一種用于ic測試的雙螺旋探針的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于IC測試的雙螺旋探針，包括探頭和套設(shè)于探頭尾部的針套，所述針套內(nèi)設(shè)有空腔，所述探頭在空腔內(nèi)具有沿探頭軸向的自由度，所述空腔內(nèi)設(shè)有螺旋方向相反的第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體，所述第一螺旋彈性體螺距大于第二螺旋彈性體螺距，所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體的一端與探頭尾部固定，所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體的另一端與空腔底部固定。本實(shí)用新型能夠抵消感抗，降低電阻，且結(jié)構(gòu)簡單，便于相配合的機(jī)械零部件及測試電路加工，提高生產(chǎn)效率。
【專利說明】
一種用于IC測試的雙螺旋探針
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種探針，具體涉及一種用于IC測試的雙螺旋探針。
【背景技術(shù)】
[0002]MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)，其特征尺寸從毫米、微米到納米量級。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的一個(gè)新的多學(xué)科交叉的高技術(shù)領(lǐng)域，將對未來人類生活產(chǎn)生革命性影響的高新技術(shù)，提供許多新的信息獲取手段以及更高效的信息處理系統(tǒng)和智能化的執(zhí)行控制設(shè)備，涉及機(jī)械、電子、化學(xué)、物理、光學(xué)、生物、材料等多個(gè)學(xué)科。
[0003]目前，許多最新的消費(fèi)電子產(chǎn)品都包含一個(gè)或多個(gè)MEMSIC功能以測量和控制諸如運(yùn)動、位置、力、溫度、像素、化學(xué)、生物等要素。因此，MEMS IC不僅在加速計(jì)和陀螺儀內(nèi)扮演關(guān)鍵角色，還在壓力傳感器、圖像傳感器、麥克風(fēng)、時(shí)序器件、濾波器、開關(guān)、微顯示器、紅外溫度傳感器和微型馬達(dá)等產(chǎn)品中發(fā)揮關(guān)鍵作用。
[0004]上述MEMS元器件在生產(chǎn)過程中都涉及到封測問題。集成電路封裝工序通常包括背面研磨、劃片、膜片固定、引線鍵合、旋轉(zhuǎn)式脫水、點(diǎn)膠、取片(封蓋)、UV回流和印標(biāo)等關(guān)鍵步驟。在產(chǎn)品完成封裝蓋印工序之后，出廠之前，必須經(jīng)過一系列產(chǎn)品可靠性測試，以保證產(chǎn)品出廠之后質(zhì)量穩(wěn)定和功能正常。這一系列可靠性測試主要包括熱應(yīng)力測試、機(jī)械應(yīng)力測試、電應(yīng)力測試以及濕度測試、泄露測試、鹽霧測試等。
[0005]伴隨著MEMS系統(tǒng)踏足射頻領(lǐng)域，寬頻、射頻芯片的檢測對傳統(tǒng)測試系統(tǒng)提出了更高的要求。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)中，對于高頻、射頻芯片的檢測，大都采用縮短探針及測試線路的長度來達(dá)到降低信號衰減的目的，然而縮短探針使得相配合的機(jī)械零部件及測試電路加工難度提高，仍然無法滿足射頻測試的要求;為克服上述問題以滿足射頻測試的需求，一些測試采用了雙探針結(jié)構(gòu)，即在同一觸點(diǎn)同時(shí)連接兩根探針，利用并聯(lián)電路原理降低線路阻抗，然而由于觸點(diǎn)本身半徑很小，導(dǎo)致直插式探針無法滿足間距要求，故采用非對稱探針，進(jìn)一步加大了零部件加工難度。
[0007]因此，設(shè)計(jì)一種用于IC測試的雙螺旋探針，能夠抵消感抗，降低電阻，且結(jié)構(gòu)簡單，便于相配合的機(jī)械零部件及測試電路加工，提高生產(chǎn)效率，顯然具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008]本實(shí)用新型的發(fā)明目的是提供一種用于IC測試的雙螺旋探針，能夠抵消感抗，降低電阻，且結(jié)構(gòu)簡單，便于相配合的機(jī)械零部件及測試電路加工，提高生產(chǎn)效率。
[0009]為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于IC測試的雙螺旋探針，包括探頭和套設(shè)于探頭尾部的針套，所述針套內(nèi)設(shè)有空腔，所述探頭在空腔內(nèi)具有沿探頭軸向的自由度，所述空腔內(nèi)設(shè)有螺旋方向相反的第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體，所述第一螺旋彈性體螺距大于第二螺旋彈性體螺距，所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體的一端與探頭尾部固定，所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體的另一端與空腔底部固定。
[0010]進(jìn)一步地，所述空腔內(nèi)壁靠近探頭一端設(shè)有凸起，所述探頭尾部設(shè)有限位部，所述限位部外徑大于凸起所圍成口徑。
[0011]優(yōu)選地，所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體是由金屬線構(gòu)成的螺旋彈簧單
J L ο
[0012]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0013]本實(shí)用新型的針套空腔內(nèi)設(shè)有螺旋方向相反的第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體，所述第一螺旋彈性體螺距大于第二螺旋彈性體螺距，采用正反螺旋相互抵消感抗，降低電阻，使得信號衰減小，且結(jié)構(gòu)簡單，便于相配合的機(jī)械零部件及測試電路加工，提高生產(chǎn)效率。
【附圖說明】

[0014]圖1是實(shí)施例一中本實(shí)用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]其中:1、探頭;2、針套;3、第一螺旋彈性體;4、第二螺旋彈性體。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0017]實(shí)施例一:
[0018]參見圖1所示，一種用于IC測試的雙螺旋探針，包括探頭I和套設(shè)于探頭尾部的針套2，所述針套內(nèi)設(shè)有空腔，所述探頭在空腔內(nèi)具有沿探頭軸向的自由度，所述空腔內(nèi)設(shè)有螺旋方向相反的第一螺旋彈性體3和第二螺旋彈性體4，所述第一螺旋彈性體螺距大于第二螺旋彈性體螺距，所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體的一端與探頭尾部固定，所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體的另一端與空腔底部固定。
[0019]為進(jìn)一步防止探頭脫落，所述空腔內(nèi)壁靠近探頭一端設(shè)有凸起，所述探頭尾部設(shè)有限位部，所述限位部外徑大于凸起所圍成口徑，從而構(gòu)成限位機(jī)構(gòu)。
[0020]所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體是由金屬線構(gòu)成的螺旋彈簧單元。
[0021 ]需要指出的是，所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體螺旋方向相反，借助反向螺旋電感達(dá)到感抗抵消的目的，又第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體為并聯(lián)結(jié)構(gòu)，從而減小了信號傳輸電阻，且由于其結(jié)構(gòu)簡單，便于相配合的機(jī)械零部件及測試電路加工，提高生產(chǎn)效率。
[0022]需要說明的是，本實(shí)用新型用以防止探頭脫落的實(shí)施方式并不局限于上述技術(shù)方案，凡是對上述技術(shù)方案的等效變換或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于IC測試的雙螺旋探針，包括探頭和套設(shè)于探頭尾部的針套，所述針套內(nèi)設(shè)有空腔，所述探頭在空腔內(nèi)具有沿探頭軸向的自由度，其特征在于:所述空腔內(nèi)設(shè)有螺旋方向相反的第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體，所述第一螺旋彈性體螺距大于第二螺旋彈性體螺距，所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體的一端與探頭尾部固定，所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體的另一端與空腔底部固定。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于IC測試的雙螺旋探針，其特征在于:所述空腔內(nèi)壁靠近探頭一端設(shè)有凸起，所述探頭尾部設(shè)有限位部，所述限位部外徑大于凸起所圍成口徑。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于IC測試的雙螺旋探針，其特征在于:所述第一螺旋彈性體和第二螺旋彈性體是由金屬線構(gòu)成的螺旋彈簧單元。
【文檔編號】G01R1/067GK205720329SQ201620710456
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月27日
【發(fā)明人】朱小剛, 劉鑫培, 柳慧敏
【申請人】蘇州創(chuàng)瑞機(jī)電科技有限公司