Mems傳感裝置及包含該mems傳感裝置的電子設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種MEMS傳感裝置及包含該MEMS傳感裝置的電子設(shè)備，該傳感裝置包括：MEMS機(jī)械裝置，具有至少一個(gè)檢測(cè)軸，產(chǎn)生至少一個(gè)加速度信號(hào)，每個(gè)加速度信號(hào)分別與相應(yīng)的檢測(cè)軸檢測(cè)到的加速度相關(guān)聯(lián)；電壓轉(zhuǎn)換電路，接收所述加速度信號(hào)并將其轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)；濾波模塊，與所述電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出端相連，對(duì)所述電壓信號(hào)進(jìn)行濾波；信號(hào)檢測(cè)電路，與所述濾波模塊的輸出端相連，對(duì)所述濾波模塊的輸出信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)并根據(jù)該輸出信號(hào)的幅度產(chǎn)生自動(dòng)休眠信號(hào)或喚醒信號(hào)。本實(shí)用新型有利于減少系統(tǒng)處理單元的處理工作，提高效率，降低成本。
【專利說(shuō)明】MEMS傳感裝置及包含該MEMS傳感裝置的電子設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及MEMS傳感器技術(shù)，尤其涉及一種MEMS傳感裝置及包含該MEMS傳感裝置的電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS,Microelectro Mechanical Systems)技術(shù)目前已經(jīng)得到了廣泛關(guān)注和應(yīng)用。MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，微米量級(jí)的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。
[0003]智能手機(jī)、平板電腦、游戲控制器、數(shù)碼相機(jī)以及個(gè)人導(dǎo)航設(shè)備等消費(fèi)電子產(chǎn)品的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。消費(fèi)者對(duì)手勢(shì)識(shí)別、方位感知、單點(diǎn)輕敲、雙點(diǎn)輕敲、自由落體、晃動(dòng)等實(shí)時(shí)運(yùn)動(dòng)檢測(cè)功能的需求越來(lái)越多,這也導(dǎo)致了 MEMS加速度計(jì)的集成成為一種趨勢(shì)。
[0004]隨著電子設(shè)備功能越來(lái)越強(qiáng)大,相應(yīng)的工作和待機(jī)功耗也越來(lái)越大,大容量的電池也無(wú)法滿足消費(fèi)者的需求。因此，降低設(shè)備的工作和待機(jī)功耗，成為設(shè)計(jì)者的一項(xiàng)重要目標(biāo)。
[0005]為了解決以上問(wèn)題，本實(shí)用新型旨在提供一種檢測(cè)方法，降低設(shè)備的待機(jī)功耗，同時(shí)提供多種工作模式，降低MEMS傳感裝置的工作功耗，在精度要求低的時(shí)候，降低工作速率，從而降低工作功耗。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)中，MEMS傳感器通常和外部的系統(tǒng)處理單元配合使用，MEMS傳感器直接輸出加速度信號(hào)，由系統(tǒng)處理單元通過(guò)軟件等方式來(lái)處理移動(dòng)或靜止檢測(cè)，以在待機(jī)狀態(tài)和正常工作狀態(tài)之間切換。
[0007]但是，采用上述方法，系統(tǒng)處理單元的處理任務(wù)負(fù)擔(dān)較重，效率較低。而且由于系統(tǒng)處理單元需要頻繁地檢測(cè)移動(dòng)或靜止?fàn)顟B(tài)，這也增加了一部分功耗。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種MEMS傳感裝置及包含該MEMS傳感裝置的電子設(shè)備，有利于減少系統(tǒng)處理單元的處理工作，提高效率，降低成本。
[0009]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種MEMS傳感裝置，包括:
[0010]MEMS機(jī)械裝置，具有至少一個(gè)檢測(cè)軸，產(chǎn)生至少一個(gè)加速度信號(hào)，每個(gè)加速度信號(hào)分別與相應(yīng)的檢測(cè)軸檢測(cè)到的加速度相關(guān)聯(lián)；
[0011]電壓轉(zhuǎn)換電路，接收所述加速度信號(hào)并將其轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)；
[0012]濾波模塊，與所述電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出端相連，對(duì)所述電壓信號(hào)進(jìn)行濾波；
[0013]信號(hào)檢測(cè)電路，與所述濾波模塊的輸出端相連，對(duì)所述濾波模塊的輸出信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)并根據(jù)該輸出信號(hào)的幅度產(chǎn)生自動(dòng)休眠信號(hào)或喚醒信號(hào)。
[0014]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述檢測(cè)軸和加速度信號(hào)的數(shù)量為多個(gè)，所述MEMS傳感裝置還包括:多路選擇電路，所述多路選擇電路將所述多個(gè)加速度信號(hào)以分時(shí)復(fù)用的方式傳輸至所述電壓轉(zhuǎn)換電路。
[0015]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述濾波模塊包括:
[0016]Α/D轉(zhuǎn)換電路，將所述電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)；
[0017]數(shù)字低通濾波器，與所述Α/D轉(zhuǎn)換電路的輸出端相連，對(duì)所述數(shù)字信號(hào)進(jìn)行低通濾波；
[0018]數(shù)字高通濾波器，與所述數(shù)字低通濾波器的輸出端相連，對(duì)所述數(shù)字低通濾波器的輸出信號(hào)進(jìn)行高通濾波。
[0019]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述數(shù)字低通濾波器為級(jí)聯(lián)積分梳狀濾波器。
[0020]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述數(shù)字低通濾波器包括:
[0021]第一傳輸模塊；
[0022]下抽樣器，其輸入端與所述第一傳輸模塊的輸出端相連；
[0023]第二傳輸模塊，其輸入端與所述下抽樣器的輸出端相連；
[0024]其中，該第一傳輸模塊包括多個(gè)級(jí)聯(lián)的第一傳輸節(jié)點(diǎn)，該第一傳輸節(jié)點(diǎn)包括:
[0025]加法器單兀,其第一輸入端為該第一傳輸節(jié)點(diǎn)的輸入端，其輸出端為該第一傳輸節(jié)點(diǎn)的輸出端；
[0026]一階延遲單元，其輸入端與該加法器單元的輸出端相連，其輸出端與所述加法器的第二輸入端相連；
[0027]該第二傳輸模塊包括多個(gè)級(jí)聯(lián)的第二傳輸節(jié)點(diǎn)，該第二傳輸節(jié)點(diǎn)包括:
[0028]減法器單兀,其第一輸入端為該第二傳輸節(jié)點(diǎn)的輸入端，其輸出端為該第二傳輸節(jié)點(diǎn)的輸出端；
[0029]M階延遲單元，其輸入端與該減法器單元的第一輸入端相連，其輸出端與該減法器單元的第二輸入端相連，其中M為正整數(shù)。
[0030]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述下抽樣器具有通訊接口，用于設(shè)置該下抽樣器的下抽樣因子。
[0031]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述數(shù)字高通濾波器為數(shù)字高通巴特沃斯濾波器。
[0032]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述數(shù)字高通濾波器包括:
[0033]減法器單兀，其第一輸入端接收輸入信號(hào)；
[0034]加法器單元，其第一輸入端連接所述減法器單元的輸出端；
[0035]一階延遲單元，其輸入端連接所述加法器單元的輸出端，其輸出端連接所述加法器單元的第二輸入端；
[0036]第一增益單元，其輸入端連接所述一階延遲單元的輸出端，其輸出端連接所述減法器單元的第二輸入端，該第一增益單元的增益為(1-α )；
[0037]第二增益單元，其輸入端連接所述減法器單元的輸出端，該第二增益單元的增益為(l+α ) /2 ;
[0038]其中α為預(yù)設(shè)的常數(shù)。
[0039]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述信號(hào)檢測(cè)電路包括:
[0040]自動(dòng)休眠檢測(cè)電路，默認(rèn)產(chǎn)生自動(dòng)休眠信號(hào)，若所述濾波模塊的輸出信號(hào)大于預(yù)設(shè)的加速度閾值，則終止該自動(dòng)休眠信號(hào)；終止該自動(dòng)休眠信號(hào)后開(kāi)始計(jì)數(shù)，計(jì)數(shù)超過(guò)第一計(jì)數(shù)閾值后重新檢測(cè)該濾波模塊的輸出信號(hào)，若檢測(cè)到的輸出信號(hào)小于該預(yù)設(shè)的加速度閾值，則恢復(fù)輸出該自動(dòng)休眠信號(hào)；
[0041]喚醒生成電路，若所述濾波模塊的輸出信號(hào)大于該預(yù)設(shè)的加速度閾值則開(kāi)始計(jì)數(shù)，否則計(jì)數(shù)產(chǎn)生的計(jì)數(shù)值遞減，并且該計(jì)數(shù)值超過(guò)第二計(jì)數(shù)閾值后產(chǎn)生該喚醒信號(hào)。
[0042]本實(shí)用新型還提供了一種電子設(shè)備，包括上述任一項(xiàng)所述的MEMS傳感裝置以及與其相連的系統(tǒng)處理單元，所述MEMS傳感裝置和系統(tǒng)處理單元基于所述自動(dòng)休眠信號(hào)自動(dòng)休眠，所述系統(tǒng)處理單元基于所述喚醒信號(hào)執(zhí)行預(yù)設(shè)的操作。
[0043]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0044]本實(shí)用新型實(shí)施例的MEMS傳感裝置中內(nèi)置電壓轉(zhuǎn)換電路、濾波模塊和信號(hào)檢測(cè)電路，能夠在系統(tǒng)處理單元不干預(yù)的情況下，自行檢測(cè)到移動(dòng)或者靜止?fàn)顟B(tài)，并將相應(yīng)的喚醒信號(hào)或者自動(dòng)休眠信號(hào)傳輸至系統(tǒng)處理單元，使得系統(tǒng)處理單元正常工作或者進(jìn)入休眠待機(jī)狀態(tài)，從而降低整個(gè)電子設(shè)備的功耗和自身的待機(jī)功耗。在低功耗工作模式下，MEMS傳感裝置以及系統(tǒng)處理單元的功耗可以小到幾微安級(jí)別。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0045]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)框圖；
[0046]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的MEMS傳感裝置的結(jié)構(gòu)框圖；
[0047]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的MEMS傳感裝置中數(shù)字低通濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0048]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的MEMS傳感裝置中數(shù)字高通濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0049]圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例的MEMS傳感裝置中自動(dòng)休眠檢測(cè)電路的工作流程示意圖；
[0050]圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例的MEMS傳感裝置中喚醒生成電路的工作流程示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0051 ] 下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，但不應(yīng)以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0052]參考圖1，本實(shí)施例的電子設(shè)備Ia包括MEMS傳感裝置Ic和系統(tǒng)處理單元lb。其中，MEMS傳感裝置Ic用于產(chǎn)生自動(dòng)休眠信號(hào)或喚醒信號(hào)，該自動(dòng)休眠信號(hào)用于使得系統(tǒng)處理單元Ib進(jìn)入休眠狀態(tài)，以降低功耗；該喚醒信號(hào)用于將系統(tǒng)處理單元Ib從休眠狀態(tài)喚醒，以進(jìn)入正常工作狀態(tài)并執(zhí)行相應(yīng)的操作。
[0053]參考圖2，本實(shí)施例的MEMS傳感裝置包括:MEMS機(jī)械裝置2a、多路選擇電路2b、電壓轉(zhuǎn)換電路2c、濾波模塊21以及信號(hào)檢測(cè)電路22。
[0054]其中，MEMS機(jī)械裝置2a具有至少一個(gè)檢測(cè)軸，產(chǎn)生至少一個(gè)加速度信號(hào)，每個(gè)加速度信號(hào)分別與相應(yīng)的檢測(cè)軸檢測(cè)到的加速度相關(guān)聯(lián)。作為一個(gè)非限制性的例子，該MEMS機(jī)械裝置2a可以使用半導(dǎo)體工藝制作的傳感器，具有三個(gè)檢測(cè)軸X、Y和Z，這三個(gè)檢測(cè)軸X、Y、Z分別檢測(cè)相互垂直的三個(gè)方向的加速度，并且產(chǎn)生三個(gè)加速度信號(hào)Ax，Ay和Az，每個(gè)加速度信號(hào)與沿著各自的檢測(cè)軸所檢測(cè)到的加速度線性相關(guān)。加速度信號(hào)Ax，Ay和Az例如可以是差分信號(hào)。[0055]在MEMS機(jī)械裝置2a具有多個(gè)檢測(cè)軸的情況下，為了減小芯片面積，可以利用多路選擇電路2b按照分時(shí)復(fù)用的方式，對(duì)各個(gè)檢測(cè)軸對(duì)應(yīng)的加速度信號(hào)進(jìn)行分時(shí)選通，將其分時(shí)地傳輸至后級(jí)電路。例如，在本實(shí)施例中，多路選擇電路2b通過(guò)分時(shí)復(fù)用的方式，在每個(gè)時(shí)間選擇其中一個(gè)檢測(cè)軸對(duì)應(yīng)的加速度信號(hào)。
[0056]電壓轉(zhuǎn)換電路2c將多路選擇電路2b輸出的加速度信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)Va。該電壓轉(zhuǎn)換電路2c例如可以是電荷放大電路。
[0057]電壓轉(zhuǎn)換電路2c輸出的電壓信號(hào)傳輸至濾波模塊21進(jìn)行濾波。作為一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，濾波模塊21可以包括Α/D轉(zhuǎn)換電路2d、數(shù)字低通濾波器2e和數(shù)字高通濾波器2f。
[0058]其中，電壓信號(hào)Va經(jīng)過(guò)Α/D轉(zhuǎn)換電路2d進(jìn)行模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換，再經(jīng)過(guò)多路選擇分別得到三個(gè)檢測(cè)軸的加速度數(shù)字信號(hào)Axl、Ayl、AzI。加速度數(shù)字信號(hào)Axl、Ayl、Azl通過(guò)數(shù)字低通濾波器2e低通濾波，得到加速度數(shù)字信號(hào)Ax2、Ay2, Az2,目的是濾除不必要的高頻噪聲，得到更高的精度。加速度數(shù)字信號(hào)Ax2、Ay2、Az2通過(guò)數(shù)字高通濾波器2f進(jìn)行高通濾波，可以得到變化的加速度數(shù)字信號(hào)八13、473、423，濾除低頻噪聲。需要說(shuō)明的是，數(shù)字低通濾波器2e和數(shù)字高通濾波器2f的通帶范圍有交叉，以避免有效信號(hào)被濾除。靜止?fàn)顟B(tài)下，加速度數(shù)字信號(hào)Ax3、Ay3、Az3等于O或者接近于O。而在各種運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下，加速度數(shù)字信號(hào)Ax3、Ay3、Az3通常具有遠(yuǎn)大于O的數(shù)值。
[0059]信號(hào)檢測(cè)電路22對(duì)濾波模塊21的輸出信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，也就是對(duì)該輸出信號(hào)的幅度進(jìn)行判斷，并根據(jù)判斷結(jié)果產(chǎn)生自動(dòng)休眠信號(hào)或喚醒信號(hào)。作為一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，信號(hào)檢測(cè)電路22可以包括自動(dòng)休眠檢測(cè)電路2g和喚醒生成電路2i。
[0060]其中，自動(dòng)休眠檢測(cè)電路2g可以對(duì)變化的加速度數(shù)字信號(hào)Ax3、Ay3、Az3進(jìn)行判斷，假如設(shè)備處于靜止?fàn)顟B(tài)，則產(chǎn)生自動(dòng)休眠信號(hào)2h。自動(dòng)休眠信號(hào)2h可以使得整個(gè)MEMS傳感裝置自動(dòng)進(jìn)入低功耗工作狀態(tài)，減小加速度檢測(cè)頻率，從而減小芯片待機(jī)功耗；并且可以使得與該MEMS傳感裝置相連的系統(tǒng)處理單元Ib (圖1)進(jìn)入低功耗的休眠待機(jī)狀態(tài)；假如設(shè)備處于非靜止?fàn)顟B(tài)，則MEMS傳感裝置保持正常工作狀態(tài)，保證加速度信號(hào)的有效檢測(cè)。喚醒生成電路2i根據(jù)變化的加速度數(shù)字信號(hào)Ax3、Ay3, Az3進(jìn)行判斷，假如設(shè)備處于移動(dòng)狀態(tài)，則產(chǎn)生喚醒信號(hào)2j，以使得系統(tǒng)處理單元Ib (圖1)根據(jù)不同場(chǎng)合執(zhí)行相應(yīng)的操作，做出相應(yīng)的動(dòng)作。
[0061]圖3是本實(shí)施例中的數(shù)字低通濾波器的實(shí)現(xiàn)框圖。該數(shù)字低通濾波器可以采用有限脈沖響應(yīng)(FIR)類型，也可以采用無(wú)限脈沖響應(yīng)(IIR)類型來(lái)實(shí)現(xiàn)。本實(shí)施例中的數(shù)字低通濾波器采用級(jí)聯(lián)積分梳狀(CIC)濾波器來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0062]進(jìn)一步而言，該濾波器包括相連的第一傳輸模塊、下抽樣器3c以及第二傳輸模塊。其中，第一傳輸模塊包括多個(gè)級(jí)聯(lián)的第一傳輸節(jié)點(diǎn)，每個(gè)第一傳輸節(jié)點(diǎn)包括加法器單元3a和一階延遲單兀3b,加法器單兀3a的第一輸入端為第一傳輸節(jié)點(diǎn)的輸入端,加法器單兀3a的輸出端為該第一傳輸節(jié)點(diǎn)的輸出端；一階延遲單兀3b的輸入端與加法器單兀3a的輸出端相連；一階延遲單兀3b的輸出端與加法器3a的第二輸入端相連。第二傳輸模塊包括多個(gè)級(jí)聯(lián)的第二傳輸節(jié)點(diǎn)，每個(gè)第二傳輸節(jié)點(diǎn)包括減法器單元3d和M階延遲單元3e，減法器單兀3d的第一輸入端為第二傳輸節(jié)點(diǎn)的輸入端,減法器單兀3d的輸出端為該第二傳輸節(jié)點(diǎn)的輸出端；M階延遲單元3e的輸入端與該減法器單元3d的第一輸入端相連，M階延遲單兀3e的輸出端與減法器單兀3d的第二輸入端相連,其中M為正整數(shù)。第一傳輸模塊和第二傳輸模塊的節(jié)點(diǎn)數(shù)量可以是K個(gè)，K為正整數(shù)。
[0063]該級(jí)聯(lián)積分梳狀(CIC)濾波器的傳輸函數(shù)可以表示為:
【權(quán)利要求】
1.一種MEMS傳感裝置，其特征在于，包括: MEMS機(jī)械裝置，具有至少一個(gè)檢測(cè)軸，產(chǎn)生至少一個(gè)加速度信號(hào)，每個(gè)加速度信號(hào)分別與相應(yīng)的檢測(cè)軸檢測(cè)到的加速度相關(guān)聯(lián)； 電壓轉(zhuǎn)換電路，接收所述加速度信號(hào)并將其轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)； 濾波模塊，與所述電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出端相連，對(duì)所述電壓信號(hào)進(jìn)行濾波； 信號(hào)檢測(cè)電路，與所述濾波模塊的輸出端相連，對(duì)所述濾波模塊的輸出信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)并根據(jù)該輸出信號(hào)的幅度產(chǎn)生自動(dòng)休眠信號(hào)或喚醒信號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述檢測(cè)軸和加速度信號(hào)的數(shù)量為多個(gè)，所述MEMS傳感裝置還包括: 多路選擇電路，所述多路選擇電路將所述多個(gè)加速度信號(hào)以分時(shí)復(fù)用的方式傳輸至所述電壓轉(zhuǎn)換電路。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述濾波模塊包括: Α/D轉(zhuǎn)換電路，將所述電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)； 數(shù)字低通濾波器，與所述Α/D轉(zhuǎn)換電路的輸出端相連，對(duì)所述數(shù)字信號(hào)進(jìn)行低通濾波；數(shù)字高通濾波器，與所述數(shù)字低通濾波器的輸出端相連，對(duì)所述數(shù)字低通濾波器的輸出信號(hào)進(jìn)行高通濾波。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述數(shù)字低通濾波器為級(jí)聯(lián)積分梳狀濾波器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述數(shù)字低通濾波器包括: 第一傳輸模塊； 下抽樣器，其輸入端與所述第一傳輸模塊的輸出端相連； 第二傳輸模塊，其輸入端與所述下抽樣器的輸出端相連； 其中，該第一傳輸模塊包括多個(gè)級(jí)聯(lián)的第一傳輸節(jié)點(diǎn)，該第一傳輸節(jié)點(diǎn)包括: 加法器單元，其第一輸入端為該第一傳輸節(jié)點(diǎn)的輸入端，其輸出端為該第一傳輸節(jié)點(diǎn)的輸出端； 一階延遲單元，其輸入端與該加法器單元的輸出端相連，其輸出端與所述加法器的第二輸入端相連； 該第二傳輸模塊包括多個(gè)級(jí)聯(lián)的第二傳輸節(jié)點(diǎn)，該第二傳輸節(jié)點(diǎn)包括: 減法器單元，其第一輸入端為該第二傳輸節(jié)點(diǎn)的輸入端，其輸出端為該第二傳輸節(jié)點(diǎn)的輸出端； M階延遲單元，其輸入端與該減法器單元的第一輸入端相連，其輸出端與該減法器單元的第二輸入端相連，其中M為正整數(shù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述下抽樣器具有通訊接口，用于設(shè)置該下抽樣器的下抽樣因子。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述數(shù)字高通濾波器為數(shù)字高通巴特沃斯濾波器。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述數(shù)字高通濾波器包括: 減法器單元，其第一輸入端接收輸入信號(hào)； 加法器單元，其第一輸入端連接所述減法器單元的輸出端；一階延遲單元，其輸入端連接所述加法器單元的輸出端，其輸出端連接所述加法器單元的第二輸入端； 第一增益單元，其輸入端連接所述一階延遲單元的輸出端，其輸出端連接所述減法器單元的第二輸入端，該第一增益單元的增益為(1-α ); 第二增益單元，其輸入端連接所述減法器單元的輸出端，該第二增益單元的增益為(l+α )/2 ； 其中α為預(yù)設(shè)的常數(shù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述信號(hào)檢測(cè)電路包括: 自動(dòng)休眠檢測(cè)電路，默認(rèn)產(chǎn)生自動(dòng)休眠信號(hào)，若所述濾波模塊的輸出信號(hào)大于預(yù)設(shè)的加速度閾值，則終止該自動(dòng)休眠信號(hào)；終止該自動(dòng)休眠信號(hào)后開(kāi)始計(jì)數(shù)，計(jì)數(shù)超過(guò)第一計(jì)數(shù)閾值后重新檢測(cè)該濾波模塊的輸出信號(hào)，若檢測(cè)到的輸出信號(hào)小于該預(yù)設(shè)的加速度閾值，則恢復(fù)輸出該自動(dòng)休眠信號(hào)； 喚醒生成電路，若所述濾波模塊的輸出信號(hào)大于該預(yù)設(shè)的加速度閾值則開(kāi)始計(jì)數(shù)，否則計(jì)數(shù)產(chǎn)生的計(jì)數(shù)值遞減，并且該計(jì)數(shù)值超過(guò)第二計(jì)數(shù)閾值后產(chǎn)生該喚醒信號(hào)。
10.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的MEMS傳感裝置以及與其相連的系統(tǒng)處理單元，所述MEMS傳感裝置和系統(tǒng)處理單元基于所述自動(dòng)休眠信號(hào)自動(dòng)休眠，所述系統(tǒng)處理單元·基于所述喚醒信號(hào)執(zhí)行預(yù)設(shè)的操作。
【文檔編號(hào)】G01P15/00GK203643469SQ201320892043
【公開(kāi)日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2013年12月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月30日
【發(fā)明者】金安 申請(qǐng)人:杭州士蘭微電子股份有限公司