用于硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明為一種用于硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)，包括樣品進(jìn)氣氣路、吹掃氣進(jìn)氣氣路、截止閥、過(guò)濾器、氣路三通、流量計(jì)、分析單元和尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于：所述的采樣系統(tǒng)設(shè)有一路樣品進(jìn)氣氣路和兩路吹掃氣進(jìn)氣氣路，所述的過(guò)濾器和流量計(jì)設(shè)于進(jìn)入分析單元的氣路上，所有尾氣都進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)。采樣系統(tǒng)中樣品進(jìn)氣氣路串接第一減壓閥后與第一氣路三通連接；第一吹掃氣進(jìn)氣氣路串接第二減壓閥后再和第一氣路三通連接，在第二減壓閥和第一氣路三通之間設(shè)有第一截止閥；第二吹掃氣進(jìn)氣氣路串接第三減壓閥后直接連接到尾氣處理系統(tǒng)上。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了在硅烷采樣中排除了空氣干擾，減少實(shí)驗(yàn)誤差，同時(shí)保障了采樣的安全性。
【專利說(shuō)明】用于硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種色譜分析的采樣系統(tǒng)，特別是公開一種針對(duì)硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)，通過(guò)吹掃氣路和尾氣吸收裝置以及合理的氣路設(shè)計(jì)使得在硅烷采樣中排除了空氣干擾，也提供了采樣安全性。

【背景技術(shù)】
[0002]硅烷在常溫常壓下為無(wú)色、有毒、非?；钴S的壓縮氣體。在室溫下著火，在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒。在色譜分析硅烷的采樣過(guò)程中，進(jìn)樣管道殘留的空氣對(duì)實(shí)驗(yàn)的分析結(jié)果有很大影響，并且可能會(huì)造成管道堵塞和損壞儀器。且進(jìn)樣分析后殘留的硅烷可能會(huì)產(chǎn)生安全隱患。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，設(shè)計(jì)一種用于硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)，采用吹掃氣路和尾氣吸收裝置以及合理的氣路設(shè)計(jì)并利用高純氦氣在采樣系統(tǒng)進(jìn)行分析的前后對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行吹掃，確保管路無(wú)殘留空氣，使得在硅烷采樣中排除了空氣干擾，減少實(shí)驗(yàn)誤差，同時(shí)保障了采樣的安全性。
[0004]本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種用于硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)，包括樣品進(jìn)氣氣路、吹掃氣進(jìn)氣氣路、截止閥、過(guò)濾器、氣路三通、流量計(jì)、分析單元和尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于:所述的采樣系統(tǒng)設(shè)有一路樣品進(jìn)氣氣路和兩路吹掃氣進(jìn)氣氣路，所述的過(guò)濾器10和流量計(jì)11設(shè)于進(jìn)入分析單元12的氣路上，所有尾氣都進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)13。
[0005]所述的采樣系統(tǒng)中樣品進(jìn)氣氣路I串接第一減壓閥4后與第一氣路三通15連接；第一吹掃氣進(jìn)氣氣路2串接第二減壓閥5后再和第一氣路三通15連接，在第二減壓閥5和第一氣路三通15之間設(shè)有第一截止閥7 ;第二吹掃氣進(jìn)氣氣路3串接第三減壓閥6后直接連接到尾氣處理系統(tǒng)13上。
[0006]所述的第一氣路三通15和第二氣路三通16相連，再依次串接第二截止閥8、過(guò)濾器10和流量計(jì)11后與分析單元12連接，第二氣路三通16與第三氣路三通17間還串接有第三截止閥9，分析單元12排出的尾氣通過(guò)第三氣路三通17接入尾氣處理系統(tǒng)13。
[0007]所述的尾氣處理系統(tǒng)13采用裝有10%Na0H的溶液的洗氣瓶，所述的洗氣瓶上部設(shè)有三路氣路，一路連接第三氣路三通17，接收第三氣路三通17排出的尾氣，一路連接第三減壓閥6，接收第三減壓閥6排出的吹掃氣，另一路連接排空口 14。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明設(shè)計(jì)采用兩路吹掃氣進(jìn)氣氣路進(jìn)行吹掃管路，避免了管路中的空氣和硅烷殘留對(duì)色譜分析造成的不利因素，減少實(shí)驗(yàn)誤差，也加強(qiáng)了硅烷采樣的安全性。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是本發(fā)明采樣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中:1、樣品進(jìn)氣氣路；2、第一吹掃氣進(jìn)氣氣路；3、第二吹掃氣進(jìn)氣氣路；4、第一減壓閥；5、第二減壓閥；6、第三減壓閥；7、第一截止閥；8、第二截止閥；9、第三截止閥；10、過(guò)濾器；11、流量計(jì)；12、分析單元；13、尾氣處理系統(tǒng)；14、排空口；15、第一氣路三通；16、第二氣路三通；17、第三氣路三通。

【具體實(shí)施方式】
[0011]根據(jù)附圖，本發(fā)明一種用于硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)，包括樣品進(jìn)氣氣路、吹掃氣進(jìn)氣氣路、截止閥、過(guò)濾器、氣路三通、流量計(jì)、分析單元和尾氣處理系統(tǒng)。
[0012]本發(fā)明采樣系統(tǒng)設(shè)有一路樣品進(jìn)氣氣路I和兩路吹掃氣進(jìn)氣氣路，即第一吹掃氣進(jìn)氣氣路2和第二吹掃氣進(jìn)氣氣路3。過(guò)濾器10和流量計(jì)11設(shè)于進(jìn)入分析單元12的氣路上，采用系統(tǒng)所有的尾氣都進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)13。
[0013]本發(fā)明采樣系統(tǒng)中樣品進(jìn)氣氣路I串接第一減壓閥4后與第一氣路三通15連接。第一吹掃氣進(jìn)氣氣路2串接第二減壓閥5后再和第一氣路三通15連接，在第二減壓閥5和第一氣路三通15之間設(shè)有第一截止閥7。第二吹掃氣進(jìn)氣氣路3串接第三減壓閥6后直接連接到尾氣處理系統(tǒng)13上。第一氣路三通15和第二氣路三通16相連，再依次串接第二截止閥8、過(guò)濾器10和流量計(jì)11后與分析單元12連接。第二氣路三通16與第三氣路三通17間還串接有第三截止閥9。分析單元12排出的尾氣通過(guò)第三氣路三通17接入尾氣處理系統(tǒng)13。尾氣處理系統(tǒng)13采用裝有10%Na0H的溶液的洗氣瓶，洗氣瓶上部設(shè)有三路氣路，一路連接第三氣路三通17，接收第三氣路三通17排出的尾氣，一路連接第三減壓閥6，接收第三減壓閥6排出的吹掃氣，另一路連接排空口 14。
[0014]本發(fā)明采樣工作具體步驟如下:
(I)打開第一吹掃氣進(jìn)氣開關(guān)，通過(guò)第一吹掃氣進(jìn)氣氣路2并利用第二減壓閥5控制吹掃氣的壓力和流量，打開第一截止閥7和第三截止閥9，對(duì)采用系統(tǒng)氣路開始吹掃，通過(guò)打壓方式吹3?5遍。
[0015](2)關(guān)閉第三截止閥9并打開第二截止閥8，對(duì)氣路開始吹掃，通過(guò)打壓方式吹至3?5遍。
[0016](3)關(guān)閉第一截止閥7，關(guān)閉第三截止閥9并打開第二截止閥8，打開樣品進(jìn)氣氣路I (硅烷)，通過(guò)調(diào)第一節(jié)減壓閥4，同時(shí)利用第二減壓閥5控制氣體壓力和流量，對(duì)氣路進(jìn)行吹掃，通過(guò)打壓方式吹至3?5遍。
[0017](4)關(guān)閉第三截止閥9并打開第二截止閥8，調(diào)節(jié)第二減壓閥5將流量調(diào)節(jié)到所需大小。至此采樣完成。第二吹掃氣進(jìn)氣氣路3 —直在第三減壓閥6的調(diào)節(jié)下控制小流量氣體對(duì)洗氣瓶進(jìn)行吹掃。
[0018](5)采樣完成后關(guān)閉樣品進(jìn)氣開關(guān)和第一減壓閥4，重復(fù)上述第(I)和第(2)步驟，保證整個(gè)管路中殘余硅烷被吹盡。
[0019]綜合上述步驟，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了硅烷采樣。避免了管路的空氣和硅烷殘留對(duì)色譜分析造成的不利因素，也加強(qiáng)了硅烷采樣的安全性。
[0020]以上所述為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，凡依本發(fā)明申請(qǐng)公開的專利描述范圍所作的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬于本發(fā)明專利要求保護(hù)的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種用于硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)，包括樣品進(jìn)氣氣路、吹掃氣進(jìn)氣氣路、截止閥、過(guò)濾器、氣路三通、流量計(jì)、分析單元和尾氣處理系統(tǒng)，其特征在于:所述的采樣系統(tǒng)設(shè)有一路樣品進(jìn)氣氣路和兩路吹掃氣進(jìn)氣氣路，所述的過(guò)濾器(10)和流量計(jì)(11)設(shè)于進(jìn)入分析單元(12)的氣路上，所有尾氣都進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)(13)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)，其特征在于:所述的采樣系統(tǒng)中樣品進(jìn)氣氣路(I)串接第一減壓閥(4)后與第一氣路三通(15)連接；第一吹掃氣進(jìn)氣氣路(2)串接第二減壓閥(5)后再和第一氣路三通(15)連接，在第二減壓閥(5)和第一氣路三通(15)之間設(shè)有第一截止閥(7);第二吹掃氣進(jìn)氣氣路(3)串接第三減壓閥(6)后直接連接到尾氣處理系統(tǒng)(13)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)，其特征在于:所述的第一氣路三通(15)和第二氣路三通(16)相連，再依次串接第二截止閥(8)、過(guò)濾器(10)和流量計(jì)(11)后與分析單元(12)連接，第二氣路三通(16)與第三氣路三通(17)間還串接有第三截止閥(9 )，分析單元(12 )排出的尾氣通過(guò)第三氣路三通(17 )接入尾氣處理系統(tǒng)(13 )。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于硅烷色譜分析的采樣系統(tǒng)，其特征在于:所述的尾氣處理系統(tǒng)(13)采用裝有10%Na0H的溶液的洗氣瓶，所述的洗氣瓶上部設(shè)有三路氣路，一路連接第三氣路三通(17)，接收第三氣路三通(17)排出的尾氣，一路連接第三減壓閥(6)，接收第三減壓閥(6 )排出的吹掃氣，另一路連接排空口( 14 )。
【文檔編號(hào)】G01N30/20GK104316625SQ201410618149
【公開日】2015年1月28日 申請(qǐng)日期:2014年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月6日
【發(fā)明者】莊鴻濤, 郁光, 方華 申請(qǐng)人:上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司