技術編號:6203628
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及超微量氣體流量測量裝置,其特征是至少包括密閉腔體(3),在密閉腔體(3)內(nèi)有氣壓溫度傳感器(4),氣壓溫度傳感器(4)通過密封接口(7)與密閉腔體外的處理單元(6)電連接,密閉腔體(3)通過管道(2)與氣體(1)的流通通道相通,密閉腔體(3)上有安全閥(5)。本裝置不但可以測量超微量氣體流量,而且也能安全測量高流量的氣體流量,而且可低成本應用于通用氣體流量測量,應用前景廣泛。專利說明認測量超微量氣體流量,而且也能安全測量量氣體流量測量裝置,其...
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