一種超微量氣體流量測(cè)量裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及超微量氣體流量測(cè)量裝置，其特征是：至少包括密閉腔體（3），在密閉腔體（3）內(nèi)有氣壓溫度傳感器（4），氣壓溫度傳感器（4）通過密封接口（7）與密閉腔體外的處理單元（6）電連接，密閉腔體（3）通過管道（2）與氣體（1）的流通通道相通，密閉腔體（3）上有安全閥（5）。本裝置不但可以測(cè)量超微量氣體流量，而且也能安全測(cè)量高流量的氣體流量，而且可低成本應(yīng)用于通用氣體流量測(cè)量，應(yīng)用前景廣泛。
【專利說明】認(rèn)測(cè)量超微量氣體流量，而且也能安全測(cè)量
量氣體流量測(cè)量裝置，其特征是:至少包括壓溫度傳感器通過密封接口與密閉腔體外流通通道相通。
》有八/0的端口的處理器、鍵盤、電源電路、丈放大濾波電路后與處理器電連接，處理器號(hào)與八/0的端口電連接，處理器通過1/0 口電路包括電池和0(:/0(:電路，電池通過0以搭工作電壓；顯不器米用1X0顯不器。
丨時(shí)測(cè)量氣壓與溫度，81？085通過密封接口
1:進(jìn)氣管道通入密閉腔體，通過氣壓溫度傳分析、處理得到氣體的流量值，數(shù)據(jù)處理顯和顯示器607工作電壓。顯示器607采用
1:管道通入密閉腔體，通過氣壓溫度傳感器1:理得到氣體的流量值。
匕實(shí)例可直接采集氣壓部分?jǐn)?shù)據(jù)，通過密封
量獲取
丨密閉腔體內(nèi)對(duì)于氣壓溫度傳感器中溫度部1度波動(dòng)對(duì)氣壓產(chǎn)生的擾動(dòng)影響；或溫度變
丈大時(shí)，釋放密閉腔體3內(nèi)的壓力以保證安屬本行業(yè)的公知部件和常用結(jié)構(gòu)或常用手
【權(quán)利要求】
1.一種超微量氣體流量測(cè)量裝置，其特征是：至少包括密閉腔體（3)，在密閉腔體（3)內(nèi)有氣壓溫度傳感器（4 )，氣壓溫度傳感器（4 )通過密封接口（ 7 )與密閉腔體外的處理單元(6)電連接，密閉腔體（3)通過管道（2)與氣體（I)的流通通道相通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超微量氣體流量測(cè)量裝置，其特征是：所述的密閉腔體（3)容量大于O. 3升。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超微量氣體流量測(cè)量裝置，其特征是：所述的處理單元（6)包括放大濾波電路（601)、帶有A/D的端口的處理器（602 )、鍵盤（603 )、電源電路（604 )、存貯器（605 )、時(shí)鐘電路（606 )和顯示器（607 )，氣壓溫度傳感器（4 )通過放大濾波電路（601)后與處理器（602 )電連接，處理器（602 )帶有A/D的端口，經(jīng)放大的氣壓溫度傳感器（4 )電信號(hào)與A/D的端口電連接，處理器（602 )通過I/O 口與鍵盤（603 )、存貯器（605 )、時(shí)鐘電路（606 )和顯示器（607)電連接，電源電路（604)包括電池和DC/DC電路，電池通過DC/DC電路提供給處理器（602)、存貯器（605)、時(shí)鐘電路（606)和顯示器（607)工作電壓；顯示器（607)采用IXD顯示器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超微量氣體流量測(cè)量裝置，其特征是：所述的氣壓溫度傳感器（4)為BMP085，可同時(shí)測(cè)量氣壓與溫度，BMP085通過密封接口（7)與密閉腔體外的處理單元（6)電連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超微量氣體流量測(cè)量裝置，其特征是：在密閉腔體（3)上有安全閥（5 )。
【文檔編號(hào)】G01F1/88GK203629627SQ201320672148
【公開日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年10月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月29日
【發(fā)明者】胡英, 劉運(yùn)國(guó), 陳家彬 申請(qǐng)人:西安電子科技大學(xué)