循環(huán)液體流量測量裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種循環(huán)液體流量測量裝置，包括：激光測量裝置、負(fù)載冷卻裝置；負(fù)載冷卻裝置，包括：進(jìn)液管、進(jìn)液緩沖器、進(jìn)液反射浮墊、負(fù)載、出液緩沖器、出液反射浮墊及出液管；進(jìn)液管與進(jìn)液緩沖器連接；進(jìn)液緩沖器通過負(fù)載進(jìn)液口與負(fù)載連接；負(fù)載通過負(fù)載出液口與出液緩沖器連接；出液緩沖器與出液管連接；進(jìn)液反射浮墊設(shè)置在進(jìn)液緩沖器中；出液反射浮墊設(shè)置在出液緩沖器中；激光測量裝置，用于通過進(jìn)液反射浮墊和出液反射浮墊，確定流經(jīng)負(fù)載液體的流量。本發(fā)明通過激光測量裝置、進(jìn)液反射浮墊及出液反射浮墊可以精確測量出進(jìn)液緩沖器與出液緩沖器中液體的高度差，從而確定流經(jīng)負(fù)載的液體流量，提高了測量精度。
【專利說明】循環(huán)液體流量測量裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及測量技術(shù)，尤其涉及一種循環(huán)液體流量測量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]循環(huán)液體散熱技術(shù)是一種重要的冷卻手段，被廣泛應(yīng)用在需要消除熱效應(yīng)的高功率激光器、激光測試設(shè)備、光刻機(jī)、發(fā)動(dòng)機(jī)等儀器設(shè)備等領(lǐng)域。循環(huán)液體散熱的基本工作原理為，低溫液體流經(jīng)負(fù)載將負(fù)載中的熱量帶走，從而對(duì)負(fù)載進(jìn)行冷卻。
[0003]負(fù)載的溫度不僅僅與進(jìn)液管中的液體溫度有關(guān)，還與負(fù)載中液體的流量有關(guān)，負(fù)載中液體流量越大，被液體帶走的熱量越多，負(fù)載的溫度越低，反之亦然。為了精確控制負(fù)載的溫度，就需要精確測量流經(jīng)負(fù)載的液體流量。在現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用流量計(jì)測量流經(jīng)負(fù)載的液體流量。
[0004]然而，由于流量計(jì)器械自身因素的影響，其測量精度有限，無法準(zhǔn)確測量流經(jīng)負(fù)載的液體流量。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明提供一種循環(huán)液體流量測量裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中測量精度不高的技術(shù)問題。
[0006]本發(fā)明提供一種循環(huán)液體流量測量裝置，包括:激光測量裝置、負(fù)載冷卻裝置；
[0007]所述負(fù)載冷卻裝置，包括:進(jìn)液管、進(jìn)液緩沖器、進(jìn)液反射浮墊、負(fù)載、出液緩沖器、出液反射浮墊以及出液管；其中，
[0008]所述進(jìn)液管與所述進(jìn)液緩沖器連接；
[0009]所述進(jìn)液緩沖器通過負(fù)載進(jìn)液口與所述負(fù)載連接；
[0010]所述負(fù)載通過負(fù)載出液口與所述出液緩沖器連接；
[0011]所述出液緩沖器與所述出液管連接；
[0012]所述進(jìn)液反射浮墊設(shè)置在所述進(jìn)液緩沖器中；
[0013]所述出液反射浮墊設(shè)置在所述出液緩沖器中；
[0014]所述激光測量裝置，用于通過所述進(jìn)液反射浮墊和所述出液反射浮墊，確定流經(jīng)所述負(fù)載液體的流量。
[0015]進(jìn)一步地，所述激光測量裝置，具體包括:激光器、第一分束鏡、第二分束鏡、光束反射單元、第四分束鏡、光探測器以及控制器；其中，
[0016]所述第一分束鏡、所述第二分束鏡、所述光束反射單元以及所述第四分束鏡成矩形設(shè)置；
[0017]所述第一分束鏡的入射點(diǎn)到所述光束反射單元的入射點(diǎn)的距離等于所述第二分束鏡的入射點(diǎn)到第四入射點(diǎn)的距離，其中，所述第四入射點(diǎn)為所述第四分束鏡的入射點(diǎn)；
[0018]所述第一分束鏡的入射點(diǎn)到所述第二分束鏡的入射點(diǎn)的距離等于所述光束反射單元的入射點(diǎn)到所述第四入射點(diǎn)的距離；
[0019]所述第一分束鏡，用于反射所述激光器射出的第一光束以使經(jīng)由所述第一分束鏡反射后的第一光束垂直照射在所述進(jìn)液反射浮墊上，透射所述第一光束以使透射后的第一光束到達(dá)所述第二分束鏡，以及透射經(jīng)由所述進(jìn)液反射浮墊反射的進(jìn)液參考光；
[0020]所述第二分束鏡，用于反射經(jīng)由所述第一分束鏡透射的第一光束以使經(jīng)由所述第二分束鏡反射的第一光束垂直照射在所述出液反射浮墊上，以及透射經(jīng)由所述出液反射浮墊反射的出液參考光；
[0021]所述光束反射單元，用于反射經(jīng)由所述第一分束鏡透射的進(jìn)液參考光，以使經(jīng)由所述光束反射單元反射的進(jìn)液參考光到達(dá)所述第四分束鏡；
[0022]所述第四分束鏡，用于經(jīng)由所述第四入射點(diǎn)透射所述進(jìn)液參考光，經(jīng)由所述第四入射點(diǎn)反射所述出液參考光；
[0023]所述光探測器，用于接收由所述進(jìn)液參考光以及所述出液參考光在所述第四入射點(diǎn)形成的干涉光，并且用于接收所述干涉光的干涉條紋；
[0024]所述控制器與所述光探測器連接，用于根據(jù)所述干涉條紋以及預(yù)設(shè)的管路參數(shù)確定流經(jīng)所述負(fù)載的液體流量。
[0025]本發(fā)明的技術(shù)效果是:通過激光測量裝置、進(jìn)液反射浮墊及出液反射浮墊可以精確測量出進(jìn)液緩沖器與出液緩沖器中液體的高度差，從而確定流經(jīng)負(fù)載的液體流量，提高了測量精度。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0026]圖1為本發(fā)明循環(huán)液體流量測量裝置實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖2為本發(fā)明循環(huán)液體流量測量裝置實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖3為本發(fā)明循環(huán)液體流量測量裝置實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖4為本發(fā)明循環(huán)液體流量測量裝置實(shí)施例四的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]圖1為本發(fā)明循環(huán)液體流量測量裝置實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示,本實(shí)施例的裝置可以包括:激光測量裝置1、負(fù)載冷卻裝置2 ；
[0031]所述負(fù)載冷卻裝置1，包括:進(jìn)液管201、進(jìn)液緩沖器202、進(jìn)液反射浮墊203、負(fù)載204、出液緩沖器205、出液反射浮墊206以及出液管207 ;其中，
[0032]所述進(jìn)液管201與所述進(jìn)液緩沖器202連接；
[0033]所述進(jìn)液緩沖器202通過負(fù)載進(jìn)液口與所述負(fù)載204連接；
[0034]所述負(fù)載204通過負(fù)載出液口與所述出液緩沖器205連接；
[0035]所述出液緩沖器205與所述出液管207連接；
[0036]所述進(jìn)液反射浮墊203設(shè)置在所述進(jìn)液緩沖器202中；
[0037]所述出液反射浮墊206設(shè)置在所述出液緩沖器205中；
[0038]所述激光測量裝置1，用于通過所述進(jìn)液反射浮墊203和所述出液反射浮墊206，確定流經(jīng)所述負(fù)載液體的流量。
[0039]具體地，負(fù)載204為需要被冷卻的器件，例如，發(fā)電機(jī)、激光器等高功率器件。液體通過進(jìn)液管201流入進(jìn)液緩沖器202，流經(jīng)負(fù)載204，再依次流經(jīng)出液緩沖器205、出液管207流出。液體的溫度低于處于工作狀態(tài)的負(fù)載204的溫度。在液體流過負(fù)載204時(shí)，可與負(fù)載204進(jìn)行熱交換,從而帶走負(fù)載204的熱量為負(fù)載204降溫。
[0040]在進(jìn)液緩沖器202以及出液緩沖器205中分別設(shè)置進(jìn)液反射浮墊203、出液反射浮墊206。在進(jìn)液反射浮墊203與出液反射浮墊206背向液體的表面涂覆有適于激光器波長的反射膜。當(dāng)有光束照射在反射膜時(shí)，反射膜可反射光束。
[0041]根據(jù)流體力學(xué)原理，在對(duì)負(fù)載204進(jìn)行冷卻時(shí)，流經(jīng)負(fù)載204的液體的流量，可在進(jìn)液緩沖器202與出液緩沖器206中形成液面差，液體的流量越大液面差越大，液體的流量越小液面差越小。通過測量液面差的大小可以確定當(dāng)前液體流量的大小。
[0042]本實(shí)施例通過激光測量裝置I可以精確測量出進(jìn)液緩沖器202與出液緩沖器205中形成液面差。例如，利用激光器分別向進(jìn)液反射浮墊203、出液反射浮墊206垂直入射光束，并利用光反射裝置使進(jìn)液反射光與出液反射光發(fā)生干涉，分析干涉光的干涉條紋可以精確測量出進(jìn)液緩沖器202與出液緩沖器205中形成的液面差，從而計(jì)算出流經(jīng)負(fù)載204的液體的流量。
[0043]本實(shí)施例，通過利用激光測量裝置1、進(jìn)液反射浮墊203以及出液反射浮墊206，精確測量出進(jìn)液緩沖器202與出液緩沖器205中形成的液面差高度，從而計(jì)算出流經(jīng)負(fù)載204的液體的流量。通常激光測量裝置的測量精度為納米量級(jí)。因此，解決了現(xiàn)有技術(shù)中由于流量計(jì)器械自身因素的影響，其測量精度有限，無法準(zhǔn)確測量流經(jīng)負(fù)載的液體流量的技術(shù)問題。
[0044]下面采用幾個(gè)具體實(shí)施例對(duì)實(shí)施例一的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)解釋。
[0045]圖2為本發(fā)明循環(huán)液體流量測量裝置實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地，所述激光測量裝置I，具體包括:激光器101、第一分束鏡102、第二分束鏡103、光束反射單元104、第四分束鏡105、光探測器106以及控制器107 ;其中，
[0046]所述第一分束鏡102、所述第二分束鏡103、所述光束反射單元104以及所述第四分束鏡105成矩形設(shè)置；
[0047]所述第一分束鏡102的入射點(diǎn)到所述光束反射單元104的入射點(diǎn)的距離等于所述第二分束鏡103的入射點(diǎn)到第四入射點(diǎn)的距離，其中，所述第四入射點(diǎn)為所述第四分束鏡105的入射點(diǎn)；
[0048]所述第一分束鏡102的入射點(diǎn)到所述第二分束鏡103的入射點(diǎn)的距離等于所述光束反射單元104的入射點(diǎn)到所述第四入射點(diǎn)的距離；
[0049]所述第一分束鏡102，用于反射所述激光器101射出的第一光束以使經(jīng)由所述第一分束鏡102反射后的第一光束垂直照射在所述進(jìn)液反射浮墊203上，透射所述第一光束以使透射后的第一光束到達(dá)所述第二分束鏡103，以及透射經(jīng)由所述進(jìn)液反射浮墊203反射的進(jìn)液參考光；
[0050]所述第二分束鏡103，用于反射經(jīng)由所述第一分束鏡102透射的第一光束以使經(jīng)由所述第二分束鏡103反射的第一光束垂直照射在所述出液反射浮墊206上，以及透射經(jīng)由所述出液反射浮墊206反射的出液參考光；
[0051]所述光束反射單元104，用于反射經(jīng)由所述第一分束鏡102透射的進(jìn)液參考光，以使經(jīng)由所述光束反射單元反射104的進(jìn)液參考光到達(dá)所述第四分束鏡105 ；
[0052]所述第四分束鏡105，用于經(jīng)由所述第四入射點(diǎn)透射所述進(jìn)液參考光，經(jīng)由所述第四入射點(diǎn)反射所述出液參考光；
[0053]所述光探測器106，用于接收由所述進(jìn)液參考光以及所述出液參考光在所述第四入射點(diǎn)形成的干涉光，并且用于接收所述干涉光的干涉條紋；
[0054]所述控制器107與所述光探測器106電連接，用于分析所述干涉條紋，并根據(jù)分析結(jié)果以及預(yù)設(shè)的管路參數(shù)確定流經(jīng)所述負(fù)載204的液體流量。
[0055]具體地，激光器101射出的第一光束在第一分束鏡102處發(fā)生反射，反射后的光束垂直入射進(jìn)液反射浮墊203，并經(jīng)進(jìn)液反射浮墊203反射形成進(jìn)液參考光。第一光束還可在第一分束鏡102處發(fā)生透射后到達(dá)第二分束鏡103，經(jīng)由第二分束鏡103的反射垂直入射出液反射浮墊206,并經(jīng)進(jìn)液反射浮墊206反射形成出液參考光。
[0056]進(jìn)液參考光通過光束反射單元104的反射到達(dá)第四分束鏡105的第四入射點(diǎn)。出液參考光透射過第二分束鏡103后也到達(dá)第四分束鏡105的第四入射點(diǎn)。進(jìn)液參考光在第四入射點(diǎn)透射，出液參考光在第四入射點(diǎn)反射，透射后的進(jìn)液參考光與反射后出液參考光發(fā)生干涉，形成干涉光。
[0057]光探測器106接收干涉光的干涉條紋。
[0058]控制器107與光探測器106電連接，光探測器106將干涉條紋轉(zhuǎn)換為電信號(hào)后發(fā)送給控制器107。工作人員可預(yù)先將負(fù)載冷卻裝置2的管路參數(shù)錄入控制器107中，控制器107根據(jù)預(yù)存的管路參數(shù)以及對(duì)干涉條紋的分析結(jié)果，計(jì)算出當(dāng)前流經(jīng)負(fù)載204的液體的流量。
[0059]更為具體地，光束反射單元104可以是分束鏡、可以是背面鍍有光吸收膜的分束鏡、還可以是全反光鏡。
[0060]圖3為本發(fā)明循環(huán)液體流量測量裝置實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示,在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地，所述負(fù)載冷卻裝置2，還包括:進(jìn)液調(diào)節(jié)閥208以及出液調(diào)節(jié)閥 209 ；
[0061]所述進(jìn)液調(diào)節(jié)閥208設(shè)置在所述進(jìn)液管上，用于調(diào)節(jié)流入進(jìn)液管的液體流量；
[0062]所述出液調(diào)節(jié)閥209設(shè)置在所述出液管上，用于調(diào)節(jié)流出出液管的液體流量；
[0063]所述進(jìn)液調(diào)節(jié)閥208以及所述出液調(diào)節(jié)閥209分別與所述控制器107連接，以使所述控制器107根據(jù)預(yù)設(shè)的液體流量以及所述負(fù)載的當(dāng)前液體流量控制所述進(jìn)液調(diào)節(jié)閥208以及所述出液調(diào)節(jié)閥209。
[0064]具體地，進(jìn)液調(diào)節(jié)閥208以及出液調(diào)節(jié)閥209為可以調(diào)節(jié)液體流量大小的閥門。例如，關(guān)小進(jìn)液調(diào)節(jié)閥208以及出液調(diào)節(jié)閥209，可將流量調(diào)??；開大進(jìn)液調(diào)節(jié)閥208以及出液調(diào)節(jié)閥209，可將流量調(diào)大。
[0065]工作人員可預(yù)先向控制器107中錄入理想的流量大小，即預(yù)設(shè)的液體流量。當(dāng)前流經(jīng)負(fù)載204的液體流量小于預(yù)設(shè)的液體流量時(shí)，控制器107控制進(jìn)液調(diào)節(jié)閥208以及出液調(diào)節(jié)閥209，使兩者開大。當(dāng)前流經(jīng)負(fù)載204的液體流量大于預(yù)設(shè)的液體流量時(shí)，控制器107控制進(jìn)液調(diào)節(jié)閥208以及出液調(diào)節(jié)閥209，使兩者關(guān)小。從而將當(dāng)前的液體流量達(dá)到預(yù)設(shè)的液體流量。
[0066]通過控制器107控制進(jìn)液調(diào)節(jié)閥208以及出液調(diào)節(jié)閥209，使得本實(shí)施例的裝置還能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)液體流量的自動(dòng)調(diào)節(jié)。
[0067]圖4為本發(fā)明循環(huán)液體流量測量裝置實(shí)施例四的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地，所述激光測量裝置1，還包括:第一光隔離器108、第二光隔離器109、第一光學(xué)陷阱110、第二光學(xué)陷阱112、第三光學(xué)陷阱111、光程補(bǔ)償器113。
[0068]所述第一光隔離器108，設(shè)置在所述激光器與所述第一分束鏡102之間的光路上，用于阻止回波激光射入所述激光器中。
[0069]具體地，光隔離器是一種僅允許光束單向通過的光學(xué)器件。例如，進(jìn)液反射光還可在第一分束鏡102處發(fā)生反射，形成回波激光，反射后的進(jìn)液反射光將射入激光器101中，引起激光器101的出光特性不穩(wěn)定，嚴(yán)重時(shí)會(huì)使激光器101猝滅。因此，在激光器101與第一分束鏡102之間的光路上設(shè)置第一光隔離器108，可有效阻止反射后的回波激光射入激光器101中。
[0070]所述第二光隔離器109，設(shè)置在所述第一分束鏡102以及所述第二分束鏡103之間的光路上，用于阻止回波激光到達(dá)所述第一分束鏡102。
[0071]類似地，出液反射光可在第二分束鏡103、出液反射鏡及光路上其他光學(xué)元件表面處發(fā)生反射，形成回波激光，回射至第一分束鏡102干擾進(jìn)液反射光。在第一分束鏡102與第二分束鏡103之間的光路上設(shè)置第二光隔離器109可有效降低回波激光對(duì)進(jìn)液反射光的干擾，進(jìn)一步地提高了測量的精度。
[0072]所述第一光學(xué)陷阱110，設(shè)置在由所述第一分束鏡102以及所述第二分束鏡103形成的光路延長線上，用于吸收經(jīng)由所述第二分束鏡103透射的光。
[0073]具體地，光學(xué)陷阱是一種用于吸收光束的光學(xué)器件。激光測量裝置I在實(shí)際操作中通常設(shè)置有外殼，由于外殼材質(zhì)特性，可吸收激光，減少反射、散射光束對(duì)測量精度產(chǎn)生影響。在第一分束鏡102與第二分束鏡103所形成的光路延長線上設(shè)置第一光學(xué)陷講110,可用于吸收經(jīng)由第二分束鏡103透射的光束，進(jìn)一步地提高了測量的精度。
[0074]所述第二光學(xué)陷阱112，設(shè)置在由所述第二分束鏡103以及所述第四分束鏡105形成的光路延長線上，用于吸收經(jīng)由所述第四分束鏡透射的光。
[0075]類似地，在第二分束鏡103與第四分束鏡105所形成的光路延長線上設(shè)置第二光學(xué)陷阱112，可用于吸收經(jīng)由第四分束鏡105透射的光束，進(jìn)一步地提高了測量的精度。
[0076]所述第三光學(xué)陷阱111，設(shè)置在由所述第一分束鏡102以及所述光束反射單元104形成的光路延長線上，用于吸收經(jīng)由所述光束反射單元透射的光。
[0077]類似地，當(dāng)光束反射單元104為可透射光束的光學(xué)器件時(shí)，優(yōu)選地在第一分束鏡102與光束反射單元104的光路延長線上設(shè)置第三光學(xué)陷阱111，可用于吸收經(jīng)由光束反射單元104透射的光束，進(jìn)一步地提高了測量的精度。
[0078]所述光程補(bǔ)償器113，設(shè)置在所述光束反射單元104以及所述第四分束鏡105之間的光路上，用于增加所述進(jìn)液參考光的光程。
[0079]具體地，光程補(bǔ)償器113設(shè)置在光束反射單元104與第四分束鏡105之間的光路上，可用于增加進(jìn)液參考光的光程，從而調(diào)整進(jìn)液參考光與出液參考光光程差。使得由進(jìn)液參考光與出液參考光形成干涉光的干涉條紋寬度增大，進(jìn)而使得測量精度更高。
[0080]最后應(yīng)說明的是:以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精
O
o Irri τη )- ι-ι I/ A.1.
【權(quán)利要求】
1.一種循環(huán)液體流量測量裝置，其特征在于，包括: 激光測量裝置、負(fù)載冷卻裝置； 所述負(fù)載冷卻裝置，包括:進(jìn)液管、進(jìn)液緩沖器、進(jìn)液反射浮墊、負(fù)載、出液緩沖器、出液反射浮墊以及出液管；其中， 所述進(jìn)液管與所述進(jìn)液緩沖器連接； 所述進(jìn)液緩沖器通過負(fù)載進(jìn)液口與所述負(fù)載連接； 所述負(fù)載通過負(fù)載出液口與所述出液緩沖器連接； 所述出液緩沖器與所述出液管連接； 所述進(jìn)液反射浮墊設(shè)置在所述進(jìn)液緩沖器中； 所述出液反射浮墊設(shè)置在所述出液緩沖器中； 所述激光測量裝置，用于通過所述進(jìn)液反射浮墊和所述出液反射浮墊，確定流經(jīng)所述負(fù)載液體的流量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述激光測量裝置，具體包括:激光器、第一分束鏡、第二分束鏡、光束反射單元、第四分束鏡、光探測器以及控制器；其中， 所述第一分束鏡、所述第二分束鏡、所述光束反射單元以及所述第四分束鏡成矩形設(shè)置； 所述第一分束鏡的入射點(diǎn)到所述光束反射單元的入射點(diǎn)的距離等于所述第二分束鏡的入射點(diǎn)到第四入射點(diǎn)的距離，其中，所述第四入射點(diǎn)為所述第四分束鏡的入射點(diǎn)； 所述第一分束鏡的入射點(diǎn)到所述第二分束鏡的入射點(diǎn)的距離等于所述光束反射單元的入射點(diǎn)到所述第四入射點(diǎn)的距離； 所述第一分束鏡，用于反射所述激光器射出的第一光束以使經(jīng)由所述第一分束鏡反射后的第一光束垂直照射在所述進(jìn)液反射浮墊上，透射所述第一光束以使透射后的第一光束到達(dá)所述第二分束鏡，以及透射經(jīng)由所述進(jìn)液反射浮墊反射的進(jìn)液參考光； 所述第二分束鏡，用于反射經(jīng)由所述第一分束鏡透射的第一光束以使經(jīng)由所述第二分束鏡反射的第一光束垂直照射在所述出液反射浮墊上，以及透射經(jīng)由所述出液反射浮墊反射的出液參考光； 所述光束反射單元，用于反射經(jīng)由所述第一分束鏡透射的進(jìn)液參考光，以使經(jīng)由所述光束反射單元反射的進(jìn)液參考光到達(dá)所述第四分束鏡； 所述第四分束鏡，用于經(jīng)由所述第四入射點(diǎn)透射所述進(jìn)液參考光，經(jīng)由所述第四入射點(diǎn)反射所述出液參考光； 所述光探測器，用于接收由所述進(jìn)液參考光以及所述出液參考光在所述第四入射點(diǎn)形成的干涉光，并且用于接收所述干涉光的干涉條紋； 所述控制器與所述光探測器連接，用于根據(jù)所述干涉條紋以及預(yù)設(shè)的管路參數(shù)確定流經(jīng)所述負(fù)載的液體流量。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述光束反射單元，包括: 分束鏡，或者，全反光鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述負(fù)載冷卻裝置，還包括:進(jìn)液調(diào)節(jié)閥以及出液調(diào)節(jié)閥； 所述進(jìn)液調(diào)節(jié)閥設(shè)置在所述進(jìn)液管上，用于調(diào)節(jié)流入進(jìn)液管的液體流量； 所述出液調(diào)節(jié)閥設(shè)置在所述出液管上，用于調(diào)節(jié)流出出液管的液體流量； 所述進(jìn)液調(diào)節(jié)閥以及所述出液調(diào)節(jié)閥分別與所述控制器連接，以使所述控制器根據(jù)預(yù)設(shè)的液體流量以及所述負(fù)載的當(dāng)前液體流量控制所述進(jìn)液調(diào)節(jié)閥以及所述出液調(diào)節(jié)閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述激光測量裝置，還包括:第一光隔離器； 所述第一光隔離器，設(shè)置在所述激光器與所述第一分束鏡之間的光路上，用于阻止回波激光射入所述激光器中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述激光測量裝置，還包括:第二光隔離器； 所述第二光隔離器，設(shè)置在所述第一分束鏡以及所述第二分束鏡之間的光路上，用于阻止回波激光到達(dá)所述第一分束鏡。
7.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述激光測量裝置，還包括:第一光學(xué)陷講； 所述第一光學(xué)陷阱，設(shè)置在由所述第一分束鏡以及所述第二分束鏡形成的光路延長線上，用于吸收經(jīng)由所述第二分束鏡透射的光。
8.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述激光測量裝置，還包括:第二光學(xué)陷講； 所述第二光學(xué)陷阱，設(shè)置在由所述第二分束鏡以及所述第四分束鏡形成的光路延長線上，用于吸收經(jīng)由所述第四分束鏡透射的光。
9.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述激光測量裝置，還包括:第三光學(xué)陷講； 所述第三光學(xué)陷阱，設(shè)置在由所述第一分束鏡以及所述光束反射單元形成的光路延長線上，用于吸收經(jīng)由所述光束反射單元透射的光。
10.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述激光測量裝置，還包括:光程補(bǔ)償器； 所述光程補(bǔ)償器，設(shè)置在所述光束反射單元以及所述第四分束鏡之間的光路上，用于增加所述進(jìn)液參考光的光程。
【文檔編號(hào)】G01F1/37GK104266691SQ201410538676
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年10月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月13日
【發(fā)明者】王濤, 張玉瑩, 陸耀東, 孫巖, 李鵬, 張麗雯, 王帥 申請人:北京光電技術(shù)研究所