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      溫度測(cè)定裝置制造方法

      文檔序號(hào):6217793閱讀:181來源:國知局
      溫度測(cè)定裝置制造方法
      【專利摘要】提供一種使用測(cè)定對(duì)象物的放射光譜高精度地測(cè)定溫度的溫度測(cè)定裝置。根據(jù)實(shí)施方式,溫度測(cè)定裝置具有采光單元、提取單元、光強(qiáng)度計(jì)算單元以及溫度測(cè)定單元。采光單元對(duì)測(cè)定對(duì)象物的放射光譜進(jìn)行采光。提取單元從所述采光單元所采光得到的放射光譜提取具有原子線光譜的波長的光和具有不存在原子線光譜的波長區(qū)域中的波長的光。光強(qiáng)度計(jì)算單元計(jì)算所述提取單元所提取出的各光的強(qiáng)度。溫度測(cè)定單元基于所述光強(qiáng)度計(jì)算單元所計(jì)算出的各光的強(qiáng)度計(jì)算所述測(cè)定對(duì)象物的溫度。
      【專利說明】溫度測(cè)定裝置
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001 ] 本發(fā)明的實(shí)施方式涉及一種溫度測(cè)定裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]考慮為了測(cè)定作為高速瞬變現(xiàn)象之一的等離子體的溫度而測(cè)定等離子體所發(fā)出的光來計(jì)算溫度的方法。以往,考慮選擇性地同時(shí)探測(cè)等離子體所發(fā)出的兩個(gè)原子線光譜的強(qiáng)度并根據(jù)它們的強(qiáng)度比計(jì)算溫度的方法。然而,等離子體的放射光譜包含原子線光譜的同時(shí)還包含連續(xù)光成分,因此該方法存在如下問題:如果連續(xù)光成分增加,則測(cè)定精度降低。作為這種方法,有 Takeuchi, et al, “Temperature and Metal Vapor Near theCathode in Copper Breaking Arcs According to Spectroscopic Measurement,,,IEEETransactions on Plasma Science, Vol.28, N0.3, pp.991-999, 2000 (以下稱為非專利文獻(xiàn))。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0003]為了解決上述問題,提供一種使用測(cè)定對(duì)象物的放射光譜高精度地測(cè)定溫度的溫度測(cè)定裝置。
      [0004]為了達(dá)到上述目的,根據(jù)實(shí)施方式,溫度測(cè)定裝置具備如下結(jié)構(gòu)。即,
      [0005]具有采光單元、提取單元、光強(qiáng)度計(jì)算單元以及溫度測(cè)定單元。采光單元對(duì)測(cè)定對(duì)象物的放射光譜進(jìn)行采光。提取單元從所述采光單元所采光得到的放射光譜提取具有原子線光譜的波長的光以及具有不存在原子線光譜的波長區(qū)域中的波長的光。光強(qiáng)度計(jì)算單元計(jì)算所述提取單元所提取出的各光的強(qiáng)度。溫度測(cè)定單元基于所述光強(qiáng)度計(jì)算單元所計(jì)算出的各光的強(qiáng)度計(jì)算所述測(cè)定對(duì)象物的溫度。
      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0006]圖1是概要性地表示第I實(shí)施方式所涉及的溫度測(cè)定裝置的結(jié)構(gòu)例的圖。
      [0007]圖2是表示等離子體的放射光譜的例子的圖。
      [0008]圖3是概要性地表示第2實(shí)施方式所涉及的溫度測(cè)定裝置的結(jié)構(gòu)例的圖。
      [0009]圖4是表示原子線光譜對(duì)的強(qiáng)度比與溫度的關(guān)系的圖。
      [0010]圖5是概要性地表示第3實(shí)施方式所涉及的溫度測(cè)定裝置的結(jié)構(gòu)例的圖。
      [0011](附圖標(biāo)記說明)
      [0012]1:個(gè)體容器;2:測(cè)定對(duì)象物;3:入光部(采光單元);7:波長選擇部(提取單元);8a?Se:檢測(cè)器;9a?9e:校正部;11:光強(qiáng)度比計(jì)算部;14:罩(采光限定單元);15:溫度計(jì)算部;20、30以及40:溫度測(cè)定裝置。
      【具體實(shí)施方式】
      [0013](第I實(shí)施方式)[0014]首先,說明第I實(shí)施方式。
      [0015]第I實(shí)施方式所涉及的溫度測(cè)定裝置使用測(cè)定對(duì)象物的放射光譜來對(duì)測(cè)定對(duì)象物的溫度進(jìn)行測(cè)定。即,溫度測(cè)定裝置從測(cè)定對(duì)象物的放射光譜中選擇性地探測(cè)兩個(gè)原子線光譜以及具有原子線光譜的波長以外的波長的光成分,根據(jù)各自的強(qiáng)度對(duì)測(cè)定對(duì)象物的溫度進(jìn)行測(cè)定。
      [0016]溫度測(cè)定裝置從放射光譜中測(cè)定具有原子線光譜的兩個(gè)波長(λ a和Xb)的光成分的強(qiáng)度(IA和IB)。并且,溫度測(cè)定裝置從放射光譜中測(cè)定具有原子線光譜的波長以外的波長(Xe)的光成分的強(qiáng)度(1C)。溫度測(cè)定裝置根據(jù)具有波長λ a的光成分的強(qiáng)度IA、具有波長λ b的光成分的強(qiáng)度IB以及具有波長λ c的光成分的強(qiáng)度IC計(jì)算測(cè)定對(duì)象物的溫度。
      [0017]圖1是概要性地表示第I實(shí)施方式所涉及的溫度測(cè)定裝置20的結(jié)構(gòu)例的圖。
      [0018]如圖1所示,溫度測(cè)定裝置20具備:個(gè)體容器1,保存測(cè)定對(duì)象物2 ;入光部3,對(duì)個(gè)體容器I內(nèi)的測(cè)定對(duì)象物的放射光譜進(jìn)行采光;接合器4,將入光部3固定保持;傳送部5,傳送入光部3所采光得到的放射光譜;光量調(diào)節(jié)部6,調(diào)整入光部3所采光得到的放射光譜的光量;特定波長強(qiáng)度檢測(cè)部10,從由光量調(diào)節(jié)部6調(diào)整光量后的放射光譜檢測(cè)具有特定的波長的光譜的強(qiáng)度;光強(qiáng)度比計(jì)算部11,根據(jù)特定波長強(qiáng)度檢測(cè)部10所檢測(cè)出的各光譜的強(qiáng)度計(jì)算原子線光譜的強(qiáng)度比;以及溫度計(jì)算部15。
      [0019]特定波長強(qiáng)度檢測(cè)部10具備:波長選擇部7,從由光量調(diào)節(jié)部6調(diào)節(jié)光量后的放射光譜選擇提取具有特定的波長的光;檢測(cè)器8a?Sc,與波長選擇部7所提取出的光的強(qiáng)度相應(yīng)地輸出電壓;以及校正部9a?9c,根據(jù)由各檢測(cè)器8a?Sc輸出的電壓計(jì)算光的強(qiáng)度。波長選擇部7設(shè)置于將內(nèi)部的溫度調(diào)節(jié)為恒定的溫度調(diào)節(jié)部12的內(nèi)部。
      [0020]個(gè)體容器I在內(nèi)部具有保存測(cè)定對(duì)象物2的空間。個(gè)體容器I所具有的空間是與測(cè)定對(duì)象物2相應(yīng)的大小和形狀。例如,個(gè)體容器I是圓柱狀、矩形狀等的容器,但是個(gè)體容器I的形狀并不限定于特定的形狀。
      [0021]個(gè)體容器I具有耐得住測(cè)定對(duì)象物2所產(chǎn)生的沖擊或熱等的強(qiáng)度。例如,個(gè)體容器I由金屬等形成,但是構(gòu)成個(gè)體容器I的物質(zhì)并不限定于特定的物質(zhì)。
      [0022]例如,個(gè)體容器I也可以用于電力用氣路遮斷器或引擎的氣缸等其它用途。另外,個(gè)體容器I也可以是用于對(duì)測(cè)定對(duì)象物2進(jìn)行測(cè)定的容器。
      [0023]個(gè)體容器I的內(nèi)側(cè)表面至少在進(jìn)入入光部3的視場(chǎng)范圍的部分被實(shí)施鏡面加工。gp,作為個(gè)體容器I所發(fā)出的光,入光部3僅對(duì)被鏡面加工的內(nèi)側(cè)表面所發(fā)出的光進(jìn)行采光。被鏡面加工的物質(zhì)難以發(fā)出與溫度變化相應(yīng)的光。因而,個(gè)體容器I的內(nèi)側(cè)表面中的進(jìn)入入光部3的視場(chǎng)范圍的部分難以根據(jù)溫度變化發(fā)出光。因此,入光部3不對(duì)個(gè)體容器I根據(jù)溫度變化發(fā)出的光進(jìn)行采光,而能夠?qū)y(cè)定對(duì)象物2的放射光譜進(jìn)行采光。
      [0024]在個(gè)體容器I的一部分設(shè)置有用于設(shè)置接合器4的貫通至內(nèi)部的孔??椎奈恢迷跍y(cè)定對(duì)象物2的附近使得容易對(duì)測(cè)定對(duì)象物2的放射光譜進(jìn)行采光,但是并不限定于特定的位置。
      [0025]測(cè)定對(duì)象物2是溫度測(cè)定裝置20測(cè)定溫度的對(duì)象物。測(cè)定對(duì)象物2是在短時(shí)間(例如數(shù)毫秒至數(shù)微秒)內(nèi)引起急劇的溫度變化的現(xiàn)象(瞬變現(xiàn)象)等。例如,測(cè)定對(duì)象物2是爆炸、燃燒、等離子體或化學(xué)反應(yīng)等。但是,測(cè)定對(duì)象物2不限定于瞬變現(xiàn)象,不限定于特定的物質(zhì)或現(xiàn)象。
      [0026]入光部3從前端對(duì)測(cè)定對(duì)象物2的放射光譜進(jìn)行采光。另外,入光部3將采光得到的放射光譜通過傳送路5提供至光量調(diào)整部6。入光部3保持于接合器4。入光部3既可以向個(gè)體容器I內(nèi)突出地設(shè)置,也可以埋沒于接合器4內(nèi)而不向個(gè)體容器I內(nèi)突出。另夕卜,入光部3的與測(cè)定對(duì)象物2面對(duì)的表層部具有耐得住測(cè)定對(duì)象物2所產(chǎn)生的沖擊或熱等的強(qiáng)度。入光部3的與測(cè)定對(duì)象物2面對(duì)的表層部由耐熱玻璃或強(qiáng)化玻璃等形成。
      [0027]另外,入光部3在內(nèi)部包括具有焦距13的透鏡。通過該透鏡,入光部3能夠?qū)εc入光部3相距焦距13的部分的光進(jìn)行采光。即,入光部3能夠?qū)εc入光部3相距焦距13的測(cè)定對(duì)象物2的部分(測(cè)定部位)所產(chǎn)生的放射光譜進(jìn)行采光。其結(jié)果,溫度測(cè)定裝置20能夠?qū)y(cè)定對(duì)象物2的該測(cè)定部位的溫度進(jìn)行測(cè)定。另外,透鏡也可以是能夠任意地變更焦距13的透鏡。在該情況下,溫度測(cè)定裝置20能夠容易地變更測(cè)定溫度的部位。
      [0028]接合器4將入光部3固定保持。接合器4以填埋設(shè)置于個(gè)體容器I的孔的方式設(shè)置于個(gè)體容器I。另外,接合器4將傳送路5的一端固定保持。通過將傳送路5和入光部3固定保持,接合器4將入光部3與傳送路5以光學(xué)方式進(jìn)行連接。
      [0029]傳送路5向光量調(diào)節(jié)部6傳送入光部3所采光得到的放射光譜。另外,傳送路5向波長選擇部7傳送由光量調(diào)整部6調(diào)節(jié)光量后的放射光譜。另外,傳送路5向檢測(cè)器8a、8b,8c傳送波長選擇部7所提供的光。傳送路5具有將光從傳送路5的一端傳送到另一端的功能。例如,傳送路5是光纖等。
      [0030]光量調(diào)整部6將入光部3所提供的放射光譜的光量調(diào)節(jié)為適當(dāng)?shù)墓饬俊<?,光量調(diào)整部6將入光部3所提供的放射光譜的光量調(diào)節(jié)為檢測(cè)器8a?Sc所能夠檢測(cè)的光量。具體地說,光量調(diào)整部6以均等的比例減少放射光譜的所有光成分。例如,在入光部3所提供的放射光譜的光量超過檢測(cè)器8所能夠探測(cè)的光量的情況下,在檢測(cè)器8所探測(cè)的各原子線光譜的強(qiáng)度上不產(chǎn)生差,溫度測(cè)定裝置20無法計(jì)算測(cè)定對(duì)象物2的溫度。在該情況下,光量調(diào)整部6使放射光譜的光量減少至檢測(cè)器8所能夠探測(cè)的光量。另外,如果光量調(diào)整部6使放射光譜的光量過于減少,則放射光譜的信號(hào)噪聲比(S / N比)變差。光量調(diào)整部6將放射光譜的光量調(diào)整為檢測(cè)器8所能夠探測(cè)的光量且信號(hào)噪聲比不會(huì)變差的程度。
      [0031]另外,光量調(diào)整部6將調(diào)節(jié)光量后的放射光譜通過傳送路5提供至波長選擇部7。
      [0032]波長選擇部7從光量調(diào)整部6所提供的放射光譜中僅提取具有特定的波長的光。在實(shí)施方式中,波長選擇部7提取具有原子線光譜的兩個(gè)波長Xa和Xb的光以及具有不存在原子線光譜的波長區(qū)域中的一個(gè)波長λ c的光。
      [0033]λ a、λ b以及λ c是根據(jù)測(cè)定對(duì)象物2來決定,但是并不限定于特定的波長。
      [0034]例如,在測(cè)定對(duì)象物2是使用了包含銅的電極的、在包含六氟化硫(SF6)的氣體中起弧的電弧等離子體的情況下,λ a和Xb也可以是493nm、500nm、502nm、504nm、507nm、511nm、515nm、518nm、522nm、540nm、548nm、553nm、561nm、565nm、567nm、571nm、579nm、586nm、625nm、636nm、642nm、657nm、658nm、677nm、688nm、684nm、686nm、689nm、691nm、705nm、714nm、721nm、732nm、734nm、741nm、743nm、744nm、749nm、750nm、755nm、757nm、776nm、781nm中的任意波長。在該情況下,λ c設(shè)定為上述中記載的波長以外的波長。
      [0035]另外,在測(cè)定對(duì)象物2是使用了包含銅的電極的、在包含二氧化碳(C02)的氣體中起弧的電弧等離子體的情況下,λ a和Xb也可以是493nm、502nm、504nm、507nm、511nm、515nm、522nm、561nm、579nm、741nm、743nm中的任意波長。在該情況下,λ c設(shè)定為上述中記載的波長以外的波長。
      [0036]例如,波長選擇部7也可以是通過衍射光柵或棱鏡等使放射光譜分光、并通過光纖等僅拾取特定波長的光的結(jié)構(gòu)。另外,波長選擇部7也可以是通過光束分離器使放射光譜分支、并通過窄波段干涉濾波器僅使具有特定的波長的光通過的結(jié)構(gòu)。在波長選擇部7從上述的波長群選擇所提取的光的波長的情況下,干涉濾波器的透過波長帶寬為3nm左右即可。波長選擇部7僅提取具有特定的波長的光的方法和結(jié)構(gòu)不限定于特定的結(jié)構(gòu)。
      [0037]波長選擇部7將所提取的光通過傳送路5提供至各檢測(cè)器8。在此,波長選擇部7向檢測(cè)器8a提供具有波長λ a的光,向檢測(cè)器Sb提供具有波長λ b的光,向檢測(cè)器Sc提供具有波長λ c的光。
      [0038]波長選擇部7設(shè)置于溫度調(diào)節(jié)部12的內(nèi)部。溫度調(diào)節(jié)部12具有將內(nèi)部的溫度保持為恒定的功能。溫度調(diào)節(jié)部12將波長選擇部7的溫度保持為恒定的溫度。波長選擇部7通常使用分光器或僅使特定波段通過的干涉濾波器等。這些部件的溫度特定是對(duì)于溫度變化敏感。因此,溫度調(diào)整部12通過將波長選擇部7的溫度保持為恒定,防止波長選擇部7的精度由于溫度變化而降低。
      [0039]檢測(cè)器8(8a、8b、8c)將波長選擇部7所提取的光轉(zhuǎn)換為電壓。檢測(cè)器8為了將在短時(shí)間(數(shù)毫秒?數(shù)微秒)內(nèi)產(chǎn)生的現(xiàn)象所產(chǎn)生的光轉(zhuǎn)換為電壓,以數(shù)微秒左右的響應(yīng)速度產(chǎn)生電壓。例如,檢測(cè)器8是光電二極管或光電子倍增管等。另外,檢測(cè)器8針對(duì)具有特定的波長的每個(gè)光獨(dú)立地設(shè)置。因而,各檢測(cè)器8能夠同時(shí)將具有特定的波長的各光轉(zhuǎn)換為電壓。
      [0040]檢測(cè)器8與校正部9電連接。檢測(cè)器8將所產(chǎn)生的電壓提供至校正部9。在此,檢測(cè)器8a向校正部9a提供電壓,檢測(cè)器Sb向校正部9b提供電壓,檢測(cè)器Sc向校正部9c提供電壓。
      [0041]校正部9(9a、9b、9c)根據(jù)檢測(cè)器8所提供的電壓計(jì)算波長選擇部7向檢測(cè)器8提供的光的強(qiáng)度。檢測(cè)器8不輸出相對(duì)于所提供的光的強(qiáng)度呈線性的電壓。通常,如果提供至檢測(cè)器8的光的強(qiáng)度變強(qiáng),則輸出電壓相對(duì)于光的強(qiáng)度的比率減少。S卩,如果提供至檢測(cè)器8的光的強(qiáng)度變強(qiáng),則檢測(cè)器8的將光變化為電壓的效率降低。校正部9基于檢測(cè)器8的特性,根據(jù)檢測(cè)器8所提供的電壓計(jì)算波長選擇部7向檢測(cè)器8提供的光的強(qiáng)度。校正部9既可以是計(jì)算電路,也可以是PC等。
      [0042]校正部9與光強(qiáng)度比計(jì)算部11電連接。校正部9將表示所計(jì)算出的光的強(qiáng)度的信息提供至光強(qiáng)度比計(jì)算部11。校正部9a將表示具有Xa的波長的光的強(qiáng)度(IA)的信息提供至光強(qiáng)度比計(jì)算部11。校正部9b將表示具有Xb的波長的光的強(qiáng)度(IB)的信息提供至光強(qiáng)度比計(jì)算部11。校正部9c將表示具有λ c的波長的光的強(qiáng)度(IC)的信息提供至光強(qiáng)度比計(jì)算部11。
      [0043]光強(qiáng)度比計(jì)算部11基于從校正部9提供的表示光的強(qiáng)度的信息計(jì)算兩個(gè)原子線光譜的強(qiáng)度比。下面說明計(jì)算過程。
      [0044]測(cè)定對(duì)象物2的放射光譜包含原子線光譜的同時(shí)還包含作為噪聲的連續(xù)光成分。圖2是表示測(cè)定對(duì)象物2的放射光譜的例子的圖。如圖2所示,原子線光譜(線光譜)形成為載于連續(xù)光成分。因而,光強(qiáng)度比計(jì)算部11如果想要簡(jiǎn)單地利用具有原子線光譜的波長的光的強(qiáng)度計(jì)算原子線光譜的強(qiáng)度比,則由于連續(xù)光成分而無法計(jì)算正確的原子線光譜的強(qiáng)度比。
      [0045] 光強(qiáng)度比計(jì)算部11去除連續(xù)光成分的強(qiáng)度來計(jì)算原子線光譜的強(qiáng)度比。具體地說,光強(qiáng)度比計(jì)算部11從具有原子線光譜的波長的光的強(qiáng)度減去連續(xù)光成分的強(qiáng)度,來計(jì)算測(cè)定對(duì)象物2的測(cè)定部位所發(fā)出的原子線光譜的強(qiáng)度。在此,具有波長λC的光是不存在原子線光譜的波長區(qū)域的光,因此具有波長λ c的光的強(qiáng)度是連續(xù)光成分的強(qiáng)度。因而,光強(qiáng)度比計(jì)算部11通過從具有原子線光譜的波長λ a及波長Xb的光的強(qiáng)度減去具有波長λ c的光的強(qiáng)度,來計(jì)算測(cè)定對(duì)象物2所發(fā)出的原子線光譜的強(qiáng)度。光強(qiáng)度比計(jì)算部11根據(jù)所計(jì)算出的原子線光譜的強(qiáng)度計(jì)算測(cè)定對(duì)象物2的測(cè)定部位所發(fā)出的原子線光譜的強(qiáng)度比。
      [0046]在實(shí)施方式中,校正部9a計(jì)算具有波長Xa的光的強(qiáng)度(IA),并將表示所計(jì)算出的強(qiáng)度的信息提供至光強(qiáng)度比計(jì)算部U。校正部9a所提供的信息所表示的強(qiáng)度是對(duì)測(cè)定對(duì)象物2所發(fā)出的原子線光譜相加連續(xù)光成分后的狀態(tài)的強(qiáng)度。
      [0047]另外,校正部9c計(jì)算具有波長Xe的光的強(qiáng)度(1C),并將表示所計(jì)算出的強(qiáng)度的信息提供至光強(qiáng)度比計(jì)算部11。λ C不是原子線光譜的波長,因此校正部9a所提供的信息所表示的強(qiáng)度是連續(xù)光成分的強(qiáng)度。
      [0048]因而,光強(qiáng)度比計(jì)算部11通過從IA減去1C,能夠得到測(cè)定對(duì)象物2所發(fā)出的波長λ a的原子線光譜強(qiáng)度(In)。同樣地,光強(qiáng)度比計(jì)算部11通過從IB減去1C,能夠得到測(cè)定對(duì)象物2所發(fā)出的波長Xb的原子線光譜強(qiáng)度(Im)。因此,光強(qiáng)度比計(jì)算部11利用以下的式能夠計(jì)算原子線光譜的強(qiáng)度比(In / Im)。
      [0049]In / Im = (IA-1C) / (IB-1C)
      [0050]光強(qiáng)度比計(jì)算部11既可以是計(jì)算電路,也可以是PC等。
      [0051]光強(qiáng)度比計(jì)算部11與溫度計(jì)算部15電連接。光強(qiáng)度比計(jì)算部11將表示所計(jì)算出的原子線光譜的強(qiáng)度比的信息發(fā)送至溫度計(jì)算部15。
      [0052]溫度計(jì)算部15基于光強(qiáng)度比計(jì)算部11所發(fā)送的表示原子線光譜的強(qiáng)度比的信息計(jì)算測(cè)定對(duì)象物2的測(cè)定部位的溫度。溫度計(jì)算部15利用以下的式能夠計(jì)算溫度(參照非專利文獻(xiàn)I)。
      [0053][數(shù)I]
      【權(quán)利要求】
      1.一種溫度測(cè)定裝置,使用測(cè)定對(duì)象物的放射光譜來測(cè)定溫度,該溫度測(cè)定裝置具備: 采光單元,對(duì)所述測(cè)定對(duì)象物的放射光譜進(jìn)行采光; 提取單元,從所述采光單元所采光得到的放射光譜提取具有原子線光譜的波長的光以及具有不存在原子線光譜的波長區(qū)域中的波長的光; 光強(qiáng)度計(jì)算單元,計(jì)算所述提取單元所提取出的各光的強(qiáng)度;以及溫度測(cè)定單元,基 于所述光強(qiáng)度計(jì)算單元所計(jì)算出的各光的強(qiáng)度計(jì)算所述測(cè)定對(duì)象物的溫度。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測(cè)定裝置,其特征在于, 所述提取單元提取具有原子線光譜的波長的兩個(gè)光以及具有不存在原子線光譜的波長區(qū)域中的波長的至少一個(gè)光, 溫度測(cè)定單元具備: 光強(qiáng)度比計(jì)算單元,基于所述提取單元所提取出的具有原子線光譜的波長的所述兩個(gè)光的強(qiáng)度以及所述提取單元所提取出的具有不存在原子線光譜的波長區(qū)域中的波長的所述至少一個(gè)光的強(qiáng)度,計(jì)算所述測(cè)定對(duì)象物所發(fā)出的原子線光譜對(duì)的強(qiáng)度比;以及 溫度計(jì)算單元,基于所述光強(qiáng)度比計(jì)算單元所計(jì)算出的原子線光譜對(duì)的強(qiáng)度比計(jì)算所述測(cè)定對(duì)象物的溫度。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的溫度測(cè)定裝置,其特征在于, 所述提取單元提取具有原子線光譜的波長的三個(gè)以上的光, 所述光強(qiáng)度比計(jì)算單元計(jì)算出兩個(gè)以上的所述測(cè)定對(duì)象物所發(fā)出的原子線光譜對(duì)的強(qiáng)度比, 所述溫度計(jì)算單元基于所述光強(qiáng)度比計(jì)算單元使用于強(qiáng)度比的計(jì)算的原子線光譜對(duì)的適當(dāng)溫度測(cè)定區(qū)域,從所述光強(qiáng)度比計(jì)算單元所計(jì)算出的兩個(gè)以上的所述強(qiáng)度比決定為了計(jì)算溫度而使用的強(qiáng)度比,根據(jù)所決定的強(qiáng)度比計(jì)算測(cè)定對(duì)象物的溫度。
      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的溫度測(cè)定裝置,其特征在于, 所述溫度計(jì)算單元將在適當(dāng)溫度測(cè)定區(qū)域包含所述測(cè)定對(duì)象物的溫度的原子線光譜對(duì)的強(qiáng)度比設(shè)為用于計(jì)算所述測(cè)定對(duì)象物的溫度的強(qiáng)度比。
      5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的溫度測(cè)定裝置,其特征在于, 所述光強(qiáng)度比計(jì)算單元通過計(jì)算從具有原子線光譜的波長的兩個(gè)光的強(qiáng)度分別減去不存在原子線光譜的波長區(qū)域中的光的強(qiáng)度所得的兩個(gè)值的比,來計(jì)算原子線光譜的強(qiáng)度比。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測(cè)定裝置,其特征在于, 所述測(cè)定對(duì)象物是使用了包含銅的電極的、在包含六氟化硫的氣體中起弧的電弧等離子體, 原子線光譜的所述波長是 493nm、500nm、502nm、504nm、507nm、511nm、515nm、518nm、522nm、540nm、548nm、553nm、561nm、565nm、567nm、571nm、579nm、586nm、625nm、636nm、642nm、657nm、658nm、677nm、688nm、684nm、686nm、689nm、691nm、705nm、714nm、721nm、732nm、734nm、741nm、743nm、744nm、749nm、750nm、755nm、757nm、776nm、781nm 中的任意波長。
      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測(cè)定裝置,其特征在于, 所述測(cè)定對(duì)象物是使用了包含銅的電極的、在包含二氧化碳的氣體中起弧的電弧等離子體, 原子線光譜的所述波長是 493nm、502nm、504nm、507nm、511nm、515nm、522nm、561nm、579nm、741nm、743nm中的任意波長。
      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測(cè)定裝置,其特征在于, 所述采光單元還具備采光限定單元,該采光限定單元限定對(duì)所述測(cè)定對(duì)象物的放射光譜進(jìn)行采光的范圍。
      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度測(cè)定裝置,其特征在于, 所述采光限定單元是上下開口的筒型,內(nèi)側(cè)表面被鏡面加工,在側(cè)面具備用于固定于所述采光單元的安裝口, 所述采光單元通過連接于所述安裝口而固定所述采光限定單元,對(duì)流入所述采光限定單元的內(nèi)部的測(cè)定對(duì)象物 的放射光譜進(jìn)行采光。
      【文檔編號(hào)】G01J5/10GK103968955SQ201410044846
      【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2014年2月7日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月4日
      【發(fā)明者】內(nèi)井敏之, 森正 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝
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