磁感應(yīng)流量計(jì)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明展現(xiàn)和描述了一種磁感應(yīng)流量計(jì)，所述磁感應(yīng)流量計(jì)使用用于空管檢測(cè)的電容測(cè)量裝置(8)來(lái)測(cè)量流動(dòng)的導(dǎo)電介質(zhì)的速率。為了改進(jìn)空管檢測(cè)，特別的，與導(dǎo)電介質(zhì)的電容耦合，本發(fā)明提供用于空管檢測(cè)的測(cè)量裝置(8)，其包括電極(10)和對(duì)電極(11)，所述電極(10)和所述對(duì)電極(11)中的每個(gè)為片狀設(shè)計(jì)，所述電極(10)和所述對(duì)電極(11)形成測(cè)量電容CMess，所述測(cè)量電容CMess取決于所述測(cè)量介質(zhì)(2)和所述測(cè)量管(3)的填充級(jí)別；為了最大化測(cè)量電容CMess，至少在所述電極(10)和所述對(duì)電極(11)的區(qū)間內(nèi)，所述測(cè)量管(3)具有減少的壁厚度；所述測(cè)量管(3)被金屬制成的支撐外殼(17)包裹；其中，為了維持的所述測(cè)量管(3)的抗壓強(qiáng)度，在每種情況中，位于所述電極(10)和所述支撐外殼(17)的內(nèi)壁之間，以及位于所述對(duì)電極(11)和所述支撐外殼(17)的內(nèi)壁之間的減少的壁厚區(qū)間設(shè)有用于最小化寄生電容對(duì)測(cè)量電容CMess的影響的具有中空壁設(shè)計(jì)的支撐元件(18)，其中，在每種情況中，通過(guò)支撐元件將所述測(cè)量管(3)緊靠所述支撐殼(17)。
【專利說(shuō)明】磁感應(yīng)流量計(jì)
[0001]本發(fā)明涉及權(quán)利要求1的前序部分所述的用于測(cè)量流動(dòng)導(dǎo)電介質(zhì)的磁感應(yīng)流量計(jì)。
[0002]磁感應(yīng)流量計(jì)，其工作方式基于電磁感應(yīng)原理(=法拉第感應(yīng)定律)，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)多年，并且在工業(yè)測(cè)量工程中深入地使用。根據(jù)電磁感應(yīng)定律，在流動(dòng)介質(zhì)中產(chǎn)生垂直于流動(dòng)方向以及垂直于磁場(chǎng)的電場(chǎng)，電場(chǎng)會(huì)承載電荷，并且流過(guò)磁場(chǎng)。在磁感應(yīng)流量計(jì)中，通過(guò)下面的方式利用感應(yīng)定律，通過(guò)磁場(chǎng)產(chǎn)生裝置產(chǎn)生磁場(chǎng)，磁場(chǎng)產(chǎn)生裝置通常具有兩個(gè)通電線圈，磁場(chǎng)至少部分穿過(guò)測(cè)量管，其中，產(chǎn)生的磁場(chǎng)具有至少一個(gè)垂直于流動(dòng)方向的分量。在磁場(chǎng)中，每個(gè)流動(dòng)體積元會(huì)穿過(guò)磁場(chǎng)，并且具有一定量的電荷載體在體積元內(nèi)產(chǎn)生的電場(chǎng)內(nèi)移動(dòng)，從而使得電極能夠利用的電壓增加。
[0003]因?yàn)殡姌O利用的感應(yīng)電壓與介質(zhì)流過(guò)測(cè)量管的橫截面的平均速率成正比，如果測(cè)量管的直徑是已知的，則可以從測(cè)量的電壓直接確定體積流量。使用磁感應(yīng)流量計(jì)的唯一前提條件是導(dǎo)電介質(zhì)的導(dǎo)電率應(yīng)當(dāng)最小。另外，應(yīng)當(dāng)保證測(cè)量管充滿導(dǎo)電介質(zhì)，因此，導(dǎo)電介質(zhì)的高度應(yīng)當(dāng)至少高于測(cè)量電極的高度。然而，如果測(cè)量管沒(méi)有被完全填滿，取決于填充級(jí)別，則實(shí)質(zhì)性的錯(cuò)誤可能發(fā)生，磁感應(yīng)流量計(jì)就主要適用于測(cè)量管填滿的情形。因?yàn)檫@個(gè)原因，實(shí)際上，在多數(shù)情況中，磁感應(yīng)流量計(jì)具有用于檢測(cè)空管的測(cè)量裝置。當(dāng)填充的高度下降了很多，以至于測(cè)量值沒(méi)有需要的精度時(shí)，測(cè)量裝置將此情況指示給用戶。這可能是，例如，在一些情況中，測(cè)量管只有2/3填滿時(shí)，因此，當(dāng)測(cè)量管實(shí)際是“空”時(shí)，實(shí)際中使用的用于“空管檢測(cè)”的測(cè)量裝置將不僅僅只是產(chǎn)生一個(gè)信號(hào)。
[0004]當(dāng)測(cè)量管沒(méi)有被完全填滿時(shí)，如果磁感應(yīng)流量計(jì)顯示了測(cè)量值，則磁感應(yīng)流量計(jì)必須知道測(cè)量管填充的程度，從而，可以對(duì)測(cè)量值進(jìn)行修正。例如，在專利DE19637716C1中，對(duì)修正值及其確定進(jìn)行了討論。為此，將測(cè)量信號(hào)電壓施加到一對(duì)相對(duì)設(shè)置的電極上，由此，測(cè)量在第二對(duì)相對(duì)設(shè)置的電極上產(chǎn)生的反應(yīng)電壓，其中，兩對(duì)電極與導(dǎo)電介質(zhì)相耦合。根據(jù)反應(yīng)電壓和測(cè)試信號(hào)電壓之間的確定的關(guān)系，可以確定修正值，其中，首先根據(jù)經(jīng)驗(yàn)確定相應(yīng)的修正值，然后將其存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器中。
[0005]測(cè)量管的填充程度可根據(jù)專利DE19655107C2以電容方式確定。這樣的話，用于測(cè)量導(dǎo)電介質(zhì)流動(dòng)的兩個(gè)電極與導(dǎo)電介質(zhì)電容耦合，其中，電極與作為電解質(zhì)的介質(zhì)形成電容。這樣的話，一方面，通過(guò)兩個(gè)電極利用介質(zhì)中產(chǎn)生的電壓來(lái)測(cè)量介質(zhì)的流速，另一方面，將交變電壓施加到電極上，通過(guò)控制和評(píng)估電路來(lái)確定電極之間的電容，從而測(cè)量測(cè)量管中的導(dǎo)電介質(zhì)的比例。
[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種磁感應(yīng)流量計(jì)，該磁感應(yīng)流量計(jì)對(duì)空管檢測(cè)進(jìn)行了改進(jìn)，特別是對(duì)介質(zhì)的電容耦合進(jìn)行了改進(jìn)。
[0007]通過(guò)權(quán)利要求1的特征來(lái)實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的任務(wù)。附屬的權(quán)利要求定義了有利的實(shí)施例。
[0008]根據(jù)本發(fā)明，一方面，用于空管檢測(cè)的測(cè)量裝置分別包括電極和對(duì)電極，每個(gè)電極為片狀設(shè)計(jì)，電極和對(duì)電極形成測(cè)量電容Cifess,電容Cifess為介質(zhì)和測(cè)量管填充級(jí)別的函數(shù)。因?yàn)殡姌O和對(duì)電極具有片狀設(shè)計(jì)，一方面，兩個(gè)電極之間的電容將增加，另一方面，高傳輸功率可以耦合到介質(zhì)中，這將導(dǎo)致將要評(píng)估的更大的測(cè)量信號(hào)。
[0009]此外，根據(jù)本發(fā)明，為了最大化測(cè)量電容Cifess，至少在在電極和對(duì)電極區(qū)間，測(cè)量管具有減少的壁厚度。根據(jù)有利的實(shí)施例，該區(qū)間的壁厚度將小于5mm;優(yōu)選的，近似為2mm。由于減小的壁厚度，電極的電場(chǎng)可以更好的耦合到測(cè)量管介質(zhì)的內(nèi)部。因?yàn)樵撔?yīng)只是與電極的電場(chǎng)相關(guān)，如果測(cè)量管只是在電極和對(duì)電極區(qū)間具有薄壁設(shè)計(jì)，電極的電場(chǎng)便可以更好的耦合到測(cè)量管介質(zhì)的內(nèi)部。
[0010]另外，根據(jù)本發(fā)明的磁感應(yīng)流量計(jì)，測(cè)量管被鐵制的支撐外殼包裹。
[0011]最后，根據(jù)本發(fā)明，為了將寄生電容對(duì)測(cè)量電容CifessW影響最小化，減少的壁厚區(qū)域位于電極和支撐外殼的內(nèi)壁之間，并且位于對(duì)電極和支撐外殼的內(nèi)壁之間，在每種情況中，在減少的壁厚區(qū)域設(shè)置有具有中空壁設(shè)計(jì)的支撐元件。寄生電容指的是電極產(chǎn)生的電場(chǎng)中沒(méi)有直接進(jìn)入測(cè)量管內(nèi)的比例，因此，并不直接對(duì)測(cè)量管的填充級(jí)別起貢獻(xiàn)，而是實(shí)質(zhì)上在支撐外殼的方向上指向外部的電場(chǎng)。
[0012]因此，在每種情況中，通過(guò)在電極區(qū)間的支撐元件來(lái)將測(cè)量管緊靠支撐外殼。由于位于測(cè)量管的薄壁區(qū)間和支撐外殼之間的支撐元件的設(shè)置，測(cè)量管的抗壓強(qiáng)度將增加，或分別地，保持，因此，即使測(cè)量壁的部分厚度很薄，磁感應(yīng)流量計(jì)能在非常高的壓強(qiáng)中使用。常見(jiàn)的公稱壓力是16bar，其中，壓力峰值達(dá)到64bar，因此，測(cè)量裝置或分別的測(cè)量管應(yīng)當(dāng)能夠承受4倍的公稱壓力。
[0013]支撐元件的中空壁設(shè)計(jì)，使其能夠達(dá)到與電極的進(jìn)入測(cè)量管內(nèi)的電場(chǎng)最可能的耦合，以及最大可能的與外部環(huán)境隔離。
[0014]本發(fā)明有利的實(shí)施例提供一種測(cè)量管，其材料為的熱塑性塑料，優(yōu)選為聚醚醚酮(PEEK)，全氟烷氧基烷烴，或分別，全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)，聚偏二氟乙烯(PVDF)，或聚苯硫醚(PPS)，或玻璃纖維增強(qiáng)塑料。支撐元件的材料與測(cè)量管的材料相同或者近似。為了保證需要的抗壓強(qiáng)度，測(cè)量管的材料具有高度的穩(wěn)定性。同時(shí)，在單獨(dú)的應(yīng)用領(lǐng)域，例如在食品和制藥工業(yè)中，具有衛(wèi)生要求，基本上限制了可以使用的材料的選擇。選擇的材料應(yīng)為穩(wěn)定性和介電常數(shù)最優(yōu)的，并且滿足衛(wèi)生要求。
[0015]根據(jù)本發(fā)明進(jìn)一步有利的實(shí)施例，為了保證在最大壓力時(shí)的穩(wěn)定性，在支撐元件內(nèi)部設(shè)有支桿，如上面解釋的，通過(guò)支撐元件的中空壁設(shè)計(jì)來(lái)實(shí)現(xiàn)支撐元件內(nèi)部空間與外部環(huán)境的最大隔離。由于支撐元件內(nèi)部填充空氣，因此，其具有為I或者接近I。該內(nèi)部空間設(shè)有支桿，因此內(nèi)部空間部分被ε r>l的材料填充。因此，支桿的設(shè)計(jì)必須在強(qiáng)度或，分別，穩(wěn)定性和ε ^值的改變上達(dá)到最優(yōu)的平衡。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的磁感應(yīng)流量計(jì)的又一特別的實(shí)施例，用于空管檢測(cè)的電極和對(duì)電極與磁感應(yīng)流量計(jì)和測(cè)量電極相間隔，以測(cè)量介質(zhì)的流體的流動(dòng)。因此，兩個(gè)測(cè)量系統(tǒng)之間的相互影響能夠最小化。同時(shí)，位于一側(cè)的用于空管檢測(cè)的電極和對(duì)電極以及位于另一側(cè)的磁場(chǎng)產(chǎn)生裝置優(yōu)選地在測(cè)量管的縱向方向上連續(xù)設(shè)置。
[0017]為了避免薄的片狀電極受到損壞，在一個(gè)有利的實(shí)施例中，彈性材料、優(yōu)選為橡膠制成的護(hù)墊被設(shè)置在每個(gè)電極和支撐元件之間。
[0018]如已經(jīng)解釋的，支撐元件具有中空壁設(shè)計(jì)，并且填充有空氣。當(dāng)整個(gè)測(cè)量裝置被封裝在澆鑄的樹(shù)脂中時(shí)，為了保護(hù)測(cè)量裝置不受震動(dòng)和沖擊的影響，應(yīng)當(dāng)保證封裝材料沒(méi)有流進(jìn)支撐元件的中空腔室中。為此，在兩個(gè)前表面中的每一個(gè)提供一個(gè)蓋，該蓋優(yōu)選的通過(guò)超聲焊接固定。
[0019]下面通過(guò)示例性的實(shí)施例并結(jié)合附圖來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0020]其中:
[0021]圖1本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的磁感應(yīng)流量計(jì)的側(cè)視圖；
[0022]圖2圖1所示的磁感應(yīng)流量計(jì)的縱向剖視圖；
[0023]圖3圖1所示的磁感應(yīng)流量計(jì)的爆炸圖；
[0024]圖4支撐元件和相關(guān)蓋的立體圖。
[0025]在下面的附圖中，除非另有說(shuō)明，相同的參考標(biāo)號(hào)指代相同的部件。
[0026]圖1至圖3示出了本發(fā)明優(yōu)選地實(shí)施例中的用于測(cè)量測(cè)量管3中的流動(dòng)的導(dǎo)電介質(zhì)2的磁感應(yīng)流量計(jì)I。為了測(cè)量導(dǎo)電介質(zhì)2的流動(dòng)，提供磁場(chǎng)產(chǎn)生裝置。該磁場(chǎng)產(chǎn)生裝置具有兩個(gè)線圈4，線圈4外部安裝于測(cè)量管3相對(duì)的兩側(cè)上，并通過(guò)電流發(fā)生器(圖未示)來(lái)供應(yīng)電力。磁場(chǎng)產(chǎn)生裝置或者線圈4，分別地，產(chǎn)生磁場(chǎng)，該磁場(chǎng)基本上垂直于測(cè)量管3的縱向軸5并且穿過(guò)測(cè)量管3。另外，還提供兩個(gè)測(cè)量電極6，7，該電極與導(dǎo)電介質(zhì)2電耦合，并且測(cè)量電極6，7能夠使用流動(dòng)的導(dǎo)電介質(zhì)2中感應(yīng)產(chǎn)生的電壓進(jìn)行測(cè)量。此外，在這種情況中，測(cè)量電極6，7與介質(zhì)2的電耦合也可能是電容耦合。
[0027]除了上述已知的用于測(cè)量流動(dòng)導(dǎo)電介質(zhì)2流動(dòng)的測(cè)量裝置，磁感應(yīng)流量計(jì)I還具有用于空管檢測(cè)的測(cè)量裝置8。測(cè)量裝置8優(yōu)選地設(shè)計(jì)為導(dǎo)納測(cè)量裝置(admittancemeasuring device),并且具有電極10、對(duì)電極11、第一交變信號(hào)源(圖未示)和評(píng)估單元(圖未示)。
[0028]特別地，如圖2和圖3所示，電極10和對(duì)電極11具有片狀設(shè)計(jì)，并且在測(cè)量管3的外表面上彼此相對(duì)設(shè)置，其中，電極10設(shè)置在測(cè)量管3的縱向軸5之上，對(duì)電極11設(shè)置在測(cè)量管3的縱向軸5之下。
[0029]在本發(fā)明優(yōu)選地實(shí)施例中，在圖1至圖3所示的磁感應(yīng)流量計(jì)I中，不僅電極10連接于第一交變信號(hào)源，而且對(duì)電極11還連接于第二交變信號(hào)源。因此，電極10和對(duì)電極11可被作為主動(dòng)電極來(lái)工作，它們被各自的交變信號(hào)源所控制。兩個(gè)交變信號(hào)源連接于共同的參考電勢(shì)，該參考電勢(shì)通過(guò)電容連接于磁感應(yīng)流量計(jì)I的金屬支撐外殼的外部。
[0030]如果電極10、11都連接于AC交流信號(hào)源，這將賦予磁感應(yīng)流量計(jì)I 一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，而不管(主動(dòng))電極10位于測(cè)量管3的縱向軸5的之上還是之下。
[0031]如果只有一個(gè)電極連接于交變信號(hào)源，為了獲得良好的信號(hào)處理，電極10必須設(shè)置在測(cè)量管3的縱向軸5之上。如果主動(dòng)電極10位于縱向軸5之上，信號(hào)波形基本上更差，因此，信號(hào)的評(píng)估也更加的困難。
[0032]因?yàn)闊崴芩芰希貏e是聚醚醚酮(PEEK)制成的測(cè)量管3具有很小的壁厚度，測(cè)量值為幾毫米，優(yōu)選地為2至3mm，在每種情況中，為了保證測(cè)量管3內(nèi)的充足的抗壓強(qiáng)度，在電極10、11的區(qū)間內(nèi)，中空壁支撐元件18設(shè)置在電極10、11與支撐外殼17的內(nèi)壁之間。為了保護(hù)薄的片狀電極10、11不受損壞，在每個(gè)電極10、11和支撐元件18之間還設(shè)置有由彈性材料，例如，橡膠制成的護(hù)墊19。通過(guò)設(shè)置支撐元件18，支撐元件18優(yōu)選地與測(cè)量管3由相同的或者相近的材料構(gòu)成，不僅測(cè)量管3的機(jī)械穩(wěn)定性會(huì)增加，而且電極10、11發(fā)射的電場(chǎng)與導(dǎo)電介質(zhì)2之間的耦合也會(huì)增加。為此，中空壁支撐元件18可具有例如蜂窩結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。
[0033]另外，從圖2和圖3中很明顯的看出，電極10和相對(duì)側(cè)的對(duì)電極11與磁場(chǎng)產(chǎn)生裝置的兩個(gè)線圈4以及測(cè)量電極6、7在空間上分開(kāi)，按這種方式，一側(cè)的電極10、11，另一側(cè)的線圈4和測(cè)量電極6、7在測(cè)量管3的縱向連續(xù)的設(shè)置。
[0034]圖4示出了支撐元件18，其具有中空壁設(shè)計(jì)，用于封閉內(nèi)部的蓋18b也具有中空壁設(shè)計(jì)。為了增加穩(wěn)定性，支桿18a設(shè)置在支撐元件內(nèi)部。作為一個(gè)規(guī)則，為了保證穩(wěn)定性或者抗壓強(qiáng)度，需要提供盡可能多的支桿，且應(yīng)當(dāng)提供盡可能少的支桿。同時(shí)，為了保證支撐元件內(nèi)的空氣盡可能的多，L的值應(yīng)當(dāng)盡可能地接近I。
[0035]磁感應(yīng)流量計(jì)I提供蓋18b，因此，當(dāng)封裝磁感應(yīng)流量計(jì)I時(shí)，例如，為了保護(hù)測(cè)量裝置I不受振動(dòng)和沖擊的影響，應(yīng)當(dāng)保證封裝材料沒(méi)有流進(jìn)支撐元件18空的腔室內(nèi)。由此，蓋18優(yōu)選地通過(guò)超聲焊接的方式連接于支撐元件18。
【權(quán)利要求】
1.一種磁感應(yīng)流量計(jì)，用于測(cè)量由非導(dǎo)電材料制成的測(cè)量管(3)內(nèi)的流動(dòng)的導(dǎo)電介質(zhì)(2)的流動(dòng)，所述磁感應(yīng)流量計(jì)具有: 用于產(chǎn)生磁場(chǎng)的磁場(chǎng)產(chǎn)生裝置(4)，所述磁場(chǎng)特別為交變磁場(chǎng)，所述交變磁場(chǎng)以基本上垂直于所述測(cè)量管(3)的縱向軸(5)的方向穿過(guò)所述測(cè)量管(3)； 兩個(gè)測(cè)量電極(6，7)，為了利用流動(dòng)的導(dǎo)電介質(zhì)(2)中感應(yīng)的測(cè)量電壓，特別地，兩個(gè)測(cè)量電極與所述導(dǎo)電介質(zhì)⑵電耦合；及用于空管檢測(cè)的電容測(cè)量裝置(8)； 其中，所述測(cè)量電極(6，7)沿垂直于所述測(cè)量管(3)的所述縱向軸(5)以及垂直于磁場(chǎng)方向的連接線設(shè)置，其中，所述測(cè)量管(3)的抗壓強(qiáng)度通過(guò)壁的厚度，或者分別地通過(guò)，壁的材料來(lái)確定， 其特征在于， 所述用于空管檢測(cè)的測(cè)量裝置⑶包括電極(10)和對(duì)電極(11)，所述電極(10)和所述對(duì)電極(11)中的每一個(gè)為片狀設(shè)計(jì)，所述電極(10)和所述對(duì)電極(11)形成測(cè)量電容Cifess，所述測(cè)量電容CifessS所述測(cè)量介質(zhì)(2)和所述測(cè)量管(3)的填充級(jí)別的函數(shù)； 所述測(cè)量管(3)至少在所述電極(10)和所述對(duì)電極(11)的區(qū)間內(nèi)具有減少的壁厚度，以最大化測(cè)量電容Cfess; 所述測(cè)量管⑶被金屬制成的支撐外殼(17)包裹； 其中，為了維持位于所述電極(10)和所述支撐外殼(17)的內(nèi)壁之間，以及位于所述對(duì)電極(11)和所述支撐外殼(17)的內(nèi)壁之間的減少的壁厚區(qū)間的所述測(cè)量管(3)的抗壓強(qiáng)度，在每種情況中，設(shè)有具有中空壁設(shè)計(jì)的支撐元件(18)，為了最小化寄生電容對(duì)測(cè)量電容Cifess的影響，在每種情況中，通過(guò)所述支撐元件(18)將所述測(cè)量管(3)緊靠所述支撐殼(17)。
2.如權(quán)利要求1所述的磁感應(yīng)流量計(jì)，其特征在于，所述測(cè)量管(3)由熱塑性塑料制成，優(yōu)選由聚醚醚酮(PEEK)、聚苯硫醚(PPS)、全氟烷氧基烷烴(PFA)、聚偏二氟乙烯(PVDF)或玻璃纖維增強(qiáng)塑料制成，所述支撐元件(18)由與所述測(cè)量管(3)相同或者相近似的材料制成。
3.如權(quán)利要求1或者2所述的磁感應(yīng)流量計(jì)，其特征在于，為了增加抗壓強(qiáng)度，在所述支撐元件(18)內(nèi)部設(shè)有支桿。
4.如權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的磁感應(yīng)流量計(jì)，其特征在于，所述電極(10)和所述對(duì)電極(11)與所述磁場(chǎng)產(chǎn)生裝置以及所述測(cè)量電極(6，7)在空間上隔開(kāi)，特別的，位于一側(cè)的電極(10)和對(duì)電極(11)以及位于另一側(cè)的所述磁場(chǎng)產(chǎn)生裝置(4)在所述測(cè)量管(3)的縱向方向上連續(xù)設(shè)置。
5.如權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的磁感應(yīng)流量計(jì),其特征在于，由彈性材料，優(yōu)選為橡膠，制成的護(hù)墊(19)設(shè)置在每個(gè)電極(10，11)和支撐元件(18)之間。
6.如權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的磁感應(yīng)流量計(jì)，其特征在于，所述測(cè)量管在用于空管檢測(cè)的所述測(cè)量裝置⑶的區(qū)間內(nèi)的壁厚小于5_，優(yōu)選地小于2mm。
7.如權(quán)利要求1至6中的任一項(xiàng)所述的磁感應(yīng)流量計(jì)，其特征在于，所述支撐元件(18)在兩個(gè)前表面中的每一個(gè)具有蓋。
【文檔編號(hào)】G01F1/58GK104428633SQ201380036143
【公開(kāi)日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2013年7月23日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月31日
【發(fā)明者】瓦爾特·賴夏特, 克麗斯蒂安·克賴澤爾, 拉爾夫·克里森, 馬庫(kù)斯·科貝爾, 塞巴斯蒂安·利爾, 維爾納·霍赫 申請(qǐng)人:Ifm電子股份有限公司