夾持裝置以及應(yīng)用其的測試系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種夾持裝置以及應(yīng)用其的測試系統(tǒng)，其中夾持裝置包含載臺、承載部、動力源、夾持部以及凸出部。承載部設(shè)置于載臺，并具有觀測窗，其中載臺表面與承載部表面間有段差。動力源提供輸出動力，其中輸出動力方向平行于載臺表面。夾持部與動力源連接，使得夾持部往復(fù)移動于載臺表面，其中夾持部包含定位部。當(dāng)凸出部位于定位部內(nèi)時，夾持部與載臺表面夾第一角度。而當(dāng)凸出部與夾持部接觸時，夾持部與載臺表面夾第二角度，其中第一角度小于第二角度。因此，夾持部在僅有單一個水平方向的推力下，產(chǎn)生水平以及鉛直的移動。
【專利說明】夾持裝置以及應(yīng)用其的測試系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型是有關(guān)于一種夾持裝置，特別是一種用于半導(dǎo)體晶圓量測機臺中的自動式夾持裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]自動化生產(chǎn)已經(jīng)是現(xiàn)今趨勢，不論傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)或是科技產(chǎn)業(yè)都有一定程度的自動化生產(chǎn)線。除此之外，生產(chǎn)完畢的良率檢測也趨向自動化。以晶圓生產(chǎn)完畢后為例，常見通過夾持裝置將完成的晶圓固定，以方便作各種檢測。
[0003]夾持裝置施力將晶圓固定，然而，夾持時晶圓需承受側(cè)向力量，使得晶圓存在破片的風(fēng)險?；蚴菫榱讼騻?cè)向力產(chǎn)生的晶圓變形進(jìn)而和載臺之間存有空隙，增加設(shè)置金屬或軟質(zhì)膠帶消除空隙，并由此將晶圓固定。然而固定的金屬或軟質(zhì)膠帶又有存在震動異音、影響點測品質(zhì)等問題。因此，如何有效地利用夾持裝置固定且不破壞晶圓，并又不影響晶圓的點測品質(zhì)，已經(jīng)成了此領(lǐng)域亟欲解決的問題。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型提供一種夾持裝置，通過凸出部與夾持部的相對位置關(guān)系，只需提供水平方向的單一個輸出動力，即可完成夾持部包含水平以及鉛直的移動。因此，夾持部可以提供鉛直方向的施力固定待測物，其除了提供待測物固定于載臺外，也使得待測物不會因遭受側(cè)向的擠壓力量而產(chǎn)生破片。
[0005]本實用新型提供一種夾持裝置，其包含:
[0006]一載臺；
[0007]—承載部，設(shè)置于所述載臺，并具有一觀測窗，其中所述載臺表面與所述承載部表面間有一段差，以放置一待測物于所述承載部；
[0008]至少一動力源,提供一輸出動力,其中所述輸出動力方向平行于所述載臺表面；
[0009]至少一夾持部，與至少一所述動力源連接，使得至少一所述夾持部往復(fù)移動于所述載臺表面，其中至少一所述夾持部包含多個定位部；以及
[0010]至少一凸出部，凸出于所述載臺表面且位于至少一所述夾持部的所述定位部的往復(fù)移動路徑上，其中至少一所述凸出部形狀對應(yīng)于所述定位部，當(dāng)至少一所述凸出部位于所述定位部內(nèi)時，至少一所述夾持部與所述載臺表面形成第一角度，而當(dāng)至少一所述凸出部與至少一所述夾持部接觸時，至少一所述夾持部與所述載臺表面形成第二角度，其中所述第一角度小于所述第二角度。
[0011 ] 如上所述的夾持裝置，其中，所述第一角度為O度。
[0012]如上所述的夾持裝置，其中，至少一所述動力源為一氣壓缸、一馬達(dá)、一電磁開關(guān)或一致動器。
[0013]如上所述的夾持裝置，其中，至少一所述夾持部的一端連接于至少一所述動力源，另一端接觸所述待測物表面，且至少一所述凸出部位于一所述定位部內(nèi)，至少一所述夾持部與所述載臺表面形成第三角度，其中所述第二角度大于所述第三角度且所述第三角度大于或等于所述第一角度。
[0014]如上所述的夾持裝置，其中，至少一所述夾持部由金屬材料制成，且所述載臺對應(yīng)至少一所述夾持部的位置設(shè)置有至少一磁鐵。
[0015]如上所述的夾持裝置，其中，至少一所述夾持部由具有撓性的金屬材料制成。
[0016]如上所述的夾持裝置，其中，至少一所述凸出部更包含一滾珠，所述滾珠設(shè)置于至少一所述凸出部的頂端。
[0017]如上所述的夾持裝置，其中，每一所述定位部內(nèi)表面具有一導(dǎo)角或至少一所述夾持部鄰近所述承載部的一端具有一導(dǎo)角。
[0018]如上所述的夾持裝置，其中，至少一所述定位部形態(tài)為一縫隙、一開口、一孔洞或一貫穿口。
[0019]一種測試系統(tǒng)，其包含:
[0020]如上所述的夾持裝置；以及
[0021]一量測裝置，所述量測裝置為一探針卡或一探針點測裝置，所述探針卡或所述探針點測裝置包含至少一探針接觸于所述待測物表面。
[0022]本實用新型提供一種夾持裝置，配合所包含的凸出部以及夾持部間的相對關(guān)系，使得只需提供水平方向的單一個輸出動力，即可使夾持部具有水平以及鉛直方向的運動。也因此，夾持部能以鉛直方向的力量固定待測物，以免除待測物遭受側(cè)向的擠壓力量而有破片的風(fēng)險。此外，通過本實用新型的夾持裝置，可以提高待測物穩(wěn)定性，使得夾持以及卸載待測物更容易，有助于提升點測的良率。以及，通過本實用新型的夾持裝置，由于自動化可節(jié)省人員操作步驟，故可提高更換待測物的效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]以下附圖僅旨在于對本實用新型做示意性說明和解釋，并不限定本實用新型的范圍。其中，
[0024]圖1A為依照本實用新型的夾持裝置一實施例的俯視示意圖。
[0025]圖1B為依照圖1A的夾持裝置沿線段AA’的剖面示意圖。
[0026]圖2為本實用新型夾持裝置的凸出部另一實施例的剖面示意圖。
[0027]圖3A至圖3C為本實用新型夾持裝置的夾持部一實施例的操作示意圖。
[0028]圖4A為本實用新型夾持裝置的載臺另一實施例的側(cè)視示意圖。
[0029]圖4B為本實用新型夾持裝置的夾持部與定位部其它實施例的側(cè)視示意圖。
[0030]圖5為依照本實用新型的測試系統(tǒng)一實施例的側(cè)視示意圖。
[0031]附圖標(biāo)號說明:
[0032]100夾持裝置 160測試系統(tǒng)
[0033]102待測物162量測裝置
[0034]110載臺150導(dǎo)角
[0035]114承載部 170基座
[0036]115磁鐵172探針
[0037]116段差174光線
[0038]118動力源Θ1?Θ3第一?三角度
[0039]119輸出動力 ΑΑ’線段
[0040]120觀測窗 140凸出部
[0041]130夾持部 142滾珠
[0042]132、132’ 定位部

【具體實施方式】
[0043]以下將以附圖及詳細(xì)說明清楚說明本實用新型的精神，任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識者在了解本實用新型的較佳實施例后，當(dāng)可由本實用新型所教示的技術(shù)，加以改變及修飾，其并不脫離本實用新型的精神與范圍。
[0044]公知夾持裝置的固定方式為使用水平方向的推力固定待測物，然而水平方向的向內(nèi)擠壓將使得待測物(晶圓)破片可能性大增。另外，除了施以水平方向推力之外，當(dāng)公知夾持裝置使用定位塊作固定時，待測物于卸載時會卡在定位塊上無法取下，造成檢測過程的延巖。
[0045]有鑒于此，本實用新型的夾持裝置配合凸出部以及夾持部間的相對關(guān)系，使得僅通過水平方向的單一個輸出動力，產(chǎn)生夾持部具有水平以及鉛直方向運動。也因此，夾持部能以鉛直方向的力量固定待測物，免除待測物因為遭受側(cè)向力或推力擠壓，進(jìn)而造成破片的風(fēng)險。
[0046]請同時參照圖1A以及圖1Β。圖1A為依照本實用新型的夾持裝置一實施例的俯視示意圖。圖1B為依照圖1A的夾持裝置沿線段ΑΑ’的剖面示意圖。夾持裝置100包含載臺110、承載部114、至少一動力源118、至少一夾持部130以及至少一凸出部140。承載部114設(shè)置于載臺110。至少一凸出部140設(shè)置于載臺110表面。至少一夾持部130與至少一動力源118連接。具體而言，夾持裝置100具有一載臺110、一承載部114、二個動力源118、四個凸出部140以及二個夾持部130。
[0047]由于夾持裝置100兩側(cè)的動力源118、夾持部130與凸出部140結(jié)構(gòu)皆相同，因此以下僅敘述夾持裝置100其中一側(cè)的動力源118、夾持部130以及凸出部140，在此一并說明。
[0048]承載部114位于載臺110中間，且載臺110表面與承載部114表面間有段差116。承載部114用作放置待測物102并具有觀測窗120，觀測窗120可以是一開口。因此，當(dāng)待測物102放置承載部114上時，可以通過觀測窗120收光。舉例而言，待測物102包含覆晶式發(fā)光二極管晶圓(Filp Chip Type Wafer),覆晶式發(fā)光二極管晶粒所發(fā)出的光線可以通過觀測窗120而被測試系統(tǒng)接收。具體來說，承載部114設(shè)置于載臺110中間，且承載部114厚度略小于載臺110厚度，以形成段差116。當(dāng)然地，承載部114與載臺110可以是一體成型或是分別設(shè)置，可視實際需求而定，不以限制本實用新型。
[0049]除此之外，本實用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識者，可依實際需要，彈性選擇承載部114以及觀測窗120的形狀。例如，承載部114以及觀測窗120可以同為矩形或同為圓形。因此，本實用新型夾持裝置100可以用來檢測像是覆晶式發(fā)光二極管晶圓或次黏著基臺(Sub-mount)型式的待測物，甚至夾持裝置100也能檢測面板(Panel)型式的待測物。
[0050]動力源118提供輸出動力119，其中輸出動力119方向平行于載臺110表面，使得夾持部130移動方式為平行于載臺110表面的往復(fù)移動。動力源118包含但不限定于氣壓缸、馬達(dá)、電磁開關(guān)或致動器，不以限制本實用新型，可視需求而定。
[0051]夾持部130的一端與動力源118連接，且夾持部130覆于載臺110表面。夾持部130由動力源118推動或拉動，使得夾持部130可往復(fù)移動于載臺110表面，其中當(dāng)動力源118推動夾持部130時，夾持部130接近承載部114，反之當(dāng)為拉動時，夾持部130遠(yuǎn)離承載部 114。
[0052]夾持部130包含多個定位部132以及132’，根據(jù)本實用新型一實施例，兩個沿夾持部130移動方向并排的定位部132以及132’為一組，且于夾持部130上靠近動力源118的兩側(cè)分別設(shè)置一組定位部132以及132’。除此之外，根據(jù)本實用新型一實施例，定位部132以及132’形態(tài)可以是縫隙、開口、孔洞或貫穿口。然而，本實用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識者，可依實際需要，彈性選擇定位部132以及132’的數(shù)量以及位置。
[0053]請繼續(xù)參照圖1B，凸出部140凸出于載臺110表面且位于夾持部130的定位部132以及132’的往復(fù)移動路徑上，其中凸出部140形狀對應(yīng)于定位部132以及132’，使得凸出部140可套入于定位部132以及132’內(nèi)，因此，前述所舉的定位部132以及132’的形態(tài)以凸出部140可套入定位部132以及132’為主。除此之外，凸出部140的數(shù)量對應(yīng)定位部132以及132’的組數(shù)。以圖1A與圖1B為例，一個夾持部130上設(shè)置有兩組定位部132以及132’，則凸出部140的數(shù)量為兩個，且分別設(shè)置在每一組定位部132以及132’的移動路徑上。當(dāng)然地，為了使凸出部140可以更方便地套入于定位部132以及132’內(nèi)，凸出部140上亦可設(shè)有導(dǎo)角，不以限制本實用新型。
[0054]參照圖2，圖2為本實用新型夾持裝置的凸出部另一實施例的剖面示意圖。凸出部140設(shè)置于載臺110表面，其中凸出部140進(jìn)一步更包含一滾珠142，滾珠142設(shè)置于凸出部140的頂端。同樣地，滾珠142形狀對應(yīng)于夾持部130的定位部132以及132’，使得滾珠142可進(jìn)入定位部132以及132’內(nèi)。
[0055]本實用新型的夾持裝置的元件配置方式已詳述于以上實施例，在接下來的的實施例中，將會針對夾持裝置的操作方式作說明，與之前實施例相同之處將不再贅述。
[0056]請同時參照圖3A至圖3C，其分別為本實用新型夾持裝置的夾持部一實施例的操作示意圖。請注意圖3A至圖3C主要是繪示本實用新型夾持裝置100的夾持部130固定待測物102的夾持方式示意圖，并非依照實際比例，在此一并說明。
[0057]另外，由于夾持裝置100兩側(cè)的動力源118、夾持部130與凸出部140結(jié)構(gòu)皆相同，因此以下僅敘述夾持裝置100其中一側(cè)的動力源118、夾持部130與凸出部140，在此一并說明。
[0058]于一開始，待測物102先置于承載部114。此時，夾持部130位于載臺110表面，且凸出部140的滾珠142位于定位部132內(nèi)，如圖3A所示。由于凸出部140的滾珠142位于定位部132內(nèi)，夾持部130平行地覆于載臺110表面且與載臺110表面夾第一角度Θ I。根據(jù)本實用新型一實施例，第一角度Θ I約為O度。
[0059]接著，動力源118提供平行載臺110表面的輸出動力119以推動夾持部130，其中輸出動力119方向與圖中箭頭方向相同。此時，夾持部130通過動力源118推動而與載臺110以及凸出部140產(chǎn)生相對運動。
[0060]受到水平方向輸出動力119推動的夾持部130將往承載部114方向前進(jìn)并靠近承載部114，根據(jù)本實用新型一實施例，當(dāng)夾持部130與滾珠142接觸時，夾持部130在滾珠142上滑動。而由于凸出部140的滾珠142凸出于載臺110表面，當(dāng)定位部132脫離凸出部140的滾珠142使得夾持部130以非定位部部分與凸出部140的滾珠142接觸時，夾持部130將因凸出的滾珠142而被抬升。
[0061]此時，如圖3B所示，當(dāng)凸出部140的滾珠142與夾持部130的非定位部部分接觸時，夾持部130與載臺110表面夾第二角度Θ2。根據(jù)本實用新型一實施例，第一角度Θ1小于第二角度Θ 2，而隨著夾持部130與凸出部140的滾珠142不同的相對位置關(guān)系，第二角度Θ 2將隨之變化，然而，第一角度Θ I仍小于第二角度Θ2。
[0062]延續(xù)上述狀態(tài)，直到凸出部140的滾珠142落入夾持部130同組中的另一個定位部132’。此時，夾持部130的一端連接于動力源118，另一端為接觸待測物102表面，且凸出部140的滾珠142位于另一個定位部132’內(nèi)，如圖3C所示。
[0063]根據(jù)本實用新型一實施例，如圖3C所示，由于段差116的高度小于待測物102厚度，使得夾持部130靠近承載部114的一端因略高于載臺110表面的待測物102而被抬升。因此，當(dāng)夾持部130的其中一端接觸待測物102表面時，夾持部130與載臺110表面夾第三角度Θ 3，其中第二角度Θ 2大于第三角度Θ 3且第三角度Θ 3大于第一角度Θ I。當(dāng)然地，根據(jù)本實用新型另一實施例，段差116的高度也可以等于待測物102厚度，因此，當(dāng)夾持部130的其中一端接觸待測物102表面時，夾持部130與載臺110表面夾第三角度Θ 3，其中第二角度Θ 2大于第三角度Θ 3且第三角度Θ 3等于第一角度Θ I。
[0064]當(dāng)待測物102以圖3C的方式固定時，待測物102受到夾持部130以其本身重力產(chǎn)生鉛垂力量下壓住待測物102。因此，待測物102不會受到夾持部130向待測物102側(cè)向擠壓的力量，就也不會有破片的風(fēng)險。且也不需要考慮水平方向固定力可能造成施力時產(chǎn)生待測物102的位移而使得待測物102固定位置被改變的偏心問題。
[0065]除此之外，圖3C的固定方式能使待測物102更有效地被固定在承載部114上，亦即待測物102不會因為受到夾持部130側(cè)向擠壓的力量影響，造成容易變形而與承載部114之間有空隙存在，導(dǎo)致點測時會有震動異音與影響點測品質(zhì)等問題，進(jìn)而也不需要使用額外的金屬或軟質(zhì)膠帶作黏貼固定。
[0066]總結(jié)來說，本實用新型的夾持裝置100具有凸出于載臺110表面的凸出部140，配合動力源118的輸出動力119，夾持部130將沿著突出的凸出部140移動并產(chǎn)生抬升效果。也就是說，夾持部130在僅有單一個水平方向的推力下，產(chǎn)生水平以及鉛直的移動，使得夾持部130最后能以一端置于待測物102上作固定。
[0067]此外，根據(jù)本實用新型另一實施例，夾持部130可以為具有撓性的金屬物質(zhì)，例如彈性鋼，由于夾持部130具有彈性，所以除重力產(chǎn)生的鉛垂力量之外，當(dāng)夾持部130因受重力而于接近待測物102位置的部分產(chǎn)生彈性變形時，夾持部130也可以以彈性回復(fù)的力量(回彈力)將待測物102固定。
[0068]除此之外，請參照圖4A，圖4A為本實用新型夾持裝置的載臺另一實施例的側(cè)視示意圖。根據(jù)本實用新型另一實施例，載臺I1對應(yīng)至少一夾持部130的位置設(shè)置有至少一磁鐵115，且夾持部130的材質(zhì)為對應(yīng)磁鐵115的金屬物質(zhì)，例如鐵或鎳。當(dāng)然地，夾持部130亦可以為具有撓性的金屬物質(zhì)。因此，請見圖3C與圖4A，當(dāng)夾持部130的一端覆于待測物102表面上時，磁鐵115能以磁力吸引夾持部130，并使夾持部130能更進(jìn)一步的緊貼于待測物102上。也因此，載臺110上的磁鐵115用以使夾持部130能更進(jìn)一步的固定待測物102。
[0069]綜上所述，本實用新型的夾持裝置通過夾持部固定待測物，而根據(jù)本實用新型一實施例，夾持部以自身所受重力產(chǎn)生的鉛垂力量固定待測物。根據(jù)本實用新型另一實施例，夾持部除重力外，再以本身彈性所產(chǎn)生的回彈力固定待測物?；蚴歉M(jìn)一步的設(shè)置磁鐵于載臺上對應(yīng)夾持部的位置，使得夾持部受磁鐵吸引而緊貼于待測物上。當(dāng)然地，以上所列舉的實施例，可以根據(jù)實際需求進(jìn)行組合，不以限制本實用新型。
[0070]接著，參照圖4B，圖4B為本實用新型夾持裝置的夾持部與定位部其它實施例的側(cè)視示意圖。本實施例中，夾持部130包含多個定位部132以及132’，其中這些定位部132以及132’的內(nèi)表面具有導(dǎo)角150，且凸出部140包含滾珠142。
[0071]導(dǎo)角150為斜角結(jié)構(gòu)，使得當(dāng)與滾珠142脫離定位部132而與夾持部130非定位部部分接觸時，夾持部130的抬升過程可以受到導(dǎo)角150的導(dǎo)引。而當(dāng)滾珠142將要進(jìn)入定位部132’內(nèi)時，在導(dǎo)角150的導(dǎo)引下，夾持部130的運動更為平滑。同樣地，夾持部130鄰近承載部114的一端也可以設(shè)置有導(dǎo)角150，以此調(diào)整夾持部130接觸待測物102的方式。
[0072]然而，應(yīng)了解到，以上所舉導(dǎo)角150設(shè)置位置僅為例示，而非用以限制本實用新型，本實用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識者，可依實際需要，彈性選擇導(dǎo)角150設(shè)置位置。例如，僅于定位部132或132’內(nèi)表面設(shè)置、僅于夾持部130—端設(shè)置或是以上兩處皆設(shè)置等。此外，導(dǎo)角150用途為使夾持部130運動更為平滑，因此導(dǎo)角150并不限定于斜角結(jié)構(gòu)。例如，導(dǎo)角150設(shè)計為圓角結(jié)構(gòu)同樣能達(dá)到相同功效。
[0073]本實用新型的夾持裝置對待測物具有良好固定效果，使得待測物于后續(xù)檢測上不易失真，以下將配合圖示針對應(yīng)用本實用新型夾持裝置的測試系統(tǒng)作說明。
[0074]參見圖5，圖5為依照本實用新型的測試系統(tǒng)一實施例的側(cè)視示意圖。測試系統(tǒng)160包含夾持裝置100以及量測裝置162。量測裝置162可以是探針卡(Probe Card)或是探針點測裝置(Edge Sensor),上述的探針卡或探針點測裝置包含至少一探針接觸于待測物102表面。當(dāng)待測物102置于夾持裝置100的承載部114上且已經(jīng)被固定在夾持部130以及承載部114之間時，進(jìn)而可使用量測裝置162進(jìn)行檢測。
[0075]量測裝置162位于待測物102上方。本實施例中，量測裝置162是以探針點測裝置為例，包含兩基座170以及設(shè)置于兩基座170上的一探針172。探針172接觸于待測物102表面，以便進(jìn)行檢測。例如，當(dāng)待測物102為覆晶式二極管時，將探針172通以電流，并自觀測窗120量測待測物102所發(fā)出的光線174。
[0076]要說明的是，在本實施例中，于檢測時，由于待測物102是以鉛直方向的力量被夾持裝置100固定。因此探針172是自待測物102上方點測，使待測物102向下發(fā)光，是屬于上點下收光的環(huán)境。當(dāng)然地，本實用新型也可以使用在下點上收光的環(huán)境，不以限制本實用新型。要留意的是，由于本實用新型是屬于上點下收光或下點上收光的環(huán)境，因此，無法使用真空吸住待測物的夾持方式。
[0077]于檢測完畢后，利用動力源118將夾持部130往遠(yuǎn)離承載部114的方向移動以解除待測物102的固定。因此本實用新型的夾持裝置100不需要額外的定位塊或膠帶，待測物102可以輕易地被卸載下來。
[0078]綜上所述，本實用新型的夾持裝置僅需使用水平方向的單一個動力源即可使夾持部有水平以及鉛直方向的移動，使得承載部上的待測物以鉛直方向的力量被夾持部固定，故可以提高待測物(晶圓)穩(wěn)定性，使得夾持以及卸載待測物更容易，有助于提升點測的良率。并且，由于自動化可節(jié)省人員操作步驟，故可提高更換待測物的效率。
[0079]以上所述僅為本實用新型示意性的【具體實施方式】，并非用以限定本實用新型的范圍。任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的構(gòu)思和原則的前提下所作出的等同變化與修改，均應(yīng)屬于本實用新型保護(hù)的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種夾持裝置，其特征在于，所述夾持裝置包含: 一載臺； 一承載部，設(shè)置于所述載臺，并具有一觀測窗，其中所述載臺表面與所述承載部表面間有一段差，以放置一待測物于所述承載部； 至少一動力源，提供一輸出動力，其中所述輸出動力方向平行于所述載臺表面； 至少一夾持部，與至少一所述動力源連接，使得至少一所述夾持部往復(fù)移動于所述載臺表面，其中至少一所述夾持部包含多個定位部；以及 至少一凸出部，凸出于所述載臺表面且位于至少一所述夾持部的所述定位部的往復(fù)移動路徑上，其中至少一所述凸出部形狀對應(yīng)于所述定位部，當(dāng)至少一所述凸出部位于所述定位部內(nèi)時，至少一所述夾持部與所述載臺表面形成第一角度，而當(dāng)至少一所述凸出部與至少一所述夾持部接觸時，至少一所述夾持部與所述載臺表面形成第二角度，其中所述第一角度小于所述第二角度。
2.如權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，所述第一角度為O度。
3.如權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，至少一所述動力源為一氣壓缸、一馬達(dá)、一電磁開關(guān)或一致動器。
4.如權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，至少一所述夾持部的一端連接于至少一所述動力源，另一端接觸所述待測物表面，且至少一所述凸出部位于一所述定位部內(nèi)，至少一所述夾持部與所述載臺表面形成第三角度，其中所述第二角度大于所述第三角度且所述第三角度大于或等于所述第一角度。
5.如權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，至少一所述夾持部由金屬材料制成，且所述載臺對應(yīng)至少一所述夾持部的位置設(shè)置有至少一磁鐵。
6.如權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，至少一所述夾持部由具有撓性的金屬材料制成。
7.如權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，至少一所述凸出部更包含一滾珠，所述滾珠設(shè)置于至少一所述凸出部的頂端。
8.如權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，每一所述定位部內(nèi)表面具有一導(dǎo)角或至少一所述夾持部鄰近所述承載部的一端具有一導(dǎo)角。
9.如權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，至少一所述定位部形態(tài)為一縫隙、一開口、一孔洞或一貫穿口。
10.一種測試系統(tǒng)，其特征在于，所述測試系統(tǒng)包含: 如權(quán)利要求1-9任一項的夾持裝置；以及 一量測裝置，所述量測裝置為一探針卡或一探針點測裝置，所述探針卡或所述探針點測裝置包含至少一探針接觸于所述待測物表面。
【文檔編號】G01R31/26GK204044187SQ201420429398
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年7月31日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月31日
【發(fā)明者】陳建羽, 彭柏翰, 廖惇材, 林宏毅 申請人:旺矽科技股份有限公司