瞬態(tài)磁場微分傳感器的制造方法
【專利摘要】本實用新型是一種瞬態(tài)磁場微分傳感器,包括一環(huán)形天線支撐部、一電磁屏蔽管和一電磁屏蔽輸出盒相互連接形成一殼體。該瞬態(tài)磁場微分傳感器進一步包括兩個同軸電纜相互對稱設(shè)置于所述殼體中形成一感測天線。兩個同軸電纜的一端設(shè)置于所述環(huán)形天線支撐部內(nèi),兩個同軸電纜的另一端穿過所述電磁屏蔽管進入電磁屏蔽輸出盒,并從所述電磁屏蔽輸出盒分離引出。在所述環(huán)形天線支撐部內(nèi),所述兩個同軸電纜對稱地圍成一半封閉環(huán)形線圈且該兩個同軸電纜的端點間隔設(shè)置。在所述兩個同軸電纜的相互間隔設(shè)置的端點,任何一個線纜的同軸纜芯與另外一個同軸線纜的屏蔽層通過導(dǎo)電連接。
【專利說明】瞬態(tài)磁場微分傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型涉及一種傳感器,特別涉及到一種瞬態(tài)磁場微分傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著科技的進步,越來越多的電子設(shè)備能產(chǎn)生瞬態(tài)電磁場,該瞬態(tài)電磁場會對其 它電子設(shè)備產(chǎn)生電磁干擾,成為干擾源。因此,如何檢測這些干擾源及其強度從而采取保護 和屏蔽措施就顯得越來越迫切了。而利用瞬態(tài)磁場傳感器探測瞬態(tài)磁場就可以實現(xiàn)這一目 標(biāo)。
[0003] 根據(jù)不同的物理定律或物理現(xiàn)象,比如磁感應(yīng)、電磁效應(yīng)、核子運動、超導(dǎo)量子干 涉、磁致效應(yīng)和磁光效應(yīng)等,可以制作出不同特點的磁場傳感器。它們適用于探測的磁場強 度有所不同、也有不同的靈敏度、頻響特性和適用領(lǐng)域。這其中,用法拉第電磁感應(yīng)定律制 作的瞬態(tài)磁場微分傳感器可以測量高頻、高強度的磁場,是較理想的高功率瞬態(tài)磁場傳感 器。
[0004] 這種傳感器是利用變化的磁場感應(yīng)出感生的電場,產(chǎn)生可測量的環(huán)向電勢差。在 滿足感應(yīng)線圈小尺寸,即遠小于變化磁場的最高頻率對應(yīng)的波長的情況下,測量區(qū)域內(nèi)的 平均磁場變化率與其中心點的磁場變化率近似相等。所以可以用感應(yīng)項圈產(chǎn)生的感應(yīng)電壓 來間接測量出該區(qū)域中心處的磁場變化率,再通過對其進行積分處理就可以得到該點的磁 場強度。但是,由于實際的磁場環(huán)境中均存在的電場會對感應(yīng)的電壓信號產(chǎn)生干擾作用,使 得如何屏蔽電場的干擾作用成為了決定瞬態(tài)磁場微分傳感器是否可以準(zhǔn)確測量磁場信號 的關(guān)鍵因素。 實用新型內(nèi)容
[0005] 為了克服電場的干擾作用對瞬態(tài)磁場微分傳感器的影響,本實用新型提供了一種 用同軸電纜作為磁場感應(yīng)天線的高功率瞬態(tài)磁場微分傳感器。它能夠有效避免電場對磁場 測量的影響,同時還能夠獲得較高高的帶寬。
[0006] 本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種瞬態(tài)磁場微分傳感器,包 括一環(huán)形天線支撐部、一電磁屏蔽管和一電磁屏蔽輸出盒相互連接形成一殼體。該瞬態(tài)磁 場微分傳感器進一步包括兩個同軸電纜相互對稱設(shè)置于所述殼體中形成一感測天線。該兩 個同軸電纜的一端設(shè)置于所述環(huán)形天線支撐部內(nèi),該兩個同軸電纜的另一端穿過所述電磁 屏蔽管進入電磁屏蔽輸出盒,并從所述電磁屏蔽輸出盒分離引出。在所述環(huán)形天線支撐部 內(nèi),所述兩個同軸電纜對稱地圍成一半封閉環(huán)形線圈且該兩個同軸電纜的端點間隔設(shè)置。 在所述兩個同軸電纜的相互間隔設(shè)置的端點,任何一個線纜的同軸纜芯與另外一個同軸線 纜的屏蔽層通過導(dǎo)電連接。
[0007] 所述環(huán)形天線支撐部包括相互對稱的扣合的兩個蓋體,每個蓋體表面設(shè)置有半封 閉環(huán)形凹槽,該環(huán)形的凹槽具有一缺口,所述兩個蓋體的半封閉環(huán)形凹槽扣合后,所述兩個 蓋體的半封閉環(huán)形凹槽的缺口形成一個開口。
[0008] 所述兩個同軸電纜的一端相互間隔對稱的設(shè)置在所述蓋體表面的環(huán)形凹槽內(nèi),圍 成所述半封閉環(huán)形線圈,所述兩個同軸電纜的另一端從所述兩個蓋體的半封閉環(huán)形凹槽的 缺口形成的所述開口中引出。
[0009] 所述兩個同軸電纜的另一端從所述開口引出進入所述電磁屏蔽管,所述兩個同軸 電纜在所述電磁屏蔽管內(nèi)部相互平行,并且所述電磁屏蔽管中心軸的延長線平分所述半封 閉環(huán)形線圈,并過該半封閉環(huán)形線圈的中心。
[0010] 進一步包括一個電磁屏蔽銜接頭,該電磁屏蔽銜接頭與所述開口及所述電磁屏蔽 管的一端相互匹配,將所述電磁屏蔽管的一端與所述環(huán)形天線支撐部固定,組成封閉結(jié)構(gòu)。 [0011] 所述電磁屏蔽輸出盒具有相對的第一端和第二端,所述第一端具有一個輸入孔, 所述第二端具有兩個輸出孔,所述電磁屏蔽管的另一端固定于所述電磁屏蔽輸出盒的第一 端,并與所述電磁屏蔽輸出盒組成封閉結(jié)構(gòu),所述兩個同軸電纜由所述輸入孔進入所述電 磁屏蔽輸出盒,并分別從所述兩個輸出孔引出。
[0012] 進一步包括兩個SMA連接頭固定于所述兩個輸出孔,所述兩個同軸電纜在所述電 磁屏蔽輸出盒的輸出孔引出的部分與所述SMA連接頭電連接。
[0013] 所述半封閉的環(huán)形線圈的形狀為方形、長方形、三角形、梯形、圓形或橢圓形。
[0014] 與現(xiàn)有技術(shù)比較,本實用新型高功率瞬態(tài)磁場微分傳感器巧妙地利用了同軸電纜 的屏蔽作用克服電場的干擾,把感應(yīng)出的電壓信號經(jīng)過同軸電纜傳輸出來。同時,相比普 通的小環(huán)天線,該瞬態(tài)磁場微分傳感器的輸出信號在與示波器等檢測設(shè)備連接時,直接用 SMA連接頭即可,有效降低信號的衰減和防止信號發(fā)生畸變。而且,與一般的無源器件一樣, 這種傳感器本身不存在測量的磁場強度的上限。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015] 圖1為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016] 圖2為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的分解結(jié)構(gòu)圖。
[0017] 圖3為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的天線支撐部的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018] 圖4為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的天線支撐部的蓋體的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019] 圖5為本新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的電磁屏蔽銜接頭與電磁屏蔽管的結(jié)構(gòu)示意 圖。
[0020] 圖6為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的電磁屏蔽輸出盒的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021] 圖7為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的電磁屏蔽輸出盒的分解結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022] 圖8為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的電磁屏蔽輸出盒與電磁屏蔽管之間的 固定板的示意圖。
[0023] 圖9為同軸電纜作磁場天線的電流分布示意圖。
[0024] 圖10為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的感測天線的原理示意圖。
[0025] 圖11為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的等效電路圖。
[0026] 圖12為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的簡化電路。
[0027] 圖13為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的磁場傳感器輸出電壓波形(示波器顯 示)。
[0028] 圖14為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的輸出信號積分前后波形。
[0029] 圖15為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的圖靈敏度校準(zhǔn)曲線。
[0030] 圖16為本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的輸出信號積分前后波形放大圖。
[0031] 主要元件符號說明
[0032] 環(huán)形天線支撐部 10
[0033] 電磁屏蔽管 20
[0034] 環(huán)形螺紋 22
[0035] 電磁屏蔽輸出盒 30
[0036] 電磁屏蔽銜接頭 60
[0037] 通孔 62
[0038] 金屬固定板 70
[0039] 第一固定孔 72
[0040] 第二固定孔 74
[0041] 感測天線 80
[0042] 瞬態(tài)磁場微分傳感器 100
[0043] 蓋體 110
[0044] 方形凹槽 112
[0045] 延伸凹槽 114
[0046] 半封閉環(huán)形凹槽 115
[0047] 缺口 116
[0048] 開口 120
[0049] 蓋體 130
[0050] 封閉空間 300
[0051] 殼體 310
[0052] 輸入孔 312
[0053] 第三固定孔 313
[0054] 輸出孔 316
[0055] 同軸電纜 810
[0056] 導(dǎo)線 812
[0057] 如下【具體實施方式】將結(jié)合上述附圖進一步說明本實用新型。
【具體實施方式】
[0058] 下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步的闡述,參照附圖。應(yīng)理解,這些實 施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應(yīng)理解,在閱讀了本實 用新型講授的內(nèi)容后,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本實用新型作各種改動或修改,這些等價形 式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。
[0059] 請參閱圖1及圖2,本實用新型提供一種瞬態(tài)磁場微分傳感器100,其包括一環(huán)形 天線支撐部10、一電磁屏蔽管20、一電磁屏蔽輸出盒30、以及一感測天線80。所述環(huán)形天 線支撐部10,所述電磁屏蔽管20,及所述電磁屏蔽輸出盒30相互連接形成一殼體結(jié)構(gòu)。所 述感測天線80包括兩個同軸電纜810相互對稱設(shè)置于所述殼體結(jié)構(gòu)之中。所述兩個同軸 電纜810的一端間隔對稱圍成一半封閉環(huán)形線圈設(shè)置于所述環(huán)形天線支撐部10。僅僅在所 述兩個同軸電纜810的一個端點,任何一個同軸電纜810的纜芯與另外一個線纜的屏蔽層 通過導(dǎo)線電連接。所述兩個同軸電纜810的另一端穿過所述電磁屏蔽管20進入電磁屏蔽 輸出盒30,并從所述電磁屏蔽輸出盒30分尚引出。
[0060] 請參見圖3,所述環(huán)形天線支撐部10為中空的結(jié)構(gòu),用于收納并固定所述兩個同 軸電纜810圍成的半封閉環(huán)形線圈。該環(huán)形天線支撐部10由兩個具有相同結(jié)構(gòu)的蓋體110 相互扣合形成。該環(huán)形支撐部10的側(cè)面具有一開口 120,用于引出所述兩個同軸電纜810。
[0061] 請參見圖4,所述蓋體110為平面具有一定厚度的板材構(gòu)成,該蓋體110的一個表 面設(shè)置有一定深度的半封閉環(huán)形凹槽115。該半封閉環(huán)形凹槽115具有兩個對稱設(shè)置的延 伸凹槽114, 一個方形凹槽112,以及一個缺口 116。所述方形凹槽112將兩個延伸凹槽114 連通。所述缺口 116與所述方形凹槽112對稱設(shè)置。將所述兩個蓋體130形成有半封閉環(huán) 形凹槽115的表面相對扣合后,形成所述環(huán)形天線支撐部10,所述兩個相互扣合的缺口 116 形成一個開口 120。所述兩個蓋體130的固定方式不限,可以用粘結(jié)劑固定,也可以采用機 械固定,如鉚釘或者卡扣的方式,或者也可以通過一體成型的方式形成一個整體。
[0062] 可以理解,上述環(huán)形天線支撐部10及其半封閉環(huán)形凹槽115的形狀不限,配合所 述感測天線80形成的半封閉環(huán)形線圈的形狀及大小選擇。該半封閉環(huán)形凹槽115的形狀 可以是方形、長方形、三角形、梯形、圓形、或者橢圓形。該環(huán)形天線支撐部10為絕緣材料 制成,其目的是為了收納并固定所述兩個同軸電纜810形成的半封閉環(huán)形線圈。由于磁場 感測天線80的靈敏度與其半封閉環(huán)形線圈的面積直接相關(guān),因此為了讓半封閉環(huán)形線圈 的形狀和面積保持不變,需要一定的固定裝置。而且該裝置不能干擾磁場天線所測的磁場, 所以對其材料的電特性有一定的要求。因此,該環(huán)形天線支撐部10應(yīng)當(dāng)為硬度較強的絕緣 材料制成,如尼龍6,尼龍66,環(huán)氧板,膠木板,聚四氟乙烯,有機玻璃等。高強度的絕緣材料 不會變形本實施例中,該環(huán)形天線支撐部10及其半封閉環(huán)形凹槽115為圓形,其材料為聚 四氟乙烯,因為它的介電常數(shù)在很寬的頻率范圍內(nèi)都很低,所以對電磁場的影響很小,而且 機械強度足夠高。
[0063] 所述同軸電纜810包括纜芯,以及環(huán)繞纜芯的電磁屏蔽層,對于電磁場有較好的 電磁屏蔽作用。所述兩個同軸電纜810對稱設(shè)置在所述半封閉環(huán)形凹槽115中,形成一半 封閉環(huán)形線圈。每一同軸電纜810從該半封閉環(huán)形凹槽115的方形凹槽112開始,沿著一 個所述延伸凹槽114排布,并從所述缺口 116引出。所述兩個同軸電纜810的端點在所述 方形凹槽112間隔相對設(shè)置。任何一個同軸電纜810的纜芯與另外一個同軸電纜810的屏 蔽層在所述方形凹槽112中通過導(dǎo)線812電連接,該方形凹槽112用于收納所述導(dǎo)線812。
[0064] 所述兩個同軸電纜810從所述環(huán)形天線支撐部10的開口 120引出后,進入所述電 磁屏蔽管20中。該電磁屏蔽管20的一端與所述環(huán)形天線支撐部10的開口 120相連接。該 電磁屏蔽管20具有電磁屏蔽作用,可以防止所述同軸電纜810受到外界電磁場的干擾,影 響信號傳輸。電磁屏蔽管20的兩端可以設(shè)置有環(huán)形螺紋22,用于與所述環(huán)形天線支撐部 10及電磁屏蔽輸出盒30連接。所述該電磁屏蔽管20的材料為金屬,如金、銀、銅、鐵、鋁等。 所述同軸電纜810在所述電磁屏蔽管20中沿直線延伸,并且其延伸線平分,所述半封閉環(huán) 形線圈所在的面積。在一個實施例中,該電磁屏蔽管20為鋁管。
[0065] 請參見圖5,該電磁屏蔽管20可以通過一個電磁屏蔽銜接頭60連接固定。電磁屏 蔽銜接頭60具有一通孔62。該電磁屏蔽銜接頭60的一端與所述環(huán)形天線支撐部10的開 口 120相互匹配,從而可以固定于所述環(huán)形天線支撐部10。所述電磁屏蔽銜接頭60的另 一端通孔62內(nèi)表面可以形成內(nèi)螺紋,從而與所述電磁屏蔽管20 -端的環(huán)形螺紋22相互匹 配,使得所述電磁屏蔽管20的一端固定在電磁屏蔽銜接頭60。從而所述兩個同軸電纜810 可以從所述環(huán)形天線支撐部10的開口 120進入該通孔62,并進入所述電磁屏蔽管20中。 該電磁屏蔽銜接頭60的材料與所述電磁屏蔽管20相同。
[0066] 請參見圖6及圖7,所述電磁屏蔽輸出盒30由兩個具有相同結(jié)構(gòu)的殼體310組成, 所述兩個殼體310相互扣合固定并定義一個封閉空間300。在該電磁屏蔽輸出盒30的一側(cè) 具有一個輸入孔312,在該電磁屏蔽輸出盒30的相對一側(cè)具有兩個輸出孔316。所述電磁 屏蔽管20的一端固定于所述輸入孔312,與所述電磁屏蔽輸出盒30連通,從而使得所述兩 個同軸電纜810引入電磁屏蔽輸出盒30中,并從所述兩個輸出孔316分別引出。所述電磁 屏蔽管20與該電磁屏蔽輸出盒30的固定方式不限,可以用粘結(jié)劑固定,也可以采用機械固 定,如鉚釘或者卡扣的方式,或者也可以與所述電磁屏蔽輸出盒30通過一體成型的方式形 成一個整體。該電磁屏蔽輸出盒30的材料與所述電磁屏蔽管20相同。
[0067] 請參見圖8,所述電磁屏蔽管20可以通過一個金屬固定板70固定在所述電磁屏蔽 輸出盒30形成有輸入孔312的側(cè)面。該金屬固定板70有4個第一固定孔72,以及1個第 二固定孔74。該金屬固定板70的第二固定孔74與所述電磁屏蔽輸出盒30的輸入孔312 對應(yīng),4個第一固定孔72與所述電磁屏蔽輸出盒30形成有輸入孔312的一側(cè)上的4個第三 固定孔313對應(yīng)。電磁屏蔽管20形成有環(huán)形螺紋22的一端可以固定在所述金屬固定板70 的第二固定孔74中。所述金屬固定板70通過螺絲固定在所述電磁屏蔽輸出盒30形成有 輸入孔312的一側(cè)??梢岳斫?,該電磁屏蔽輸出盒30的兩個輸出孔316可以分別設(shè)置SMA 接口,從而使得所述兩個同軸電纜810可以直接和外部儀器相連。
[0068] 請參閱圖9,由于同軸電纜810的金屬屏蔽層的導(dǎo)電性很好,使得其厚度d大于 幾個趨膚深度S,則高頻電磁場僅對金屬屏蔽層的外層產(chǎn)生影響,而對其內(nèi)層和同軸電纜 810的內(nèi)導(dǎo)體沒有作用。這樣,參與磁場感應(yīng)的同軸電纜810的屏蔽層外層產(chǎn)生的電流與其 內(nèi)層電流不會混流。附圖9中,1、3表示金屬屏蔽層,它們區(qū)域內(nèi)的點畫線表示屏蔽層內(nèi)外 兩層的分界線,2是內(nèi)導(dǎo)體。^和"組成同軸傳輸線的電流,i 3則表示磁場變化感應(yīng)出來 的電流,也叫輻射電流。
[0069] 請參閱圖10,對于高頻磁場,本實用新型瞬態(tài)磁場微分傳感器的磁場感測天線 80,其同軸電纜810的屏蔽外層A - C - B構(gòu)成環(huán)狀的磁場天線,得到磁感應(yīng)電壓UAB (表示 夕卜屏蔽層電壓),對應(yīng)有UA?B? (表示內(nèi)屏蔽層電壓),兩者完全相等。這樣,A1與A",B1 與B"分別是左右同軸電纜810的電壓信號輸入端,經(jīng)過左右對稱的同軸傳輸線,輸出到E 和F,并與D構(gòu)成的輸出端。
[0070] 假設(shè)E和F,與它們的公共端D(接地)分別接負載ZL1和ZL2,則有附圖11的等 效電路。圖11中,Z1和Z2分別代表左右兩邊同軸電纜的金屬屏蔽外層作為磁場天線產(chǎn)生 的阻抗。如果左右嚴格對稱則21 = 22 = 0.52,2是其總的阻抗,包括電感和電阻。當(dāng)環(huán)半 徑R相比所測量磁場最高頻率成分的波長λ min足夠小時,一般要求環(huán)半周長即1/2對應(yīng)的 電長度Θ < 10°,
[0071]
【權(quán)利要求】
1. 一種瞬態(tài)磁場微分傳感器,包括一環(huán)形天線支撐部、一電磁屏蔽管和一電磁屏蔽輸 出盒相互連接形成一殼體,其特征在于,該瞬態(tài)磁場微分傳感器進一步包括兩個同軸電纜 相互對稱設(shè)置于所述殼體中形成一感測天線,該兩個同軸電纜的一端設(shè)置于所述環(huán)形天線 支撐部內(nèi),該兩個同軸電纜的另一端穿過所述電磁屏蔽管進入電磁屏蔽輸出盒,并從所述 電磁屏蔽輸出盒分離引出,在所述環(huán)形天線支撐部內(nèi),所述兩個同軸電纜對稱地圍成一半 封閉環(huán)形線圈且該兩個同軸電纜的端點間隔設(shè)置,在所述兩個同軸電纜的相互間隔設(shè)置的 端點,任何一個線纜的同軸纜芯與另外一個同軸線纜的屏蔽層通過導(dǎo)電連接。
2. 如權(quán)利要求1所述的瞬態(tài)磁場微分傳感器,其特征在于,所述環(huán)形天線支撐部包括 相互對稱的扣合的兩個蓋體,每個蓋體表面設(shè)置有半封閉環(huán)形凹槽,該環(huán)形的凹槽具有一 缺口,所述兩個蓋體的半封閉環(huán)形凹槽扣合后,所述兩個蓋體的半封閉環(huán)形凹槽的缺口形 成一個開口。
3. 如權(quán)利要求2所述的瞬態(tài)磁場微分傳感器,其特征在于,所述兩個同軸電纜的一端 相互間隔對稱的設(shè)置在所述蓋體表面的環(huán)形凹槽內(nèi),圍成所述半封閉環(huán)形線圈,所述兩個 同軸電纜的另一端從所述兩個蓋體的半封閉環(huán)形凹槽的缺口形成的所述開口中引出。
4. 如權(quán)利要求3所述的瞬態(tài)磁場微分傳感器,其特征在于,所述兩個同軸電纜的另一 端從所述開口引出進入所述電磁屏蔽管,所述兩個同軸電纜在所述電磁屏蔽管內(nèi)部相互平 行,并且所述電磁屏蔽管中心軸的延長線平分所述半封閉環(huán)形線圈,并過該半封閉環(huán)形線 圈的中心。
5. 如權(quán)利要求4所述的瞬態(tài)磁場微分傳感器,其特征在于,進一步包括一個電磁屏蔽 銜接頭,該電磁屏蔽銜接頭與所述開口及所述電磁屏蔽管的一端相互匹配,將所述電磁屏 蔽管的一端與所述環(huán)形天線支撐部固定,組成封閉結(jié)構(gòu)。
6. 如權(quán)利要求5所述的瞬態(tài)磁場微分傳感器,其特征在于,所述電磁屏蔽輸出盒具有 相對的第一端和第二端,所述第一端具有一個輸入孔,所述第二端具有兩個輸出孔,所述電 磁屏蔽管的另一端固定于所述電磁屏蔽輸出盒的第一端,并與所述電磁屏蔽輸出盒組成封 閉結(jié)構(gòu),所述兩個同軸電纜由所述輸入孔進入所述電磁屏蔽輸出盒,并分別從所述兩個輸 出孔引出。
7. 如權(quán)利要求6所述的瞬態(tài)磁場微分傳感器,其特征在于,進一步包括兩個SMA連接 頭固定于所述兩個輸出孔,所述兩個同軸電纜在所述電磁屏蔽輸出盒的輸出孔引出的部分 與所述SMA連接頭電連接。
8. 如權(quán)利要求1所述的瞬態(tài)磁場微分傳感器,其特征在于,所述半封閉的環(huán)形線圈的 形狀為方形、長方形、三角形、梯形、圓形或橢圓形。
【文檔編號】G01R33/02GK204116582SQ201420351524
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年6月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月26日
【發(fā)明者】孟萃, 陳榮梅, 譚兆杰 申請人:清華大學(xué)