一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)，包括取樣瓶、取樣倉，取樣倉中上部設(shè)有透明觀察窗，取樣倉下部裝有一個螺旋升降裝置，螺旋升降裝置的上部設(shè)有取樣瓶的定位和夾具機構(gòu)；取樣倉下部設(shè)有讓取樣瓶進出的倉門；取樣倉內(nèi)中部裝有開蓋器，開蓋器設(shè)置在一擺動機構(gòu)上；取樣倉內(nèi)上部固定一個能與取樣瓶端口相鎖緊的蓋體；一進酸管穿過取樣倉本體和所述蓋體伸入取樣倉內(nèi)，進酸管上設(shè)置有第一閘閥；一進氣管一端穿過取樣倉本體和所述蓋體伸入取樣倉內(nèi)、另一端連接氮氣瓶，進氣管上設(shè)置有第二閘閥；一廢液排出管一端穿過取樣倉本體和所述蓋體伸入取樣倉內(nèi)、另一端連接廢液收集池；本實用新型取樣安全性高，取樣真實性較好，取樣過程對環(huán)境無影響。
【專利說明】一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及化工產(chǎn)品的取樣設(shè)備，尤其是一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]氫氟酸是氟化氫氣體的水溶液，清澈，無色、發(fā)煙的腐蝕性液體，有劇烈刺激性氣味。易溶于水、乙醇，微溶于乙醚。其具有極強的腐蝕性，能強烈地腐蝕金屬、玻璃和含硅的物體。有毒，如吸入蒸氣或接觸皮膚會造成難以治愈的灼傷。
[0003]近年來，隨著國家經(jīng)濟高速發(fā)展及人們生活水平的提高，微電子設(shè)備已在廣大人民群眾中普及。而微電子設(shè)備的核心是硅晶技術(shù)，其生產(chǎn)環(huán)節(jié)離不開高純度電子級氫氟酸的使用，那么電子級氫氟酸的取樣好壞就直接決定了產(chǎn)品質(zhì)量。由于氫氟酸的化學性質(zhì)，氫氟酸的取樣難度較大且存在操作安全性問題。
[0004]本 申請人:于2014年02月05日公開一項專利號為ZL201320537307.6、名稱為“一種有水氫氟酸取樣裝置”的實用新型專利，其包括與槽罐循環(huán)管路相連接的管路，所述管路上沿有水氫氟酸的流動方向依次設(shè)置有蝶形閥、取樣口和排液口，所述取樣口上螺紋連接有取樣瓶，所述排液口通過排液管與盛裝有液體的容器相連通，所述排液管的一端伸入所述容器的液體液面以下。這種取樣裝置盡量保證了氫氟酸從生產(chǎn)過程到化驗過程的取樣的合理性，減少對外界環(huán)境的影響。但是這樣取樣裝置還無法對取樣瓶進行清潔，還是會影響到取樣的品質(zhì)；另外，取樣瓶取樣后，還需通過人工進行鎖瓶蓋。不可避免還會對環(huán)境造成一些影響并存在操作安全性問題。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)，取樣安全性高，取樣的真實性較好，且取樣過程對環(huán)境無影響。
[0006]為達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是:一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)，包括帶有螺旋形端口的取樣瓶、取樣倉，取樣倉的中上部設(shè)有一個與取樣倉本體相密封的透明觀察窗，取樣倉的下部裝有一個螺旋升降裝置，螺旋升降裝置的上部設(shè)有取樣瓶的定位和夾具機構(gòu)；取樣倉的下部設(shè)有一個用于放入或取出取樣瓶的倉門，倉門處于關(guān)閉狀態(tài)時與取樣倉本體形成密封；取樣倉內(nèi)中部裝有一個能夠夾緊或放松取樣瓶蓋的開蓋器，開蓋器設(shè)置在一擺動機構(gòu)上；取樣倉內(nèi)上部固定一個能與取樣瓶螺旋形端口相鎖緊的蓋體；一進酸管穿過取樣倉本體和所述蓋體伸入取樣倉內(nèi)，進酸管處于取樣倉外的部分設(shè)置有第一閘閥；一進氣管一端穿過取樣倉本體和所述蓋體伸入取樣倉內(nèi)、另一端連接氮氣瓶，進氣管處于取樣倉外的部分設(shè)置有第二閘閥；一廢液排出管一端穿過取樣倉本體和所述蓋體伸入取樣倉內(nèi)、另一端連接廢液收集池。
[0007]進一步改進，所述取樣瓶的底部為倒錐形凹槽狀。方便排出取樣瓶底部的液體。
[0008]進一步改進，所述廢液排出管處于取樣倉外的部分設(shè)置有第三閘閥。
[0009]進一步改進，所述螺旋升降裝置旁設(shè)置有觀測升降距離的刻度裝置。方便控制螺旋升降裝置的上升或下降的距離，螺旋升降裝置可選用手動升降裝置，以進一步提高操作安全性。
[0010]進一步改進，取樣倉本體內(nèi)壁上設(shè)置有多個出風噴嘴，進氣管上設(shè)置有支管連通多個出風噴嘴，支管處于取樣倉外的部分設(shè)置有第四閘閥。通過多個出風噴嘴，方便對取樣倉內(nèi)進行清潔。
[0011]本實用新型通過螺旋升降裝置對取樣瓶進行定位和升降，首先由螺旋升降裝置配合開蓋器打開取樣瓶蓋，接著開蓋器和取樣瓶蓋在擺動機構(gòu)帶動下讓位，再由螺旋升降裝置帶動取樣瓶體與固定在取樣倉內(nèi)上部的蓋體相鎖緊，然后通過氮氣瓶、進氣管、第二閘閥、廢液排出管、廢液收集池相配合對取樣瓶內(nèi)壁進行清潔，保證不污染酸樣，再通過氮氣瓶、進氣管、第二閘閥、廢液排出管、廢液收集池和進酸管、第一閘閥相配合先清除進酸管道內(nèi)殘留酸液，然后再提取酸液，確保取樣的真實性。
[0012]另一方面，取樣過程都是在取樣倉內(nèi)完成，對外部環(huán)境沒有任何影響，操作人員不會接觸到酸樣，取樣安全性高。
[0013]本實用新型不僅適用于有水氫氟酸的取樣，也能適用于其它相關(guān)化工液體原料的取樣。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型示意圖；
[0015]圖2是取樣瓶主視放大圖；
[0016]圖3是取樣瓶放入取樣倉內(nèi)取樣過程示意圖。

【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和具體的實施方式對本實用新型作進一步詳細說明。
[0018]圖1、圖2所示，一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)，包括帶有螺旋形端口的取樣瓶1、取樣倉2，取樣倉2的中上部設(shè)有一個與取樣倉本體21相密封的透明觀察窗22，取樣倉2的下部設(shè)有一個螺旋升降裝置3，螺旋升降裝置3的上部設(shè)有取樣瓶I的定位和夾具機構(gòu)31 ；為提高操作安全性，螺旋升降裝置3可選用手動升降裝置，螺旋升降裝置3旁設(shè)置有觀測升降距離的刻度裝置32 ；
[0019]取樣倉2的下部設(shè)有一個用于放入或取出取樣瓶I的倉門23,倉門23處于關(guān)閉狀態(tài)時與取樣倉本體21形成密封；
[0020]取樣倉2內(nèi)中部裝有一個能夠夾緊或放松取樣瓶蓋的開蓋器4，開蓋器4設(shè)置在一擺動機構(gòu)41上；
[0021]取樣倉2內(nèi)上部固定一個能與取樣瓶I螺旋形端口相鎖緊的蓋體5 ；
[0022]一進酸管6穿過取樣倉本體21和所述蓋體5伸入取樣倉2內(nèi)，進酸管6處于取樣倉2外的部分設(shè)置有第一閘閥61 ；
[0023]一進氣管7 —端穿過取樣倉本體21和所述蓋體5伸入取樣倉2內(nèi)、另一端連接氮氣瓶8，進氣管7處于取樣倉2外的部分設(shè)置有第二閘閥71 ；
[0024]一廢液排出管9 一端穿過取樣倉本體21和所述蓋體5伸入取樣倉2內(nèi)、另一端連接廢液收集池10，所述廢液排出管9處于取樣倉2外的部分設(shè)置有第三閘閥91 ；
[0025]在取樣倉本體21內(nèi)壁上設(shè)置有多個出風噴嘴211，進氣管7上設(shè)置有支管72連通多個出風噴嘴211，支管72處于取樣倉2外的部分設(shè)置有第四閘閥721。
[0026]所述取樣瓶I的底部11為倒錐形凹槽狀。
[0027]結(jié)合圖3所示，本實用新型的取樣過程如下:
[0028]1、在取樣瓶I內(nèi)部裝滿高純水(取樣瓶壁的清潔目的)，關(guān)蓋并用潔凈袋子包好帶到取樣現(xiàn)場；
[0029]2、打開倉門23，將取樣瓶I放入并固定在螺旋升降裝置3的定位和夾具機構(gòu)31上，關(guān)閉倉門23 ；
[0030]3、首先開啟廢液排出管9上的第三閘閥91，再開啟支管72上的第四閘閥721，通過多個出風噴嘴211對取樣倉2內(nèi)部進行風淋清潔處理，清潔后關(guān)閉支管72上的第四閘閥721，其過程亦可察看廢液排出管9是否堵塞并及時處理；
[0031]4、啟動螺旋升降裝置3，通過透明觀察窗22觀察取樣倉2內(nèi)部運行狀況。當取樣瓶I上升到一定高度(通過刻度裝置32進行控制)后停止，開蓋器4抓牢取樣瓶蓋，然后使螺旋升降裝置3反向旋轉(zhuǎn)，下降過程中取樣瓶蓋打開并夾在開蓋器4上與取樣瓶體分離；
[0032]5、通過擺動機構(gòu)41將開蓋器4和取樣瓶蓋移位，使其不會阻擋取樣瓶體上升，再啟動螺旋升降裝置3，取樣瓶體通過螺旋上升與固定在取樣倉2內(nèi)上部的蓋體5相鎖緊，然后關(guān)閉螺旋升降裝置3 ；
[0033]6、開啟進氣管7上的第二閘閥71，通過氮氣的氣壓使取樣瓶I內(nèi)部高純水經(jīng)過廢液排出管9排出并進入廢液收集池10。其目的在于通過高純水清潔取樣瓶I內(nèi)壁；
[0034]7、關(guān)閉進氣管7上的第二閘閥71，開啟進酸管6上的第一閘閥61，使水氫氟酸流入取樣瓶I內(nèi)一定量后關(guān)閉第一閘閥61。為防腐蝕，氫氟酸進樣液位不能浸沒進氣管7，然后開啟進氣管7上的第二閘閥71，通過高壓氮氣排出取樣瓶I內(nèi)酸樣。以上過程可反復幾次，目的在于排去進酸管道的殘酸以達到取樣真實；最后關(guān)閉第二閘閥71，打開第一閘閥61使真實的水氫氟酸流入取樣瓶I內(nèi)；
[0035]8、取樣完畢后，關(guān)閉進酸管6上的第一閘閥61，開啟螺旋升降裝置3，緩慢下降。到達一定高度(通過刻度裝置32進行控制)后停止下降，利用擺動機構(gòu)41將開蓋器4和取樣瓶蓋復位，再開啟螺旋升降裝置3讓取樣瓶體上升并與瓶蓋鎖緊，開蓋器4放松瓶蓋，最后通過螺旋升降裝置3降下取樣瓶I至取樣倉2下部，打開倉門23取出帶有酸樣的取樣瓶I。
[0036]以上僅是本實用新型一個較佳的實施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員按權(quán)利要求作等同的改變都落入本案的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)，包括帶有螺旋形端口的取樣瓶、取樣倉，其特征在于:取樣倉的中上部設(shè)有一個與取樣倉本體相密封的透明觀察窗，取樣倉的下部裝有一個螺旋升降裝置，螺旋升降裝置的上部設(shè)有取樣瓶的定位和夾具機構(gòu)； 取樣倉的下部設(shè)有一個用于放入或取出取樣瓶的倉門，倉門處于關(guān)閉狀態(tài)時與取樣倉本體形成密封； 取樣倉內(nèi)中部裝有一個能夠夾緊或放松取樣瓶蓋的開蓋器，開蓋器設(shè)置在一擺動機構(gòu)上； 取樣倉內(nèi)上部固定一個能與取樣瓶螺旋形端口相鎖緊的蓋體； 一進酸管穿過取樣倉本體和所述蓋體伸入取樣倉內(nèi)，進酸管處于取樣倉外的部分設(shè)置有第一閘閥； 一進氣管一端穿過取樣倉本體和所述蓋體伸入取樣倉內(nèi)、另一端連接氮氣瓶，進氣管處于取樣倉外的部分設(shè)置有第二閘閥； 一廢液排出管一端穿過取樣倉本體和所述蓋體伸入取樣倉內(nèi)、另一端連接廢液收集池。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)，其特征在于:所述取樣瓶的底部為倒錐形凹槽狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)，其特征在于:所述廢液排出管處于取樣倉外的部分設(shè)置有第三閘閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)，其特征在于:所述螺旋升降裝置旁設(shè)置有觀測升降距離的刻度裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的一種有水氫氟酸的取樣系統(tǒng)，其特征在于:取樣倉本體內(nèi)壁上設(shè)置有多個出風噴嘴，進氣管上設(shè)置有支管連通多個出風噴嘴，支管處于取樣倉外的部分設(shè)置有第四閘閥。
【文檔編號】G01N1/10GK204008216SQ201420451044
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年8月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月12日
【發(fā)明者】賀平, 吳云秀 申請人:福建省邵武市永飛化工有限公司