包括：殼體；與所述殼體相連的基座，所述基座包括從該基座延伸至所述殼體內(nèi)的中心柱；容納于所述殼體內(nèi)且從所述中心柱徑向向外依次設(shè)置的壓電元件組和質(zhì)量塊；以及容納于所述殼體內(nèi)且將所述壓電元件組和所述質(zhì)量塊固定在所述中心柱上的預(yù)載筒。本發(fā)明的壓電式加速度傳感器能夠在任何溫度下均可采用剪切型結(jié)構(gòu)。
【專利說明】壓電式加速度傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于傳感器和換能器【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地，涉及一種主要應(yīng)用于機(jī)械設(shè)備的振動(dòng)測(cè)試和監(jiān)測(cè)的壓電式加速度傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]加速度傳感器是一種用于測(cè)量設(shè)備、物體等振動(dòng)的機(jī)電傳感器，廣泛應(yīng)用于航空航天、核能電力、船舶交通、生物醫(yī)學(xué)等各個(gè)行業(yè)領(lǐng)域。加速度傳感器按其原理可以分為壓電式、壓阻式、電容式、諧振式等多種類型，這其中壓電式加速度傳感器以其靈敏度高、使用溫度范圍寬、穩(wěn)定性好等眾多優(yōu)點(diǎn)，成為使用最為廣泛的加速度傳感器。特別是對(duì)于航空發(fā)動(dòng)機(jī)、核電機(jī)組等環(huán)境溫度非常高的應(yīng)用場(chǎng)合(通常高于400°C)，壓電式加速度傳感器是不可替代的選擇。
[0003]壓電式加速度傳感器是基于壓電材料的壓電效應(yīng)而工作的。其原理是利用諸如壓電陶瓷或石英晶體等壓電材料的壓電效應(yīng)，在加速度傳感器受振時(shí)，質(zhì)量塊加在壓電元件上的力也隨之變化。當(dāng)被測(cè)振動(dòng)頻率遠(yuǎn)低于加速度傳感器的固有頻率時(shí)，則力的變化與被測(cè)加速度成正比。
[0004]目前使用較多的壓電式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)主要為壓縮型和剪切型。相對(duì)于壓縮型結(jié)構(gòu)，剪切型結(jié)構(gòu)通常具有更高的輸出、更小的尺寸、更大的帶寬和更低的橫向輸出等，因此成為了壓電式加速度傳感器設(shè)計(jì)時(shí)優(yōu)先選用的結(jié)構(gòu)。尤其值得一提的是，剪切型結(jié)構(gòu)的壓電式加速度傳感器中，不直接與壓電元件接觸，因此具有更低的瞬變溫度靈敏度和更好的溫度性能。常溫的壓電式加速度傳感器現(xiàn)已普遍采用剪切型結(jié)構(gòu)。但對(duì)于可在350°C以上高溫工作的商業(yè)壓電式加速度傳感器，卻大多采用壓縮型結(jié)構(gòu)。
[0005]壓電式加速度傳感器的核心敏感元件為壓電元件，壓電元件主要分為壓電晶體和壓電陶瓷兩大類，由于壓電晶體材料價(jià)格昂貴、不易加工且壓電系數(shù)低，因此絕大多數(shù)壓電式加速度傳感器都采用壓電陶瓷材料作為壓電元件。而對(duì)于采用高溫壓電陶瓷材料作為敏感元件材料的壓電式加速度傳感器，剪切型結(jié)構(gòu)難以實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電元件等零件的固定。
[0006]這是由于，現(xiàn)有的剪切型結(jié)構(gòu)的壓電式加速度傳感器中，對(duì)于壓電元件等零件一般有兩種固定方式，第一種固定方式是采用彈性材料加工成預(yù)緊筒，緊固在壓電元件和質(zhì)量塊側(cè)邊，利用其彈性收縮將壓電元件固定在基座的中心柱上。例如，如圖1 (a)所示，在殼體18內(nèi)，采用由彈性材料加工而成的預(yù)緊筒14，利用該預(yù)緊筒14的彈性收縮將壓電元件11和質(zhì)量塊12固定在基座17的中心柱13上。
[0007]另一種固定方式是采用螺紋固定，S卩，將螺栓依次通過壓電元件、質(zhì)量塊等，且在螺栓的梢端處用螺母擰緊，從而將各元件固定在中心柱上。例如，如圖1 (b)所示，在殼體18內(nèi)，將螺栓15從質(zhì)量塊12的徑向外側(cè)依次通過質(zhì)量塊12、壓電元件11，并在穿過基座17的中心柱13后再依次通過壓電元件11、質(zhì)量塊12，且在螺栓15的梢端處用螺母16擰緊，從而將各元件固定在中心柱13上。
[0008]如采用現(xiàn)有方法制作高溫剪切型壓電式加速度傳感器，上述第一種固定方式需要可在高溫下使用的彈性材料，而目前尚無此種材料，且此方法預(yù)緊力較小，導(dǎo)致壓電式加速度傳感器結(jié)構(gòu)不夠牢固，不能承受較大的振動(dòng)和沖擊。而上述第二種固定方式需要在壓電元件中心處開孔，以通過固定螺栓，但高溫壓電陶瓷材料由于極化難度大，一般僅能做到兩三毫米的高度，因此沒有足夠的高度來開孔以通過螺栓，而壓電晶體材料由于加工難度大，也不易在中心開孔。
[0009]另外，高溫壓電材料壓電系數(shù)低，尤其是高溫壓電晶體材料，壓電系數(shù)僅幾pC/g，而剪切型結(jié)構(gòu)的質(zhì)量塊重量不易做大，這樣會(huì)致使壓電式加速度傳感器的輸出靈敏度極低，無法滿足實(shí)際測(cè)試要求。綜上所述，現(xiàn)有的高溫壓電式加速度傳感器難以采用剪切型結(jié)構(gòu)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]鑒于以上所述，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種壓電式加速度傳感器，能夠在任何溫度下均可采用剪切型結(jié)構(gòu)。
[0011]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的壓電式加速度傳感器包括:殼體；與所述殼體相連的基座，所述基座包括從該基座延伸至所述殼體內(nèi)的中心柱；容納于所述殼體內(nèi)且從所述中心柱徑向向外依次設(shè)置的壓電元件組和質(zhì)量塊；以及容納于所述殼體內(nèi)且將所述壓電元件組和所述質(zhì)量塊固定在所述中心柱上的預(yù)載筒。
[0012]根據(jù)本發(fā)明，通過預(yù)載筒直接對(duì)壓電元件組和質(zhì)量塊施加預(yù)緊力來將壓電元件組和質(zhì)量塊固定在基座的中心柱上，即通過預(yù)載筒在壓電元件組及質(zhì)量塊零件平面上施加垂直于該平面的預(yù)緊力來固定這些零件，因而無需對(duì)壓電元件組等開固定孔即可進(jìn)行預(yù)緊固定，且克服了現(xiàn)有在350°C以上高溫工作的壓電式加速度傳感器難以采用剪切型結(jié)構(gòu)的問題。
[0013]本發(fā)明的壓電式加速度傳感器可適用于各種溫度的場(chǎng)合，并能應(yīng)用于具有各種高度的壓電元件組，且預(yù)緊力可調(diào)，可對(duì)零件施加和壓縮型結(jié)構(gòu)一樣較大的預(yù)緊力，從而該壓電式加速度傳感器結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，能承受較大的振動(dòng)和沖擊。從而，本發(fā)明的壓電式加速度傳感器可兼具壓縮型結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠和剪切型結(jié)構(gòu)橫向靈敏度低、溫度性能好的優(yōu)點(diǎn)，且制作工藝簡(jiǎn)單，因而可以廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和國防領(lǐng)域的高溫振動(dòng)測(cè)量。另外，亦可應(yīng)用于常溫和低溫領(lǐng)域。
[0014]在本發(fā)明中，也可以是，所述預(yù)載筒緊固于所述中心柱。
[0015]根據(jù)本發(fā)明，通過將預(yù)載筒緊固于所述中心柱，以此可有效地將壓電元件組和質(zhì)量塊固定在中心柱上。優(yōu)選地，該預(yù)載筒可通過焊接或螺紋連接等形式緊固于中心柱。
[0016]在本發(fā)明中，也可以是，包括圍繞所述中心柱均勻分布的多組所述壓電元件組和所述質(zhì)量塊。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，設(shè)有多組圍繞中心柱均勻分布的壓電元件組和質(zhì)量塊，可以實(shí)現(xiàn)多組并聯(lián)，以增大傳感器輸出。
[0018]在本發(fā)明中，也可以是，所述壓電元件組由多個(gè)壓電元件并聯(lián)或并聯(lián)后再串聯(lián)而構(gòu)成。
[0019]根據(jù)本發(fā)明，壓電元件組由多個(gè)壓電元件并聯(lián)或并聯(lián)后再串聯(lián)而構(gòu)成，由此可使得壓電式加速度傳感器具有較高的靈敏度。[0020]在本發(fā)明中，也可以是，還包括:與所述壓電元件組相連的導(dǎo)電片；設(shè)于所述壓電元件組與所述質(zhì)量塊之間以及所述壓電元件組與所述中心柱之間的絕緣片；設(shè)置于所述殼體上的接插件；以及連接于所述導(dǎo)電片與所述接插件之間的導(dǎo)線。
[0021]根據(jù)本發(fā)明，可通過絕緣片使壓電元件組與質(zhì)量塊、中心柱形成絕緣，以對(duì)各部件進(jìn)行絕緣保護(hù)；且可通過導(dǎo)線連接導(dǎo)電片與接插件，以將壓電元件組產(chǎn)生的電信號(hào)經(jīng)導(dǎo)電片和導(dǎo)線通過接插件輸出到外部電纜。
[0022]在本發(fā)明中，也可以是，所述壓電元件為剪切型壓電元件。
[0023]根據(jù)本發(fā)明，更有利于降低壓電式加速度傳感器的橫向靈敏度、并提高該壓電式加速度傳感器的溫度性能。
[0024]在本發(fā)明中，也可以是，所述剪切型壓電元件包括高溫壓電元件。
[0025]根據(jù)本發(fā)明，更有利于在高溫下實(shí)現(xiàn)壓電式加速度傳感器的剪切型結(jié)構(gòu)。
[0026]在本發(fā)明中，也可以是，所述高溫壓電元件包括高溫壓電陶瓷材料或高溫壓電晶體材料。
[0027]根據(jù)本發(fā)明，該高溫壓電元件可以是諸如CaBi4Nb4015、Bi3TiNbO9等的高溫壓電陶瓷材料或諸如LGS、LGT等的高溫壓電晶體材料，以進(jìn)一步有利于在高溫下實(shí)現(xiàn)壓電式加速度傳感器的剪切型結(jié)構(gòu)。
[0028]在本發(fā)明中，也可以是，所述殼體、基座、預(yù)載筒由耐高溫合金鋼材構(gòu)成，且所述質(zhì)量塊由高比重合金材料構(gòu)成。
[0029]根據(jù)本發(fā)明，殼體、基座、預(yù)載筒均可采用諸如Inconel 600、Inconel 718等的耐高溫合金鋼材。且質(zhì)量塊可采用高比重合金材料，該高比重合金可指一類以鎢為基體的合金，其密度高達(dá)16.5-19.0g/cm3，例如可以是97WNiWu。從而更有利于在高溫下實(shí)現(xiàn)壓電式加速度傳感器的剪切型結(jié)構(gòu)，且可使得該壓電式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定可靠。
[0030]在本發(fā)明中，也可以是，所述導(dǎo)電片由耐高溫導(dǎo)電金屬材料構(gòu)成，且所述絕緣片由耐高溫絕緣材料構(gòu)成。
[0031]根據(jù)本發(fā)明，導(dǎo)電片可采用諸如高溫鋼、鉬金等的耐高溫導(dǎo)電金屬材料，有利于在高溫下傳輸電信號(hào)；且絕緣片可采用諸如氧化鋁的耐高溫絕緣材料，有利于在高溫下對(duì)壓電元件組、質(zhì)量塊、中心柱等進(jìn)行絕緣保護(hù)。
[0032]本發(fā)明可包含權(quán)利要求書和/或說明書和/或附圖中公開的至少兩個(gè)結(jié)構(gòu)的任意組合。尤其是，本發(fā)明包含權(quán)利要求書的各項(xiàng)權(quán)利要求的兩個(gè)以上的任意組合。
[0033]根據(jù)下述【具體實(shí)施方式】并參考附圖，將更好地理解本發(fā)明的上述及其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的剪切型壓電式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本發(fā)明的壓電式加速度傳感器的一實(shí)施形態(tài)的剖視圖；
圖3是本發(fā)明的壓電式加速度傳感器的一優(yōu)先實(shí)施例的局部分解立體示意圖；
圖4是本發(fā)明的壓電式加速度傳感器的另一優(yōu)選實(shí)施例的局部分解立體示意圖；
圖5是本發(fā)明的壓電式加速度傳感器中的壓電元件并聯(lián)的結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0035]下面結(jié)合附圖，通過實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明，但不以任何方式限制本發(fā)明的范圍。在所有附圖中相同或相應(yīng)的部件標(biāo)以相同或相似的附圖標(biāo)記。
[0036]圖2是本發(fā)明的壓電式加速度傳感器的一實(shí)施形態(tài)的剖視圖。如圖2所示，本發(fā)明的壓電式加速度傳感器包括殼體28和與該殼體28相連的基座27。該基座27包括從其延伸至殼體28內(nèi)的中心柱26。該壓電式加速度傳感器包括容納于殼體28內(nèi)且從中心柱26徑向向外依次設(shè)置的壓電元件組21和質(zhì)量塊24，以及容納于殼體28內(nèi)且將壓電元件組21和質(zhì)量塊24固定在中心柱26上的預(yù)載筒25。
[0037]本發(fā)明通過預(yù)載筒25直接對(duì)壓電元件組21和質(zhì)量塊24施加預(yù)緊力來將壓電元件組21和質(zhì)量塊24固定在基座27的中心柱26上，即通過預(yù)載筒25在壓電元件組21及質(zhì)量塊24等零件平面上施加垂直于該平面的預(yù)緊力來固定這些零件，因而無需對(duì)壓電元件組21等開固定孔即可進(jìn)行預(yù)緊固定，且克服了現(xiàn)有在350°C以上高溫工作的壓電式加速度傳感器無法采用剪切型結(jié)構(gòu)的問題。
[0038]在本發(fā)明中，上述殼體28、基座27、預(yù)載筒25均可采用諸如Inconel 600、Inconel718等的耐高溫合金鋼材，且質(zhì)量塊24可采用以鎢為基體的合金，其密度高達(dá)16.5-19.0g/cm3的高比重合金材料,例如97WNiWu,從而更有利于在高溫下實(shí)現(xiàn)壓電式加速度傳感器的剪切型結(jié)構(gòu)，且可使得該壓電式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)更穩(wěn)定可靠。
[0039]此外，預(yù)載筒25可緊固于中心柱26。例如，預(yù)載筒25可通過焊接或螺紋連接等形式緊固于中心柱26。以此可有效地將壓電元件組21和質(zhì)量塊24固定在中心柱26上。且在該壓電式加速度傳感器使用時(shí)，上述基座27可以以三孔螺釘安裝方式、或中心M5螺紋安裝方式安裝在被測(cè)設(shè)備上。
[0040]在圖2所示的實(shí)施形態(tài)中，該壓電式加速度傳感器還包括與壓電元件組21相連的導(dǎo)電片22。此外，還包括設(shè)于壓電元件組21與質(zhì)量塊24之間以及壓電元件組21與中心柱26之間的絕緣片23，可通過絕緣片23使壓電元件組21與質(zhì)量塊24、中心柱26形成絕緣，以對(duì)各部件進(jìn)行絕緣保護(hù)。還如圖2所示，該壓電式加速度傳感器還包括設(shè)置于殼體28上的接插件29，該接插件29例如可以是密封接插件。在導(dǎo)電片22與接插件29之間連接有導(dǎo)線22a。例如，如圖所示，該導(dǎo)線22a的一端連接至導(dǎo)電片22，另一端穿過預(yù)載筒25后連接至接插件29的插針30。由此，可將壓電元件組21產(chǎn)生的電信號(hào)經(jīng)導(dǎo)電片22和導(dǎo)線22a通過接插件29輸出到外部電纜(圖示省略)。該導(dǎo)線22a可采用一定保護(hù)措施(如氧化鋁套管、絕緣鍍層等)以確保與外部絕緣。
[0041]另外，上述導(dǎo)電片22可采用諸如高溫鋼、鉬金等的耐高溫導(dǎo)電金屬材料，有利于在高溫下傳輸電信號(hào)。絕緣片23可采用諸如氧化鋁的耐高溫絕緣材料，有利于在高溫下對(duì)壓電元件組21、質(zhì)量塊24、中心柱26等進(jìn)行絕緣保護(hù)。
[0042]在本發(fā)明中，優(yōu)選地，壓電元件組21和質(zhì)量塊24可以設(shè)置成圍繞中心柱26均勻分布有多組，從而實(shí)現(xiàn)多組并聯(lián)，以增大傳感器輸出。
[0043]此外，上述壓電元件組21優(yōu)選地可以由多個(gè)壓電元件并聯(lián)或并聯(lián)后再串聯(lián)而構(gòu)成，由此可使得本發(fā)明的壓電式加速度傳感器具有較高的靈敏度。圖5是本發(fā)明的壓電式加速度傳感器中的壓電元件并聯(lián)的結(jié)構(gòu)示意圖，包括壓電元件51和導(dǎo)電片52，其中箭頭所示的方向表示壓電元件極化方向。圖5 (a)示出了多個(gè)壓電元件51并聯(lián)構(gòu)成壓電元件組，而圖5 (b)示出了多個(gè)壓電元件51并聯(lián)后再串聯(lián)而構(gòu)成壓電元件組。
[0044]并且，上述壓電元件可以為剪切型壓電元件，優(yōu)選地為高溫壓電元件。所謂高溫壓電元件通常指超出常溫范圍的壓電元件，例如為兩百多度等。在本發(fā)明中，該高溫壓電元件可以是諸如CaBi4Nb4015、Bi3TiNb09等的高溫壓電陶瓷材料或諸如LGS、LGT等的高溫壓電晶體材料，以進(jìn)一步有利于在高溫下實(shí)現(xiàn)壓電式加速度傳感器的剪切型結(jié)構(gòu)。
[0045]以下結(jié)合圖3和圖4的不同實(shí)施例進(jìn)一步說明本發(fā)明的壓電式加速度傳感器的裝配過程。圖3是本發(fā)明的壓電式加速度傳感器的一優(yōu)先實(shí)施例的局部分解立體示意圖；圖4是本發(fā)明的壓電式加速度傳感器的另一優(yōu)選實(shí)施例的局部分解立體示意圖。圖3和圖4均只示出了圍繞中心柱26均勻分布的多組壓電元件組和質(zhì)量塊中的一組。
[0046]如圖3所示，該壓電式加速度傳感器的敏感單元(即壓電元件組)由多片剪切型壓電片(即壓電元件)31、導(dǎo)電片32共同組成，多片壓電片31間為并聯(lián)結(jié)構(gòu)形式，或多片并聯(lián)后再串聯(lián)；敏感單元通過絕緣片33與質(zhì)量塊34、中心柱36形成絕緣，并通過導(dǎo)線與接插件的插針連接(圖示省略)。裝配時(shí)，首先用裝配夾具將絕緣片33、壓電片31、導(dǎo)電片32、質(zhì)量塊34按順序依次疊放構(gòu)成所需連接結(jié)構(gòu)形式，并整齊固定在中心柱36上；接著將導(dǎo)線的一頭焊在導(dǎo)電片32上，另一頭通過預(yù)載筒35穿出；用壓力裝置將預(yù)載筒35壓緊在壓電元件組及質(zhì)量塊等上，達(dá)到合適預(yù)壓力，再將預(yù)載筒35與中心柱36焊接固定；把裝配好的基座37裝入殼體后，將導(dǎo)線的另一頭與插針焊在一起，再將基座與殼體焊好。至此，該壓電式加速度傳感器裝配完畢。
[0047]圖4所示的實(shí)施例與圖3大致相同，其區(qū)別點(diǎn)在于預(yù)載筒和質(zhì)量塊的結(jié)構(gòu)以及預(yù)載筒的安裝方式。圖3所示的預(yù)載筒35為長(zhǎng)方體形狀，且質(zhì)量塊34也相應(yīng)地為長(zhǎng)方體形狀。而圖4所示的預(yù)載筒45為大致圓柱形狀，該預(yù)載筒45的軸向與多片壓電片41的排列方向大致平行。且質(zhì)量塊44具備與該圓柱狀預(yù)載筒45的軸向端面相配合的端面。在圖4所示的實(shí)施例中，用力矩扳手將預(yù)載筒45與中心柱46通過螺紋連接擰緊，達(dá)到合適預(yù)壓力，再將預(yù)載筒45與中心柱46焊接固定。圖4中與圖3相同的結(jié)構(gòu)不再贅述。
[0048]此外，本發(fā)明的剪切型高溫壓電式加速度傳感器在組裝前可對(duì)其相關(guān)零件進(jìn)行超聲波清洗并進(jìn)行表面處理和熱處理以達(dá)到產(chǎn)品更好的穩(wěn)定性。
[0049]本發(fā)明的壓電式加速度傳感器可適用于各種溫度的場(chǎng)合，并能應(yīng)用于具有各種高度的壓電元件組，且預(yù)緊力可調(diào)，可對(duì)零件施加和壓縮型結(jié)構(gòu)一樣較大的預(yù)緊力，從而該壓電式加速度傳感器結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，能承受較大的振動(dòng)和沖擊。從而，本發(fā)明的壓電式加速度傳感器可兼具壓縮型結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠和剪切型結(jié)構(gòu)橫向靈敏度低、溫度性能好的優(yōu)點(diǎn)，且制作工藝簡(jiǎn)單，因而可以廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和國防領(lǐng)域的高溫振動(dòng)測(cè)量。另外，亦可應(yīng)用于常溫和低溫領(lǐng)域。
[0050]在不脫離本發(fā)明的基本特征的宗旨下，本發(fā)明可體現(xiàn)為多種形式，因此本發(fā)明中的實(shí)施形態(tài)是用于說明而非限制，由于本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求限定而非由說明書限定，而且落在權(quán)利要求界定的范圍、或其界定的范圍的等價(jià)范圍內(nèi)的所有變化都應(yīng)理解為包括在權(quán)利要求書中。
【權(quán)利要求】
1.一種壓電式加速度傳感器，其特征在于，包括: 殼體； 與所述殼體相連的基座，所述基座包括從該基座延伸至所述殼體內(nèi)的中心柱； 容納于所述殼體內(nèi)且從所述中心柱徑向向外依次設(shè)置的壓電元件組和質(zhì)量塊；以及 容納于所述殼體內(nèi)且將所述壓電元件組和所述質(zhì)量塊固定在所述中心柱上的預(yù)載筒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式加速度傳感器，其特征在于，所述預(yù)載筒緊固于所述中心柱。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式加速度傳感器，其特征在于，包括圍繞所述中心柱均勻分布的多組所述壓電元件組和所述質(zhì)量塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的壓電式加速度傳感器，其特征在于，所述壓電元件組由多個(gè)壓電元件并聯(lián)或并聯(lián)后再串聯(lián)而構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電式加速度傳感器，其特征在于，還包括: 與所述壓電元件組相連的導(dǎo)電片； 設(shè)于所述壓電元件組與所述質(zhì)量塊之間以及所述壓電元件組與所述中心柱之間的絕緣片； 設(shè)置于所述殼體上的接插件；以及 連接于所述導(dǎo)電片與所述接插件之間的導(dǎo)線。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電式加速度傳感器，其特征在于，所述壓電元件為剪切型壓電元件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電式加速度傳感器，其特征在于，所述剪切型壓電元件包括高溫壓電元件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓電式加速度傳感器，其特征在于，所述高溫壓電元件包括高溫壓電陶瓷材料或高溫壓電晶體材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的壓電式加速度傳感器，其特征在于，所述殼體、基座、預(yù)載筒由耐高溫合金鋼材構(gòu)成，且所述質(zhì)量塊由高比重合金材料構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓電式加速度傳感器，其特征在于，所述導(dǎo)電片由耐高溫導(dǎo)電金屬材料構(gòu)成，且所述絕緣片由耐高溫絕緣材料構(gòu)成。
【文檔編號(hào)】G01P15/09GK103675341SQ201310732589
【公開日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月26日
【發(fā)明者】毛利萍, 李鑫, 董顯林, 王根水 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所