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      拉曼探頭和可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)以及方法

      文檔序號(hào):6243992閱讀:372來(lái)源:國(guó)知局
      拉曼探頭和可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)以及方法
      【專利摘要】本發(fā)明提供了一種拉曼探頭和可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)以及方法,所述系統(tǒng)包括拉曼探頭、數(shù)控位移樣品臺(tái)、控制器;拉曼探頭安裝于數(shù)控位移樣品臺(tái)上,拉曼探頭與數(shù)控位移樣品臺(tái)可相對(duì)移動(dòng),拉曼探頭的信號(hào)輸出側(cè)設(shè)有光強(qiáng)探測(cè)單元;光強(qiáng)探測(cè)單元的輸出端連接至控制器,控制器根據(jù)光強(qiáng)探測(cè)單元輸出信號(hào)比較判斷樣品是否在焦點(diǎn)處,如果不在焦點(diǎn)處,發(fā)出指令控制數(shù)控位移樣品臺(tái)作相應(yīng)的位移,如此反復(fù)多次,直至樣品調(diào)節(jié)在拉曼探頭焦距處或設(shè)定的精度范圍內(nèi)。本發(fā)明能夠精確對(duì)焦,使拉曼信號(hào)最大化且穩(wěn)定;對(duì)比于現(xiàn)有商品化的增加固定距離套筒的探頭,本發(fā)明可對(duì)表面粗糙不平的樣品進(jìn)行直接檢測(cè),而不需要樣品前處理。
      【專利說(shuō)明】拉曼探頭和可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)以及方法

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及光學(xué)機(jī)械、儀器學(xué)領(lǐng)域,具體地,涉及一種拉曼探頭,以及在激光拉曼光譜測(cè)量或拉曼光譜儀中使用的可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)與方法。

      【背景技術(shù)】
      [0002]便攜式拉曼光譜儀具有體積小、速度快、現(xiàn)場(chǎng)化等優(yōu)點(diǎn),在藥品、食品安全、安檢等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。便攜式拉曼光譜儀一般由小型半導(dǎo)體激光器、拉曼光纖探頭、光譜儀及計(jì)算機(jī)系統(tǒng)構(gòu)成。其中,拉曼探頭的功能主要有兩方面,一方面將激光高效傳導(dǎo)并聚焦于待檢測(cè)樣品,另一方面高效收集和過(guò)濾拉曼散射信號(hào)并將其傳導(dǎo)至光譜儀。
      [0003]拉曼光譜的激發(fā)效率與激光線寬以及能量密度等有關(guān)。為了獲得較強(qiáng)的拉曼信號(hào),需要將激光精確地對(duì)準(zhǔn)聚焦于被測(cè)樣品以獲得較高的激光能量密度。因此,在大型拉曼測(cè)量系統(tǒng)中都配置了顯微聚焦系統(tǒng),操作人員借助顯微圖像進(jìn)行人工對(duì)焦。目前,商品化便攜式拉曼光譜儀系統(tǒng)因體積限制一般不含顯微聚焦系統(tǒng),而拉曼光纖探頭僅能通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)的方式對(duì)焦,操作麻煩,無(wú)法精確對(duì)焦,導(dǎo)致拉曼強(qiáng)度減弱,信號(hào)不穩(wěn)定等等。
      [0004]商品化的一種定距離探頭通過(guò)在探頭前加裝固定長(zhǎng)度套筒來(lái)固定測(cè)量距離從而確保聚焦的新型探頭。這種探頭在一定程度上簡(jiǎn)化了對(duì)焦操作過(guò)程,但使用這種探頭進(jìn)行測(cè)量時(shí),套筒必須與樣品進(jìn)行接觸,如果樣品表面不平整,將不能精確聚焦。


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0005]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷,本發(fā)明的目的是提供一種能夠精確自動(dòng)對(duì)焦使收集到的拉曼信號(hào)最大化的拉曼探頭、可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)以及方法。
      [0006]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,提供一種拉曼探頭,所述拉曼探頭包括第一透鏡、第一濾光片、反射鏡、第四透鏡、第二濾光片、第三濾光片、第四濾光片、第二透鏡、光強(qiáng)探測(cè)單元;其中:激光從光纖傳導(dǎo)進(jìn)入拉曼探頭后,由第一透鏡將其變成平行光,然后經(jīng)過(guò)第一濾光片對(duì)光譜進(jìn)行純化處理,再依次經(jīng)過(guò)與平行光呈45°設(shè)置的反射鏡反射、第二濾光片反射來(lái)改變光束路徑,最后由第四透鏡將激光聚焦于被測(cè)樣品;被測(cè)樣品被激光激發(fā)后發(fā)生拉曼散射,散射光和反射光反方向進(jìn)入拉曼探頭由第四透鏡收集,其中的拉曼散射光透過(guò)由第二濾光片及第四濾光片構(gòu)成的鏡片組,再經(jīng)由第二透鏡會(huì)聚耦合進(jìn)入光纖,非拉曼信號(hào)光由第二濾光片及第四濾光片構(gòu)成的鏡片組所阻擋抑制(反射或吸收),因此不能到達(dá)第二透鏡,其中被樣品反射回來(lái)的激光由第三濾光片反射,進(jìn)入光強(qiáng)探測(cè)單元;
      [0007]所述光強(qiáng)探測(cè)單元包括:第三透鏡、小孔以及光電轉(zhuǎn)換器件,所述小孔處于第三透鏡的焦點(diǎn)處;第三濾光片反射的激光經(jīng)第三透鏡聚焦,會(huì)聚后再經(jīng)過(guò)小孔,通過(guò)小孔照射在光電轉(zhuǎn)換器件上,被光電探測(cè)器件接收探測(cè)。
      [0008]優(yōu)選地,在所述第二濾光片之后以及所述第四濾光片之前設(shè)置第三濾光片,此時(shí),被樣品反射回來(lái)的激光一部分由第二濾光片反射,另一部分由第三濾光片反射,第三濾光片反射的激光進(jìn)入光強(qiáng)探測(cè)單元;第二濾光片透射的拉曼光再經(jīng)由所述第四濾光片、第二透鏡會(huì)聚耦合進(jìn)入光纖。
      [0009]優(yōu)選地,所述第二濾光片和第三濾光片為二色鏡,與光路成45°夾角設(shè)置,且所述第二濾光片和第三濾光片不平行,兩者對(duì)激光反射而對(duì)拉曼散射光透射。
      [0010]優(yōu)選地,所述反射鏡、第二濾光片、第三濾光片,均與光路成45°角;所述第一濾光片、第四濾光片則與光路成90°。
      [0011]上述拉曼探頭,當(dāng)被測(cè)樣品不在所述拉曼探頭的焦點(diǎn)處時(shí),激光將通過(guò)光路會(huì)聚于小孔的前方或后方處,僅小部分光能通過(guò)小孔,樣品離焦點(diǎn)越遠(yuǎn),能通過(guò)小孔的反射光越少;僅當(dāng)激光光斑正好聚焦于物體上時(shí),反射的激光的光斑將通過(guò)光路會(huì)聚于小孔,幾乎全部的反射光能將通過(guò)小孔,光電轉(zhuǎn)換器件接收到的光強(qiáng)信號(hào)最大。由于小孔的空間選擇性,在對(duì)焦?fàn)顟B(tài)下,大部分能量能夠通過(guò)小孔,此時(shí)光電轉(zhuǎn)換器件得到光強(qiáng)最大。這樣就將一個(gè)對(duì)焦的測(cè)距問(wèn)題轉(zhuǎn)化為一個(gè)光學(xué)上量化的光強(qiáng)測(cè)量問(wèn)題。
      [0012]根據(jù)本發(fā)明的第二方面,提供一種上述拉曼探頭組成的可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)系統(tǒng),包括拉曼探頭、數(shù)控位移樣品臺(tái)、控制器;所述拉曼探頭安裝于數(shù)控位移樣品臺(tái)上,拉曼探頭與數(shù)控位移樣品臺(tái)可相對(duì)移動(dòng),所述拉曼探頭的信號(hào)輸出側(cè)設(shè)有光強(qiáng)探測(cè)單元;所述光強(qiáng)探測(cè)單元的輸出端連接至控制器,控制器根據(jù)所述光強(qiáng)探測(cè)單元輸出信號(hào)比較判斷樣品是否在焦點(diǎn)處,如果不在焦點(diǎn)處,發(fā)出指令控制數(shù)控位移樣品臺(tái)作相應(yīng)的位移,如此反復(fù)多次,直至樣品調(diào)節(jié)在拉曼探頭焦距處或設(shè)定的精度范圍內(nèi)。
      [0013]根據(jù)本發(fā)明的第三方面,提供一種可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)方法,所述方法步驟如下:
      [0014]a)將待測(cè)樣品置于數(shù)控位移樣品臺(tái)上;
      [0015]b)將拉曼探頭置于數(shù)控位移樣品臺(tái)上方大于拉曼探頭焦距處;
      [0016]c)打開激光器輸出一激光,經(jīng)光纖進(jìn)入拉曼探頭,由第一透鏡將其變成平行光,然后經(jīng)過(guò)第一濾光片對(duì)光譜進(jìn)行純化處理,再依次經(jīng)過(guò)反射鏡反射、第二濾光片反射來(lái)改變光束路徑,最后由第四透鏡將激光聚焦于被測(cè)樣品;
      [0017]d)被測(cè)樣品被激光激發(fā)后發(fā)生拉曼散射,散射光和反射光反方向進(jìn)入拉曼探頭由第四透鏡收集,其中的拉曼散射光透過(guò)由第二濾光片及第四濾光片構(gòu)成的鏡片組,再經(jīng)由第二透鏡會(huì)聚耦合進(jìn)入光纖;非拉曼信號(hào)光由第二濾光片及第四濾光片構(gòu)成的鏡片組所阻擋抑制,因此不能到達(dá)第二透鏡,其中被樣品反射回來(lái)的激光由第三濾光片反射后進(jìn)入光強(qiáng)探測(cè)單元;
      [0018]e)光強(qiáng)探測(cè)單元將信號(hào)輸出到控制器,經(jīng)控制器控制數(shù)控位移樣品臺(tái)移動(dòng),直至收集到的信號(hào)最大,完成對(duì)焦。
      [0019]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有如下的有益效果:
      [0020]本發(fā)明中的技術(shù)創(chuàng)新避免了人為手動(dòng)操作,能夠精確對(duì)焦,使拉曼信號(hào)最大化且穩(wěn)定;對(duì)比于現(xiàn)有商品化的增加固定距離套筒的探頭,本發(fā)明技術(shù)可對(duì)表面粗糙不平的樣品進(jìn)行直接檢測(cè),而不需要樣品前處理。

      【專利附圖】

      【附圖說(shuō)明】
      [0021]通過(guò)閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述,本發(fā)明的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯:
      [0022]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例具有自動(dòng)對(duì)焦功能的拉曼探測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0023]圖2為本發(fā)明一實(shí)施例中光強(qiáng)探測(cè)單元的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0024]圖3為本發(fā)明一實(shí)施例中位移調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)流程圖;
      [0025]圖4為小孔取100微米情況下探頭焦平面與樣品之間的距離與光強(qiáng)關(guān)系曲線;
      [0026]圖中:100為拉曼探頭,200為數(shù)控位移樣品臺(tái),300為控制器;1為光纖,2為第一透鏡,3為第一濾光片,4為反射鏡,5為第四透鏡,6為第二濾光片,7為第三濾光片,8為第四濾光片,9為第二透鏡,10為光強(qiáng)探測(cè)單元,11為樣品,12為樣品臺(tái),13為控制器,14為第三透鏡,15為小孔,16為光電探測(cè)器件。

      【具體實(shí)施方式】
      [0027]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。以下實(shí)施例將有助于本領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)一步理解本發(fā)明,但不以任何形式限制本發(fā)明。應(yīng)當(dāng)指出的是,對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn)。這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
      [0028]如圖1所示,為本發(fā)明具有自動(dòng)對(duì)焦功能的拉曼探測(cè)裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖,包括拉曼探頭100,數(shù)控位移樣品臺(tái)200,控制器300 ;所述拉曼探頭100安裝于數(shù)控位移樣品臺(tái)200上,拉曼探頭100與數(shù)控位移樣品臺(tái)200可相對(duì)移動(dòng)。
      [0029]本實(shí)施例中,所述拉曼探頭100包括第一透鏡2、第一濾光片3、反射鏡4、第四透鏡5、第二濾光片6、第三濾光片7、第四濾光片8、第二透鏡9、光強(qiáng)探測(cè)單元10 ;所述光強(qiáng)探測(cè)單元10包括:第三透鏡14、小孔15以及光電轉(zhuǎn)換器件16。
      [0030]圖中:由第一透鏡2、第一濾光片3、反射鏡4、第二濾光片6、作為激光聚焦用的第四透鏡5構(gòu)成的傳導(dǎo)激光組件一,由作為拉曼光收集用的第四透鏡5、第二濾光片6、第三濾光片7、第四濾光片8、第二透鏡9構(gòu)成的傳導(dǎo)拉曼光及抑制雜散光組件二,由作為激光準(zhǔn)直用的第四透鏡5、第二濾光片6、第三濾光片7、光強(qiáng)探測(cè)單元10構(gòu)成的激光自動(dòng)測(cè)距對(duì)焦組件三。組件一、組件二和組件三構(gòu)成拉曼探頭100,所述拉曼探頭100安裝于數(shù)控位移樣品臺(tái)200上。
      [0031]沿著光纖1輸出光的方向依次設(shè)置第一透鏡2、第一濾光片3和反射鏡4,第一透鏡2、第一濾光片3與光路垂直,反射鏡4與光路成45度,沿著反射鏡4反射光的方向45度設(shè)置第二濾光片6,第二濾光片6與反射鏡4平行設(shè)置,在第二濾光片6的反射光路上垂直設(shè)置第四透鏡5,反向沿著第四透鏡5和第二濾光片6的光路方向依次設(shè)置第三濾光片7、第四濾光片8和第二透鏡9,第二透鏡9的另一側(cè)設(shè)置光纖。第三濾光片7與光路成45度設(shè)置,第四濾光片8和第二透鏡9與光路垂直,沿著第三濾光片7的反射光路一側(cè)依次設(shè)置第三透鏡14、小孔15以及光電轉(zhuǎn)換器件16,第三透鏡14、小孔15以及光電轉(zhuǎn)換器件16構(gòu)成光強(qiáng)探測(cè)單元10。
      [0032]激光從光纖1傳導(dǎo)進(jìn)入拉曼探頭100后,由第一透鏡2將其變成平行光,然后經(jīng)過(guò)第一濾光片3對(duì)光譜進(jìn)行純化處理,再依次經(jīng)過(guò)與平行光呈45°設(shè)置的反射鏡4反射、第二濾光片6反射來(lái)改變光束路徑,最后由第四透鏡5將激光聚焦于被測(cè)樣品,此處第四透鏡5起到激光聚焦的作用;被測(cè)樣品11被激光激發(fā)后發(fā)生拉曼散射,散射光和反射光反方向進(jìn)入拉曼探頭100由第四透鏡5收集,其中的拉曼散射光透過(guò)由第二濾光片6、第三濾光片7及第四濾光片8構(gòu)成的鏡片組,再經(jīng)由與光路垂直的第二透鏡9會(huì)聚耦合進(jìn)入光纖;非拉曼信號(hào)光由第二和第三濾光片6和7及第四濾光片8構(gòu)成的鏡片組所阻擋抑制(反射或吸收),因此不能到達(dá)第二透鏡9,其中被樣品反射回來(lái)的激光一部分由第二濾光片6反射,另一部分由第三濾光片7反射,第三濾光片7反射的激光進(jìn)入光強(qiáng)探測(cè)單元10。
      [0033]光強(qiáng)探測(cè)單元10的信號(hào)經(jīng)前置處理、放大、AD轉(zhuǎn)換后送至控制器300,控制器300根據(jù)信號(hào)比較判斷樣品是否在焦點(diǎn)處,如果不在焦點(diǎn)處,發(fā)出指令控制數(shù)控位移樣品臺(tái)200作相應(yīng)的位移,如此反復(fù)多次,直至樣品調(diào)節(jié)在探頭焦距處或設(shè)定的精度范圍內(nèi)。同時(shí),數(shù)控位移樣品臺(tái)200還可以進(jìn)行另外兩維的調(diào)節(jié),以使探頭工作在一個(gè)固定平面上。
      [0034]如圖2所示,所述光強(qiáng)探測(cè)單元10包括與第四透鏡5相同焦距的第三透鏡14、小孔15以及光電轉(zhuǎn)換器件16。該光強(qiáng)探測(cè)單元10用以探測(cè)收集光路的光強(qiáng),并將信號(hào)輸入控制器300,由控制器300調(diào)節(jié)數(shù)控位移樣品臺(tái)200,直至光強(qiáng)最大。具體地,傳導(dǎo)拉曼光及抑制雜散光組件的激光先經(jīng)過(guò)一個(gè)與第四透鏡5焦距一樣的第三透鏡14會(huì)聚后再經(jīng)過(guò)小孔15,最后被光電探測(cè)器件16接收探測(cè)。所述光電轉(zhuǎn)換器件16可以采用光電池,光電二極管,(XD,PSD或其他光強(qiáng)探測(cè)器件。如附圖4所示,第四透鏡5、第二濾光片6和第三濾光片7、第三透鏡14將第四透鏡5焦面圖像成像于其共軛面上及小孔14上;由于小孔的空間選擇性,在對(duì)焦?fàn)顟B(tài)下,大部分能量能夠通過(guò)小孔14,此時(shí)光電探測(cè)器件16得到光強(qiáng)最大。這樣就將一個(gè)對(duì)焦的測(cè)距問(wèn)題轉(zhuǎn)化為一個(gè)光學(xué)上量化的光強(qiáng)測(cè)量問(wèn)題。
      [0035]在一優(yōu)選實(shí)施方式中,第二濾光片6和第三濾光片7為45° 二色鏡,設(shè)置要求為在與光路成45°夾角,作用為對(duì)激光反射,而對(duì)拉曼散射光透射。第四濾光片8為抑制瑞利散射光的長(zhǎng)波通部件,設(shè)置要求為與光路成垂直關(guān)系。即反射鏡4、第二濾光片6和第三濾光片7,需要與光路成45°角;而對(duì)于第一濾光片3、第四濾光片8則需要與光路成90°。第二濾光片6反射的激光是雜散光,不被利用。
      [0036]本發(fā)明中,為了使結(jié)構(gòu)更加緊湊、減少部件、降低成本,第二透鏡5同時(shí)作為組件一中的激光聚焦透鏡、組件二中的拉曼光收集透鏡、組件三中的激光準(zhǔn)直透鏡,即同一個(gè)透鏡,由于光路的可逆性,該透鏡對(duì)于正方向和反方向通過(guò)它的不同類型的光所起的作用并不相同,從功能上區(qū)分為聚焦激光、收集拉曼光和準(zhǔn)直激光。具體如圖1所示部件5。第四透鏡5可以與光路垂直設(shè)置,也可以其他設(shè)置方式。
      [0037]本發(fā)明所述具有自動(dòng)對(duì)焦功能拉曼探測(cè)裝置不限于上述形式,還包括其他結(jié)構(gòu)形式。
      [0038]以圖1所示實(shí)施例為例,光強(qiáng)探測(cè)單元10具體工作為:
      [0039]a)經(jīng)光路準(zhǔn)直聚焦的激光作用于被測(cè)樣品上;
      [0040]b)經(jīng)物體反射后的激光,經(jīng)第四透鏡5進(jìn)行拉曼收集,透過(guò)45度放置的第二濾光片6,并在第三濾光片7上部分反射,反射光經(jīng)第三透鏡14聚焦,通過(guò)小孔15照射在光電轉(zhuǎn)換器件16上;所述第三透鏡14與第四透鏡5焦距一致;所述小孔15處于第三透鏡14的焦點(diǎn)處;
      [0041]c)當(dāng)被測(cè)樣品不在探頭焦點(diǎn)處時(shí),反射的激光將通過(guò)光路會(huì)聚于小孔15的前方或后方處,僅小部分光能通過(guò)小孔15,樣品離焦點(diǎn)越遠(yuǎn),能通過(guò)小孔的反射光越少;僅當(dāng)激光光斑正好聚焦于物體上時(shí)(此時(shí)光斑最小,即處于對(duì)焦?fàn)顟B(tài)),反射的激光的光斑將通過(guò)光路會(huì)聚于小孔15,幾乎全部的反射光能將通過(guò)小孔15,探測(cè)器接收到的光強(qiáng)信號(hào)最大。
      [0042]在本發(fā)明另一優(yōu)選實(shí)施方式中,所述數(shù)控位移樣品臺(tái)200中設(shè)有位移調(diào)節(jié)裝置和樣品臺(tái)12,該位移調(diào)節(jié)裝置是一種可在三維移動(dòng)的精確調(diào)整裝置,尤其是指能在三維移動(dòng)的步進(jìn)電機(jī)控制或壓電陶瓷控制的三維移動(dòng)裝置。由于探頭與樣品存在相對(duì)運(yùn)動(dòng),可將探頭固定,樣品作三維移動(dòng),也可以反過(guò)來(lái)將樣品固定,探頭作三維運(yùn)動(dòng),或者也可以采取探頭作一維運(yùn)動(dòng)與樣品作二維運(yùn)動(dòng)相結(jié)合的方式,樣品在與探頭輸出光束垂直的平面作二維相對(duì)移動(dòng)的情況特別適合于需要對(duì)多個(gè)位置進(jìn)行掃描檢測(cè)的情形,例如當(dāng)拉曼與薄層色譜等技術(shù)進(jìn)行聯(lián)用時(shí),需要對(duì)展開在薄層板上多個(gè)位置樣品進(jìn)行拉曼光譜測(cè)量。
      [0043]本發(fā)明上述實(shí)施例中的可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)系統(tǒng),所述位移調(diào)節(jié)裝置可與拉曼探頭100以及樣品臺(tái)12固定連接,拉曼探頭100可以與樣品臺(tái)12相對(duì)移動(dòng)。
      [0044]基于圖1所示的探頭和上述的探測(cè)裝置,其采用的可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)方法,步驟如下:
      [0045]a)將待測(cè)樣品11置于數(shù)控位移樣品臺(tái)上;
      [0046]b)將探頭置于數(shù)控位移樣品臺(tái)上方大于探頭焦距約3_5mm處;
      [0047]c)打開激光器輸出一激光,經(jīng)光纖進(jìn)入拉曼探頭,由第一透鏡2將其變成平行光,然后經(jīng)過(guò)第一濾光片3對(duì)光譜進(jìn)行純化處理,再依次經(jīng)過(guò)反射鏡4反射、第二濾光片6反射來(lái)改變光束路徑,最后由第四透鏡5將激光聚焦于被測(cè)樣品;
      [0048]d)被測(cè)樣品11被激光激發(fā)后發(fā)生拉曼散射,散射光和反射光反方向進(jìn)入拉曼探頭由第四透鏡5收集,其中的拉曼散射光透過(guò)由第二濾光片6和第三濾光片7及第四濾光片8構(gòu)成的鏡片組,再經(jīng)由第二透鏡9會(huì)聚耦合進(jìn)入光纖;非拉曼信號(hào)光由第二和第三濾光片6和7及第四濾光片8構(gòu)成的鏡片組所阻擋抑制(反射或吸收),因此不能到達(dá)第二透鏡9,其中被樣品反射回來(lái)的激光一部分由第二濾光片6反射,另一部分由第三濾光片7反射,第三濾光片7反射的激光進(jìn)入光強(qiáng)探測(cè)單元10 ;
      [0049]e)光強(qiáng)探測(cè)單元10將信號(hào)輸出到控制器,經(jīng)控制器控制數(shù)控位移樣品臺(tái)移動(dòng),直至收集到的信號(hào)最大,完成對(duì)焦。
      [0050]上述實(shí)施例中,控制器采用計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn),光電轉(zhuǎn)換器件16的信號(hào)經(jīng)放大電路、AD轉(zhuǎn)換進(jìn)入計(jì)算機(jī),計(jì)算機(jī)通過(guò)運(yùn)算控制位移調(diào)節(jié)裝置移動(dòng)(比如機(jī)控制位移調(diào)節(jié)裝置在豎直方向推進(jìn)等),直至收集到的信號(hào)最大,此時(shí)完成對(duì)焦。
      [0051]在本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施方式中,上述探測(cè)裝置中涉及的位移調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行位移調(diào)整時(shí)按照以下步驟,如圖3所示:
      [0052]a)拉曼探頭位于樣品臺(tái)外焦點(diǎn)距離外3_5mm處,初始光強(qiáng)信號(hào)為X(l ;
      [0053]b)控制位移調(diào)節(jié)裝置每向下移動(dòng)一個(gè)步距,測(cè)量此時(shí)光強(qiáng)信號(hào)為Xi ;
      [0054]c)當(dāng)相鄰兩次光強(qiáng)信號(hào)差值X1-Xg大于0時(shí),繼續(xù)控制位移調(diào)節(jié)裝置移動(dòng),直至小于0,位移控制器控制反向移動(dòng);
      [0055]d)根據(jù)實(shí)際對(duì)焦精度,可控制步驟c)過(guò)程中X1-XH小于0時(shí)縮小步進(jìn)值,并反復(fù)多次,直至光強(qiáng)差小于設(shè)定的最小值esp。
      [0056]圖4為小孔15取100微米情況下拉曼探頭100焦平面與樣品11之間的距離與光強(qiáng)的關(guān)系。由光強(qiáng)與拉曼探頭100距離關(guān)系可知,本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)焦點(diǎn)附近10微米以內(nèi)的精確控制,小孔15更小則精確度更高。
      [0057]以上對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是,本發(fā)明并不局限于上述特定實(shí)施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改,這并不影響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。
      【權(quán)利要求】
      1.一種拉曼探頭,其特征在于,所述拉曼探頭包括第一透鏡、第一濾光片、反射鏡、第四透鏡、第二濾光片、第三濾光片、第四濾光片、第二透鏡、光強(qiáng)探測(cè)單元;其中:激光從光纖傳導(dǎo)進(jìn)入拉曼探頭后,由第一透鏡將其變成平行光,然后經(jīng)過(guò)第一濾光片對(duì)光譜進(jìn)行純化處理,再依次經(jīng)過(guò)反射鏡反射、第二濾光片反射來(lái)改變光束路徑,最后由第四透鏡將激光聚焦于被測(cè)樣品;被測(cè)樣品被激光激發(fā)后發(fā)生拉曼散射,散射光和反射光反方向進(jìn)入拉曼探頭由第四透鏡收集,其中的拉曼散射光透過(guò)由第二濾光片及第四濾光片構(gòu)成的鏡片組,再經(jīng)由第二透鏡會(huì)聚耦合進(jìn)入光纖,非拉曼信號(hào)光由第二濾光片及第四濾光片構(gòu)成的鏡片組所阻擋抑制,因此不能到達(dá)第二透鏡,其中被樣品反射回來(lái)的激光由第三濾光片反射,進(jìn)入光強(qiáng)探測(cè)單元; 所述光強(qiáng)探測(cè)單元包括:第三透鏡、小孔以及光電轉(zhuǎn)換器件,所述小孔處于第三透鏡的焦點(diǎn)處;第三濾光片反射的激光經(jīng)第三透鏡聚焦,會(huì)聚后再經(jīng)過(guò)小孔,通過(guò)小孔照射在光電轉(zhuǎn)換器件上,被光電探測(cè)器件接收探測(cè)。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉曼探頭,其特征在于,在所述第二濾光片之后以及所述第四濾光片之前設(shè)置第三濾光片,此時(shí),被樣品反射回來(lái)的激光一部分由第二濾光片反射,另一部分由第三濾光片反射,第三濾光片反射的激光進(jìn)入光強(qiáng)探測(cè)單元;第二濾光片透射的拉曼光再經(jīng)由所述第四濾光片、第二透鏡會(huì)聚耦合進(jìn)入光纖。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拉曼探頭,其特征在于,所述第二濾光片和第三濾光片為45° 二色鏡,與光路成45°夾角設(shè)置,且所述第二濾光片和第三濾光片不平行,兩者對(duì)激光高反射而對(duì)拉曼散射光高透射。
      4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拉曼探頭,其特征在于,所述反射鏡、第二濾光片、第三濾光片,均與光路成45°角;所述第一濾光片、第四濾光片則與光路成90°。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的拉曼探頭,其特征在于,當(dāng)被測(cè)樣品不在所述拉曼探頭的焦點(diǎn)處時(shí),激光將通過(guò)光路會(huì)聚于小孔的前方或后方處,僅小部分光能通過(guò)小孔,樣品離焦點(diǎn)越遠(yuǎn),能通過(guò)小孔的反射光越少;僅當(dāng)激光光斑正好聚焦于物體上時(shí),反射的激光的光斑將通過(guò)光路會(huì)聚于小孔,幾乎全部的反射光能將通過(guò)小孔,光電轉(zhuǎn)換器件接收到的光強(qiáng)信號(hào)最大。
      6.一種包含權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述拉曼探頭的可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)包括拉曼探頭、數(shù)控位移樣品臺(tái)、控制器;所述拉曼探頭安裝于數(shù)控位移樣品臺(tái)上,拉曼探頭與數(shù)控位移樣品臺(tái)可相對(duì)移動(dòng),所述拉曼探頭的信號(hào)輸出側(cè)設(shè)有光強(qiáng)探測(cè)單元;所述光強(qiáng)探測(cè)單元的輸出端連接至控制器,控制器根據(jù)所述光強(qiáng)探測(cè)單元輸出信號(hào)比較判斷樣品是否在焦點(diǎn)處,如果不在焦點(diǎn)處,發(fā)出指令控制數(shù)控位移樣品臺(tái)作相應(yīng)的位移,如此反復(fù)多次,直至樣品調(diào)節(jié)在拉曼探頭焦距處或設(shè)定的精度范圍內(nèi)。
      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述數(shù)控位移樣品臺(tái)中設(shè)有位移調(diào)節(jié)裝置和樣品臺(tái),該位移調(diào)節(jié)裝置是一種可在三維移動(dòng)的精確調(diào)整裝置,所述位移調(diào)節(jié)裝置與拉曼探頭以及樣品臺(tái)固定連接,拉曼探頭能與樣品臺(tái)相對(duì)移動(dòng)。
      8.一種可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)方法,其特征在于所述方法步驟如下: a)將待測(cè)樣品置于數(shù)控位移樣品臺(tái)上; b)將拉曼探頭置于數(shù)控位移樣品臺(tái)上方大于拉曼探頭焦距處; c)打開激光器輸出一激光,經(jīng)光纖進(jìn)入拉曼探頭,由第一透鏡將其變成平行光,然后經(jīng)過(guò)第一濾光片對(duì)光譜進(jìn)行純化處理,再依次經(jīng)過(guò)反射鏡反射、第二濾光片反射來(lái)改變光束路徑,最后由第四透鏡將激光聚焦于被測(cè)樣品; d)被測(cè)樣品被激光激發(fā)后發(fā)生拉曼散射,散射光和反射光反方向進(jìn)入拉曼探頭由第四透鏡收集,其中的拉曼散射光透過(guò)由第二濾光片及第四濾光片構(gòu)成的鏡片組,再經(jīng)由第二透鏡會(huì)聚耦合進(jìn)入光纖;非拉曼信號(hào)光由第二濾光片及第四濾光片構(gòu)成的鏡片組所阻擋抑制,因此不能到達(dá)第二透鏡,其中被樣品反射回來(lái)的激光由第三濾光片反射后進(jìn)入光強(qiáng)探測(cè)單元; e)光強(qiáng)探測(cè)單元將信號(hào)輸出到控制器,經(jīng)控制器控制數(shù)控位移樣品臺(tái)移動(dòng),直至收集到的信號(hào)最大,完成對(duì)焦。
      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可自動(dòng)對(duì)焦的拉曼信號(hào)探測(cè)方法,其特征在于,所述控制器控制數(shù)控位移樣品臺(tái)移動(dòng),所述數(shù)控位移樣品臺(tái)設(shè)有位移調(diào)節(jié)裝置和樣品臺(tái),所述位移調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行位移調(diào)整時(shí)按照以下步驟: a)拉曼探頭位于樣品臺(tái)外焦點(diǎn)距離外3-5_處,初始光強(qiáng)信號(hào)為Xtl; b)控制位移調(diào)節(jié)裝置向下移動(dòng)一個(gè)步距,測(cè)量此時(shí)光強(qiáng)信號(hào)為Xi; c)當(dāng)相鄰兩次光強(qiáng)信號(hào)差值X1-Xg大于O時(shí),繼續(xù)控制位移調(diào)節(jié)裝置移動(dòng),直至X1-Xp1小于O,位移控制器控制反向移動(dòng); d)根據(jù)實(shí)際對(duì)焦精度,可控制步驟c)過(guò)程中X1-Xg小于O時(shí)縮小步進(jìn)值,并反復(fù)多次,直至光強(qiáng)差小于設(shè)定的最小值esp。
      【文檔編號(hào)】G01N21/65GK104316506SQ201410541693
      【公開日】2015年1月28日 申請(qǐng)日期:2014年10月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月14日
      【發(fā)明者】黃梅珍, 孫振華, 季蕓, 余鎮(zhèn)崗, 汪洋, 宋彪 申請(qǐng)人:上海交通大學(xué)
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