多晶硅電阻率測(cè)試儀的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種多晶硅電阻率測(cè)試儀，它由探筆、主控板、工控機(jī)和顯示打印裝置組成；探筆通過(guò)探筆連接頭與主控板電連接，主控板與工控機(jī)電連接，工控機(jī)與顯示打印裝置電連接。它的效果在于：1.檢測(cè)效率高，每個(gè)多晶硅片也僅需15秒即可檢測(cè)好；2.不會(huì)對(duì)檢測(cè)產(chǎn)品造成損傷和二次污染；3.使用方便、適應(yīng)性強(qiáng)；4.具有自我檢測(cè)功能，利于故障快速解除。
【專利說(shuō)明】多晶硅電阻率測(cè)試儀
[0001]【技術(shù)領(lǐng)域】:本實(shí)用新型涉及一種電阻率的測(cè)試裝置，特別是一種用于多晶硅(包括多晶硅片和單晶硅片、塊，以下同)電阻率的快速檢測(cè)設(shè)備---多晶硅電阻率測(cè)試儀。
[0002]【背景技術(shù)】:隨著近幾年光伏行業(yè)的快速發(fā)展，光伏企業(yè)如雨后春筍般的成立，隨之是產(chǎn)能極大地提高，但相應(yīng)的一些產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)措施和設(shè)備未能同步發(fā)展，尤其多晶硅的檢測(cè)設(shè)備跟不上需求?，F(xiàn)有多晶硅檢測(cè)設(shè)備是以“四針探法”原理為基礎(chǔ)而開(kāi)發(fā)出的設(shè)備；它主要由主機(jī)、測(cè)試探頭(可選配測(cè)試臺(tái))、主機(jī)數(shù)碼顯示管組成。主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成；測(cè)試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成。該設(shè)備在使用中存在的不足是:1、檢測(cè)效率低，它檢測(cè)一個(gè)點(diǎn)需5分鐘左右時(shí)間，而每個(gè)多晶硅片的檢測(cè)點(diǎn)最少需5個(gè)(這樣，才能保證產(chǎn)品的高質(zhì)量。)，所以，每個(gè)多晶硅片至少需25分鐘才能檢測(cè)好，該速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足現(xiàn)有企業(yè)的需求；2、容易對(duì)檢測(cè)產(chǎn)品造成損傷和二次(金屬)污染，因?yàn)樗臏y(cè)試探頭是碳化鎢探針，而且探針必須觸及到多晶硅片才能檢測(cè)，所以在觸及檢測(cè)過(guò)程中容易對(duì)多晶硅片造成損傷和二次(金屬)污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量；3、使用條件要求高，適應(yīng)性差，它不僅要求使用者必須經(jīng)過(guò)高標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)培訓(xùn)，而且檢測(cè)環(huán)境需保持在25 °C的恒溫中。
[0003]
【發(fā)明內(nèi)容】
:本實(shí)用新型的目的在于，針對(duì)現(xiàn)有多晶硅片檢測(cè)設(shè)備在使用中存在的不足，而提出一種檢測(cè)效率高、不會(huì)對(duì)被檢測(cè)產(chǎn)品造成損傷且對(duì)使用條件要求不高、適應(yīng)性強(qiáng)的多晶硅片電阻率測(cè)試儀。
[0004]通過(guò)下述技術(shù)方案可實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，一種多晶硅電阻率測(cè)試儀，其特征在于，它主要包括探筆、主控板、工控機(jī)和顯示打印裝置；探筆由探筆頭、筆桿、探筆連接頭和設(shè)在筆桿內(nèi)的電子部 件包括渦流信號(hào)發(fā)生/采集模塊、供電模塊、電流/電壓轉(zhuǎn)換模塊、MCU模塊、信號(hào)輸出模塊組成，筆桿兩端分別與探筆頭和探筆連接頭螺旋連接；主控板包括信號(hào)輸入模塊、A / D轉(zhuǎn)換模塊、MCU模塊、供電模塊、信號(hào)輸出模塊組成；工控機(jī)中的上位機(jī)程序包括自檢告警、產(chǎn)品P / N結(jié)的判斷、采集數(shù)據(jù)的分析、數(shù)據(jù)結(jié)果的分色顯示、運(yùn)算公式的校正、最終數(shù)據(jù)的保存、打印、管理者的權(quán)限設(shè)置；探筆通過(guò)探筆連接頭與主控板電連接，主控板與工控機(jī)電連接，工控機(jī)與顯示打印裝置電連接。
[0005]顯示打印裝置可為顯示屏和打印機(jī)合為一體的一體機(jī)，也可為各自獨(dú)立的顯示屏和打印機(jī)。
[0006]本實(shí)用新型的效果在于:1、檢測(cè)效率高，它檢測(cè)一個(gè)點(diǎn)僅需3秒鐘，每個(gè)多晶硅片也僅需15秒即可檢測(cè)好，檢測(cè)速度可提高20倍；這在于，本裝置設(shè)有渦流信號(hào)發(fā)生/采集模塊，它是通過(guò)渦流形式對(duì)多晶硅片進(jìn)行檢測(cè)，它與現(xiàn)有技術(shù)完全不同，所以，它的檢測(cè)效率可數(shù)十倍的提高；2、不會(huì)對(duì)檢測(cè)產(chǎn)品造成損傷和二次污染，因?yàn)樗奶焦P頭是高絕緣性材料，而且不需與被測(cè)產(chǎn)品直接接觸(可相隔小段距離)即可對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè)，所以不會(huì)對(duì)檢測(cè)產(chǎn)品造成損傷和二次污染，有利產(chǎn)品的質(zhì)量提高；3、使用方便、適應(yīng)性強(qiáng)，設(shè)備在現(xiàn)場(chǎng)一次性檢驗(yàn)調(diào)試好后，使用者僅需簡(jiǎn)單的拿起探筆對(duì)準(zhǔn)需被檢測(cè)產(chǎn)品，所需結(jié)果即直接在顯示屏上顯示，數(shù)據(jù)一目了然，而且在各種環(huán)境條件下都可使用；4、具有自我檢測(cè)功能，設(shè)備出現(xiàn)問(wèn)題第一時(shí)間會(huì)自動(dòng)告警，并且指出詳細(xì)的故障點(diǎn)，利于故障快速解除。[0007]下面結(jié)合實(shí)施例及附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步闡述:
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】:
[0008]附圖1為本實(shí)用新型電路方框結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]附圖2為本實(shí)用新型中探筆的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】:
[0010]參見(jiàn)附圖1、2，一種多晶硅電阻率測(cè)試儀，它主要包括探筆1、主控板2、工控機(jī)3和顯示打印裝置4 ;探筆I由探筆頭11、筆桿12、探筆連接頭13和設(shè)在筆桿內(nèi)的電子部件包括渦流信號(hào)發(fā)生/采集模塊14、供電模塊15、電流/電壓轉(zhuǎn)換模塊16、MCU模塊17、信號(hào)輸出模塊18組成，電子部件之間按常規(guī)電連接，筆桿12兩端分別與探筆頭11和探筆連接頭13螺旋連接；主控板2的電子部件由包括信號(hào)輸入模塊21、A / D轉(zhuǎn)換模塊22、MCU模塊23、供電模塊24、信號(hào)輸出模塊25組成，電子部件之間按常規(guī)電連接；工控機(jī)3中的上位機(jī)程序包括自檢告警、產(chǎn)品P / N結(jié)的判斷、采集數(shù)據(jù)的分析、數(shù)據(jù)結(jié)果的分色顯示、運(yùn)算公式的校正、最終數(shù)據(jù)的保存、打印、管理者的權(quán)限設(shè)置；探筆I中的信號(hào)輸出模塊18通過(guò)探筆連接頭13與主控板2中的信號(hào)輸入模塊21電連接，主控板2中的信號(hào)輸出模塊25與工控機(jī)電3中的PCI接口連接，工控機(jī)3與顯示打印裝置4電連接。為不造成被測(cè)產(chǎn)品的二次污染并影響測(cè)試結(jié)果，探筆頭11和探筆連接頭13由高絕緣性材料制成。為使筆桿12的導(dǎo)熱性好和內(nèi)部電子部件不受外部電磁波干擾，筆桿12的制作材料為黃銅。顯示打印裝置4可為顯示屏和打印機(jī)合為一體的一體機(jī)，也可為各自獨(dú)立的顯示屏和打印機(jī)。
[0011]本裝置的運(yùn)行是:將探筆I觸及多晶硅片，探筆I通過(guò)渦流信號(hào)發(fā)生/采集模塊14發(fā)射固定渦流信號(hào)，通過(guò)多晶硅塊片后還回的固定渦流信號(hào)，經(jīng)渦流信號(hào)發(fā)生/采集模塊14傳輸給電流/電壓轉(zhuǎn)換模塊16進(jìn)行轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換信號(hào)傳輸給MCU模塊17，MCU模塊17將分析的數(shù)據(jù)由信號(hào)輸出模塊18傳輸給主控板2中的信號(hào)輸入模塊21，信號(hào)輸入模塊21依次將信號(hào)傳輸給A / D轉(zhuǎn)換模塊22、MCU模塊23和信號(hào)輸出模塊25，經(jīng)處理后的信號(hào)再傳輸給工控機(jī)3，通過(guò)工控機(jī)3中的上位機(jī)程序，進(jìn)行傅里葉運(yùn)算公式分析出多晶硅片的電阻率數(shù)據(jù)再傳輸給顯示打印裝置4顯示或打印。
【權(quán)利要求】
1.一種多晶硅電阻率測(cè)試儀，其特征在于，它主要包括探筆、主控板、工控機(jī)和顯示打印裝置；探筆由探筆頭、筆桿、探筆連接頭和設(shè)在筆桿內(nèi)的電子部件包括渦流信號(hào)發(fā)生/采集模塊、供電模塊、電流/電壓轉(zhuǎn)換模塊、MCU模塊、信號(hào)輸出模塊組成，筆桿兩端分別與探筆頭和探筆連接頭螺旋連接；主控板包括信號(hào)輸入模塊、A / D轉(zhuǎn)換模塊、MCU模塊、供電模塊、信號(hào)輸出模塊組成；工控機(jī)中的上位機(jī)程序包括自檢告警、產(chǎn)品P / N結(jié)的判斷、采集數(shù)據(jù)的分析、數(shù)據(jù)結(jié)果的分色顯示、運(yùn)算公式的校正、最終數(shù)據(jù)的保存、打印、管理者的權(quán)限設(shè)置；探筆通過(guò)探筆連接頭與主控板電連接，主控板與工控機(jī)電連接，工控機(jī)與顯示打印裝置電連接。
2.按權(quán)利要求1所述的多晶硅電阻率測(cè)試儀，其特征在于，顯示打印裝置可為顯示屏和打印機(jī)合為一體的一體機(jī)，也可為各自獨(dú)立的顯示屏和打印機(jī)。
【文檔編號(hào)】G01R27/08GK203551664SQ201320627945
【公開(kāi)日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年10月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月9日
【發(fā)明者】林菊明, 曹勝華, 謝小平 申請(qǐng)人:新余百川技術(shù)有限公司