輸送裝置以及檢查裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供輸送裝置以及檢查裝置。本實(shí)用新型的輸送裝置具有：基部；被固定于基部的第一支承部；被支承于第一支承部的吸附管嘴；能夠相對(duì)于第一支承部在Y方向移動(dòng)的第一移動(dòng)部；被支承于第一移動(dòng)部的吸附管嘴；能夠在基部沿X方向移動(dòng)的第二支承部；被支承于第二支承部的吸附管嘴；能夠相對(duì)于第二支承部在Y方向移動(dòng)的第二移動(dòng)部；被支承于第二移動(dòng)部的吸附管嘴；使第一移動(dòng)部、第二移動(dòng)部一體地在Y方向移動(dòng)并使吸附管嘴與吸附管嘴的離開(kāi)距離變化的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)；以及使第一支承部、第二支承部的離開(kāi)距離變化的X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】輸送裝置以及檢查裝置
[0001]本申請(qǐng)是中國(guó)申請(qǐng)?zhí)枮?01320381990.9的實(shí)用新型專(zhuān)利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)(原申請(qǐng)的名稱(chēng)為“輸送裝置以及檢查裝置”，原申請(qǐng)的申請(qǐng)日為2013年6月28日)。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本實(shí)用新型涉及輸送裝置以及檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0003]以往，公知有例如檢查IC器件等電子部件的電氣特性的檢查裝置。
[0004]上述檢查裝置構(gòu)成為，從供給托盤(pán)向檢查部供給電子部件，對(duì)被供給到檢查部的電子部件的電氣特性進(jìn)行檢查，在該檢查結(jié)束后，將電子部件從檢查部回收到回收托盤(pán)。另夕卜，收納于供給托盤(pán)的電子部件被暫時(shí)轉(zhuǎn)移到梭，由梭將其輸送到檢查部附近。在梭上設(shè)置有托盤(pán)，該托盤(pán)形成有凹槽(pocket)，在該凹槽收納電子部件。
[0005]從供給托盤(pán)到托盤(pán)的電子部件的輸送由供給機(jī)器人執(zhí)行。供給機(jī)器人具有多個(gè)吸附管嘴，利用各吸附管嘴吸附保持供給托盤(pán)的凹槽內(nèi)的電子部件，并在將所保持的電子部件轉(zhuǎn)移到托盤(pán)的凹槽后釋放該電子部件，由此將電子部件從供給托盤(pán)輸送到托盤(pán)。作為這種供給機(jī)器人，例如公知有專(zhuān)利文獻(xiàn)I所記載的供給機(jī)器人。
[0006]然而，一般的供給機(jī)器人的多個(gè)吸附管嘴的配設(shè)間距(彼此的位置關(guān)系)是固定的，所以會(huì)產(chǎn)生以下的問(wèn)題。即，設(shè)置于供給托盤(pán)的多個(gè)凹槽的配設(shè)間距與設(shè)置于托盤(pán)的多個(gè)凹槽的配設(shè)間距不一定相等。假設(shè)在設(shè)置于供給托盤(pán)的多個(gè)凹槽的配設(shè)間距與設(shè)置于托盤(pán)的多個(gè)凹槽的配設(shè)間距不同的情況下，則無(wú)法將保持于各吸附管嘴的電子部件統(tǒng)一釋放到設(shè)置于托盤(pán)的凹槽內(nèi)，需要針對(duì)各吸附管嘴一個(gè)一個(gè)地按順序進(jìn)行相對(duì)于凹槽的對(duì)位、以及將電子部件釋放到該凹槽內(nèi)。在上述方法中會(huì)產(chǎn)生如下問(wèn)題:從供給托盤(pán)到托盤(pán)的電子部件的輸送過(guò)于花費(fèi)時(shí)間，無(wú)法進(jìn)行順利的檢查。
[0007]為了解決上述問(wèn)題，公知有專(zhuān)利文獻(xiàn)I那樣的能夠改變吸附管嘴的配設(shè)間距的機(jī)器人，在這種結(jié)構(gòu)中，由于部件把持部旋轉(zhuǎn)，所以需要用于修正部件把持部的旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，通常會(huì)導(dǎo)致部件個(gè)數(shù)增加，根據(jù)情況不同，存在導(dǎo)致機(jī)器人大型化的問(wèn)題。
[0008]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2006-17575號(hào)公報(bào)
實(shí)用新型內(nèi)容
[0009]本實(shí)用新型的目的在于:在能夠使部件保持部的配設(shè)間距變化的輸送裝置中，提供部件個(gè)數(shù)少的輸送裝置以及檢查裝置。
[0010]本實(shí)用新型是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠通過(guò)以下的方式或者應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0011]上述目的通過(guò)下述的本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)。
[0012]本實(shí)用新型的輸送裝置的特征在于，在將相互正交的三個(gè)方向設(shè)為第一方向、第二方向以及第三方向時(shí)，上述輸送裝置具有:基部；第一支承部，該第一支承部被固定于上述基部，在動(dòng)作時(shí)，上述第一支承部相對(duì)于上述基部相對(duì)位置不變；第一部件保持部，該第一部件保持部被支承于上述第一支承部，設(shè)置成能夠相對(duì)于上述第一支承部在上述第三方向移動(dòng)，并且保持部件；第一移動(dòng)部，該第一移動(dòng)部被支承于上述第一支承部，能夠相對(duì)于上述第一支承部在上述第二方向移動(dòng)；第二部件保持部，該第二部件保持部被支承于上述第一移動(dòng)部，相對(duì)于上述第一部件保持部位于上述第二方向，并且設(shè)置成能夠相對(duì)于上述第一移動(dòng)部在上述第三方向移動(dòng)，并且保持部件；第二支承部，該第二支承部被支承于上述基部，相對(duì)于上述第一支承部位于上述第一方向，并且能夠相對(duì)于上述基部在上述第一方向移動(dòng)；第三部件保持部，該第三部件保持部被支承于上述第二支承部，設(shè)置成能夠相對(duì)于上述第二支承部在上述第三方向移動(dòng)，并且保持部件；第二移動(dòng)部，該第二移動(dòng)部被支承于上述第二支承部，能夠相對(duì)于上述第二支承部在上述第二方向移動(dòng)；第四部件保持部，該第四部件保持部被支承于上述第二移動(dòng)部，相對(duì)于上述第三部件保持部位于上述第二方向，并且設(shè)置成能夠相對(duì)于上述第二移動(dòng)部在上述第三方向移動(dòng)，并且保持部件；第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述第一移動(dòng)部和上述第二移動(dòng)部一體地在上述第二方向移動(dòng)，使上述第一部件保持部與上述第二部件保持部在上述第二方向的離開(kāi)距離以及上述第三部件保持部與上述第四部件保持部在上述第二方向的離開(kāi)距離一起變化；以及第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述第二支承部在上述第一方向移動(dòng)，使上述第一支承部與上述第二支承部在上述第一方向的離開(kāi)距離變化。
[0013]通過(guò)形成為上述結(jié)構(gòu)，形成為部件個(gè)數(shù)的少的輸送裝置。
[0014]在本實(shí)用新型的輸送裝置中，優(yōu)選形成為:上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)的至少一部分被支承于上述基部。
[0015]由此，裝置的結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。
[0016]在本實(shí)用新型的輸送裝置中，優(yōu)選形成為:上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有:第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪和第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪，它們?cè)谏鲜龅诙较螂x開(kāi)；第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩，該第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩掛設(shè)于上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪與上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪之間；以及第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用驅(qū)動(dòng)源，該第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用驅(qū)動(dòng)源使上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪和上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪的至少一方旋轉(zhuǎn)，從而使上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩旋轉(zhuǎn)，至少上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪以及上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪分別由上述基部支承為能夠旋轉(zhuǎn)。
[0017]由此，第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。另外，能夠?qū)崿F(xiàn)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)部件個(gè)數(shù)的減少，所以能夠?qū)崿F(xiàn)伴隨于此的小型化。
[0018]在本實(shí)用新型的輸送裝置中，優(yōu)選形成為:上述第一移動(dòng)部以及上述第二移動(dòng)部分別直接或者間接地與上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩連結(jié)，伴隨著上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩的旋轉(zhuǎn)，上述第一移動(dòng)部相對(duì)于上述第一支承部在上述第二方向移動(dòng)，并且上述第二移動(dòng)部相對(duì)于上述第二支承部在上述第二方向移動(dòng)。
[0019]由此，能夠簡(jiǎn)單并且可靠地使被固定于第一移動(dòng)部的第二部件保持部以及被固定于第二移動(dòng)部的第四部件保持部在第二方向移動(dòng)。
[0020]在本實(shí)用新型的輸送裝置中，優(yōu)選形成為:上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)還具有:第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第三引導(dǎo)輪和第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第四引導(dǎo)輪，它們以能夠旋轉(zhuǎn)的方式固定于上述第一支承部，且在上述第二方向離開(kāi)；第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩，該第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩掛設(shè)于上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第三引導(dǎo)輪與上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第四引導(dǎo)輪之間；傳遞部，該傳遞部連結(jié)上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪與上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第三引導(dǎo)輪，且將上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪的旋轉(zhuǎn)傳遞到上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第三引導(dǎo)輪；以及連結(jié)部，該連結(jié)部連結(jié)上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩與上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩，上述第一移動(dòng)部以及上述第二移動(dòng)部分別與上述連結(jié)部連結(jié)。
[0021 ] 由此，能夠使第一移動(dòng)部以及第二移動(dòng)部均衡地在第二方向移動(dòng)。
[0022]在本實(shí)用新型的輸送裝置中，優(yōu)選形成為:上述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用驅(qū)動(dòng)源被支承于上述基部。
[0023]由此，裝置的結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。
[0024]在本實(shí)用新型的輸送裝置中，優(yōu)選形成為:上述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的至少一部分被支承于上述基部。
[0025]由此，裝置的結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。
[0026]在本實(shí)用新型的輸送裝置中，優(yōu)選形成為:上述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有:第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪和第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪，它們?cè)谏鲜龅谝环较螂x開(kāi)；第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩，該第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩掛設(shè)于上述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪與上述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪之間；以及第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用驅(qū)動(dòng)源，該第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用驅(qū)動(dòng)源使上述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪和上述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪的至少一方旋轉(zhuǎn)，從而使上述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩旋轉(zhuǎn)，至少上述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪以及上述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪分別由上述基部支承為能夠旋轉(zhuǎn)。
[0027]由此，第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。
[0028]在本實(shí)用新型的輸送裝置中，優(yōu)選形成為:上述第一支承部以及上述第二支承部分別呈在上述第二方向以及上述第三方向兩個(gè)方向延展的板狀。
[0029]由此，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化。
[0030]在本實(shí)用新型的輸送裝置中，優(yōu)選形成為:上述第一部件保持部、上述第二部件保持部、上述第三部件保持部以及上述第四部件保持部分別具有通過(guò)吸附來(lái)保持對(duì)象物的吸附管嘴。
[0031]由此，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)保持對(duì)象物。
[0032]本實(shí)用新型的輸送裝置的特征在于，在將相互正交的兩個(gè)方向設(shè)為第一方向以及第二方向時(shí)，上述輸送裝置具有:第一部件保持部，該第一部件保持部保持部件；第二部件保持部，該第二部件保持部相對(duì)于上述第一部件保持部位于上述第二方向，且保持部件；第三部件保持部，該第三部件保持部相對(duì)于上述第一部件保持部位于上述第一方向，且保持部件；以及第四部件保持部，該第四部件保持部相對(duì)于上述第三部件保持部位于上述第二方向，且保持部件，上述第三部件保持部以及上述第四部件保持部一體地相對(duì)于上述第一部件保持部以及上述第二部件保持部在上述第一方向移動(dòng)，上述第二部件保持部以及上述第四部件保持部一體地相對(duì)于上述第一部件保持部以及上述第三部件保持部在上述第二方向移動(dòng)。
[0033]通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，形成部件個(gè)數(shù)少的輸送裝置。
[0034]本實(shí)用新型的檢查裝置具有上述的輸送裝置、和進(jìn)行對(duì)象物的檢查的檢查部，構(gòu)成為利用上述輸送裝置將上述對(duì)象物輸送到上述檢查部。[0035]由此，得到部件個(gè)數(shù)少的檢查裝置。
[0036]本實(shí)用新型的檢查裝置的特征在于，在將相互正交的三個(gè)方向設(shè)為第一方向、第二方向以及第三方向時(shí)，上述檢查裝置具有:基部；第一支承部，該第一支承部被固定于上述基部，在動(dòng)作時(shí)，上述第一支承部相對(duì)于上述基部相對(duì)位置不變；第一部件保持部，該第一部件保持部被支承于上述第一支承部，設(shè)置成能夠相對(duì)于上述第一支承部在上述第三方向移動(dòng)，并且保持部件；第一移動(dòng)部，該第一移動(dòng)部被支承于上述第一支承部，能夠相對(duì)于上述第一支承部在上述第二方向移動(dòng)；第二部件保持部，該第二部件保持部被支承于上述第一移動(dòng)部，相對(duì)于上述第一部件保持部位于上述第二方向，并且設(shè)置成能夠相對(duì)于上述第一移動(dòng)部在上述第三方向移動(dòng)，并且保持部件；第二支承部，該第二支承部被支承于上述基部，相對(duì)于上述第一支承部位于上述第一方向，并且能夠相對(duì)于上述基部在上述第一方向移動(dòng)；第三部件保持部，該第三部件保持部被支承于上述第二支承部，設(shè)置成能夠相對(duì)于上述第二支承部在上述第三方向移動(dòng)，并且保持部件；第二移動(dòng)部，該第二移動(dòng)部被支承于上述第二支承部，能夠相對(duì)于上述第二支承部在上述第二方向移動(dòng)；第四部件保持部，該第四部件保持部被支承于上述第二移動(dòng)部，相對(duì)于上述第三部件保持部位于上述第二方向，并且設(shè)置成能夠相對(duì)于上述第二移動(dòng)部在上述第三方向移動(dòng)，并且保持部件；第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述第一移動(dòng)部和上述第二移動(dòng)部一體地在上述第二方向移動(dòng)，使上述第一部件保持部與上述第二部件保持部在上述第二方向的離開(kāi)距離以及上述第三部件保持部與上述第四部件保持部在上述第二方向的離開(kāi)距離一起變化；第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述第二支承部在上述第一方向移動(dòng)，使上述第一支承部與上述第二支承部在上述第一方向的離開(kāi)距離變化；以及檢查部，該檢查部對(duì)由上述第一部件保持部、上述第二部件保持部、上述第三部件保持部和上述第四部件保持部保持的各部件進(jìn)行檢查。
[0037]由此，得到部件個(gè)數(shù)少的檢查裝置。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0038]圖1是表示本實(shí)用新型的檢查裝置的第一實(shí)施方式的簡(jiǎn)要俯視圖。
[0039]圖2是圖1所示的檢查裝置所具有的供給機(jī)器人的手單元的立體圖。
[0040]圖3是圖1所示的檢查裝置所具有的供給機(jī)器人的手單元的俯視圖。
[0041]圖4是圖2所示的手單元所具有的第一支承部的俯視圖。
[0042]圖5是圖2所示的手單元所具有的第二支承部的俯視圖。
[0043]圖6是圖2所示的手單元所具有的第三支承部的俯視圖。
[0044]圖7是圖2所示的手單元所具有的第四支承部的俯視圖。
[0045]圖8是表示圖2所示的手單元所具有的X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的俯視圖。
[0046]圖9是表示圖2所示的手單元所具有的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的俯視圖。
[0047]圖10是表示圖2所示的手單元所具有的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的俯視圖。
[0048]圖11是圖1所示的檢查裝置所具有的檢查用機(jī)器人的手單元的立體圖。
[0049]圖12是對(duì)利用圖1所示的檢查裝置檢查電子部件的步驟進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。
[0050]圖13是對(duì)利用圖1所示的檢查裝置檢查電子部件的步驟進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。
[0051]圖14是對(duì)利用圖1所示的檢查裝置檢查電子部件的步驟進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。
[0052]圖15是對(duì)利用圖1所示的檢查裝置檢查電子部件的步驟進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。[0053]圖16是對(duì)利用圖1所示的檢查裝置檢查電子部件的步驟進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。
[0054]圖17是對(duì)利用圖1所示的檢查裝置檢查電子部件的步驟進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。
[0055]圖18是對(duì)利用圖1所示的檢查裝置檢查電子部件的步驟進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。
[0056]圖19是對(duì)利用圖1所示的檢查裝置檢查電子部件的步驟進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。
[0057]圖20是對(duì)利用圖1所示的檢查裝置檢查電子部件的步驟進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。
[0058]圖21是表示本實(shí)用新型的第二實(shí)施方式所涉及的檢查裝置所具有的供給機(jī)器人的手單元的俯視圖。
[0059]圖22是圖21所示的手單元所具有的支承部的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0060]以下，根據(jù)附圖所示的實(shí)施方式對(duì)應(yīng)用了本實(shí)用新型的輸送裝置的檢查裝置(本實(shí)用新型的檢查裝置)詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。
[0061]第一實(shí)施方式
[0062]圖1是表示本實(shí)用新型的檢查裝置的第一實(shí)施方式的簡(jiǎn)要俯視圖，圖2是圖1所示的檢查裝置所具有的供給機(jī)器人的手單元的立體圖，圖3是圖1所示的檢查裝置所具有的供給機(jī)器人的手單元的俯視圖，圖4是圖2所示的手單元所具有的第一支承部的俯視圖，圖5是圖2所示的手單元所具有的第二支承部的俯視圖，圖6是圖2所示的手單元所具有的第三支承部的俯視圖，圖7是圖2所示的手單元所具有的第四支承部的俯視圖，圖8是表示圖2所示的手單元所具有的X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的俯視圖，圖9以及圖10是表示圖2所示的手單元所具有的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的俯視圖，圖11是圖1所示的檢查裝置所具有的檢查用機(jī)器人的手單元的立體圖，圖12?圖20是對(duì)利用圖1所示的檢查裝置檢查電子部件的步驟進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖。
[0063]此外，以下為了便于說(shuō)明，如圖1所示，將相互正交的三個(gè)軸設(shè)為X軸(第一軸)、Y軸(第二軸)以及Z軸(第三軸)。另外，將與X軸平行的方向稱(chēng)為“X方向(第一方向)”，與Y軸平行的方向稱(chēng)為“Y方向(第二方向)”，與Z軸平行的方向稱(chēng)為“Ζ方向”。另外，在X方向、Y方向以及Z方向的各方向，將箭頭前端側(cè)稱(chēng)為“+”，箭頭基端側(cè)稱(chēng)為“-”。
[0064]圖1所示的檢查裝置I是例如對(duì)IC器件(IC芯片)、LCD (Liquid CrystalDisplay:液晶顯示器)、CIS (Contact Image Sensor:接觸式圖像傳感器)等測(cè)試部件(電子部件)100的電氣特性進(jìn)行檢查、測(cè)試用的裝置。此外，以下為了便于說(shuō)明而以使用IC器件作為測(cè)試部件的情況為代表進(jìn)行說(shuō)明。
[0065]檢查裝置I具有:供給托盤(pán)2、回收托盤(pán)3、第一梭4、第二梭5、檢查用插座(檢查部)6、供給機(jī)器人7、回收機(jī)器人8、檢查用機(jī)器人9、第一照相機(jī)600、第二照相機(jī)500、以及對(duì)上述各部分進(jìn)行控制的控制裝置10。
[0066]在這種檢查裝置I中，由上述各部分中的除了檢查用插座6之外的結(jié)構(gòu)、即供給托盤(pán)2、回收托盤(pán)3、第一梭4、第二梭5、供給機(jī)器人7、回收機(jī)器人8、檢查用機(jī)器人9、第一照相機(jī)600、第二照相機(jī)500以及控制裝置10構(gòu)成執(zhí)行IC器件100的輸送的輸送裝置(本實(shí)用新型的輸送裝置)。此外，輸送裝置的結(jié)構(gòu)并不局限于此，可以根據(jù)需要省略上述各部分中的至少一個(gè)，也可以附加其它結(jié)構(gòu)(例如熱板、腔室)。
[0067]另外，檢查裝置I具有搭載上述各部分的臺(tái)座11、和以收納上述各部分的方式覆蓋臺(tái)座11的未圖不的安全罩，第一梭4、第二梭5、檢查用插座6、供給機(jī)器人7、回收機(jī)器人
8、檢查用機(jī)器人9、第一照相機(jī)600以及第二照相機(jī)500配置在該安全罩的內(nèi)側(cè)(以下稱(chēng)為“區(qū)域S”)，并且，供給托盤(pán)2以及回收托盤(pán)3以能夠在區(qū)域S的內(nèi)外移動(dòng)的方式配置。
[0068]以下，依次對(duì)上述各部分詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。
[0069]1.供給托盤(pán)
[0070]供給托盤(pán)2是用于將進(jìn)行檢查的IC器件100從區(qū)域S外輸送到區(qū)域S內(nèi)的托盤(pán)。如圖1所示，供給托盤(pán)2呈板狀，在其上表面以在X方向以及Y方向呈行列狀的方式形成有多個(gè)用于載置IC器件100的凹槽21。
[0071]上述供給托盤(pán)2載置于在導(dǎo)軌23上移動(dòng)的未圖示的工作臺(tái)，上述導(dǎo)軌23以跨越區(qū)域S的內(nèi)外的方式在Y方向延伸。而且，例如利用以線性馬達(dá)為驅(qū)動(dòng)源的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述工作臺(tái)移動(dòng)，由此供給托盤(pán)2能夠沿導(dǎo)軌23在土Y方向往復(fù)移動(dòng)。因此，能夠反復(fù)進(jìn)行如下動(dòng)作:將收納有IC器件100的供給托盤(pán)2載置于位于區(qū)域S外的工作臺(tái)，使供給托盤(pán)2與工作臺(tái)一起移動(dòng)到區(qū)域S內(nèi)，從供給托盤(pán)2取下全部的IC器件100，再次使供給托盤(pán)2與工作臺(tái)一起朝區(qū)域S外移動(dòng)。
[0072]2.回收托盤(pán)
[0073]回收托盤(pán)3是用于收納檢查完畢的IC器件100并將其從區(qū)域S內(nèi)輸送到區(qū)域S外的托盤(pán)。如圖1所示，回收托盤(pán)3呈板狀，在其上表面以在X方向以及Y方向呈行列狀的方式形成有多個(gè)用于載置IC器件100的凹槽31。
[0074]上述回收托盤(pán)3載置于在導(dǎo)軌33上移動(dòng)的未圖示的工作臺(tái)，上述導(dǎo)軌33以跨越區(qū)域S的內(nèi)外的方式在Y方向延伸。而且，例如利用以線性馬達(dá)為驅(qū)動(dòng)源的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述工作臺(tái)移動(dòng)，由此回收托盤(pán)3能夠沿導(dǎo)軌33在土Y方向往復(fù)移動(dòng)。因此，在區(qū)域S內(nèi)，能夠反復(fù)進(jìn)行如下動(dòng)作:將檢查完畢的收納IC器件100收納于回收托盤(pán)3，使回收托盤(pán)3移動(dòng)到區(qū)域S外，將工作臺(tái)上的回收托盤(pán)3換成空的托盤(pán)，再次使回收托盤(pán)3朝區(qū)域S內(nèi)移動(dòng)。
[0075]上述回收托盤(pán)3以相對(duì)于上述供給托盤(pán)2朝+X方向離開(kāi)的方式設(shè)置，第一梭4、第二梭5以及檢查用插座6配置在供給托盤(pán)2與回收托盤(pán)3之間。
[0076]3.第一梭
[0077]第一梭4用于將由供給托盤(pán)2輸送到區(qū)域S內(nèi)的IC器件100進(jìn)一步輸送到檢查用插座6的附近，并且將由檢查用插座6檢查后的檢查完畢的IC器件100輸送到回收托盤(pán)3的附近。
[0078]如圖1所示，第一梭4具有基座部件41、和兩個(gè)被固定于基座部件41的托盤(pán)42、43。上述兩個(gè)托盤(pán)42、43在X方向排列設(shè)置。另外，在托盤(pán)42、43分別以在X方向排列四個(gè)且在Y方向排列兩個(gè)的方式呈行列狀(矩陣狀)地形成有用于載置IC器件100的八個(gè)凹槽 421、431。
[0079]托盤(pán)42、43中的位于供給托盤(pán)2側(cè)的托盤(pán)42是用于轉(zhuǎn)移并收納被收納于供給托盤(pán)2的IC器件100的托盤(pán)，位于回收托盤(pán)3側(cè)的托盤(pán)43是用于收納結(jié)束了在檢查用插座6進(jìn)行的電氣特性檢查后的IC器件100的托盤(pán)。即，托盤(pán)42是用于收納未檢查的IC器件100的托盤(pán)，托盤(pán)43是用于收納檢查完畢的IC器件100的托盤(pán)。
[0080]上述第一梭4的基座部件41被支承于在X方向延伸的導(dǎo)軌44，能夠利用例如以線性馬達(dá)為驅(qū)動(dòng)源的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述第一梭4沿導(dǎo)軌44在±X方向往復(fù)移動(dòng)。而且，能夠形成使第一梭4朝-X方向側(cè)移動(dòng)而使托盤(pán)42相對(duì)于供給托盤(pán)2排列在+Y方向側(cè)并且托盤(pán)43相對(duì)于檢查用插座6排列在+Y方向側(cè)的狀態(tài)、和使第一梭4朝+X方向側(cè)移動(dòng)而使托盤(pán)43相對(duì)于回收托盤(pán)3排列在+Y方向側(cè)并且托盤(pán)42相對(duì)于檢查用插座6排列在+Y方向側(cè)的狀態(tài)。
[0081]4.第二梭
[0082]第二梭5具有與上述第一梭4相同的功能以及結(jié)構(gòu)。即，第二梭5用于將由供給托盤(pán)2輸送到區(qū)域S內(nèi)的IC器件100進(jìn)一步輸送到檢查用插座6的附近，而且將由檢查用插座6檢查后的檢查完畢的IC器件100輸送到回收托盤(pán)3的附近。
[0083]如圖1所示，第二梭5具有基座部件51、和兩個(gè)固定于基座部件51的托盤(pán)52、53。這兩個(gè)托盤(pán)52、53在X方向排列而設(shè)置。另外，在托盤(pán)52、53分別以在X方向排列四個(gè)且在Y方向排列兩個(gè)的方式呈行列狀地形成有用于載置IC器件100的八個(gè)凹槽521、531。
[0084]托盤(pán)52、53中的位于供給托盤(pán)2側(cè)的托盤(pán)52是用于轉(zhuǎn)移并收納被收納于供給托盤(pán)2的IC器件100的托盤(pán)，位于回收托盤(pán)3側(cè)的托盤(pán)43是用于收納結(jié)束了在檢查用插座6進(jìn)行的電氣特性檢查后的IC器件100的托盤(pán)。即，托盤(pán)52是用于收納未檢查的IC器件100的托盤(pán)，托盤(pán)53是用于收納檢查完畢的IC器件100的托盤(pán)。
[0085]上述第二梭5的基座部件51被支承于在X方向延伸的導(dǎo)軌54，能夠利用例如以線性馬達(dá)為驅(qū)動(dòng)源的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述第二梭5沿導(dǎo)軌54在±X方向往復(fù)移動(dòng)。由此能夠形成使第二梭5朝-X方向側(cè)移動(dòng)而使托盤(pán)52相對(duì)于供給托盤(pán)2排列在+Y方向側(cè)并且托盤(pán)53相對(duì)于檢查用插座6排列在-Y方向側(cè)的狀態(tài)、和使第二梭5朝+X方向側(cè)移動(dòng)而使托盤(pán)53相對(duì)于回收托盤(pán)3排列在+Y方向側(cè)并且托盤(pán)52相對(duì)于檢查用插座6排列在-Y方向側(cè)的狀態(tài)。
[0086]此外，第二梭5以相對(duì)于上述第一梭4朝-Y方向離開(kāi)的方式設(shè)置，檢查用插座6配置在第一梭4與第二梭5之間。
[0087]5.檢查用插座
[0088]檢查用插座(檢查部)6是用于檢查IC器件100的電氣特性的插座。
[0089]上述檢查用插座6具有用于配置IC器件100的八個(gè)檢查用獨(dú)立插座61，八個(gè)檢查用獨(dú)立插座61以在X方向排列四個(gè)而在Y方向排列兩個(gè)的方式設(shè)置。另外，八個(gè)檢查用獨(dú)立插座61的排列間距與在各托盤(pán)42、43、52、53形成的八個(gè)凹槽的排列間距大致相等。由此能夠順利地進(jìn)行IC器件100在托盤(pán)42、43、52、53與檢查用獨(dú)立插座61之間的輸送。
[0090]雖然未圖示，但在各檢查用獨(dú)立插座61設(shè)置有多個(gè)從其底部突出的探針。上述多個(gè)探針?lè)謩e由彈簧等朝上方施力。當(dāng)IC器件100被配置于檢查用獨(dú)立插座61時(shí)，多個(gè)探針與該IC器件100所具有的外部端子接觸。由此，經(jīng)由探針使IC器件100與控制裝置10 (后述的檢查控制部101)成為電連接的狀態(tài)，即成為能夠進(jìn)行IC器件100的電氣特性的檢查(測(cè)試)的狀態(tài)。
[0091]上述檢查用插座6裝卸自如地固定于臺(tái)座11。因此，能夠簡(jiǎn)單地根據(jù)所要進(jìn)行的檢查(測(cè)試)來(lái)?yè)Q裝檢查用插座6，或者根據(jù)IC器件100的大小、形狀換裝相匹配的檢查用插座6。
[0092]6.第一照相機(jī)[0093]第一照相機(jī)600設(shè)置于第一梭4與檢查用插座6之間。如后所述,上述第一照相機(jī)600在保持有未檢查的IC器件100的第一手單元92從上方通過(guò)時(shí)拍攝IC器件100以及第一手單元92所具有的器件標(biāo)記941。
[0094]7.第二照相機(jī)
[0095]第二照相機(jī)500具有與上述第一照相機(jī)600相同的功能。上述第二照相機(jī)500設(shè)置于第二梭5與檢查用插座6之間。如后所述，第二照相機(jī)500在保持有未檢查的IC器件100的第二手單元93從上方通過(guò)時(shí)拍攝IC器件100以及第二手單元93所具有的器件標(biāo)記。
[0096]8.供給機(jī)器人
[0097]供給機(jī)器人7是將被收納于供給托盤(pán)2的IC器件100輸送至托盤(pán)42、52的機(jī)器人。
[0098]如圖1所示，供給機(jī)器人7具有被支承于臺(tái)座11的支承框架7a、被支承于支承框架7a且能夠相對(duì)于支承框架7a在土Y方向往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)框架7b、以及被支承于移動(dòng)框架7b且能夠相對(duì)于移動(dòng)框架7b在±X軸向往復(fù)移動(dòng)的手單元7c。
[0099]在支承框架7a形成有沿Y方向延伸的導(dǎo)軌，移動(dòng)框架7b沿該導(dǎo)軌在Y方向往復(fù)移動(dòng)。另外，在移動(dòng)框架7b上形成有沿X方向延伸的導(dǎo)軌，手單元7c沿該導(dǎo)軌在X方向往復(fù)移動(dòng)。此外，例如借助以線性馬達(dá)為驅(qū)動(dòng)源的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行移動(dòng)框架7b相對(duì)于支承框架7a的移動(dòng)、手單元7c相對(duì)于移動(dòng)框架7b的移動(dòng)。
[0100]以下，結(jié)合圖2?圖10對(duì)手單元7c詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。此外，在圖2?圖10的各圖中，為了便于說(shuō)明而省略一部分結(jié)構(gòu)的圖示。
[0101]如圖2以及圖3所示，手單元7c具有基部75，該基部75以能夠相對(duì)于移動(dòng)框架7b在X方向移動(dòng)的方式被支承于移動(dòng)框架7b。此外，“基部”是支承其它部件(例如后述的第一支承部71?第四支承部74)并形成一個(gè)模塊的部位，是作為手單元7c的基礎(chǔ)的部分。
[0102]上述基部75具有:呈板狀的第一基座751，其在XY平面延展而在Z方向具有厚度；和第二基座752，其從第一基座751的靠-X方向側(cè)的端部朝下方(-Z方向)延伸突出，在ZY平面延展而在X方向具有厚度。即，基部75形成在中途彎曲的L字形的外形。在兩個(gè)基座751、752中，在第一基座751固定有構(gòu)成后述的X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76的部件的至少一部分，在第二基座752固定有構(gòu)成后述的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77的部件的至少一部分。
[0103]另外，手單元7c具有被支承于基部75的四個(gè)支承部，具體而言，具有第一支承部
71、第二支承部72、第三支承部73以及第四支承部74。這四個(gè)支承部從-X方向側(cè)朝+X方向按照第三支承部73、第二支承部72、第一支承部71、第四支承部74的順序排列設(shè)置。此夕卜，上述“支承”是指以防止從基部75落下的狀態(tài)連結(jié)。
[0104]另外，四個(gè)支承部71?74中的第一支承部71被固定于第一基座751。此外，上述“固定”是指在動(dòng)作時(shí)上述第一支承部71相對(duì)于基部75的相對(duì)位置不變。
[0105]其它的第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74分別能夠相對(duì)于第一基座751沿X方向移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，在第一基座751的下表面形成有沿X方向延伸的導(dǎo)軌753，在該導(dǎo)軌753配置有三個(gè)能夠在導(dǎo)軌753上移動(dòng)的引導(dǎo)件754、755、756。而且，將第二支承部72固定于引導(dǎo)件754，將第三支承部73固定于引導(dǎo)件755，將第四支承部74固定于引導(dǎo)件756。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74能夠相對(duì)于基部75在X方向移動(dòng)。
[0106]另外，第一支承部71、第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74分別呈在YZ平面延展而在X方向具有厚度的板狀。這樣，通過(guò)將各支承部71?74形成為在YZ平面延展的板狀，能夠?qū)⒅С胁?1?74以更窄的間距在X方向排列設(shè)置。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)手單元7c的小型化，并且能夠?qū)⒑笫龅亩鄠€(gè)吸附管嘴沿X方向以更窄的間距配置。
[0107]以下，對(duì)第一支承部71、第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明，但各支承部71?74是彼此相同的結(jié)構(gòu)。
[0108]8-1.第一支承部
[0109]如圖4所示，在第一支承部71設(shè)置有第一部件保持機(jī)構(gòu)711。第一部件保持機(jī)構(gòu)711具有保持從供給托盤(pán)2向托盤(pán)42、52運(yùn)送的IC器件100的功能。
[0110]上述第一部件保持機(jī)構(gòu)711具有:軸712，其被支承于第一支承部71并且能夠相對(duì)于第一支承部71在土Z方向往復(fù)移動(dòng)；吸附管嘴(第一部件保持部)713,其設(shè)置于軸712的前端部(下端部)；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)714，其經(jīng)由軸712使吸附管嘴713相對(duì)于第一支承部71在土Z方向移動(dòng)。上述結(jié)構(gòu)的第一部件保持機(jī)構(gòu)711利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)714經(jīng)由軸712使吸附管嘴713下降，利用吸附管嘴713吸附IC器件100，由此保持IC器件100。這樣，通過(guò)吸附來(lái)保持IC器件100，由此能夠抑制施加于IC器件100的應(yīng)力，能夠防止IC器件100破損。另外，能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)可靠地保持IC器件100。此外，上述“保持”是指以使IC器件100不落下的程度持續(xù)吸附IC器件100。
[0111]作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)714的結(jié)構(gòu)，只要能夠使軸712相對(duì)于第一支承部71沿Z方向往復(fù)移動(dòng)即可，沒(méi)有特別限定，在本實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)714具有一對(duì)帶輪(引導(dǎo)輪)714a、714b、掛設(shè)于一對(duì)帶輪714a、714b之間的帶(環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩)714c、以及使帶輪714a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)(驅(qū)動(dòng)源)714d。
[0112]帶輪714a、714b經(jīng)由未圖示的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式被支承于第一支承部71的一個(gè)主面。另外，帶輪714a、714b以在Z方向離開(kāi)的方式設(shè)置。因此，帶714c具有在Z軸方向延伸的區(qū)域，軸712經(jīng)由固定部714e被固定在該區(qū)域。當(dāng)利用馬達(dá)714d使帶輪714a旋轉(zhuǎn)時(shí)，伴隨于此，帶輪714b和帶714c旋轉(zhuǎn)，固定于帶714c的軸712 (吸附管嘴713)相對(duì)于第一支承部71在Z軸方向移動(dòng)。通過(guò)選擇馬達(dá)714d的旋轉(zhuǎn)方向，能夠使吸附管嘴713相對(duì)于第一支承部71上升、下降。
[0113]此外，只要能實(shí)現(xiàn)上述的驅(qū)動(dòng)，引導(dǎo)輪、環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩以及驅(qū)動(dòng)源的結(jié)構(gòu)沒(méi)有特別限定。例如，可以使用鏈輪代替帶輪714a、714b來(lái)作為一對(duì)引導(dǎo)輪，使用鏈代替帶714c來(lái)作為環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩。另外，也可以使用壓電促動(dòng)器代替馬達(dá)714d來(lái)作為驅(qū)動(dòng)源。
[0114]另外,在第一支承部71設(shè)置有能夠相對(duì)于第一支承部71在Y方向往復(fù)移動(dòng)的第一移動(dòng)部715。在第一支承部71設(shè)置有在Y方向延伸的導(dǎo)軌(引導(dǎo)部)，第一移動(dòng)部715能夠沿該導(dǎo)軌移動(dòng)。此外，只要能夠在Y方向引導(dǎo)第一移動(dòng)部715即可，也可以用在Y方向延伸的槽、長(zhǎng)孔代替上述導(dǎo)軌。
[0115]另外，在第一支承部71設(shè)置有第二部件保持機(jī)構(gòu)716。第二部件保持機(jī)構(gòu)716與第一部件保持機(jī)構(gòu)711相同，具有保持從供給托盤(pán)2向托盤(pán)42、52運(yùn)送的IC器件100的功倉(cāng)泛。
[0116]上述第二部件保持機(jī)構(gòu)716具有:軸717，其被支承于第一移動(dòng)部715并且能夠相對(duì)于第一移動(dòng)部715在Z方向往復(fù)移動(dòng)；吸附管嘴(第二部件保持部)718,其設(shè)置于軸717的前端部；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)719，其經(jīng)由軸717使吸附管嘴718相對(duì)于第一移動(dòng)部715在Z方向移動(dòng)。上述結(jié)構(gòu)的第二部件保持機(jī)構(gòu)716利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)719經(jīng)由軸717使吸附管嘴718下降，利用吸附管嘴718吸附IC器件100，由此保持IC器件100。
[0117]作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)719的結(jié)構(gòu)，只要能使軸717在土Z方向往復(fù)移動(dòng)即可，沒(méi)有特別限定，在本實(shí)施方式中是與上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)714相同的結(jié)構(gòu)。S卩，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)719具有一對(duì)帶輪719a、719b、掛設(shè)于一對(duì)帶輪719a、719b之間的帶719c、以及使帶輪719a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)719d。
[0118]帶輪719a、719b經(jīng)由未圖示的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式被支承于第一支承部71的一個(gè)主面。另外，帶輪719a、719b以在Z方向離開(kāi)的方式設(shè)置。因此，帶719c具有在Z軸方向延伸的區(qū)域，軸717經(jīng)由固定部719e被固定在該區(qū)域。當(dāng)利用馬達(dá)719d使帶輪719a旋轉(zhuǎn)時(shí)，伴隨于此，帶輪719b和帶719c旋轉(zhuǎn)，固定于帶719c的軸717 (吸附管嘴718)相對(duì)于第一支承部71在Z軸方向移動(dòng)。通過(guò)選擇馬達(dá)719d的旋轉(zhuǎn)方向，能夠使吸附管嘴718相對(duì)于第一支承部71上升、下降。
[0119]此外，固定部719e在Y方向伸縮自如,在第一移動(dòng)部715相對(duì)于第一支承部71在Y方向移動(dòng)的同時(shí)伸長(zhǎng)或者收縮。因此，第一移動(dòng)部715相對(duì)于第一支承部71的在Y方向上的移動(dòng)不被阻礙。另外，構(gòu)成驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)719的各部分(一對(duì)帶輪719a、719b、帶719c、馬達(dá)719d)也可以設(shè)置于第一移動(dòng)部715。如果形成為這種結(jié)構(gòu)，則不需要將固定部719e形成為伸縮自如的結(jié)構(gòu)。
[0120]8-2.第二支承部
[0121]如圖5所示，在第二支承部72設(shè)置有第三部件保持機(jī)構(gòu)721。第三部件保持機(jī)構(gòu)721與上述第一部件保持機(jī)構(gòu)711相同，具有保持從供給托盤(pán)2向托盤(pán)42、52運(yùn)送的IC器件100的功能。
[0122]上述第三部件保持機(jī)構(gòu)721的結(jié)構(gòu)與上述第一部件保持機(jī)構(gòu)711相同。S卩，第三部件保持機(jī)構(gòu)721具有:軸722，其被支承于第二支承部72并且能夠相對(duì)于第二支承部72在Z方向往復(fù)移動(dòng)；吸附管嘴(第三部件保持部)723，其設(shè)置于軸722的前端部；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)724，其經(jīng)由軸722使吸附管嘴723相對(duì)于第二支承部72在土Z方向移動(dòng)。上述結(jié)構(gòu)的第三部件保持機(jī)構(gòu)721利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)724經(jīng)由軸722使吸附管嘴723下降，利用吸附管嘴723吸附IC器件100，由此保持IC器件100。
[0123]另外，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)724具有一對(duì)帶輪724a、724b、掛設(shè)于一對(duì)帶輪724a、724b之間的帶724c、以及使帶輪724a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)724d。帶輪724a、724b經(jīng)由未圖示的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式被支承于第二支承部72的一個(gè)主面。另外，帶輪724a、724b以在Z方向離開(kāi)的方式設(shè)置。因此，帶724c具有在Z軸方向延伸的區(qū)域，軸722經(jīng)由固定部724e被固定在該區(qū)域。當(dāng)利用馬達(dá)724d使帶輪724a旋轉(zhuǎn)時(shí)，固定于帶724c的軸722 (吸附管嘴723)相對(duì)于第二支承部72在Z軸方向移動(dòng)。
[0124]另外，在第二支承部72設(shè)置有能夠相對(duì)于第二支承部72在Y方向往復(fù)移動(dòng)的第二移動(dòng)部725。在第二支承部72設(shè)置有在Y方向延伸的導(dǎo)軌，第二移動(dòng)部725設(shè)置成能夠沿該導(dǎo)軌移動(dòng)。通過(guò)形成為上述結(jié)構(gòu)，能夠簡(jiǎn)單并且可靠地限制第二移動(dòng)部725的在Y方向以外的移動(dòng)。
[0125]另外，在第二支承部72設(shè)置有第四部件保持機(jī)構(gòu)726。第四部件保持機(jī)構(gòu)726與上述第二部件保持機(jī)構(gòu)716相同，具有保持從供給托盤(pán)2向托盤(pán)42、52運(yùn)送的IC器件100的功能。
[0126]上述第四部件保持機(jī)構(gòu)726的結(jié)構(gòu)與上述第二部件保持機(jī)構(gòu)716相同。即，第四部件保持機(jī)構(gòu)726具有:軸727，其被支承于第二移動(dòng)部725并且能夠相對(duì)于第二移動(dòng)部725在土Z方向往復(fù)移動(dòng)；吸附管嘴(第四部件保持部)728，其設(shè)置于軸727的前端部；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)729，其經(jīng)由軸727使吸附管嘴728相對(duì)于第二移動(dòng)部725在Z方向移動(dòng)。上述結(jié)構(gòu)的第四部件保持機(jī)構(gòu)726借助驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)729經(jīng)由軸727使吸附管嘴728下降，利用吸附管嘴728吸附IC器件100，由此保持IC器件100。
[0127]另外，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)729具有一對(duì)帶輪729a、729b、掛設(shè)于一對(duì)帶輪729a、729b之間的帶729c、以及使帶輪729a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)729d。帶輪729a、729b經(jīng)由未圖示的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于第二支承部72的一個(gè)主面。另外，帶輪729a、729b以在Z方向離開(kāi)的方式設(shè)置。因此，帶729c具有在Z軸方向延伸的區(qū)域，軸727經(jīng)由固定部729e被固定在該區(qū)域。當(dāng)利用馬達(dá)729d使帶輪729a旋轉(zhuǎn)時(shí)，固定于帶729c的軸727 (吸附管嘴728)相對(duì)于第二支承部72在Z軸方向移動(dòng)。
[0128]此外，固定部729e在Y方向伸縮自如，在第二移動(dòng)部725相對(duì)于第二支承部72在Y方向移動(dòng)的同時(shí)伸長(zhǎng)或者收縮。因此，第二移動(dòng)部725相對(duì)于第二支承部72的在Y方向上的移動(dòng)不被阻礙。
[0129]8-3.第三支承部
[0130]如圖6所示，在第三支承部73設(shè)置有第五部件保持機(jī)構(gòu)731。第五部件保持機(jī)構(gòu)731與上述第一部件保持機(jī)構(gòu)711相同，具有保持從供給托盤(pán)2向托盤(pán)42、52運(yùn)送的IC器件100的功能。
[0131]上述第五部件保持機(jī)構(gòu)731的結(jié)構(gòu)與上述第一部件保持機(jī)構(gòu)711相同。S卩，第五部件保持機(jī)構(gòu)731具有:軸732，其被支承于第三支承部73并且能夠相對(duì)于第三支承部73在Z方向往復(fù)移動(dòng)；吸附管嘴(第五部件保持部)733，其設(shè)置于軸732的前端部；以及移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)734，其經(jīng)由軸732使吸附管嘴733相對(duì)于第三支承部73在Z方向移動(dòng)。上述結(jié)構(gòu)的第五部件保持機(jī)構(gòu)731借助驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)734經(jīng)由軸732使吸附管嘴733下降，利用吸附管嘴733吸附IC器件100，由此保持IC器件100。
[0132]另外，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)734具有一對(duì)帶輪734a、734b、掛設(shè)于一對(duì)帶輪734a、734b之間的帶734c、以及使帶輪734a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)734d。帶輪734a、734b經(jīng)由未圖示的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式被支承于第三支承部73的一個(gè)主面。另外，帶輪734a、734b以在Z方向離開(kāi)的方式設(shè)置。因此，帶734c具有在Z軸方向延伸的區(qū)域，軸732經(jīng)由固定部734e被固定在該區(qū)域。當(dāng)利用馬達(dá)734d使帶輪734a旋轉(zhuǎn)時(shí)，固定于帶734c的軸732 (吸附管嘴733)相對(duì)于第三支承部73在Z軸方向移動(dòng)。
[0133]另外，在第三支承部73設(shè)置有能夠相對(duì)于第三支承部73在Y方向往復(fù)移動(dòng)的第三移動(dòng)部735。在第三支承部73設(shè)置有在Y方向延伸的導(dǎo)軌，第三移動(dòng)部735設(shè)置成能夠沿該導(dǎo)軌移動(dòng)。通過(guò)形成為上述結(jié)構(gòu)，能夠簡(jiǎn)單并且可靠地限制第三移動(dòng)部735的在Y方向以外的移動(dòng)。
[0134]另外，在第三支承部73設(shè)置有第六部件保持機(jī)構(gòu)736。第六部件保持機(jī)構(gòu)736與上述第二部件保持機(jī)構(gòu)716相同，具有保持從供給托盤(pán)2向托盤(pán)42、52運(yùn)送的IC器件100的功能。
[0135]上述第六部件保持機(jī)構(gòu)736的結(jié)構(gòu)與上述第二部件保持機(jī)構(gòu)716相同。即，第六部件保持機(jī)構(gòu)736具有:軸737，其被支承于第三移動(dòng)部735并且能夠相對(duì)于第三移動(dòng)部735在Z方向往復(fù)移動(dòng)；吸附管嘴(第六部件保持部)738，其設(shè)置于軸737的前端部；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)739，其經(jīng)由軸737使吸附管嘴738相對(duì)于第三移動(dòng)部735在Z方向移動(dòng)。上述結(jié)構(gòu)的第六部件保持機(jī)構(gòu)736借助驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)739經(jīng)由軸737使吸附管嘴738下降，利用吸附管嘴738吸附IC器件100，由此保持IC器件100。
[0136]另外，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)739具有一對(duì)帶輪739a、739b、掛設(shè)于一對(duì)帶輪739a、739b之間的帶739c、以及使帶輪739a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)739d。帶輪739a、739b經(jīng)由未圖示的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于第三支承部73的一個(gè)主面。另外，帶輪739a、739b以在Z方向離開(kāi)的方式設(shè)置。因此，帶739c具有在Z軸方向延伸的區(qū)域，軸737經(jīng)由固定部739e被固定在該區(qū)域。當(dāng)利用馬達(dá)739d使帶輪739a旋轉(zhuǎn)時(shí)，固定于帶739c的軸737 (吸附管嘴738)相對(duì)于第三支承部73在Z軸方向移動(dòng)。
[0137]此外，固定部739e在Y方向伸縮自如，在第三移動(dòng)部735相對(duì)于第三支承部73在Y方向移動(dòng)的同時(shí)伸長(zhǎng)或者收縮。因此，第三移動(dòng)部735相對(duì)于第三支承部73的在Y方向上的移動(dòng)不被阻礙。
[0138]8-4.第四支承部
[0139]如圖7所示，在第四支承部74設(shè)置有第七部件保持機(jī)構(gòu)741。第七部件保持機(jī)構(gòu)741與上述第一部件保持機(jī)構(gòu)711相同，具有保持從供給托盤(pán)2向托盤(pán)42、52運(yùn)送的IC器件100的功能。
[0140]上述第七部件保持機(jī)構(gòu)741的結(jié)構(gòu)與上述第一部件保持機(jī)構(gòu)711相同。S卩，第七部件保持機(jī)構(gòu)741具有:軸742，其被支承于第四支承部74并且能夠相對(duì)于第四支承部74在Z方向往復(fù)移動(dòng)；吸附管嘴(第七部件保持部)743，其設(shè)置于軸742的前端部；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)744，其經(jīng)由軸742使吸附管嘴743相對(duì)于第四支承部74在Z方向移動(dòng)。上述結(jié)構(gòu)的第七部件保持機(jī)構(gòu)741借助驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)744經(jīng)由軸742使吸附管嘴743下降，利用吸附管嘴743吸附IC器件100，由此保持IC器件100。
[0141]另外，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)744具有一對(duì)帶輪744a、744b、掛設(shè)于一對(duì)帶輪744a、744b之間的帶744c、以及使帶輪744a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)744d。帶輪744a、744b經(jīng)由未圖示的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于第四支承部74的一個(gè)主面。另外，帶輪744a、744b以在Z方向離開(kāi)的方式設(shè)置。因此，帶744c具有在Z軸方向延伸的區(qū)域，軸742經(jīng)由固定部744e被固定在該區(qū)域。當(dāng)利用馬達(dá)744d使帶輪744a旋轉(zhuǎn)時(shí)，固定于帶744c的軸742 (吸附管嘴743)相對(duì)于第三支承部73在Z軸方向移動(dòng)。
[0142]另外，在第四支承部74設(shè)置有能夠相對(duì)于第四支承部74在Y方向往復(fù)移動(dòng)的第四移動(dòng)部745。在第四支承部74設(shè)置有在Y方向延伸的導(dǎo)軌，第四移動(dòng)部745設(shè)置成能夠沿該導(dǎo)軌移動(dòng)。通過(guò)形成上述結(jié)構(gòu)，能夠簡(jiǎn)單并且可靠地限制第四移動(dòng)部745的在Y方向以外的移動(dòng)。
[0143]另外，在第四支承部74設(shè)置有第八部件保持機(jī)構(gòu)746。第八部件保持機(jī)構(gòu)746與上述第二部件保持機(jī)構(gòu)716相同，具有保持從供給托盤(pán)2向托盤(pán)42、52運(yùn)送的IC器件100的功能。[0144]上述第八部件保持機(jī)構(gòu)746的結(jié)構(gòu)與上述第二部件保持機(jī)構(gòu)716相同。即，第八部件保持機(jī)構(gòu)746具有:軸747，其被支承于第四移動(dòng)部745并且能夠相對(duì)于第四移動(dòng)部745在Z方向往復(fù)移動(dòng)；吸附管嘴(第八部件保持部)748，其設(shè)置于軸747的前端部；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)749，其經(jīng)由軸747使吸附管嘴748相對(duì)于第四移動(dòng)部745在Z方向移動(dòng)。上述結(jié)構(gòu)的第八部件保持機(jī)構(gòu)746借助驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)749經(jīng)由軸747使吸附管嘴748下降，利用吸附管嘴748吸附IC器件100，由此保持IC器件100。
[0145]另外，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)739具有一對(duì)帶輪749a、749b、掛設(shè)于一對(duì)帶輪749a、749b之間的帶749c、以及使帶輪749a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)749d。帶輪749a、749b經(jīng)由未圖示的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于第四支承部74的一個(gè)主面。另外，帶輪749a、749b以在Z方向離開(kāi)的方式設(shè)置。因此，帶749c具有在Z軸方向延伸的區(qū)域，軸747經(jīng)由固定部749e被固定在該區(qū)域。當(dāng)利用馬達(dá)749d使帶輪749a旋轉(zhuǎn)時(shí)，固定于帶749c的軸747 (吸附管嘴748)相對(duì)于第四支承部74在Z軸方向移動(dòng)。
[0146]此外，固定部749e在Y方向伸縮自如，在第四移動(dòng)部745相對(duì)于第四支承部74在Y方向移動(dòng)的同時(shí)伸長(zhǎng)或者收縮。因此，第四移動(dòng)部745相對(duì)于第四支承部74的在Y方向上的移動(dòng)不被阻礙。
[0147]以上，對(duì)各支承部71、72、73、74的結(jié)構(gòu)詳細(xì)進(jìn)行了說(shuō)明。
[0148]這里，吸附管嘴733、723、713、743按照該順序沿X方向排列設(shè)置，并且以相等的間距配置。即，吸附管嘴733與吸附管嘴723的離開(kāi)距離、吸附管嘴723與吸附管嘴713的離開(kāi)距離、吸附管嘴713與吸附管嘴743的離開(kāi)距離相互大致相等。
[0149]另外，吸 附管嘴718相對(duì)于吸附管嘴713沿Y方向排列設(shè)置，同樣，吸附管嘴728相對(duì)于吸附管嘴723沿Y方向排列設(shè)置，吸附管嘴738相對(duì)于吸附管嘴733沿Y方向排列設(shè)置，吸附管嘴748相對(duì)于吸附管嘴743沿Y方向排列設(shè)置。另外，吸附管嘴718、713的離開(kāi)距離、吸附管嘴728、723的離開(kāi)距離、吸附管嘴738、733的離開(kāi)距離、吸附管嘴748、743的離開(kāi)距離相互大致相等。即，吸附管嘴738、728、718、748也按照該順序沿X方向排列設(shè)置，并且以相等的間距配置。
[0150]手單元7c還具有:使第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74相對(duì)于基部75 (第一支承部71)在X方向移動(dòng)的X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)(第二移動(dòng)機(jī)構(gòu))76、和使各移動(dòng)部715、725、735、745相對(duì)于基部75在Y方向移動(dòng)的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu))77。
[0151]8-5.X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0152]X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76構(gòu)成為，使第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74相對(duì)于第一支承部71在X方向移動(dòng)，由此能夠使吸附管嘴733 (738)與吸附管嘴723 (728)的離開(kāi)距離、吸附管嘴723 (728)與吸附管嘴713(718)的離開(kāi)距離以及吸附管嘴713 (718)與吸附管嘴743(748)的離開(kāi)距離保持相互相等，并且改變上述離開(kāi)距離。
[0153]如圖8所7]^，X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76具有一對(duì)雙級(jí)帶輪(第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪、第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪)761、762、掛設(shè)于一對(duì)雙級(jí)帶輪761、762之間的2條帶(第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩、第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩)763、764、以及使雙級(jí)帶輪761旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)(第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)用驅(qū)動(dòng)源)765。其中，雙級(jí)帶輪761、762以及馬達(dá)765分別被支承于第一基座751。
[0154]雙級(jí)帶輪761、762能夠繞在第一基座751的上表面沿Y方向延伸的軸旋轉(zhuǎn)。另外，雙級(jí)帶輪761、762以在X方向離開(kāi)的方式設(shè)置。
[0155]雙級(jí)帶輪761具有外徑較小的小徑帶輪761a、和具有小徑帶輪761a的大致兩倍外徑的大徑帶輪761b，這些帶輪在Y方向排列且同心形成。同樣，雙級(jí)帶輪762具有外徑較小的小徑帶輪762a、和具有小徑帶輪762a的大致兩倍外徑的大徑帶輪762b，這些帶輪在Y方向排列且同心形成。此外，小徑帶輪761a和762a的外徑彼此相等，大徑帶輪761b和762b的外徑也相互相等。
[0156]在小徑帶輪761a、762a之間掛設(shè)有帶763。帶763在小徑帶輪761a、762a之間具有兩個(gè)沿X方向延伸的區(qū)域763a、763b。而且，在一個(gè)區(qū)域763a固定有第二支承部72，在另一個(gè)區(qū)域763b固定有第四支承部74。當(dāng)雙級(jí)帶輪761旋轉(zhuǎn)時(shí)，在區(qū)域763a，帶763朝X方向一側(cè)前進(jìn)，在區(qū)域763b，帶763朝X方向另一側(cè)前進(jìn)，第二支承部72、第四支承部74相互朝X方向的相反側(cè)移動(dòng)大致相等的距離。
[0157]另一方面，在大徑帶輪761b、762b之間掛設(shè)有帶764。帶764在大徑帶輪761b、762b之間具有兩個(gè)沿X方向延伸的區(qū)域764a、764b。在這兩個(gè)區(qū)域764a、764b中，在當(dāng)雙級(jí)帶輪761旋轉(zhuǎn)時(shí)朝與帶763的區(qū)域763a的前進(jìn)方向相同的方向前進(jìn)的區(qū)域764a固定有第三支承部73。當(dāng)帶763旋轉(zhuǎn)時(shí)，在區(qū)域763a、764a，帶763朝X方向的相同側(cè)前進(jìn)，所以第二支承部72、第三支承部73相互朝X方向的相同側(cè)移動(dòng)。此外，如上所述，大徑帶輪761b、762b具有小徑帶輪761a、762a的兩倍的外徑，所以第三支承部73的移動(dòng)距離是第二支承部72的移動(dòng)距離的大致兩倍。
[0158]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)利用馬達(dá)765使雙級(jí)帶輪761旋轉(zhuǎn)時(shí)，第二支承部72、第四支承部74相互朝X方向的相反側(cè)移動(dòng)大致相等的距離，并且，第三支承部73朝與第二支承部72的移動(dòng)方向相同的方向移動(dòng)第二支承部72的兩倍的移動(dòng)距離。因此，如上所述，根據(jù)X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76，能夠使吸附管嘴733(738)與吸附管嘴723 (728)的離開(kāi)距離、吸附管嘴723(728)與吸附管嘴713(718)的離開(kāi)距離以及吸附管嘴713 (718)與吸附管嘴743 (748)的離開(kāi)距離保持彼此相等，并且改變上述離開(kāi)距離。
[0159]通過(guò)形成上述的結(jié)構(gòu)，能夠簡(jiǎn)化X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)伴隨于此的小型化、輕型化。因此，有助于手單元7c的小型化、輕型化，手單元7c的操作性提高。另外，通過(guò)雙級(jí)帶輪761的旋轉(zhuǎn)，能夠統(tǒng)一控制第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74全部的移動(dòng)，所以能夠更可靠地發(fā)揮上述的功能。
[0160]此外，只要能夠?qū)崿F(xiàn)上述的驅(qū)動(dòng)，則引導(dǎo)輪、環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩以及驅(qū)動(dòng)源的結(jié)構(gòu)沒(méi)有特別限定。例如，可以使用鏈輪代替帶輪作為一對(duì)引導(dǎo)輪，也可以使用鏈(金屬鏈、橡膠鏈等)代替帶作為環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩。另外，還可以使用壓電促動(dòng)器代替馬達(dá)作為驅(qū)動(dòng)源。另外，小徑帶輪761a(762a)和大徑帶輪761b(762b)可以分體形成，在該情況下，可以分別設(shè)置用于使小徑帶輪761a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)、和用于使大徑帶輪761b旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)。
[0161]8-6.Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0162]Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77構(gòu)成為，使第一移動(dòng)部715、第二移動(dòng)部725、第三移動(dòng)部735、第四移動(dòng)部745相對(duì)于第一支承部71、第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74 —體(具體而言，同時(shí)并且等距離)地沿Y方向移動(dòng)，由此能夠使吸附管嘴713、718的離開(kāi)距離、吸附管嘴723、728的離開(kāi)距離、吸附管嘴733、738的離開(kāi)距離以及吸附管嘴743、748的離開(kāi)距離保持彼此相等，并且改變上述離開(kāi)距離。[0163]如圖9以及圖10所示，Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77具有:設(shè)置于基部75的第一單元77a和馬達(dá)(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用驅(qū)動(dòng)源)777、設(shè)置于第一支承部71的第二單元77b、以及以連結(jié)第一單元77a、第二單元77b的方式設(shè)置的傳遞軸(傳遞部)778和連結(jié)軸(連結(jié)部)779。
[0164]第一單兀77a具有:一對(duì)帶輪(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪)771、772、和掛設(shè)于一對(duì)帶輪771、772之間的帶(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩)773。帶輪771、772被支承為在第二基座752的一個(gè)(圖中右側(cè)的)主面上繞在X方向延伸的軸旋轉(zhuǎn)自如。另外，帶輪771、772以在Y方向離開(kāi)的方式設(shè)置。而且，在這些帶輪771、772之間掛設(shè)有帶773。帶773在帶輪771、772之間具有兩個(gè)沿Y方向延伸的區(qū)域773a、773b。
[0165]馬達(dá)777是用于使帶輪771旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)源，設(shè)置于第二基座752的另一個(gè)(圖中左側(cè)的)主面。
[0166]第二單兀77b具有:一對(duì)帶輪(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第三引導(dǎo)輪、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第四引導(dǎo)輪)774、775、和掛設(shè)于一對(duì)帶輪774、775之間的帶(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩)776。帶輪774、775被支承為在第一支承部71的一個(gè)(圖中右側(cè)的)主面上繞在X方向延伸的軸旋轉(zhuǎn)自如。另外，帶輪774、775以在Y方向離開(kāi)的方式設(shè)置。而且，在這些帶輪774、775之間掛設(shè)有帶776。帶776在帶輪774、775之間具有兩個(gè)沿Y方向延伸的區(qū)域776a、776b。
[0167]這樣，通過(guò)將第二單元77b設(shè)置于相對(duì)于第二基座752的位置不變化的第一支承部71，能夠使Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77更穩(wěn)定地驅(qū)動(dòng)。
[0168]傳遞軸778是用于將馬達(dá)777的驅(qū)動(dòng)力傳遞到第二單元77b的軸。上述傳遞軸778以在X方向延伸的方式設(shè)置，將帶輪771、774的軸彼此連結(jié)。因此，馬達(dá)777的驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由傳遞軸778傳遞到第二單元77b，帶輪771、774 —體地旋轉(zhuǎn)。
[0169]另外，傳遞軸778以貫通位于第二基座752與第一支承部71之間的第二支承部
72、第三支承部73的方式設(shè)置(參照?qǐng)D5以及圖6)。具體而言，傳遞軸778從形成于第二支承部72、第三支承部73的貫通孔內(nèi)通過(guò)并連結(jié)帶輪771、774。通過(guò)這樣配置傳遞軸778，能夠抑制傳遞軸778從支承部71?74突出，能夠?qū)崿F(xiàn)手單元7c的小型化。另外，傳遞軸778也作為第二支承部72、第三支承部73朝X方向移動(dòng)時(shí)的引導(dǎo)件發(fā)揮功能，所以能夠更加可靠地并且順利地進(jìn)行第二支承部72、第三支承部73的移動(dòng)。
[0170]連結(jié)軸779呈直線形，并在X方向延伸。另外，連結(jié)軸779在其中途的兩個(gè)位置經(jīng)由固定件被固定于帶773的區(qū)域773a、和帶776的區(qū)域776a。當(dāng)帶773、776旋轉(zhuǎn)時(shí)，在區(qū)域773a、776a，帶773、776朝Y方向的相同側(cè)前進(jìn)，所以伴隨于此，連結(jié)軸779保持姿態(tài)并朝Y方向移動(dòng)。
[0171]在上述連結(jié)軸779的外周，沿其軸向設(shè)置有三個(gè)直線套筒779b、779c、779d。上述各直線套筒779b、779c、779d單獨(dú)(動(dòng)作不受其它部件限制的狀態(tài))地相對(duì)于連結(jié)軸779在軸向移動(dòng)自如并且在周方向旋轉(zhuǎn)自如。
[0172]這些直線套筒779b?779d中，直線套筒779b固定于第二移動(dòng)部725，直線套筒779c固定于第三移動(dòng)部735，直線套筒779d固定于第四移動(dòng)部745。此外，第一移動(dòng)部715由固定于第一基座751的第一支承部71支承，所以不會(huì)相對(duì)于連結(jié)軸779沿Y軸方向移動(dòng)。因此，與其它移動(dòng)部725?745不同，連結(jié)軸779不經(jīng)由直線套筒而直接固定于第一移動(dòng)部715。這樣，通過(guò)將連結(jié)軸779固定于第一移動(dòng)部715，能夠防止連結(jié)軸779的在軸向(X方向)的意外位移。
[0173]通過(guò)形成上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)通過(guò)帶773、776的旋轉(zhuǎn)而連結(jié)軸779在Y方向移動(dòng)時(shí)，各移動(dòng)部715、725、735、745相對(duì)于各支承部71、72、73、74在Y方向一體地移動(dòng)相等的距離。因此，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77，能夠可靠地使吸附管嘴713、718的離開(kāi)距離、吸附管嘴723、728的離開(kāi)距離、吸附管嘴733、738的離開(kāi)距離以及吸附管嘴743、748的離開(kāi)距離保持彼此相等，并且改變上述離開(kāi)距離。
[0174]此外，如上所述，直線套筒779b?779d能夠相對(duì)于連結(jié)軸779在其軸向(X方向)移動(dòng)，所以Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77不會(huì)阻礙借助X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76進(jìn)行的第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74的朝X方向的移動(dòng)。
[0175]另外，在Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77中，在第二基座752設(shè)置第一單元77a，并且在第一支承部71設(shè)置第二單元77b，在軸向離開(kāi)的兩個(gè)位置支承連結(jié)軸779，所以能夠使連結(jié)軸779更順利且可靠地朝Y方向移動(dòng)規(guī)定距離。特別是通過(guò)使第二支承部72、第三支承部73位于第二基座752與第一支承部71之間，能夠充分確保第二基座752與第一支承部71的離開(kāi)距離，能夠更穩(wěn)定地支承連結(jié)軸779。
[0176]此外，在本實(shí)施方式的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77中，第一移動(dòng)部715、第二移動(dòng)部725、第三移動(dòng)部735、第四移動(dòng)部745經(jīng)由連結(jié)軸779 (即間接地)與帶773、776連結(jié)，但并不局限于此，例如，也可以省略連結(jié)軸779，第一移動(dòng)部715、第二移動(dòng)部725、第三移動(dòng)部735、第四移動(dòng)部745分別與帶773、776直接連結(jié)。
[0177]以上，對(duì)手單元7c的結(jié)構(gòu)具體地進(jìn)行了說(shuō)明。根據(jù)上述手單元7c，通過(guò)獨(dú)立地控制各馬達(dá)765、777的驅(qū)動(dòng)(開(kāi)/閉以及旋轉(zhuǎn)方向)，能夠自由地改變吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748的配設(shè)間距。因此，例如即便在形成于供給托盤(pán)2的多個(gè)凹槽21的配設(shè)間距、與形成于托盤(pán)42 (52)的多個(gè)凹槽421 (521)的配設(shè)間距不同的情況下，也能夠如后述那樣順利地將IC器件100從供給托盤(pán)2向托盤(pán)42 (52)運(yùn)送。
[0178]此外，本實(shí)施方式的手單元7c具有八個(gè)吸附管嘴，但吸附管嘴的數(shù)量只要是四個(gè)以上即可，沒(méi)有特別限定。例如，在吸附管嘴為四個(gè)的情況下，可以包括第三支承部73、第四支承部74在內(nèi)省略吸附管嘴733、738、743、748。另外，例如在吸附管嘴為十個(gè)的情況下，例如只要在第四支承部74的+X方向側(cè)設(shè)置與第四支承部74結(jié)構(gòu)相同且具有兩個(gè)吸附管嘴的第五支承部、并且將第五支承部固定于帶764的區(qū)域764b即可。這樣，根據(jù)手單元7c，能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行吸附管嘴的數(shù)量變更(以及追加、削除)。手單元Sc也如此。
[0179]接下來(lái)，對(duì)供給機(jī)器人7的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行說(shuō)明。
[0180]首先，使移動(dòng)框架7b相對(duì)于支承框架7a在Y方向移動(dòng)并且使基部75相對(duì)于移動(dòng)框架7b在X方向移動(dòng)，以使手單元7c位于供給托盤(pán)2上。接下來(lái)，根據(jù)需要分別驅(qū)動(dòng)X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76以及Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77，使吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748的配設(shè)間距與凹槽21的配設(shè)間距一致。此外，X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76以及Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77的驅(qū)動(dòng)可以在手單元7c移動(dòng)的過(guò)程中進(jìn)行。
[0181]接下來(lái)，使各吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748下降，利用各吸附管嘴 713、718、723、728、733、738、743、748 保持 IC 器件 100。之后，使吸附管嘴 713、718、723、728、733、738、743、748上升，從凹槽21取出八個(gè)IC器件100。[0182]接下來(lái)，使移動(dòng)框架7b相對(duì)于支承框架7a在Y方向移動(dòng)并且使基部75相對(duì)于移動(dòng)框架7b在X方向移動(dòng)，以使手單元7c位于托盤(pán)42上。供給托盤(pán)2的凹槽21的配設(shè)間距與托盤(pán)42的凹槽421的配設(shè)間距在X方向以及Y方向兩個(gè)方向不同，所以接下來(lái)分別驅(qū)動(dòng)X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76以及Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77，使吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748的配設(shè)間距與凹槽421的配設(shè)間距一致。此外，X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76以及Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77的驅(qū)動(dòng)可以在手單元7c移動(dòng)的過(guò)程中進(jìn)行。
[0183]接下來(lái)，使各吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748下降，將各吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748所保持的IC器件100載置于凹槽421。然后，在將IC器件100的吸附狀態(tài)解除后，使吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748上升，將各IC器件100留在凹槽421。
[0184]此外，在上述方式中，供給托盤(pán)2的凹槽21的配設(shè)間距與托盤(pán)42的凹槽421的配設(shè)間距在X方向以及Y方向兩個(gè)方向不同，但并不局限于此，可以是僅在X方向的配設(shè)間距不同。此時(shí)，暫時(shí)利用Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77調(diào)整吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在Y方向的配設(shè)間距，之后僅驅(qū)動(dòng)X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76而改變吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在X方向的配設(shè)間距即可。
[0185]相反，也可以是僅在Y方向的配設(shè)間距不同。此時(shí)，暫時(shí)利用X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76調(diào)整吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在X方向的配設(shè)間距，之后，僅驅(qū)動(dòng)Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77而改變吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在Y方向的配設(shè)間距即可。
[0186]另外，配設(shè)間距也可以在X方向以及Y方向兩個(gè)方向相等。此時(shí)，暫時(shí)利用Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77調(diào)整吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在Y方向的配設(shè)間距，利用X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76調(diào)整吸附管嘴713、718、723、728、733、738、743、748在X方向的配設(shè)間距之后，不改變這些配設(shè)間距而進(jìn)行上述IC器件100的輸送即可。
[0187]從供給托盤(pán)2向托盤(pán)52的IC器件100的輸送也同樣。
[0188](檢查用機(jī)器人)
[0189]檢查用機(jī)器人9是將收納于托盤(pán)42、52的IC器件100輸送到檢查用插座6、并且將配置于檢查用插座6且電氣特性的檢查結(jié)束后的IC器件100輸送到托盤(pán)43、53的機(jī)器人。
[0190]另外，檢查用機(jī)器人9在從托盤(pán)42、52向檢查用插座6輸送IC器件100時(shí)，能夠進(jìn)行IC器件100相對(duì)于檢查用插座6 (檢查用獨(dú)立插座61)的定位，而且在將IC器件100配置于檢查用插座6并進(jìn)行電氣特性的檢查時(shí)，能夠?qū)C器件100按壓于探針，從而對(duì)IC器件100施加規(guī)定的檢查壓力。
[0191]如圖1所不，檢查用機(jī)器人9具有:相對(duì)于臺(tái)座11固定地設(shè)置的第一框架911、被支承于第一框架911且能夠相對(duì)于第一框架911在Y方向往復(fù)移動(dòng)的第二框架912、被支承于第二框架912且能夠相對(duì)于第二框架912在Z方向升降的第一手單元支承部913和第二手單元支承部914、八個(gè)被支承于第一手單元支承部913的第一手單元92、以及八個(gè)被支承于第二手單元支承部914的第二手單元93。
[0192]第一手單元支承部913、第二手單元支承部914都被支承于第二框架912，所以在X方向以及Y方向一體地移動(dòng)，但在Z方向能夠分別獨(dú)立地移動(dòng)。例如利用以線性馬達(dá)為驅(qū)動(dòng)源的未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行第二框架912相對(duì)于第一框架911的移動(dòng)、各手單元支承部913,914相對(duì)于第二框架912的移動(dòng)。
[0193]八個(gè)第一手單元92在第一手單元支承部913的下側(cè)，以沿X方向排列四個(gè)、沿Y方向排列兩個(gè)的方式配置為行列狀。另外，八個(gè)第一手單元92的配設(shè)間距與八個(gè)形成于托盤(pán)42,43的凹槽421、431以及八個(gè)設(shè)置于檢查用插座6的檢查用獨(dú)立插座61的配設(shè)間距大致相等。因此，能夠更順利地進(jìn)行IC器件100在托盤(pán)42、43與檢查用插座6之間的輸送。
[0194]同樣，八個(gè)第二手單元93是在第二梭5的各托盤(pán)52、53與檢查用插座6之間輸送IC器件100的裝置。另外，八個(gè)第二手單元93是在將未檢查的IC器件100從托盤(pán)52向檢查用插座6輸送時(shí),進(jìn)行IC器件100相對(duì)于檢查用插座6的定位的裝置。
[0195]八個(gè)第二手單元93在第二手單元支承部914的下側(cè)，以沿X方向排列四個(gè)、沿Y方向排列兩個(gè)的方式配置為行列狀。另外，八個(gè)第二手單元93的配置間距和上述八個(gè)第一手單元92相同，與八個(gè)形成于托盤(pán)42、43的凹槽421、431以及八個(gè)設(shè)置于檢查用插座6的檢查用獨(dú)立插座61的配設(shè)間距大致相等。因此，能夠順利地進(jìn)行IC器件100在托盤(pán)52、53與檢查用插座6之間的輸送。
[0196]以下，對(duì)八個(gè)第一手單元92以及八個(gè)第二手單元93的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明，但各手單元92,93是彼此相同的結(jié)構(gòu)，所以以下以一個(gè)第一手單元92為代表進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)其它的第一手單元92以及第二手單元93省略說(shuō)明。
[0197]如圖11所示，第一手單元92具有:被支承/固定于第一手單元支承部913的支承部94、被支承于支承部94且能夠相對(duì)于支承部94在±X方向往復(fù)移動(dòng)的第一移動(dòng)部95、被支承于第一移動(dòng)部95且能夠相對(duì)于第一移動(dòng)部95在土Y方向往復(fù)移動(dòng)的第二移動(dòng)部96、被支承于第二移動(dòng)部96且能夠相對(duì)于第二移動(dòng)部96繞Z軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部97、以及被支承于旋轉(zhuǎn)部97的保持部98。在支承部94設(shè)置有用于進(jìn)行所保持的IC器件100相對(duì)于檢查用獨(dú)立插座61的定位的器件標(biāo)記941。另外，保持部98例如由吸附管嘴構(gòu)成，能夠通過(guò)吸附來(lái)保持IC器件100。
[0198]另外，第一手單兀92具有:使第一移動(dòng)部95相對(duì)于支承部94在±X方向往復(fù)移動(dòng)的未圖不的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、使第二移動(dòng)部96相對(duì)于第一移動(dòng)部95在土Y方向往復(fù)移動(dòng)的未圖示的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、以及使旋轉(zhuǎn)部97相對(duì)于第二移動(dòng)部96繞Z軸旋轉(zhuǎn)的第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。這些第一、第二、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，例如以線性馬達(dá)為驅(qū)動(dòng)源，此外可以根據(jù)需要而附加用于將馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直動(dòng)運(yùn)動(dòng)的齒條、小齒輪等結(jié)構(gòu)。
[0199]上述第一手單元92以如下方式進(jìn)行所保持的IC器件100的定位(視覺(jué)對(duì)準(zhǔn))。利用保持部98保持被收納于托盤(pán)42的未檢查的IC器件100，在使第一手單元92從托盤(pán)42的正上方朝檢查用插座6的正上方移動(dòng)的過(guò)程中，第一手單元92通過(guò)第一照相機(jī)600的正上方。第一照相機(jī)600在第一手單元92從其正上方通過(guò)時(shí)進(jìn)行拍攝以便捕捉被保持于第一手單元92的IC器件100以及器件標(biāo)記941。所得到的圖像數(shù)據(jù)被發(fā)送到控制裝置10，由控制裝置10進(jìn)行圖像識(shí)別處理。
[0200]具體而言，在圖像識(shí)別處理中，對(duì)從第一照相機(jī)600取得的圖像數(shù)據(jù)實(shí)施規(guī)定的處理，計(jì)算器件標(biāo)記941與IC器件100之間的相對(duì)位置以及相對(duì)角度。而且，將計(jì)算出的相對(duì)位置以及相對(duì)角度同表示器件標(biāo)記941與IC器件100之間的正確的位置關(guān)系的基準(zhǔn)位置以及基準(zhǔn)角度進(jìn)行對(duì)比，分別計(jì)算在相對(duì)位置與基準(zhǔn)位置之間產(chǎn)生的“位置偏移量”、以及在相對(duì)角度與基準(zhǔn)角度之間產(chǎn)生的“角度偏移量”。此外，上述“基準(zhǔn)位置”以及上述“基準(zhǔn)角度”是指在將第一手單元92配置于預(yù)先設(shè)定的檢查用原點(diǎn)位置時(shí)，IC器件100的外部端子與檢查用獨(dú)立插座61的探針適當(dāng)連接的位置。
[0201]而且，控制裝置10基于求出的“位置偏移量”以及“角度偏移量”，根據(jù)需要驅(qū)動(dòng)第一、第二、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)修正IC器件100的位置以及姿勢(shì)(角度)，以使相對(duì)位置以及相對(duì)角度與基準(zhǔn)位置以及基準(zhǔn)角度一致。通過(guò)上述控制，能夠進(jìn)行由保持部98保持的IC器件100的定位。
[0202]控制裝置10構(gòu)成為能夠分別獨(dú)立地控制八個(gè)第一手單元92的驅(qū)動(dòng)，所以能夠分別獨(dú)立地進(jìn)行八個(gè)被保持于各第一手單元92的IC器件100的定位(位置修正)。
[0203]對(duì)于由第二手單元93進(jìn)行的IC器件100的定位，除了使用第二照相機(jī)500代替第一照相機(jī)600以外，其它結(jié)構(gòu)與上述第一手單元92的情況相同，故省略說(shuō)明。
[0204](回收機(jī)器人)
[0205]回收機(jī)器人8是用于將被收納于托盤(pán)43、53的檢查完畢的IC器件100輸送到回收托盤(pán)3的機(jī)器人。
[0206]回收機(jī)器人8與供給機(jī)器人7結(jié)構(gòu)相同。即，回收機(jī)器人8具有:被支承于臺(tái)座11的支承框架8a、被支承于支承框架8a且能夠相對(duì)于支承框架8a在Y方向往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)框架Sb、以及被支承于移動(dòng)框架Sb且能夠相對(duì)于移動(dòng)框架Sb在X方向往復(fù)移動(dòng)的手單元Sc。上述各部分的結(jié)構(gòu)與供給機(jī)器人7的對(duì)應(yīng)的各部分的結(jié)構(gòu)相同，故省略說(shuō)明。另外，回收機(jī)器人8的驅(qū)動(dòng)也與供給機(jī)器人7的驅(qū)動(dòng)相同，故省略說(shuō)明。
[0207]這里，存在在被收納于托盤(pán)43 (53)的檢查完畢的IC器件100中存在不能發(fā)揮規(guī)定的電氣特性的次品的情況。因此，例如準(zhǔn)備兩個(gè)回收托盤(pán)3，一個(gè)用作用于收納滿(mǎn)足規(guī)定的電氣特性的合格品的托盤(pán)，另一個(gè)用作用于回收上述次品的托盤(pán)。另外，在使用一個(gè)回收托盤(pán)3的情況下，也可以將規(guī)定的凹槽31用作用于收納上述次品的凹槽。由此，能夠明確區(qū)分合格品與次品。
[0208](控制裝置)
[0209]控制裝置10具有驅(qū)動(dòng)控制部102和檢查控制部101。驅(qū)動(dòng)控制部102例如控制供給托盤(pán)2、回收托盤(pán)3、第一梭4以及第二梭5的移動(dòng)、供給機(jī)器人7、回收機(jī)器人8、檢查用機(jī)器人9、載置狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)200、第一照相機(jī)600以及第二照相機(jī)500等的機(jī)械性驅(qū)動(dòng)。一個(gè)檢查控制部101基于存儲(chǔ)于未圖不的存儲(chǔ)器內(nèi)的程序?qū)ε渲糜跈z查用插座6的IC器件100的電氣特性進(jìn)行檢查。
[0210]以上，對(duì)檢查裝置I的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明。
[0211]由檢查裝置進(jìn)行的檢查方法
[0212]接下來(lái)，對(duì)由檢查裝置I進(jìn)行的IC器件100的檢查方法進(jìn)行說(shuō)明。此外，以下說(shuō)明的檢查方法、特別是IC器件100的輸送次序僅是一個(gè)例子，并不局限于此。
[0213](步驟I)
[0214]首先，如圖12所示，將在各凹槽21收納有IC器件100的供給托盤(pán)2輸送到區(qū)域S內(nèi)，并且使第一梭4、第二梭5朝-X方向側(cè)移動(dòng)，使托盤(pán)42、52成為分別相對(duì)于供給托盤(pán)2排列在+Y方向側(cè)的狀態(tài)。
[0215](步驟2)[0216]接下來(lái)，如圖13所示，利用供給機(jī)器人7將收納于供給托盤(pán)2的IC器件100轉(zhuǎn)移到托盤(pán)42、52，將IC器件100收納于托盤(pán)42,52的各凹槽421、521。
[0217]接下來(lái)，利用載置狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)200檢測(cè)被收納于托盤(pán)42、52的各凹槽421、521的IC器件100的載置狀態(tài)。假設(shè)在檢測(cè)出一個(gè)異常的載置狀態(tài)的IC器件100的情況下，驅(qū)動(dòng)控制部102暫時(shí)停止各部分的驅(qū)動(dòng)，糾正異常的載置狀態(tài)，在確認(rèn)全部的IC器件100成為正常的載置狀態(tài)之后，再次開(kāi)始各部分的驅(qū)動(dòng)。
[0218](步驟3)
[0219]接下來(lái)，如圖14所示，使第一梭4、第二梭5都朝+X方向側(cè)移動(dòng)，成為托盤(pán)42相對(duì)于檢查用插座6排列在+Y方向側(cè)，托盤(pán)52相對(duì)于檢查用插座6排列在-Y方向側(cè)的狀態(tài)。
[0220](步驟4)
[0221]接下來(lái)，如圖15所示，使第一手單元支承部913、第二手單元支承部914 一體地朝+Y方向側(cè)移動(dòng)，成為第一手單元支承部913位于托盤(pán)42的正上方、并且第二手單元支承部914位于檢查用插座6的正上方的狀態(tài)。之后，利用各第一手單元92保持被收納于托盤(pán)42的IC器件100。
[0222](步驟5)
[0223]接下來(lái)，如圖16所示，使第一手單元支承部913、第二手單元支承部914 一體地朝-Y方向側(cè)移動(dòng)，成為第一手單元支承部913位于檢查用插座6的正上方(檢查用原點(diǎn)位置)、并且第二手單元支承部914位于托盤(pán)52的正上方的狀態(tài)。在該移動(dòng)的過(guò)程中，根據(jù)由第一照相機(jī)600拍攝到的圖像數(shù)據(jù)單獨(dú)進(jìn)行各IC器件100的定位(視覺(jué)對(duì)準(zhǔn))。
[0224]在進(jìn)行上述第一手單元支承部913、第二手單元支承部914的移動(dòng)以及IC器件100的定位的同時(shí)，進(jìn)行以下的作業(yè)。首先，使第一梭4朝-X方向側(cè)移動(dòng)，成為托盤(pán)43相對(duì)于檢查用插座6排列在+Y方向的狀態(tài)，并且成為托盤(pán)42相對(duì)于供給托盤(pán)2排列在+Y方向的狀態(tài)。接下來(lái)，利用供給機(jī)器人7將收納于供給托盤(pán)2的IC器件100轉(zhuǎn)移到托盤(pán)42，將IC器件100收納于托盤(pán)42的各凹槽421。而且，與上述情況相同，利用載置狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)200檢測(cè)被收納于各凹槽421的IC器件100的載置狀態(tài)。
[0225](步驟6)
[0226]接下來(lái)，使第一手單元支承部913下降，將由各第一手單元92保持的IC器件100配置于檢查用插座6的各檢查用獨(dú)立插座61內(nèi)。此時(shí)，各第一手單元92以規(guī)定的檢查壓力(壓力)將IC器件100按壓于檢查用獨(dú)立插座61。由此使IC器件100的外部端子與設(shè)置于檢查用獨(dú)立插座61的探針成為電連接的狀態(tài)，在該狀態(tài)下，利用控制裝置10的檢查控制部101對(duì)各檢查用獨(dú)立插座61內(nèi)的IC器件100進(jìn)行電氣特性的檢查。在該檢查結(jié)束后，使第一手單元支承部913上升，將由各第一手單元92保持的IC器件100從檢查用獨(dú)立插座61取出。
[0227]在進(jìn)行上述作業(yè)(IC器件100的檢查)的同時(shí)，被支承于第二手單元支承部914的各第二手單元93保持被收納于托盤(pán)52的IC器件100，將IC器件100從托盤(pán)52取出。
[0228](步驟7)
[0229]接下來(lái)，如圖17所示，使第一手單元支承部913、第二手單元支承部914朝+Y方向側(cè)移動(dòng)，成為第一手單元支承部913位于第一梭4的托盤(pán)43的正上方、并且第二手單元支承部914位于檢查用插座6的正上方(檢查用原點(diǎn)位置)的狀態(tài)。在該移動(dòng)的過(guò)程中，根據(jù)由第二照相機(jī)500拍攝到的圖像數(shù)據(jù)，單獨(dú)進(jìn)行各IC器件100的定位(視覺(jué)對(duì)準(zhǔn))。
[0230]在進(jìn)行上述第一手單元支承部913、第二手單元支承部914的移動(dòng)的同時(shí)，進(jìn)行以下的作業(yè)。首先，使第二梭5朝-X方向側(cè)移動(dòng)，成為托盤(pán)53相對(duì)于檢查用插座6排列在-Y方向的狀態(tài)，并且成為托盤(pán)52相對(duì)于供給托盤(pán)2排列在+Y方向的狀態(tài)。接下來(lái)，利用供給機(jī)器人7將收納于供給托盤(pán)2的IC器件100轉(zhuǎn)移到托盤(pán)52，將IC器件100收納在托盤(pán)52的各凹槽521。而且，與上述情況相同，利用載置狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)200檢測(cè)被收納于各凹槽521的IC器件100的載置狀態(tài)。
[0231](步驟8)
[0232]接下來(lái)，如圖18所示，使第二手單元支承部914下降，將由各第二手單元93保持的IC器件100配置于檢查用插座6的各檢查用獨(dú)立插座61內(nèi)。而且,利用檢查控制部101對(duì)各檢查用獨(dú)立插座61內(nèi)的IC器件100進(jìn)行電氣特性的檢查。在該檢查結(jié)束后，使第二手單元支承部914上升，將由第二手單元93保持的IC器件100從檢查用獨(dú)立插座61取出。
[0233]在進(jìn)行上述作業(yè)的同時(shí)進(jìn)行以下的作業(yè)。首先，將各第一手單元92保持的檢查完畢的IC器件100收納于托盤(pán)43的各凹槽431。接下來(lái)，使第一梭4朝+X方向側(cè)移動(dòng)，成為托盤(pán)42相對(duì)于檢查用插座6排列在+Y方向且位于各第一手單元92的正下方的狀態(tài)，并且成為托盤(pán)43相對(duì)于回收托盤(pán)3排列在+Y方向的狀態(tài)。接下來(lái)，各第一手單元92保持被收納于托盤(pán)42的IC器件100，并且利用回收機(jī)器人8將被收納于托盤(pán)43的檢查完畢的IC器件100轉(zhuǎn)移到回收托盤(pán)3。
[0234](步驟9)
[0235]接下來(lái)，如圖19所示，使第一手單元支承部913、第二手單元支承部914朝-Y方向側(cè)移動(dòng)，成為第一手單元支承部913位于檢查用插座6的正上方(檢查用原點(diǎn)位置)、并且第二手單元支承部914位于托盤(pán)52的正上方的狀態(tài)。此時(shí)，與上述步驟5相同，進(jìn)行被保持于第一手單元92的IC器件100的定位。
[0236]在進(jìn)行上述第一手單元支承部913、第二手單元支承部914的移動(dòng)的同時(shí)，進(jìn)行以下的作業(yè)。首先，使第一梭4朝-X方向側(cè)移動(dòng)，成為托盤(pán)43相對(duì)于檢查用插座6排列在+Y方向的狀態(tài)，并且成為托盤(pán)42相對(duì)于供給托盤(pán)2排列在+Y方向的狀態(tài)。接下來(lái)，利用供給機(jī)器人7將被收納于供給托盤(pán)2的IC器件100轉(zhuǎn)移到托盤(pán)42，將IC器件100收納在托盤(pán)42的各凹槽421。而且，與上述情況相同，利用載置狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)200檢測(cè)被收納于各凹槽421的IC器件100的載置狀態(tài)。
[0237](步驟10)
[0238]接下來(lái)，如圖20所示，使第一手單元支承部913下降，將由各第一手單元92保持的IC器件100配置于檢查用插座6的各檢查用獨(dú)立插座61內(nèi)。然后，利用檢查控制部101對(duì)各檢查用獨(dú)立插座61內(nèi)的IC器件100進(jìn)行電氣特性的檢查。在該檢查結(jié)束后，使第一手單元支承部913上升，將由各第一手單元92保持的IC器件100從檢查用獨(dú)立插座61取出。
[0239]在進(jìn)行上述作業(yè)的同時(shí)進(jìn)行以下的作業(yè)。首先，將各第二手單元93保持的檢查完畢的IC器件100收納于托盤(pán)53的各凹槽531。接下來(lái)，使第二梭5朝+X方向側(cè)移動(dòng)，成為托盤(pán)52相對(duì)于檢查用插座6排列在-Y方向且位于第二手單元93的正下方的狀態(tài)，并且成為托盤(pán)53相對(duì)于回收托盤(pán)3排列在+Y方向的狀態(tài)。接下來(lái)，各第二手單元93保持被收納于托盤(pán)52的IC器件100，并且利用回收機(jī)器人8將被收納于托盤(pán)53的檢查完畢的IC器件100轉(zhuǎn)移到回收托盤(pán)3。
[0240](步驟11)
[0241]以下，反復(fù)進(jìn)行上述步驟7?步驟10。此外，在該反復(fù)的過(guò)程中，在將被收納于供給托盤(pán)2的IC器件100全部轉(zhuǎn)移至第一梭4后，供給托盤(pán)2移動(dòng)到區(qū)域S外。然后，向供給托盤(pán)2供給新的IC器件100、或更換為已經(jīng)收納有IC器件100的其它的供給托盤(pán)2，然后使供給托盤(pán)2再次移動(dòng)到區(qū)域S內(nèi)。同樣，在反復(fù)的過(guò)程中，如果在回收托盤(pán)3的全部的凹槽31均收納有IC器件100，則使回收托盤(pán)3移動(dòng)到區(qū)域S外。然后，在取下被收納于回收托盤(pán)3的IC器件100、或?qū)⒒厥胀斜P(pán)3更換為其它的空的回收托盤(pán)3之后，使回收托盤(pán)3再次移動(dòng)到區(qū)域S內(nèi)。
[0242]根據(jù)上述方法，能夠高效地進(jìn)行IC器件100的檢查。具體而言，檢查用機(jī)器人9具有第一手單元92和第二手單元93，例如，在第一手單元92 (第二手單元93也如此)保持的IC器件100被檢查用插座6檢查的狀態(tài)下，與此同時(shí)，第二手單元93將檢查結(jié)束的IC器件100收納于托盤(pán)53并且保持接下來(lái)檢查的IC器件100并待機(jī)。這樣，使用兩個(gè)手單元分別同時(shí)進(jìn)行不同的作業(yè)，由此能夠減少浪費(fèi)的時(shí)間，能夠高效地進(jìn)行IC器件100的檢查。
[0243]第二實(shí)施方式
[0244]接下來(lái)，對(duì)本實(shí)用新型的檢查裝置的第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0245]圖21是表示本實(shí)用新型的第二實(shí)施方式所涉及的檢查裝置所具有的供給機(jī)器人的手單元的俯視圖，圖22是圖21所示的手單元所具有的支承部的俯視圖。
[0246]以下，對(duì)于第二實(shí)施方式的檢查裝置，以與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)于相同的事項(xiàng)省略說(shuō)明。
[0247]本實(shí)用新型的第二實(shí)施方式所涉及的檢查裝置除了供給機(jī)器人以及回收機(jī)器人的手單兀所具有的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)不同以外，其它結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式相同。此外，對(duì)與上述第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的符號(hào)。另外，在本實(shí)施方式中，供給機(jī)器人具有的手單元和回收機(jī)器人具有的手單元的結(jié)構(gòu)彼此相同，以下，以供給機(jī)器人具有的手單元為代表進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)于回收機(jī)器人具有的手單元省略說(shuō)明。
[0248]如圖21所示，本實(shí)施方式的手單元7c具有的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77'具有:設(shè)置于第一支承部71的第一支承部用單元1100、設(shè)置于第二支承部72的第二支承部用單元1200、設(shè)置于第三支承部73的第三支承部用單元1300、設(shè)置于第四支承部74的第四支承部用單元1400、以及驅(qū)動(dòng)各單元1100、1200、1300、1400的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1500。
[0249]驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1500具有:一對(duì)設(shè)置于第二基座752的帶輪(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪)1508、1509、掛設(shè)于一對(duì)帶輪1508、1509之間的帶(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩)1510、同軸固定于帶輪1509且在X方向延伸的花鍵軸(傳動(dòng)軸)1501、四個(gè)設(shè)置于花鍵軸1501的外周的花鍵螺母1502、1503、1504、1505、以及使帶輪1508旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)1507。
[0250]馬達(dá)1507固定于第二基座752。當(dāng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)1507時(shí)，其驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由帶1510傳遞到帶輪1509，花鍵軸1501繞其軸旋轉(zhuǎn)。這樣，通過(guò)將馬達(dá)1507固定于基部75，能夠穩(wěn)定地驅(qū)動(dòng)馬達(dá)1507、并且能夠防止第一支承部71?第四支承部74的重量的增加。[0251]四個(gè)花鍵螺母1502、1503、1504、1505分別相對(duì)于花鍵軸1501沿其軸向移動(dòng)自如，但它們繞軸的旋轉(zhuǎn)被限制。即，當(dāng)利用馬達(dá)1507使花鍵軸1501旋轉(zhuǎn)時(shí)，花鍵螺母1502、1503、1504、1505也分別旋轉(zhuǎn)。
[0252]另外，在花鍵螺母1502、1503、1504、1505中，花鍵螺母1502由第一支承部71支承為旋轉(zhuǎn)自如，花鍵螺母1503由第二支承部72支承為旋轉(zhuǎn)自如，花鍵螺母1504由第三支承部73支承為旋轉(zhuǎn)自如，花鍵螺母1505由第四支承部74支承為旋轉(zhuǎn)自如。
[0253]此外，如上所述，花鍵螺母1503、1504、1505相對(duì)于花鍵軸1501在其軸向(X方向)移動(dòng)自如，所以Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77'不妨礙由X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)76進(jìn)行的第二支承部72、第三支承部73、第四支承部74在X方向的移動(dòng)。
[0254]如圖22所示，第一支承部用單元1100具有一對(duì)帶輪(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第三引導(dǎo)輪、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第四引導(dǎo)輪)1101、1102、和掛設(shè)于一對(duì)帶輪1101、1102之間的帶(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩)1103。其中，帶輪1101同軸固定于花鍵螺母1502，與花鍵螺母1502 —起繞花鍵軸1501的軸旋轉(zhuǎn)。另外，帶輪1102相對(duì)于帶輪1101在Y方向離開(kāi)，且由第一支承部71支承為旋轉(zhuǎn)自如。而且，帶1103掛設(shè)在這些帶輪1101、1102之間。帶1103在帶輪1101、1102之間具有兩個(gè)在Y方向延伸的區(qū)域1103a、1103b，在區(qū)域1103a，第一移動(dòng)部715固定于帶1103。此外，花鍵螺母1503也可以兼作帶輪1101。
[0255]第二支承部用單元1200的結(jié)構(gòu)與上述第一支承部用單元1100的結(jié)構(gòu)相同。第二支承部用單元1200具有一對(duì)帶輪(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第五引導(dǎo)輪、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第六引導(dǎo)輪)1201、1202、和掛設(shè)于一對(duì)帶輪1201、1202之間的帶(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第三環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩)1203。其中，帶輪1201同軸固定于花鍵螺母1503，與花鍵螺母1503 —起繞花鍵軸1501的軸旋轉(zhuǎn)。另外，帶輪1202相對(duì)于帶輪1201在Y方向離開(kāi)，且由第二支承部72支承為旋轉(zhuǎn)自如。而且，帶1203掛設(shè)在這些帶輪1201、1202之間。帶1203在帶輪1201、1202之間具有兩個(gè)在Y方向延伸的區(qū)域1203a、1203b，在區(qū)域1203a，第二移動(dòng)部725固定于帶1203。
[0256]第三支承部用單元1300的結(jié)構(gòu)與上述第一支承部用單元1100的結(jié)構(gòu)相同。第三支承部用單元1300具有一對(duì)帶輪(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第七引導(dǎo)輪、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第八引導(dǎo)輪)1301、1302、和掛設(shè)于一對(duì)帶輪1301、1302之間的帶(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第四環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩)1303。其中，帶輪1301同軸固定于花鍵螺母1504，與花鍵螺母1504—起繞花鍵軸1501的軸旋轉(zhuǎn)。另外，帶輪1302相對(duì)于帶輪1301在Y方向離開(kāi)，且由第三支承部73支承為旋轉(zhuǎn)自如。而且，帶1303掛設(shè)在這些帶輪1301、1302之間。帶1303在帶輪1301、1302之間具有兩個(gè)在Y方向延伸的區(qū)域1303a、1303b，在區(qū)域1303a，第三移動(dòng)部735固定于帶1303。
[0257]第四支承部用單元1400的結(jié)構(gòu)與上述第一支承部用單元1100的結(jié)構(gòu)相同。第四支承部用單元1400具有一對(duì)帶輪(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第九引導(dǎo)輪、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第十引導(dǎo)輪)1401、1402、和掛設(shè)于一對(duì)帶輪1401、1402之間的帶(第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第五環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩)1403。其中，帶輪1401同軸固定于花鍵螺母1505，與花鍵螺母1505 —起繞花鍵軸1501的軸旋轉(zhuǎn)。另外，帶輪1402相對(duì)于帶輪1401在Y方向離開(kāi)，且由第四支承部74支承為旋轉(zhuǎn)自如。而且，帶1403掛設(shè)在這些帶輪1401、1402之間。帶1403在帶輪1401、1402之間具有兩個(gè)在Y方向延伸的區(qū)域1403a、1403b，在區(qū)域1403a，第四移動(dòng)部745固定于帶1403。
[0258]此外，帶輪1101、1102、1201、1202、1301、1302、1401、1402 分別具有相等的外徑。
[0259]在上述結(jié)構(gòu)的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77'中，當(dāng)利用馬達(dá)1507使花鍵軸1501旋轉(zhuǎn)，將其旋轉(zhuǎn)力傳遞到各帶輪1101、1201、1301、1401來(lái)使各帶1103、1203、1303、1403旋轉(zhuǎn)時(shí)，在區(qū)域1103a、1203a、1303a、1403a，帶1103、1203、1303、1403朝Y方向的相同側(cè)以相等的速度前進(jìn)。因此，當(dāng)帶1103、1203、1303、1403旋轉(zhuǎn)時(shí)，各移動(dòng)部715、725、735、745相對(duì)于各支承部71、72、73、74在Y方向一體地移動(dòng)相等的距離。
[0260]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77’，能夠可靠地使吸附管嘴713、718的離開(kāi)距離、吸附管嘴723、728的離開(kāi)距離、吸附管嘴733、738的離開(kāi)距離以及吸附管嘴743、748的離開(kāi)距離保持彼此相等，并能夠改變上述離開(kāi)距離。另外，在Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)77’中，針對(duì)各支承部71~74的每個(gè)設(shè)置專(zhuān)用的單元，所以能夠更加可靠地使各移動(dòng)部715~745在Y方向移動(dòng)。
[0261]在上述第二實(shí)施方式中，也能夠發(fā)揮與上述第一實(shí)施方式相同的效果。
[0262]此外，在上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1500中，是將花鍵軸1501與花鍵螺母1502~1505組合而成的結(jié)構(gòu)，但只要能發(fā)揮與它們相同的功能即可，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1500的結(jié)構(gòu)沒(méi)有特別的限定。
[0263]以上，結(jié)合圖示的實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型的輸送裝置以及檢查裝置進(jìn)行了說(shuō)明，但本實(shí)用新型不限定于此，各部分的結(jié)構(gòu)能夠置換為具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)。另外，可以在本實(shí)用新型中附加其它任意的構(gòu)成物。另外，也可以將各實(shí)施方式適當(dāng)?shù)亟M合。
[0264]符號(hào)說(shuō)明
[0265]1:檢查裝置；11:臺(tái)座；2:供給托盤(pán)；21:凹槽；23:導(dǎo)軌；3:回收托盤(pán)；31:凹槽；33:導(dǎo)軌；4:第一梭；41:基座部件；42:托盤(pán)；421:凹槽；43:托盤(pán)；431:凹槽；44:導(dǎo)軌；5:第二梭；51:基座部件；52:托盤(pán)；521:凹槽；53:托盤(pán)；531:凹槽；54:導(dǎo)軌；6:檢查用插座；61:檢查用獨(dú)立插座；611:側(cè)面；613:底部；62:探針；7:供給機(jī)器人；7a:支承框架；7b:移動(dòng)框架；7c:手單元；71:第一支承部；711:第一部件保持機(jī)構(gòu)；712:軸；713:吸附管嘴；714:第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；714a:帶輪；714b:帶輪；714c:帶；714d:馬達(dá)；714e:固定部；715:第一移動(dòng)部；716:第二部件保持機(jī)構(gòu)；717:軸；718:吸附管嘴；719:驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；719a:帶輪；719b:帶輪；719c:帶；719d:馬達(dá)；719e:固定部；72:第二支承部；721:第三部件保持機(jī)構(gòu)；722:軸；723:吸附管嘴；724:驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；724a:帶輪；724b:帶輪；724c:帶；724d:馬達(dá)；724e:固定部；725:第二移動(dòng)部；726:第四部件保持機(jī)構(gòu)；727:軸；728:吸附管嘴；729:驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；729a:帶輪；729b:帶輪；729c:帶；729d:馬達(dá)；729e:固定部；73 --第三支承部；731:第五部件保持機(jī)構(gòu)；732:軸；733:吸附管嘴；734:驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；734a:帶輪；734b:帶輪；734c:帶；734d:馬達(dá)；734e:固定部；735:第三移動(dòng)部；736:第六部件保持機(jī)構(gòu)；737:軸；738:吸附管嘴；739:驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；739a:帶輪；739b:帶輪；739c:帶；739d:馬達(dá)；739e:固定部；74:第四支承部；741:第七部件保持機(jī)構(gòu)；742:軸；743:吸附管嘴；744:驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；744a:帶輪；744b:帶輪；744c:帶；744d:馬達(dá)；744e:固定部；745:第四移動(dòng)部；746:第八部件保持機(jī)構(gòu)；747 -M ；748:吸附管嘴；749:驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；749a:帶輪；749b:帶輪；749c:帶；749d:馬達(dá)；749e:固定部；75:基部；751:第一基座；752:第二基座；753:導(dǎo)軌；754:引導(dǎo)件；755:引導(dǎo)件；756:引導(dǎo)件；76:X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)；761:雙級(jí)帶輪；761a:小徑帶輪；761b:大徑帶輪；762:雙級(jí)帶輪；762a:小徑帶輪；762b:大徑帶輪；763:帶；763a:區(qū)域；763b:區(qū)域；764:帶；764a:區(qū)域；764b:區(qū)域；765:馬達(dá)；77:Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)；77a:第一單元；77b:第二單元；771:帶輪；772:帶輪；773:帶；773a:區(qū)域；773b:區(qū)域；774:帶輪；775:帶輪；776:帶；776a:區(qū)域；776b:區(qū)域；777:馬達(dá)；778:傳遞軸；779:連結(jié)軸；779b:直線套筒；779c:直線套筒；779d:直線套筒；8:回收機(jī)器人；8a:支承框架；8b:移動(dòng)框架；8c:手單元；9:檢查用機(jī)器人；911:框架；911a:導(dǎo)軌；912:框架；912a:導(dǎo)軌；912b:導(dǎo)軌；913:手單元支承部；914:手單元支承部；92:手單元；93:手單元；94:支承部；941:器件標(biāo)記；95:第一移動(dòng)部；96:第二移動(dòng)部；97:旋轉(zhuǎn)部；98:保持部；10:控制裝置；101:檢查控制部；102:驅(qū)動(dòng)控制部；100:1C器件；200:載置狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)；500:第二照相機(jī)；600:第一照相機(jī)；1100:第一支承部用單元；1101:帶輪；1102:帶輪；1103:帶;1103a:區(qū)域；1103b:區(qū)域；1200:第二支承部用單元；1201:帶輪；1202:帶輪；1203:帶；1203a:區(qū)域；1203b:區(qū)域；1300:第三支承部用單元；1301:帶輪；1302:帶輪；1303:帶；1303a:區(qū)域；1303b:區(qū)域；1400:第四支承部用單元；1401:帶輪；1402:帶輪；1403:帶；1403a:區(qū)域；1403b:區(qū)域；1500:驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；1501:花鍵軸；1502:花鍵螺母；1503:花鍵螺母；1504:花鍵螺母；1505:花鍵螺母；1507:馬達(dá)；1508:帶輪；1509:帶輪；1510:帶；S:區(qū)域。
【權(quán)利要求】
1.一種輸送裝置，其特征在于， 在將相互正交的三個(gè)方向設(shè)為第一方向、第二方向以及第三方向時(shí)， 所述輸送裝置包括: 基部; 第一支承部，該第一支承部被固定于所述基部； 第二支承部，該第二支承部被支承于所述基部，相對(duì)于所述第一支承部位于所述第一方向，并且相對(duì)于所述基部在所述第一方向移動(dòng)；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)， 所述第一支承部包括: 第一部件保持部，該第一部件保持部相對(duì)于所述第一支承部在所述第三方向移動(dòng)，并且保持部件； 第一移動(dòng)部，該第一移動(dòng)部相對(duì)于所述第一支承部在所述第二方向移動(dòng)；以及第二部件保持部，該第二部件保持部被支承于所述第一移動(dòng)部，相對(duì)于所述第一部件保持部位于所述第二方向，并且相對(duì)于所述第一移動(dòng)部在所述第三方向移動(dòng)，并且保持所述部件， 所述第二支承部包括: 第三部件保持部，該第三部件保持部相對(duì)于所述第二支承部在所述第三方向移動(dòng)，并且保持所述部件； 第二移動(dòng)部，該第二移動(dòng)部相對(duì)于所述第二支承部在所述第二方向移動(dòng)；以及第四部件保持部，該第四部件保持部被支承于所述第二移動(dòng)部，相對(duì)于所述第三部件保持部位于所述第二方向，并且相對(duì)于所述第二移動(dòng)部在所述第三方向移動(dòng)，并且保持所述部件， 所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述第二支承部在所述第一方向移動(dòng)，使所述第一支承部與所述第二支承部在所述第一方向的離開(kāi)距離變化。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于， 所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的至少一部分被支承于所述基部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于， 所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有:移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪和移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪，它們?cè)谒龅谝环较螂x開(kāi)；移動(dòng)機(jī)構(gòu)用環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)用環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩掛設(shè)于所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪與所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪之間；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)用驅(qū)動(dòng)源，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)用驅(qū)動(dòng)源使所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪和所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪的至少一方旋轉(zhuǎn)，從而使所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)用環(huán)形驅(qū)動(dòng)繩旋轉(zhuǎn)， 至少所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第一引導(dǎo)輪以及所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)用第二引導(dǎo)輪分別由所述基部支承為能夠旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于， 所述第一支承部以及所述第二支承部分別呈在所述第二方向以及所述第三方向兩個(gè)方向延展的板狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于， 所述第一部件保持部、所述第二部件保持部、所述第三部件保持部以及所述第四部件保持部分別具有通過(guò)吸附來(lái)保持對(duì)象物的吸附管嘴。
6.一種檢查裝置，其特征在于， 所述檢查裝置具有: 權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所記載的輸送裝置；以及 進(jìn)行對(duì)象物的檢查的檢查部， 所述檢查裝置構(gòu)成 為，利用所述輸送裝置將所述對(duì)象物輸送到所述檢查部。
【文檔編號(hào)】G01R1/02GK203825037SQ201420108957
【公開(kāi)日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2013年6月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月28日
【發(fā)明者】長(zhǎng)谷川信夫, 前田政己 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社