專(zhuān)利名稱(chēng)：一種三軸電容式加速度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種加速度傳感器，尤其是指一種電容式加速度傳感器。
背景技術(shù)：
加速度傳感器是將加速度、震動(dòng)、沖擊等物理現(xiàn)象所產(chǎn)生的壓力轉(zhuǎn)變成便于測(cè)量的電信號(hào)的測(cè)試儀器。電容式加速度傳感器是將被測(cè)量的加速度變化轉(zhuǎn)換為電容變化量的一類(lèi)傳感器，因?yàn)榫哂袦y(cè)量精度高，輸出穩(wěn)定，溫度漂移小等優(yōu)點(diǎn)而得到廣泛應(yīng)用。通常，大多數(shù)的電容式加速度計(jì)只能檢測(cè)一個(gè)或兩個(gè)軸向的加速度，而在很多應(yīng)用中需要檢測(cè)加速度矢量。目前有采用在同一襯底上制作三軸電容式加速度傳感器，如果芯片內(nèi)部采用一個(gè)慣性質(zhì)量，通常具有較高的偏軸靈敏度及沿不同軸向的靈敏度差別較大；如果芯片內(nèi)部采用三個(gè)慣性質(zhì)量，為了克服芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)在制作和實(shí)用中產(chǎn)生的粘附效應(yīng)而采用的工藝也使得器件的制作較為復(fù)雜。另外，同一襯底上的三軸電容式加速度傳感器，一旦傳感器只要在某一軸向出現(xiàn)檢測(cè)失效，整個(gè)傳感器就無(wú)法使用。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型解決了上述技術(shù)問(wèn)題，提供一種三軸電容式加速度傳感器。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種三軸電容式加速度傳感器，其特征在于:包括上蓋、底座、傳感芯片，所述的底座由三個(gè)面組成，底座的內(nèi)部設(shè)有架子，所述的傳感芯片有三個(gè)，分別安裝在底座內(nèi)的架子上，所述的三個(gè)傳感芯片之間相互垂 直。進(jìn)一步的，所述的一種三軸電容式加速度傳感器還包括一串口插座，所述的串口插座固定在底座的側(cè)面上，并與傳感芯片連接。進(jìn)一步的，所述的上蓋由三個(gè)面組成，固定在底座上。采用本實(shí)用新型的方案的有益效果:1、把三塊單軸電容式加速度傳感器芯片安裝在同一底座的三個(gè)互相垂直面上；可檢測(cè)加速度矢量，有效抑制偏軸靈敏度，控制不同軸向靈敏度的一致性；單軸傳感器芯片制作，無(wú)需太復(fù)雜的工藝，即可克服粘附效應(yīng)，提高產(chǎn)品可靠性；各軸向傳感器芯片可靈活使用，一旦出現(xiàn)問(wèn)題，只需更換相應(yīng)芯片；2、采用串口插座，代替定制的連接器，提高接口通用性。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

圖1是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的串口插座示意圖；圖3是本實(shí)用新型的底座結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明。圖1、圖2、圖3所示一種三軸電容式加速度傳感器，包括上蓋1、底座3、傳感芯片4和串口插座2，底座3由三個(gè)面組成，底座3的內(nèi)部設(shè)有架子，傳感芯片4有三個(gè)，分別安裝在底座3的架子上，三個(gè)傳感芯片4之間相互垂直，串口插座2固定在底座3的側(cè)面上，并與傳感芯片4連接，上蓋I由三個(gè)面組成，固定在底座3上，傳感器安裝在待測(cè)物體上，待測(cè)物體產(chǎn)生加速度，各軸向傳感芯片感測(cè)到加速度，并把加速度轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的電信號(hào)，采用串口插座向外輸出。盡管結(jié)合優(yōu)選實(shí)施方案具體展示和介紹了本實(shí)用新型，但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明白，在不脫離所附權(quán)利要求書(shū)所限定的本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，在形式上和細(xì)節(jié)上對(duì)本實(shí)用新型做出各 種變化，均為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種三軸電容式加速度傳感器，其特征在于:包括上蓋、底座、傳感芯片，所述的底座由三個(gè)面組成，底座的內(nèi)部設(shè)有架子，所述的傳感芯片有三個(gè)，分別安裝在底座內(nèi)的架子上，所述的三個(gè)傳感芯片之間相互垂直。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三軸電容式加速度傳感器，其特征在于:所述的一種三軸電容式加速度傳感器還包括一串口插座，所述的串口插座固定在底座的側(cè)面上，并與傳感芯片連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三軸電容式加速度傳感器，其特征在于:所述的上蓋由三個(gè)面組 成。
專(zhuān)利摘要一種三軸電容式加速度傳感器，包括上蓋、底座、傳感芯片和串口插座，所述的底座由三個(gè)面組成，底座的內(nèi)部設(shè)有架子，所述的傳感芯片有三個(gè)，分別安裝在底座內(nèi)的架子上，所述的三個(gè)傳感芯片之間相互垂直，所述的串口插座固定在底座的側(cè)面上，并與傳感芯片連接，上蓋由三個(gè)相互垂直的面組成，固定在底座上。采用本實(shí)用新型的方案，可檢測(cè)加速度矢量，有效抑制偏軸靈敏度，控制不同軸向靈敏度的一致性；單軸傳感器芯片制作，無(wú)需太復(fù)雜的工藝，即可克服粘附效應(yīng)，提高產(chǎn)品可靠性；各軸向傳感器芯片可靈活使用，一旦出現(xiàn)問(wèn)題，只需更換相應(yīng)芯片。
文檔編號(hào)G01P15/125GK203133113SQ20132019334
公開(kāi)日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月12日
發(fā)明者崔賀偉, 陳強(qiáng)中 申請(qǐng)人:廈門(mén)乃爾電子有限公司