專利名稱：一種哈特曼波前測試系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光學(xué)系統(tǒng)中波前測試領(lǐng)域，具體涉及一種哈特曼波前測試系統(tǒng)，用來對光束波面進(jìn)行測試。
背景技術(shù)：
在光學(xué)系統(tǒng)中，通常需要對光束的波前進(jìn)行測試，其測試結(jié)果可以用來表征光束波面起伏，從而評價(jià)光束的波面好壞，同時(shí)，其測試結(jié)果也可以作為光束波前校正的信號來源。目前，公知的波前測試系統(tǒng)基本上都是采用哈特曼測試系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)的，其測試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)都是采用縮束器將光束進(jìn)行縮束，在縮束后的光路中放置衰減片和透鏡陣列，在透鏡陣列的焦點(diǎn)上放置CCD相機(jī)或者CMOS相機(jī)對波前進(jìn)行測試。這種傳統(tǒng)的哈特曼波前測試系統(tǒng)在實(shí)際應(yīng)用中衰減片放置和調(diào)節(jié)不方便，縮束系統(tǒng)受溫差影響會造成透鏡陣列的焦點(diǎn)不在CCD光敏面上，影響測試的準(zhǔn)確性，同時(shí)，透鏡陣列的安裝和更換也比較麻煩。

實(shí)用新型內(nèi)容為了克服已有技術(shù)中哈特曼波前測試系統(tǒng)中衰減片的放置和衰減片的調(diào)節(jié)不方便，縮束系統(tǒng)受溫差的影響造成透鏡陣列的焦點(diǎn)不在CCD光敏面上以及透鏡陣列的安裝和更換比較麻煩等不足，本實(shí)用新型提供了一種新型的哈特曼波前測試系統(tǒng)。本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:一種哈特曼波前測試系統(tǒng)，所述的波前測試系統(tǒng)包括物鏡組件、衰減片組件、定位支架、殷鋼桿、目鏡組件、目鏡支架、透鏡陣列和CCD相機(jī)，同時(shí)還包括底座、前蓋板、前外罩、后外罩、蓋板等部件。殷鋼桿依次穿過物鏡組件、定位支架、目鏡支架的定位孔，由夾緊螺釘將殷鋼桿夾緊，將其組合件緊固在的底板上，衰減片組件安裝在目鏡組件前面，緊固在底板上，目鏡組件安裝在目鏡支架上，透鏡陣列安裝在CCD的接口環(huán)上，其焦平面與CCD光敏面重合，并將CCD緊固在底板上，前外罩、后外罩和前蓋板分別與底板相連，蓋板放置在后外罩的方孔上方。所述的新型的哈特曼波前測試系統(tǒng)可以用在光束波前測試中，其測試結(jié)果可以評價(jià)光束波面的好壞，同時(shí)，測試的波面信息可以作為光束波前校正的信號來源。所述的外罩分為前外罩和后外罩，在縮束透鏡調(diào)試完畢之后，前外罩一般不用拆卸，而后外罩拆卸方便，便于透鏡陣列和相機(jī)的更換。所述的后外罩上方有一開孔，揭開蓋板即可對衰減片進(jìn)行調(diào)節(jié)，操作方便。所述的物鏡組件、定位支架以及目鏡支架用殷鋼桿串通緊固，由于殷鋼的溫漂特性很小，其組合體相對位置受溫度影響較小。所述的衰減片組件為固定倍率衰減片和變密度衰減盤的組合，使用和調(diào)節(jié)方便。所述的目鏡支架通過殷鋼桿進(jìn)行緊固連接，滑動目鏡支架，可以隨意實(shí)現(xiàn)調(diào)焦功倉泛。所述的透鏡陣列口徑與縮束后的光斑尺寸相匹配。從本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征可以看出:本實(shí)用新型的哈特曼波前測試系統(tǒng)，應(yīng)用于光束波面測試。光束經(jīng)物鏡組件、衰減片組件和目鏡組件后以平行光形式入射到透鏡陣列上，通過透鏡陣列的平行光束被分成與透鏡單元數(shù)相同的聚焦光斑并在CXD光敏面上形成點(diǎn)陣，由CCD對聚焦的光斑陣列進(jìn)行處理從而測試出光束的波前面形。本實(shí)用新型的哈特曼波前測試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、透鏡陣列的焦平面與CCD光敏面之間的位置受溫度較小，同時(shí)，目鏡調(diào)焦、CCD更換以及衰減片的調(diào)節(jié)都很方便。

本實(shí)用新型將通過實(shí)施例并參照附圖的方式說明，其中:圖1是哈特曼波前測試系統(tǒng)外部結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是哈特曼波前測試系統(tǒng)去外罩結(jié)構(gòu)示意圖；其中:1是前蓋板2是前外罩3是底板4是蓋板5是后外罩6是物鏡組件7是殷鋼桿8是定位支架9是光束10是定位支架11是衰減片組件12是目鏡支架13是目鏡組件14是透鏡陣列15是CXD 16是CXD支架。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明。如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型的哈特曼波前測試系統(tǒng)包括前蓋板1、前外罩2、底板3、蓋板4、后外罩5、物鏡組件6、.殷鋼桿7、定位支架8、光束9、定位支架10、衰減片組件11、目鏡支架12、目鏡組件13、透鏡陣列14、(XD15、CXD支架16。本實(shí)用新型的哈特曼波前測試系統(tǒng)用來測試光束的波前面形，進(jìn)而評價(jià)光束波面的好壞，同時(shí)，測試的波面信息可以作為光束波前校正的信號來源。殷鋼桿7依次穿過物鏡組件6、定位支架8和10、目鏡支架12的定位孔，由夾緊螺釘將殷鋼桿7夾緊，將其組合件緊固在的底板3上，衰減片組件11安裝在目鏡組件13的前面，緊固在底板3上，目鏡組件13安裝在目鏡支架12上，透鏡陣列14安裝在(XD15的接口環(huán)上，透鏡陣列14的焦平面與(XD15的光敏面重合，并將(XD15通過CXD支架16緊固在底板3上，前外罩2、后外罩5和前蓋板4分別于底板3相連，蓋板4放置在后外罩5的方孔上。平行光光束9經(jīng)物鏡組件6、衰減片組件11和目鏡組件13進(jìn)行縮束，縮束后的平行光口徑與C⑶15前面的透鏡陣列14的口徑相匹配，通過透鏡陣列14的平行光束被分成與透鏡陣列14單元數(shù)相同的聚焦光斑并在CCD15的光敏面上形成點(diǎn)陣，由CCD15對聚焦的光斑陣列進(jìn)行處理從而測試出光束的波前面形。本說明書中公開的所有特征，除了互相排斥的特征以外，均可以以任何方式組合。本說明書(包括任何附加權(quán)利要求、摘要和附圖)中公開的任一特征，除非特別敘述，均可被其他等效或具有類似目的的替代特征加以替換。即，除非特別敘述，每個特征只是一系列等效或類似特征中的一個例子而已。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種哈特曼波前測試系統(tǒng)，其特征在于所述測試系統(tǒng)包括前蓋板(1)、前外罩(2)、底板(3)、蓋板(4)、后外罩(5)、物鏡組件(6)、殷鋼桿(7)、定位支架(8、10)、光束(9)、衰減片組件(11)、目鏡支架(12)、目鏡組件(13)、透鏡陣列(14)、CCD (15)、CCD支架(16);殷鋼桿(7)依次穿過物鏡組件(6)、定位支架(8、10)、目鏡支架(12)的定位孔，由夾緊螺釘將殷鋼桿(7)夾緊，將其組合件緊固在的底板(3)上，衰減片組件(11)安裝在目鏡組件(13)前面，緊固在底板(3)上，目鏡組件(13)安裝在目鏡支架(12)上，透鏡陣列(14)安裝在CXD(15)的接口環(huán)上，其焦平面與CXD (15)光敏面重合，并將安裝有CXD (15)的C⑶支架(16)緊固在底板上，前外罩(2)、后外罩(5)和蓋板(4)分別與底板(3)相連,蓋板(4)放置在后外罩(5)的方孔上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種哈特曼波前測試系統(tǒng)，其特征為所述的前外罩(2)和后外罩(5)均可拆卸，后外罩(5)上方有開口，其上放置蓋板(4)，揭開蓋板(4)可對衰減片組件(11)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種哈特曼波前測試系統(tǒng)，其特征為所述的衰減片組件(11)為固定倍率衰減片和變密度衰減盤的組合，組合衰減倍率與CCD (15)的感光強(qiáng)度相匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種哈特曼波前測試系統(tǒng)，其特征為所述的目鏡支架(12)通過殷鋼桿(7 )進(jìn)行鎖緊連接，滑動目鏡支架(12 )，實(shí)現(xiàn)調(diào)焦功能。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種哈特曼波前測試系統(tǒng)，其特征為所述的透鏡陣列(14)的口徑與縮束后的光斑尺寸以及CXD (15)的光敏面大小相匹配。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種哈特曼波前測試系統(tǒng)，所述的系統(tǒng)包括前蓋板、前外罩、底板、蓋板、后外罩、物鏡組件、.殷鋼桿、定位支架、光束、定位支架、衰減片組件、目鏡支架、目鏡組件、透鏡陣列、CCD、CCD支架；所述的新型的哈特曼波前測試系統(tǒng)可以用在光束波前測試中，其測試結(jié)果可以評價(jià)光束波面的好壞，同時(shí)，測試的波面信息可以作為光束波前校正的信號來源；本實(shí)用新型的哈特曼波前測試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、透鏡陣列的焦平面與CCD光敏面之間的位置受溫度較小，同時(shí)，目鏡調(diào)焦、CCD更換以及衰減片的調(diào)節(jié)都很方便。
文檔編號G01J9/00GK203163880SQ201320087930
公開日2013年8月28日 申請日期2013年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月27日
發(fā)明者李國會, 雒仲祥, 向汝建, 楊媛, 何忠武, 徐宏來, 吳晶 申請人:中國工程物理研究院應(yīng)用電子學(xué)研究所