本發(fā)明涉及利用熱電效應(yīng)檢測(cè)紅外線的熱電型的紅外線檢測(cè)元件、紅外線檢測(cè)器及紅外線式氣體傳感器。

背景技術(shù)：
關(guān)于紅外線檢測(cè)器，公知有在氣體分析儀、輻射溫度計(jì)、火焰檢測(cè)器、入侵者警報(bào)器等中裝配的熱電型紅外線檢測(cè)器(例如，日本專(zhuān)利號(hào)3247813：以下稱(chēng)為“文獻(xiàn)1”)。在文獻(xiàn)1中記載了圖72所示的結(jié)構(gòu)的熱電型紅外線檢測(cè)器200。熱電型紅外線檢測(cè)器200具有外殼201、紅外線透射窗202、芯柱203、電路基板204、熱電部件205、間隔件206，在熱電部件205的上下兩面設(shè)有形成電極部的兩個(gè)電極207、208。熱電型紅外線檢測(cè)器200是焦耳式的熱電型紅外線檢測(cè)器，將兩個(gè)電極207、208以使極性彼此相反的方式串聯(lián)連接。熱電型紅外線檢測(cè)器200構(gòu)成為兩個(gè)電極207、208中僅一個(gè)電極207面對(duì)紅外線透射窗202，在紅外線透射窗202通過(guò)的紅外光213入射到一個(gè)電極207，紅外光不入射到另一個(gè)電極208。以下，將一個(gè)電極207稱(chēng)為受光用電極207，將另一個(gè)電極208稱(chēng)為溫度補(bǔ)償用電極208。熱電型紅外線檢測(cè)器200通過(guò)使溫度補(bǔ)償用電極208的厚度大于受光用電極207的厚度，使溫度補(bǔ)償用電極208在紅外線區(qū)域中對(duì)光的吸收系數(shù)小于受光用電極207的該吸收系數(shù)。例如，熱電型紅外線檢測(cè)器200將受光用電極207的厚度設(shè)為，將溫度補(bǔ)償用電極208的厚度設(shè)為。由此，熱電型紅外線檢測(cè)器200使溫度補(bǔ)償用電極208的紅外線區(qū)域中的光的吸收系數(shù)達(dá)到受光用電極207的該吸收系數(shù)的二分之一。因此，熱電型紅外線檢測(cè)器200在假設(shè)由于串?dāng)_使得紅外光入射到溫度補(bǔ)償用電極208時(shí)，從溫度補(bǔ)償用電極208幾乎不輸出信號(hào)，因而靈敏度提高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
發(fā)明要解決的問(wèn)題在熱電型的紅外線檢測(cè)元件、紅外線檢測(cè)器及紅外線式氣體傳感器的各領(lǐng)域中，期望進(jìn)一步提高靈敏度。本發(fā)明正是鑒于上述情況而提出的，其目的在于，提供能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化的紅外線檢測(cè)元件、紅外線檢測(cè)器及紅外線式氣體傳感器。用于解決問(wèn)題的手段本發(fā)明的紅外線檢測(cè)元件在一個(gè)熱電體基板上排列形成有第1熱電元件和第2熱電元件，其特征在于，所述第1熱電元件具有：第1表面電極，形成于所述熱電體基板的表面；第1背面電極，形成于所述熱電體基板的背面，并與所述第1表面電極對(duì)置；和第1部分，在所述熱電體基板中被夾在所述第1表面電極和所述第1背面電極之間，所述第2熱電元件具有：第2表面電極，形成于所述熱電體基板的表面；第2背面電極，形成于所述熱電體基板的所述背面，并與所述第2表面電極對(duì)置；和第2部分，在所述熱電體基板中被夾在所述第2表面電極和所述第2背面電極之間，在所述熱電體基板的所述表面形成有分別與所述第1表面電極、所述第2表面電極電連接的第1表面配線、第2表面配線，在所述熱電體基板的所述背面形成有分別與所述第1背面電極、所述第2背面電極電連接的第1背面配線、第2背面配線，所述熱電體基板在包圍所述第1熱電元件的周邊部形成有沿著所述第1熱電元件的外周的形狀的切縫，該切縫避開(kāi)所述第1表面配線和所述第1背面配線而形成，包圍所述第2熱電元件的周邊部遍及所述第2部分的全周而連續(xù)。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)元件中，所述熱電體基板的所述切縫至少形成在所述第1熱電元件的所述第2熱電元件側(cè)。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)元件中，所述紅外線檢測(cè)元件具有多組由所述第1熱電元件和所述第2熱電元件構(gòu)成的組，所述熱電體基板在相鄰的兩個(gè)所述第1熱電元件各自的另一個(gè)所述第1熱電元件側(cè)形成有所述切縫。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)元件中，在所述第1表面電極上形成有吸收紅外線的紅外線吸收層。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)元件中，以使所述第1表面電極和所述第2表面電極作為反射紅外線的紅外線反射層發(fā)揮作用的方式，設(shè)定所述第1表面電極和所述第2表面電極各自的表面電阻(sheetresistance)。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)元件中，所述第1表面電極的表面電阻和所述第2表面電極的表面電阻相同。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)元件中，所述紅外線吸收層形成為俯視觀察時(shí)覆蓋由所述切縫包圍的區(qū)域整體，所述紅外線吸收層由在樹(shù)脂中分散了從碳類(lèi)微粉末、金屬類(lèi)微粉末、金屬氧化物類(lèi)微粉末的組中選擇的至少一種導(dǎo)電性微粉末的第1樹(shù)脂層構(gòu)成。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)元件中，所述第1表面電極的外周緣離開(kāi)所述切縫的所述第1表面電極側(cè)的開(kāi)孔緣。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)元件中，所述樹(shù)脂是酚醛類(lèi)樹(shù)脂。本發(fā)明的紅外線檢測(cè)器的特征在于，具有：所述紅外線檢測(cè)元件；光學(xué)濾波器，配置在所述紅外線檢測(cè)元件的前方，使所述紅外線檢測(cè)元件的檢測(cè)對(duì)象的波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線透射；IC元件，對(duì)所述紅外線檢測(cè)元件的輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理；基板，安裝有所述紅外線檢測(cè)元件和所述IC元件；以及外殼，收納有所述紅外線檢測(cè)元件、所述光學(xué)濾波器、所述IC元件和所述基板，所述外殼具有：底座，支撐所述基板；金屬制的蓋，以覆蓋所述紅外線檢測(cè)元件和所述光學(xué)濾波器的方式固定在所述底座上；窗孔，形成于所述蓋的頂板部；以及窗部件，以封堵所述窗孔的方式配置，能夠使紅外線透射。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述外殼以使所述第1熱電元件位于所述窗孔向所述紅外線檢測(cè)元件的垂直投影區(qū)域內(nèi)、且所述第2熱電元件位于所述垂直投影區(qū)域外的方式，形成所述窗孔。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述窗部件以從所述蓋的內(nèi)側(cè)封堵所述窗孔的方式配置，所述紅外線檢測(cè)器具有在所述頂板部的所述紅外線檢測(cè)元件側(cè)的下表面形成的第2樹(shù)脂層，所述第2樹(shù)脂層形成為覆蓋所述下表面中所述窗部件不重疊的區(qū)域的整個(gè)區(qū)域。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述紅外線檢測(cè)元件在一個(gè)所述熱電體基板上形成有兩組由受光用的所述第1熱電元件和溫度補(bǔ)償用的所述第2熱電元件構(gòu)成的組，一組構(gòu)成第1檢測(cè)單元，另一組構(gòu)成第2檢測(cè)單元，所述光學(xué)濾波器包括：第1光學(xué)濾波器，配置在所述第1檢測(cè)單元的所述第1熱電元件的受光面的前方；以及第2光學(xué)濾波器，配置在所述第2檢測(cè)單元的所述第1熱電元件的受光面的前方，所述第1檢測(cè)單元和所述第2檢測(cè)單元分別具有：第1輸出端子，形成于所述熱電體基板的所述表面?zhèn)?；以及?輸出端子，形成于所述熱電體基板的所述背面?zhèn)龋龅?輸出端子和所述第2輸出端子以在所述熱電體基板的厚度方向上不重疊的方式配置，所述基板包括：具有電絕緣性的絕緣性基材、和與所述絕緣性基材一體設(shè)置的兩個(gè)第1引線端子和兩個(gè)第2引線端子，各個(gè)所述第1引線端子、與所述第1檢測(cè)單元及所述第2檢測(cè)單元各自的所述第1輸出端子，通過(guò)由導(dǎo)電性粘接劑構(gòu)成的第1接合部而單獨(dú)地電連接，各個(gè)所述第2引線端子、與所述第1檢測(cè)單元及所述第2檢測(cè)單元各自的所述第2輸出端子，通過(guò)由導(dǎo)電性粘接劑構(gòu)成的第2接合部而單獨(dú)地電連接，所述絕緣性基材至少包含突起和壁中的一方，所述突起形成于所述絕緣性基材的第1面，在所述第1引線端子和所述第2引線端子之間從所述紅外線檢測(cè)元件的預(yù)計(jì)搭載區(qū)域的外側(cè)向所述絕緣性基材的厚度方向突出，以定位所述紅外線檢測(cè)元件，所述壁形成于所述絕緣性基材的所述第1面，從所述紅外線檢測(cè)元件的所述預(yù)計(jì)搭載區(qū)域的外側(cè)向所述絕緣性基材的厚度方向突出，以定位所述紅外線檢測(cè)元件，其中，所述壁的高度小于所述紅外線檢測(cè)元件的厚度。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，在所述絕緣性基材形成有定位部，該定位部從所述第1面向沿著所述紅外線檢測(cè)元件的所述厚度方向的方向突出，以定位所述第1光學(xué)濾波器和所述第2光學(xué)濾波器。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述定位部具有：壁部，用于規(guī)定在俯視觀察時(shí)與所述第1光學(xué)濾波器和所述第2光學(xué)濾波器的排列方向正交的方向上的所述第1光學(xué)濾波器和所述第2光學(xué)濾波器的位置；以及支撐部，用于架設(shè)所述第1光學(xué)濾波器和所述第2光學(xué)濾波器。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述支撐部的突出尺寸大于所述紅外線檢測(cè)元件的厚度，在所述紅外線檢測(cè)元件的所述厚度方向上，在所述第1光學(xué)濾波器及所述第2光學(xué)濾波器與所述紅外線檢測(cè)元件之間具有間隙。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述支撐部在與所述紅外線檢測(cè)元件的側(cè)面對(duì)置的對(duì)置面上形成有凹部。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，在所述壁部形成有凹陷部，該凹陷部的前端面以及與所述第1光學(xué)濾波器及所述第2光學(xué)濾波器對(duì)置的對(duì)置面開(kāi)放，所述第1光學(xué)濾波器及所述第2光學(xué)濾波器通過(guò)所述凹陷部?jī)?nèi)的由粘接劑構(gòu)成的粘接部被固定于所述壁部。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述第1檢測(cè)單元及所述第2檢測(cè)單元分別在所述熱電體基板的所述背面?zhèn)染哂须姎饨^緣層，該電氣絕緣層包圍所述第2輸出端子的外周面中除沿著所述熱電體基板的側(cè)面的一面以外的面，所述電氣絕緣層利用針對(duì)所述導(dǎo)電性粘接劑的潤(rùn)濕性比所述熱電體基板針對(duì)所述導(dǎo)電性粘接劑的潤(rùn)濕性低的材料形成。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述基板在所述基板的第1面中的各個(gè)所述第1熱電元件及各個(gè)所述第2熱電元件的垂直投影區(qū)域設(shè)有熱絕緣用的孔。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中具有：第1IC元件，對(duì)所述第1檢測(cè)單元的第1輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理；以及第2IC元件，對(duì)所述第2檢測(cè)單元的第2輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理，所述基板在第1面?zhèn)扰渲糜兴黾t外線檢測(cè)元件，在第2面?zhèn)扰渲糜兴龅?IC元件和所述第2IC元件。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述紅外線檢測(cè)元件在一個(gè)所述熱電體基板上排列形成有構(gòu)成組的受光用的所述第1熱電元件和溫度補(bǔ)償用的所述第2熱電元件，所述構(gòu)成組的所述第1熱電元件和所述第2熱電元件反向并聯(lián)連接或者反向串聯(lián)連接。所述紅外線檢測(cè)元件以使所述第1熱電元件位于所述窗孔向所述紅外線檢測(cè)元件的垂直投影區(qū)域內(nèi)的方式配置。所述光學(xué)濾波器配置在所述窗部件和所述第1熱電元件之間。該紅外線檢測(cè)器具有遮光部件，該遮光部件配置在所述窗部件和所述紅外線檢測(cè)元件之間，將從所述外殼的外部透射所述窗部件而進(jìn)入到所述外殼內(nèi)的紅外線中朝向所述第2熱電元件的紅外線遮光，所述遮光部件被保持在所述基板上。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述紅外線檢測(cè)元件的所述第1熱電元件形成于所述熱電體基板的中央部，所述第2熱電元件形成于所述熱電體基板的周部，所述遮光部件形成為板狀，在所述遮光部件的中央部形成有比所述第1熱電元件向厚度方向上的垂直投影區(qū)域大的開(kāi)口部。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述遮光部件在所述開(kāi)口部的周邊部形成有凹部，所述凹部的所述窗部件側(cè)及所述開(kāi)口部側(cè)開(kāi)放，所述遮光部件形成有窗部，所述窗部形成為避開(kāi)所述遮光部件中的所述第2熱電元件向厚度方向上的垂直投影區(qū)域、所述開(kāi)口部和所述凹部，所述窗部能夠用于從所述第1面?zhèn)纫曈X(jué)辨認(rèn)所述紅外線檢測(cè)元件的一部分，所述光學(xué)濾波器將所述開(kāi)口部封堵，所述光學(xué)濾波器的周部被放置在所述凹部中，并且相對(duì)于所述遮光部件被定位。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述遮光部件形成為與所述蓋的內(nèi)周面接觸的形狀，所述蓋利用所述遮光部件進(jìn)行在所述底座的與厚度方向正交的面內(nèi)的定位。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述遮光部件在所述開(kāi)口部的周邊部具有向所述紅外線檢測(cè)元件的表面?zhèn)韧怀龅耐黄稹?yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述遮光部件具有樹(shù)脂板和被層壓在所述樹(shù)脂板上的金屬箔。優(yōu)選的是，在該紅外線檢測(cè)器中，所述遮光部件是金屬板。本發(fā)明的紅外線式氣體傳感器的特征在于，所述紅外線式氣體傳感器具有通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線的紅外線輻射元件、和所述紅外線檢測(cè)元件。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中具有：所述紅外線檢測(cè)器；試料室，配置在所述紅外線輻射元件和所述紅外線檢測(cè)器之間；以及信號(hào)處理部。所述第1光學(xué)濾波器以使檢測(cè)對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)的紅外線透射的方式來(lái)設(shè)定第1透射波長(zhǎng)區(qū)域。所述第2光學(xué)濾波器以使不被所述氣體吸收的參照波長(zhǎng)的紅外線透射、且不與所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域重疊的方式來(lái)設(shè)定第2透射波長(zhǎng)區(qū)域。所述試料室形成有能夠供檢測(cè)對(duì)象的氣體進(jìn)出的通氣孔。所述信號(hào)處理部根據(jù)所述第1檢測(cè)單元的第1輸出信號(hào)與所述第2檢測(cè)單元的第2輸出信號(hào)的差分或者比，來(lái)求出所述氣體的濃度。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中，所述試料室呈筒狀，其內(nèi)表面是將從所述紅外線輻射元件輻射的紅外線反射的反射面。所述反射面是將旋轉(zhuǎn)橢圓體的長(zhǎng)軸方向的兩端部分別用與長(zhǎng)軸正交的兩個(gè)平面切割后得到的形狀，所述旋轉(zhuǎn)橢圓體以規(guī)定在所述試料室的中心軸上的長(zhǎng)軸為旋轉(zhuǎn)軸。所述紅外線輻射元件被配置在所述中心軸上、所述旋轉(zhuǎn)橢圓體的一個(gè)焦點(diǎn)的附近。所述紅外線檢測(cè)器被配置在所述中心軸上、比所述旋轉(zhuǎn)橢圓體的另一個(gè)焦點(diǎn)更靠近所述紅外線輻射元件的一側(cè)。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中，在所述紅外線檢測(cè)器中，將所述第1檢測(cè)單元中的所述第1熱電元件的所述第1表面電極的平面形狀和所述第2檢測(cè)單元中的所述第1熱電元件的所述第1表面電極的平面形狀合并而成的形狀，是沿著所述熱電體基板的所述表面與所述旋轉(zhuǎn)橢圓體的交線的形狀。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中具有第1受光元件、第2受光元件、第1光學(xué)系統(tǒng)、第2光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)電路和信號(hào)處理部。所述紅外線檢測(cè)元件在一個(gè)所述熱電體基板上形成有兩組由受光用的所述第1熱電元件和溫度補(bǔ)償用的所述第2熱電元件構(gòu)成的組，一組構(gòu)成第1檢測(cè)單元，另一組構(gòu)成第2檢測(cè)單元，所述第1檢測(cè)單元的所述第1熱電元件構(gòu)成所述第1受光元件，所述第2檢測(cè)單元的所述第1熱電元件構(gòu)成所述第2受光元件。所述驅(qū)動(dòng)電路構(gòu)成為驅(qū)動(dòng)所述紅外線輻射元件。所述第1光學(xué)系統(tǒng)配置在所述紅外線輻射元件和所述第1受光元件之間。所述第2光學(xué)系統(tǒng)配置在所述紅外線輻射元件和所述第2受光元件之間。所述信號(hào)處理部構(gòu)成為根據(jù)所述第1受光元件的第1輸出信號(hào)與所述第2受光元件的第2輸出信號(hào)之比，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。所述第1光學(xué)系統(tǒng)的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域被設(shè)定為包含基于所述檢測(cè)對(duì)象的氣體的紅外線的吸收波長(zhǎng)。所述第2光學(xué)系統(tǒng)的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域被設(shè)定為包含參照波長(zhǎng)。所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域和所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域彼此不同，而且所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域比所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域更靠短波長(zhǎng)側(cè)。對(duì)所述第1光學(xué)系統(tǒng)和所述第2光學(xué)系統(tǒng)，在比所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域和所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域雙方都更靠長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)，設(shè)定有所述第1光學(xué)系統(tǒng)和所述第2光學(xué)系統(tǒng)共用的補(bǔ)償用的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域。所述第1光學(xué)系統(tǒng)的所述規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的第1平均透射率小于所述第2光學(xué)系統(tǒng)的所述規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的第2平均透射率。以補(bǔ)償由于所述紅外線輻射元件的輻射功率的變化而引起的如下比的變化的方式，分別設(shè)定所述第1平均透射率和所述第2平均透射率，所述比是指基于所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線的所述第1受光元件的第1輸出信號(hào)成分、與基于所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線的所述第2受光元件的第2輸出信號(hào)成分之比。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中具有第1受光元件、第2受光元件、第1光學(xué)系統(tǒng)、第2光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)電路和信號(hào)處理部。所述紅外線檢測(cè)元件在一個(gè)所述熱電體基板上形成有兩組由受光用的所述第1熱電元件和溫度補(bǔ)償用的所述第2熱電元件構(gòu)成的組，一組構(gòu)成第1檢測(cè)單元，另一組構(gòu)成第2檢測(cè)單元，所述第1檢測(cè)單元的所述第1熱電元件構(gòu)成所述第1受光元件，所述第2檢測(cè)單元的所述第1熱電元件構(gòu)成所述第2受光元件。所述驅(qū)動(dòng)電路構(gòu)成為驅(qū)動(dòng)所述紅外線輻射元件。所述第1光學(xué)系統(tǒng)配置在所述紅外線輻射元件和所述第1受光元件之間。所述第2光學(xué)系統(tǒng)配置在所述紅外線輻射元件和所述第2受光元件之間。所述信號(hào)處理部構(gòu)成為根據(jù)所述第1受光元件的第1輸出信號(hào)與所述第2受光元件的第2輸出信號(hào)之比，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。所述第1光學(xué)系統(tǒng)的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域被設(shè)定為包含基于所述檢測(cè)對(duì)象的氣體的紅外線的吸收波長(zhǎng)。所述第2光學(xué)系統(tǒng)的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域被設(shè)定為包含參照波長(zhǎng)。所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域和所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域彼此不同，而且所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域比所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域更靠長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)。在該紅外線式氣體傳感器中，對(duì)所述第1光學(xué)系統(tǒng)和所述第2光學(xué)系統(tǒng)，在比所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域和所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域雙方都更靠長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)，設(shè)定有所述第1光學(xué)系統(tǒng)和所述第2光學(xué)系統(tǒng)共用的補(bǔ)償用的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域。在該紅外線式氣體傳感器中，所述第1光學(xué)系統(tǒng)的所述規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的第1平均透射率大于所述第2光學(xué)系統(tǒng)的所述規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的第2平均透射率。在該紅外線式氣體傳感器中，以補(bǔ)償由于所述紅外線輻射元件的輻射功率的變化而引起的如下比的變化的方式，分別設(shè)定所述第1平均透射率和所述第2平均透射率，所述比是指基于所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線的所述第1受光元件的第1輸出信號(hào)成分、與基于所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線的所述第2受光元件的第2輸出信號(hào)成分之比。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中，所述驅(qū)動(dòng)電路構(gòu)成為以一定的電壓或者一定的電流對(duì)所述紅外線輻射元件進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)，以滿(mǎn)足下述的式(1)的條件的方式，設(shè)定所述第1光學(xué)系統(tǒng)的所述第1平均透射率和所述第2光學(xué)系統(tǒng)的所述第2平均透射率，[數(shù)式1]式(1)在式(1)中，Qg1表示在所述紅外線輻射元件的初始狀態(tài)下，在所述第1光學(xué)系統(tǒng)的所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域通過(guò)并入射到所述第1受光元件的紅外線能量。在式(1)中，Qr1表示在所述紅外線輻射元件的初始狀態(tài)下，在所述第2光學(xué)系統(tǒng)的所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域通過(guò)并入射到所述第2受光元件的紅外線能量。在式(1)中，Qg2表示在所述紅外線輻射元件隨時(shí)間而變化后的所述第1光學(xué)系統(tǒng)的所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域通過(guò)并入射到所述第1受光元件的紅外線能量。在式(1)中，Qr2表示在所述紅外線輻射元件隨時(shí)間而變化后的所述第2光學(xué)系統(tǒng)的所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域通過(guò)并入射到所述第2受光元件的紅外線能量。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中，設(shè)所述紅外線輻射元件的絕對(duì)溫度為T(mén)[K]，設(shè)所述吸收波長(zhǎng)為λg[μm]，設(shè)所述參照波長(zhǎng)為λr[μm]，設(shè)所述第1受光元件的受光功率中針對(duì)在所述第1光學(xué)系統(tǒng)的所述規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域通過(guò)了的紅外線的受光功率為Qgr，設(shè)所述第2受光元件的受光功率中針對(duì)在所述第2光學(xué)系統(tǒng)的所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域通過(guò)了的紅外線的受光功率為Qrs、針對(duì)在所述第2光學(xué)系統(tǒng)的所述規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域通過(guò)了的紅外線的受光功率為Qrr，在設(shè)R1＝Qrr/Qrs時(shí)，以滿(mǎn)足下述的第1條件及第2條件的方式設(shè)定所述第1平均透射率和所述第2平均透射率。第1條件：[數(shù)式2]Qrs＞Qrr＞0第2條件：[數(shù)式3]時(shí)Qrr＞Qgr時(shí)此時(shí)，其中，x為系數(shù)。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中，設(shè)所述紅外線輻射元件的絕對(duì)溫度為T(mén)[K]，設(shè)所述吸收波長(zhǎng)為λg[μm]，設(shè)所述參照波長(zhǎng)為λr[μm]，設(shè)所述第1受光元件的受光功率中針對(duì)在所述第1光學(xué)系統(tǒng)的所述規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域通過(guò)了的紅外線的受光功率為Qgr，設(shè)所述第2受光元件的受光功率中針對(duì)在所述第2光學(xué)系統(tǒng)的所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域通過(guò)了的紅外線的受光功率為Qrs、針對(duì)在所述第2光學(xué)系統(tǒng)的所述規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域通過(guò)了的紅外線的受光功率為Qrr，在設(shè)R2＝Qgr/Qrs時(shí)，以滿(mǎn)足下述的第1條件及第2條件的方式設(shè)定所述第1平均透射率和所述第2平均透射率。第1條件：[數(shù)式4]Qrs＞Qgr＞0第2條件：[數(shù)式5]時(shí)Qgr＞Qrr時(shí)此時(shí)，其中，x為系數(shù)。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中，所述紅外線輻射元件具有：半導(dǎo)體基板；薄膜部，形成于所述半導(dǎo)體基板的表面?zhèn)?；開(kāi)口部，形成于所述半導(dǎo)體基板，使所述薄膜部中的所述半導(dǎo)體基板側(cè)的第1面的一部分露出；以及紅外線輻射層，形成于所述薄膜部的第2面，利用通過(guò)通電而產(chǎn)生的熱輻射來(lái)輻射紅外線。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中具有所述紅外線檢測(cè)器，所述紅外線檢測(cè)器具有對(duì)所述紅外線檢測(cè)元件的輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理的IC元件，所述紅外線式氣體傳感器還具有：試料室，配置在所述紅外線輻射元件和所述紅外線檢測(cè)器之間，能夠供檢測(cè)對(duì)象的氣體進(jìn)出；驅(qū)動(dòng)電路，斷續(xù)地對(duì)所述紅外線輻射元件通電；控制部，控制所述驅(qū)動(dòng)電路；以及信號(hào)處理電路，對(duì)所述IC元件的輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中，所述紅外線輻射元件具有：半導(dǎo)體基板；薄膜部，形成于所述半導(dǎo)體基板的表面?zhèn)龋婚_(kāi)口部，形成于所述半導(dǎo)體基板，使所述薄膜部中的所述半導(dǎo)體基板側(cè)的第1面的一部分露出；以及紅外線輻射層，形成于所述薄膜部的第2面，利用通過(guò)通電而產(chǎn)生的熱輻射來(lái)輻射紅外線，在從對(duì)所述紅外線輻射層的通電被截止開(kāi)始到下一次開(kāi)始通電為止的非通電期間中，也輻射紅外線，所述IC元件具有電流電壓變換電路，對(duì)所述紅外線檢測(cè)元件的輸出信號(hào)即電流信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換。所述電流電壓變換電路使在所述非通電期間中所述紅外線輻射元件輻射的紅外線量的時(shí)間變化相對(duì)于頻率成分的增益、大于相對(duì)于比該頻率成分高的頻域的增益。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中具有光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)電路、控制部和信號(hào)處理部。所述光學(xué)系統(tǒng)配置在所述紅外線輻射元件和所述紅外線檢測(cè)元件之間。所述光學(xué)系統(tǒng)在包含基于檢測(cè)對(duì)象的氣體的紅外線的吸收波長(zhǎng)的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域、和被設(shè)定在比所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域更靠長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域，分別設(shè)定紅外線的透射率，并使所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域的平均透射率小于所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域的透射率。所述驅(qū)動(dòng)電路構(gòu)成為對(duì)所述紅外線輻射元件進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)。所述控制部按照時(shí)間序列控制所述驅(qū)動(dòng)電路，使得所述驅(qū)動(dòng)電路分別在第1驅(qū)動(dòng)條件和第2驅(qū)動(dòng)條件下對(duì)所述紅外線輻射元件進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)，所述第1驅(qū)動(dòng)條件和所述第2驅(qū)動(dòng)條件是使所述紅外線輻射元件的輻射能量分布的峰值波長(zhǎng)彼此不同的驅(qū)動(dòng)條件。所述信號(hào)處理部構(gòu)成為利用在所述第1驅(qū)動(dòng)條件時(shí)的所述紅外線檢測(cè)元件的第1輸出信號(hào)與在所述第2驅(qū)動(dòng)條件時(shí)的所述紅外線檢測(cè)元件的第2輸出信號(hào)之比，估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中，所述第1驅(qū)動(dòng)條件是指峰值波長(zhǎng)比所述第2驅(qū)動(dòng)條件短的驅(qū)動(dòng)條件，所述信號(hào)處理部具有濃度估計(jì)部，根據(jù)下述的式(2)的濃度換算式估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。[數(shù)式6]Con1＝A1×R12+B1×R1+C1式(2)在式(2)中，Con1表示檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。在式(2)中，R1表示針對(duì)將所述第1輸出信號(hào)用所述第2輸出信號(hào)去除而得到的值R、以設(shè)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度為0ppm時(shí)的值為1的方式進(jìn)行正規(guī)化后的值。在式(2)中，A1、B1及C1分別為系數(shù)。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中，所述第1驅(qū)動(dòng)條件是指峰值波長(zhǎng)比所述第2驅(qū)動(dòng)條件時(shí)短的驅(qū)動(dòng)條件，所述信號(hào)處理部具有濃度估計(jì)部，根據(jù)下述的式(3)的濃度換算式估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。[數(shù)式7]Con2＝A2×X2+B2×X+C2式(3)在式(3)中，Con2表示檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。在式(3)中，X表示將所述第1輸出信號(hào)用基準(zhǔn)值去除而得到的值。在式(3)中，A2、B2及C2分別為系數(shù)。所述基準(zhǔn)值是根據(jù)將所述第1輸出信號(hào)用所述第2輸出信號(hào)去除而得到的值和Con1所估計(jì)出的、在如下假定情況下的所述紅外線檢測(cè)元件的輸出信號(hào)的估計(jì)值，所述假定情況是假設(shè)所述檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度為0ppm而且在所述第1驅(qū)動(dòng)條件下對(duì)所述紅外線輻射元件進(jìn)行了脈沖驅(qū)動(dòng)。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中具有：紅外光源，將所述紅外線輻射元件收納在第1外殼中；和紅外線檢測(cè)器，將所述紅外線檢測(cè)元件收納在第2外殼中。所述紅外線檢測(cè)器具有光學(xué)濾波器，該光學(xué)濾波器配置在所述紅外線檢測(cè)元件的所述紅外光源側(cè)，調(diào)整所述第1透射波長(zhǎng)區(qū)域及所述第2透射波長(zhǎng)區(qū)域各自的紅外線的透射率。所述第1外殼具有使從所述紅外線輻射元件輻射的紅外線透射的第1窗部件。所述第2外殼具有使從所述紅外線輻射元件輻射的紅外線透射的第2窗部件。所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述第1窗部件、所述第2窗部件、和所述光學(xué)濾波器。優(yōu)選的是，在該紅外線式氣體傳感器中具有試料室，該試料室配置在所述紅外光源和所述紅外線檢測(cè)器之間，能夠供檢測(cè)對(duì)象的氣體進(jìn)出。所述試料室呈筒狀的形狀。所述試料室的內(nèi)表面構(gòu)成將從所述紅外線輻射元件輻射的紅外線反射的反射面。所述光學(xué)系統(tǒng)還包括所述反射面。發(fā)明效果在本發(fā)明的紅外線檢測(cè)元件中，所述熱電體基板在包圍所述第1熱電元件的周邊部形成有沿著所述第1熱電元件的外周的形狀的切縫，該切縫避開(kāi)了所述第1表面配線和所述第1背面配線，包圍所述第2熱電元件的周邊部沿著第2部分的全周而連續(xù)，因而在所述第1熱電元件和所述第2熱電元件中紅外線入射時(shí)的熱量時(shí)間常數(shù)產(chǎn)生差異。因此，在紅外線檢測(cè)元件中，通過(guò)將第1熱電元件和第2熱電元件反向并聯(lián)連接或者反向串聯(lián)連接，并將第1熱電元件用作受光用的熱電元件、將第2熱電元件用作溫度補(bǔ)償用的熱電元件，能夠減輕基于紅外線的串?dāng)_的影響，能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。在本發(fā)明的紅外線檢測(cè)器中，由于具有所述紅外線檢測(cè)元件，因而能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。在本發(fā)明的紅外線式氣體傳感器中，由于具有所述紅外線檢測(cè)元件，因而能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。附圖說(shuō)明圖1A是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的概略俯視圖。圖1B是圖1A的X-X概略剖視圖。圖1C表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的概略仰視圖。圖2是實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的使用方式的等效電路圖。圖3是實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的特性的示意說(shuō)明圖。圖4A是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第1變形例的概略俯視圖。圖4B是圖4A的X-X概略剖視圖。圖4C是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第1變形例的概略仰視圖。圖5是實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第1變形例的等效電路圖。圖6A是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第2變形例的概略俯視圖。圖6B是圖6A的X-X概略剖視圖。圖6C是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第2變形例的概略仰視圖。圖7涉及實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第2變形例，是說(shuō)明通過(guò)設(shè)置紅外線吸收層而產(chǎn)生的靈敏度的變化的情況的示意圖。圖8涉及實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第2變形例，是紅外線吸收層的正規(guī)化厚度與正規(guī)化靈敏度的關(guān)系的說(shuō)明圖。圖9涉及實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第2變形例，是紅外線吸收層的厚度與紅外線吸收層的紅外線吸收率的關(guān)系的說(shuō)明圖。圖10涉及實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第2變形例，是紅外線吸收層的厚度與正規(guī)化靈敏度的關(guān)系的說(shuō)明圖。圖11是電極的表面電阻與反射率及吸收率的關(guān)系說(shuō)明圖。圖12A是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第3變形例的概略俯視圖。圖12B是圖12A的X-X概略剖視圖。圖12C是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第3變形例的概略仰視圖。圖13A是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第4變形例的概略俯視圖。圖13B是圖13A的X-X概略剖視圖。圖13C是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第4變形例的概略仰視圖。圖14是實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第4變形例的等效電路圖。圖15A是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第5變形例的概略俯視圖。圖15B是圖15A的X-X概略剖視圖。圖15C是表示實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件的第5變形例的概略仰視圖。圖16是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的概略分解立體圖。圖17是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的概略立體圖。圖18是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的主要部分的概略立體圖。圖19A是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的概略剖視圖。圖19B是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的另一概略剖視圖。圖20是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖21是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的光學(xué)濾波器的概略剖視圖。圖22A是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第1濾波器部的濾波器特性的說(shuō)明圖。圖22B是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第2濾波器部的濾波器特性的說(shuō)明圖。圖22C是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第1光學(xué)濾波器的濾波器特性的說(shuō)明圖。圖22D是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第3濾波器部的濾波器特性的說(shuō)明圖。圖22E是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第4濾波器部的濾波器特性的說(shuō)明圖。圖22F是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第2光學(xué)濾波器的濾波器特性的說(shuō)明圖。圖23是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的主要部分電路結(jié)構(gòu)圖。圖24是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第1變形例的主要部分的概略立體圖。圖25是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第2變形例的概略剖視圖。圖26是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第3變形例的概略分解立體圖。圖27A是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第3變形例的概略剖視圖。圖27B是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第3變形例的另一概略剖視圖。圖28是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第3變形例的主要部分的概略立體圖。圖29A是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第3變形例的主要部分的概略俯視圖。圖29B是圖29A的D-D概略剖視圖。圖29C是圖29A的E-E概略剖視圖。圖30是從背面?zhèn)扔^察實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第3變形例的主要部分的概略立體圖。圖31是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第4變形例的主要部分的概略立體圖。圖32A是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第5變形例的紅外線檢測(cè)元件的概略俯視圖。圖32B是圖32A的X-X概略剖視圖。圖32C是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第5變形例的紅外線檢測(cè)元件的概略仰視圖。圖33是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第6變形例的主要部分的概略立體圖。圖34是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第7變形例的概略縱剖視圖。圖35是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第7變形例的概略縱立體圖。圖36是在實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第7變形例中，去除蓋、窗部件、光學(xué)濾波器及遮光部件后的狀態(tài)的立體圖。圖37是在實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第7變形例中，去除蓋、窗部件及光學(xué)濾波器后的狀態(tài)的立體圖。圖38是在實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第7變形例中，去除蓋及窗部件后的狀態(tài)的立體圖。圖39A是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第7變形例的紅外線檢測(cè)元件的概略俯視圖。圖39B是圖39A的X-X概略剖視圖。圖39C是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第7變形例的紅外線檢測(cè)元件的概略仰視圖。圖40是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第7變形例的第1光學(xué)濾波器的概略剖視圖。圖41是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第7變形例的第2光學(xué)濾波器的概略剖視圖。圖42是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第7變形例的概略電路圖。圖43A是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第8變形例的紅外線檢測(cè)元件的概略俯視圖。圖43B是圖43A的X-X概略剖視圖。圖43C是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第8變形例的紅外線檢測(cè)元件的概略仰視圖。圖44是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第9變形例的概略縱剖視圖。圖45是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第10變形例的概略縱剖視圖。圖46是實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第10變形例的概略橫剖視圖。圖47是表示實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器的第11變形例的概略縱剖視圖。圖48是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的概略結(jié)構(gòu)圖。圖49是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的主要部分概略結(jié)構(gòu)圖。圖50是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的主要部分概略分解立體圖。圖51是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的主要部分概略立體圖。圖52是將實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的一部分阻斷后的主要部分概略立體圖。圖53是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的示意說(shuō)明圖。圖54A是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的紅外線輻射元件的概略俯視圖。圖54B是圖54A的X-X概略剖視圖。圖55是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的紅外線輻射元件的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖56是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的IC元件的特性的示意說(shuō)明圖。圖57是表示實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第1變形例的概略結(jié)構(gòu)圖。圖58是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第1變形例的主要部分的概略剖視圖。圖59是表示實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第2變形例的概略結(jié)構(gòu)圖。圖60是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第2變形例的特性的示意說(shuō)明圖。圖61是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第3變形例的特性的示意說(shuō)明圖。圖62是表示實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第4變形例的概略結(jié)構(gòu)圖。圖63是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第4變形例的特性的示意說(shuō)明圖。圖64是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第4變形例的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖65是表示實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第4變形例的主要部分概略分解立體圖。圖66是表示實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第4變形例的主要部分概略立體圖。圖67是將實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第4變形例的一部分阻斷后的主要部分概略立體圖。圖68是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第4變形例的光學(xué)濾波器的概略剖視圖。圖69是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第4變形例的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖70是實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的第5變形例的動(dòng)作說(shuō)明圖。圖71A是表示實(shí)施方式3的紅外線式氣體傳感器的紅外線輻射元件的變形例的概略俯視圖。圖71B是圖71A的X-X概略剖視圖。圖72是以往示例的熱電型紅外線檢測(cè)器的縱剖視圖。具體實(shí)施方式(實(shí)施方式1)下面，根據(jù)圖1A、圖1B及圖1C說(shuō)明本實(shí)施方式的紅外線檢測(cè)元件20a。紅外線檢測(cè)元件20a是在一個(gè)熱電體基板21上排列第1熱電元件22和第2熱電元件23而形成的。第1熱電元件22具有：第1表面電極22a，形成于熱電體基板21的表面21a；第1背面電極22b，形成于熱電體基板21的背面21b，并與第1表面電極22a對(duì)置；和第1部分22c，在熱電體基板21中被夾在第1表面電極22a和第1背面電極22b之間。第2熱電元件23具有：第2表面電極23a，形成于熱電體基板21的表面21a；第2背面電極23b，形成于熱電體基板21的背面21b，并與第2表面電極23a對(duì)置；和第2部分23c，在熱電體基板21中被夾在第2表面電極23a和第2背面電極23b之間。在熱電體基板21的表面21a形成有分別與第1表面電極22a、第2表面電極23a電連接的第1表面配線24a、第2表面配線25a。在熱電體基板21的背面21b形成有分別與第1背面電極22b、第2背面電極23b電連接的第1背面配線24b、第2背面配線25b。熱電體基板21在包圍第1熱電元件22的周邊部形成有沿著第1熱電元件22的外周的形狀的切縫26，該切縫26避開(kāi)了第1表面配線24a和第1背面配線24b，包圍第2熱電元件23的周邊部遍及第2部分23c的全周而連續(xù)。由此，紅外線檢測(cè)元件20a通過(guò)將第1熱電元件22和第2熱電元件23反向并聯(lián)連接或者反向串聯(lián)連接，并將第1熱電元件22用作受光用的熱電元件、將第2熱電元件23用作溫度補(bǔ)償用的熱電元件，能夠減輕基于紅外線的串?dāng)_(crosstalk)的影響，能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。下面，詳細(xì)說(shuō)明紅外線檢測(cè)元件20a的各構(gòu)成要素。熱電體基板21是具有熱電性的基板。熱電體基板21由單晶體的LiTaO3基板構(gòu)成。熱電體基板21的材料即熱電材料采用LiTaO3，但不限于此，例如也可以采用LiNbO3、PbTiO3、PZT(：Pb(Zr，Ti)O3)、PZT-PMN(：Pb(Zr，Ti)O3-Pb(Mn，Nb)O3)等。熱電體基板21的自發(fā)極化的方向是沿著該熱電體基板21的厚度方向的一個(gè)方向。在圖1B中觀察，熱電體基板21的自發(fā)極化的方向是向上的方向。熱電體基板21在俯視觀察時(shí)形狀呈矩形(直角四邊形)狀。熱電體基板21的俯視觀察時(shí)的形狀不特別限定于此。將熱電體基板21的厚度設(shè)定為50μm，但不限于該值。例如，從提高紅外線檢測(cè)元件20a的靈敏度的角度考慮，優(yōu)選熱電體基板21的厚度比較薄。因此，優(yōu)選將熱電體基板21的厚度設(shè)定在約30μm～150μm的范圍內(nèi)。紅外線檢測(cè)元件20a在熱電體基板21的厚度比30μm薄時(shí)，存在熱電體基板21因脆弱性而破損之顧慮，在比150μm厚時(shí)，存在紅外線檢測(cè)元件20a的靈敏度下降的問(wèn)題。第1表面電極22a、第1背面電極22b、第2表面電極23a、第2背面電極23b由能夠吸收檢測(cè)對(duì)象的紅外線、而且具有導(dǎo)電性的導(dǎo)電膜構(gòu)成。導(dǎo)電膜由Ni膜構(gòu)成。導(dǎo)電膜不限于Ni膜，例如也可以是NiCr膜和黑化金箔膜等。導(dǎo)電膜在膜厚越厚時(shí)，電氣電阻越小，而在膜厚越薄時(shí)，越能夠提高紅外線的吸收量。因此，第1熱電元件22可以使第1表面電極22a的厚度比第1背面電極22b的厚度薄。同樣，第2熱電元件23可以使第2表面電極23a的厚度比第2背面電極23b的厚度薄。并且，第1熱電元件22也可以使第1表面電極22a的厚度和第1背面電極22b的厚度相同。同樣，第2熱電元件23也可以使第2表面電極23a的厚度和第2背面電極23b的厚度相同。紅外線檢測(cè)元件20a將第1表面電極22a的厚度和第2表面電極23a的厚度設(shè)定為相同厚度。并且，紅外線檢測(cè)元件20a將第1背面電極22b的厚度和第2背面電極23b的厚度設(shè)定為相同厚度。將第1表面電極22a及第2表面電極23a的厚度設(shè)定為30nm，但不限于該值。第1表面電極22a及第2表面電極23a的厚度例如優(yōu)選100nm以下，更優(yōu)選40nm以下。第1表面電極22a及第2表面電極23a例如能夠利用蒸鍍法或?yàn)R射法等形成。將第1背面電極22b及第2背面電極23b的厚度設(shè)定為100nm，但不限于該值。第1背面電極22b及第2背面電極23b的厚度優(yōu)選40nm以上，更優(yōu)選100nm以上。第1背面電極22b及第2背面電極23b例如能夠利用蒸鍍法或?yàn)R射法等形成。紅外線檢測(cè)元件20a在將第1表面電極22a及第2表面電極23a的厚度、和第1背面電極22b及第2背面電極23b的厚度設(shè)為相同厚度的情況下，可以將這些電極的厚度設(shè)定在例如約40nm～100nm的范圍內(nèi)。第1表面電極22a及第2表面電極23a的紅外線吸收率根據(jù)表面電阻的值而變化。第1表面電極22a及第2表面電極23a的紅外線吸收率例如優(yōu)選設(shè)定在20％～50％的范圍內(nèi)。第1表面電極22a及第2表面電極23a的紅外線吸收率的理論上的最大值是50％。第1表面電極22a及第2表面電極23a的紅外線吸收率達(dá)到50％時(shí)的第1表面電極22a及第2表面電極23a的表面電阻是189Ω/□(189Ω/sq.)。即，紅外線檢測(cè)元件20a如果將第1表面電極22a及第2表面電極23a的表面電阻設(shè)為189Ω/□，則能夠使第1表面電極22a及第2表面電極23a的紅外線吸收率最大。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)元件20a在第1表面電極22a及第2表面電極23a中確保例如40％以上的紅外線吸收率。因此，優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)元件20a將第1表面電極22a及第2表面電極23a的表面電阻設(shè)定在73～493Ω/□的范圍內(nèi)。第1熱電元件22和第2熱電元件23的俯視觀察時(shí)的形狀呈長(zhǎng)方形。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)元件20a將第1熱電元件22的平面尺寸和第2熱電元件23的平面尺寸設(shè)定為相同尺寸。總之，優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)元件20a將第1熱電元件22和第2熱電元件23設(shè)為相同的結(jié)構(gòu)。第1熱電元件22和第2熱電元件23的俯視觀察時(shí)的形狀不限于長(zhǎng)方形狀，例如也可以是正方形狀、圓形狀、半圓形狀、橢圓形狀、半橢圓形狀、矩形以外的多邊形狀等。另外，優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)元件20a在第1熱電元件22的俯視觀察形狀和第2熱電元件23的俯視觀察形狀不同的情況下，使俯視觀察時(shí)的面積相同。優(yōu)選的是，第1熱電元件22以如下的方式進(jìn)行配置：使第1表面電極22a和第1背面電極22b呈相同的形狀，并且第1背面電極22b與第1表面電極22a的垂直投影區(qū)域一致。第1表面電極22a的垂直投影區(qū)域是指向第1表面電極22a的厚度方向上的投影區(qū)域。因此，第1熱電元件22的俯視觀察形狀是根據(jù)第1表面電極22a的俯視觀察形狀決定的。總之，第1熱電元件22的俯視觀察形狀與第1表面電極22a的俯視觀察形狀相同。第1熱電元件22的尺寸在第1表面電極22a和第1背面電極22b之間也可以是不同的。優(yōu)選的是，第2熱電元件23以如下的方式進(jìn)行配置：使第2表面電極23a和第2背面電極23b呈相同的形狀，并且第2背面電極23b與第2表面電極23a的垂直投影區(qū)域一致。第2表面電極23a的垂直投影區(qū)域是指向第2表面電極23a的厚度方向上的投影區(qū)域。因此，第2熱電元件23的俯視觀察形狀是根據(jù)第2表面電極23a的俯視觀察形狀決定的。總之，第2熱電元件23的俯視觀察形狀與第2表面電極23a的俯視觀察形狀相同。第2熱電元件23的尺寸在第2表面電極23a和第2背面電極23b之間也可以是不同的。紅外線檢測(cè)元件20a在熱電體基板21的表面21a形成有第1表面配線24a和第2表面配線25a，在熱電體基板21的背面21b形成有第1背面配線24b和第2背面配線25b。優(yōu)選的是，第1表面配線24a和第2表面配線25a的材料、厚度分別與第1表面電極22a及第2表面電極23a相同。由此，在形成紅外線檢測(cè)元件20a時(shí)，能夠?qū)⒌?表面配線24a和第2表面配線25a與第1表面電極22a及第2表面電極23a同時(shí)形成。并且，紅外線檢測(cè)元件20a能夠?qū)⒌?表面配線24a和第1表面電極22a形成為連續(xù)膜，而且能夠?qū)⒌?表面配線25a和第2表面電極23a形成為連續(xù)膜。優(yōu)選的是，第1背面配線24b和第2背面配線25b的材料、厚度分別與第1背面電極22b及第2背面電極23b相同。由此，在形成紅外線檢測(cè)元件20a時(shí)，能夠?qū)⒌?背面配線24b和第2背面配線25b與第1背面電極22b及第2背面電極23b同時(shí)形成。并且，紅外線檢測(cè)元件20a能夠?qū)⒌?背面配線24b和第1背面電極22b形成為連續(xù)膜，而且能夠?qū)⒌?背面配線25b和第2背面電極23b形成為連續(xù)膜。紅外線檢測(cè)元件20a由在第1表面配線24a中的第1表面電極22a側(cè)的相反側(cè)的端部構(gòu)成輸出用的端子部24aa。并且，紅外線檢測(cè)元件20a由在第1背面配線24b中的第1背面電極22b側(cè)的相反側(cè)的端部構(gòu)成輸出用的端子部24bb。另外，紅外線檢測(cè)元件20a由在第2表面配線25a中的第2表面電極23a側(cè)的相反側(cè)的端部構(gòu)成輸出用的端子部25aa。并且，紅外線檢測(cè)元件20a由在第2背面配線25b中的第2背面電極23b側(cè)的相反側(cè)的端部構(gòu)成輸出用的端子部25bb。第1熱電元件22及第2熱電元件23分別能夠接受紅外線并產(chǎn)生進(jìn)行光電變換后的輸出信號(hào)。紅外線檢測(cè)元件20a以如下的方式進(jìn)行配置：使與第1熱電元件22的第1表面電極22a電連接的端子部24aa、和與第2熱電元件23的第2背面電極23b電連接的端子部25bb在熱電體基板21的厚度方向上重疊。并且，紅外線檢測(cè)元件20a以如下的方式進(jìn)行配置：使與第1熱電元件22的第1背面電極22b電連接的端子部24bb、和與第2熱電元件23的第2表面電極23a電連接的端子部25aa在熱電體基板21的厚度方向上重疊。在本說(shuō)明書(shū)中，將第1熱電元件22和第2熱電元件23的排列方向稱(chēng)為第1方向，將熱電體基板21的厚度方向稱(chēng)為第2方向，將與第1方向及第2方向正交的方向稱(chēng)為第3方向。紅外線檢測(cè)元件20a在第3方向的一端部形成有端子部24aa、25bb，在第3方向的另一端部形成有端子部24bb、25aa。紅外線檢測(cè)元件20a通過(guò)將端子部24aa和端子部25bb電連接、而且將端子部24bb和端子部25aa電連接，能夠?qū)崿F(xiàn)將第1熱電元件22和第2熱電元件23反向并聯(lián)連接的結(jié)構(gòu)。圖2是在紅外線檢測(cè)元件20a中將第1熱電元件22和第2熱電元件23反向并聯(lián)連接時(shí)的等效電路圖。在圖2中，用箭頭示出了上述的熱電體基板21的自發(fā)極化的方向。在圖2的等效電路圖中，紅外線檢測(cè)元件20a具有一對(duì)的輸出端子28c、28d。在這種情況下，紅外線檢測(cè)元件20a由將端子部24bb和端子部25aa電連接的第1連接部(未圖示)構(gòu)成一個(gè)輸出端子28c，由將端子部24aa和端子部25bb電連接的第2連接部(未圖示)構(gòu)成另一個(gè)輸出端子28d。在本說(shuō)明書(shū)中，將輸出端子28c也稱(chēng)為第1輸出端子28c。并且，在本說(shuō)明書(shū)中，將輸出端子28d也稱(chēng)為第2輸出端子28d。第1連接部及第2連接部例如能夠利用導(dǎo)電膏形成。導(dǎo)電膏例如能夠采用銀膏、金膏、銅膏等。切縫26是指貫穿熱電體基板21的厚度方向而形成的孔。切縫26形成于在第1熱電元件22的周邊部中避開(kāi)了第1表面配線24a和第1背面配線24b的位置。切縫26形成為沿著第1熱電元件22的外周的形狀。在圖1A和圖1B的示例中，在緊挨著第1熱電元件22外周的旁側(cè)形成有多個(gè)(兩個(gè))切縫26。具體而言，在緊挨著第1方向上的第1熱電元件22兩端的旁側(cè)形成有兩個(gè)切縫26。紅外線檢測(cè)元件20a僅在包圍第1熱電元件22的周邊部形成切縫26，在第2熱電元件23的周邊部沒(méi)有形成切縫26。因此，紅外線檢測(cè)元件20a在包圍第1熱電元件22的周邊部形成有沿著第1熱電元件22的外周的形狀的切縫26，而另一方面，包圍第2熱電元件23的周邊部是沿著第2部分23c的全周而連續(xù)的。假定紅外線檢測(cè)元件20a將第1熱電元件22用作紅外線的受光用的熱電元件，將第2熱電元件23用作溫度補(bǔ)償用的熱電元件。受光用的熱電元件是指用于檢測(cè)紅外線檢測(cè)元件20a的檢測(cè)對(duì)象的紅外線的熱電元件，是紅外線檢測(cè)元件20a的檢測(cè)對(duì)象的紅外線進(jìn)行入射的熱電元件。溫度補(bǔ)償用的熱電元件是指用于減小輸出信號(hào)因紅外線檢測(cè)元件20a周?chē)鷾囟鹊淖兓儎?dòng)的熱電元件，理想地講是指紅外線檢測(cè)元件20a的檢測(cè)對(duì)象的紅外線不入射的熱電元件。換言之，溫度補(bǔ)償用的熱電元件是指用于從第1熱電元件22的輸出信號(hào)中去除起因于周?chē)鷾囟鹊某煞值臒犭娫?。因此，紅外線檢測(cè)元件20a是以檢測(cè)對(duì)象的紅外線入射到第1熱電元件22、但不入射到第2熱電元件23的方式進(jìn)行使用。例如，在將紅外線檢測(cè)元件20a收納在外殼中使用的情況下，作為用于使檢測(cè)對(duì)象的紅外線不入射到第2熱電元件23的手段，例如可以考慮將外殼的一部分作為遮擋紅外線的遮光部。在這種情況下，通過(guò)以使第2熱電元件23位于外殼中使檢測(cè)對(duì)象的紅外線透射的窗部件的垂直投影區(qū)域之外的方式規(guī)定窗部件的配置，能夠?qū)⑼鈿ぶ斜３执安考恼诠庑缘牟考囊徊糠旨孀稣诠獠?。遮光部不限于此，例如也可以考慮利用紅外線截止濾波器或金屬制的遮光板等構(gòu)成。但是，紅外線檢測(cè)元件20a是在紅外線入射的入射面?zhèn)染哂锌臻g的狀態(tài)下使用的，因而由于紅外線的串?dāng)_，從第2熱電元件23輸出信號(hào)。在紅外線檢測(cè)元件20a中紅外線入射的入射面是指第1表面電極22a的表面以及第2表面電極23a的表面。紅外線的串?dāng)_是指在用于使紅外線向第1熱電元件22入射的窗部件和濾波器等透射的紅外線、從傾斜方向向第2熱電元件23的第2表面電極23a的表面入射的情況。換言之，紅外線的串?dāng)_是指在第1熱電元件22的檢測(cè)對(duì)象的紅外線從傾斜方向向旨在阻止紅外線的入射的第2熱電元件23的第2表面電極23a的表面入射的情況。紅外線檢測(cè)元件20a隨著環(huán)境溫度的變化而形成的第1熱電元件22和第2熱電元件23的溫度變化，與因檢測(cè)對(duì)象的紅外線入射而形成的第1熱電元件22的溫度變化和因紅外線的串?dāng)_而形成的第2熱電元件23的溫度變化相比，非常平緩。環(huán)境溫度是指紅外線檢測(cè)元件20a的周?chē)臏囟?，在將紅外線檢測(cè)元件20a收納在外殼中使用時(shí)是指外殼的周?chē)臏囟?。外殼的周?chē)臏囟仁峭獠繗怏w的溫度。紅外線檢測(cè)元件20a為，相對(duì)于檢測(cè)對(duì)象的紅外線向第1熱電元件22的入射，基本上只有第1熱電元件22被加熱，因而熱容量較小，熱時(shí)間常數(shù)較小。并且，紅外線檢測(cè)元件20a由于環(huán)境溫度的上升，紅外線檢測(cè)元件20a整體被加熱，因而熱容量較大，熱時(shí)間常數(shù)較大。尤其是紅外線檢測(cè)元件20a被收納在外殼中使用的情況下，由于環(huán)境溫度的上升，外殼和紅外線檢測(cè)元件20a被加熱，因而熱容量進(jìn)一步增大，熱時(shí)間常數(shù)增大。關(guān)于熱容量，在將相對(duì)于環(huán)境溫度的變化的第1熱電元件22的熱容量設(shè)為H1、將相對(duì)于檢測(cè)對(duì)象的紅外線的入射的第1熱電元件22的熱容量設(shè)為H2時(shí)，H1>H2。另外，關(guān)于導(dǎo)熱率(Thermalconductivity)，在將相對(duì)于環(huán)境溫度的變化的第1熱電元件22的導(dǎo)熱率設(shè)為G1、將相對(duì)于檢測(cè)對(duì)象的紅外線的入射的第1熱電元件22的導(dǎo)熱率設(shè)為G2時(shí)，G2>G1。另外，關(guān)于熱時(shí)間常數(shù)，由于熱時(shí)間常數(shù)＝[熱容量]/[導(dǎo)熱率]，因而在將相對(duì)于環(huán)境溫度的變化的第1熱電元件22的熱時(shí)間常數(shù)設(shè)為τ1、將相對(duì)于檢測(cè)對(duì)象的紅外線的入射的第1熱電元件22的熱時(shí)間常數(shù)設(shè)為τ2時(shí)，τ1>τ2。紅外線檢測(cè)元件20a通過(guò)僅在第1熱電元件22的周邊部形成切縫26，能夠使產(chǎn)生基于因檢測(cè)對(duì)象的紅外線的入射而形成的第1熱電元件22和第2熱電元件23的熱時(shí)間常數(shù)之差的靈敏度差。因此，紅外線檢測(cè)元件20a通過(guò)將第1熱電元件22和第2熱電元件23反向并聯(lián)連接，并將第1熱電元件22、第2熱電元件23分別用作受光用和溫度補(bǔ)償用的熱電元件，能夠減輕紅外線的串?dāng)_的影響。由此，紅外線檢測(cè)元件20a能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。圖3是實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件20a的特性的示意說(shuō)明圖。圖3中的橫軸表示紅外線的頻率，縱軸表示靈敏度(電流靈敏度)。在圖3中，用實(shí)線A11表示第1熱電元件22對(duì)檢測(cè)對(duì)象的紅外線的入射的靈敏度，用實(shí)線A12表示第1熱電元件22及第2熱電元件23對(duì)環(huán)境溫度的變化的靈敏度。另外，在圖3中示意地示出了，由于第1熱電元件22的導(dǎo)熱率的下降，第1熱電元件22的靈敏度在低頻區(qū)域中如虛線A13所示升高，第1熱電元件22的靈敏度和第2熱電元件23的靈敏度之差在低頻區(qū)域中增大。根據(jù)圖3可知，優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)元件20a在重視低頻區(qū)域的靈敏度的情況下，通過(guò)僅在熱電體基板21中的第1熱電元件22的周邊部設(shè)置切縫26，使第1熱電元件22的導(dǎo)熱率下降。優(yōu)選的是，熱電體基板21的切縫26至少形成在第1熱電元件22的第2熱電元件23側(cè)。由此，紅外線檢測(cè)元件20a不僅能夠在低頻區(qū)域中使第1熱電元件22的靈敏度比第2熱電元件23高，而且能夠抑制熱量的串?dāng)_，能夠?qū)崿F(xiàn)第1熱電元件22的靈敏度的進(jìn)一步提高。熱量的串?dāng)_是指在第1熱電元件22和第2熱電元件23之間通過(guò)熱電體基板21傳遞熱量。紅外線檢測(cè)元件20a的切縫26只要是沿著第1熱電元件22的外周形成即可，對(duì)切縫26的數(shù)量沒(méi)有特殊限定。紅外線檢測(cè)元件20a在第1熱電元件22的周邊部，在沿著第1熱電元件22的外周的方向上分開(kāi)形成多個(gè)切縫26，由此能夠提高機(jī)械強(qiáng)度。優(yōu)選的是，多個(gè)切縫26在沿著第1熱電元件22的外周的方向上以相等間隔形成。也可以是，在紅外線檢測(cè)元件20a中，第1表面電極22a的外周緣離開(kāi)切縫26的第1表面電極22a側(cè)的開(kāi)孔緣。由此，紅外線檢測(cè)元件20a能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化，并且更可靠地抑制第1表面電極22a和第1背面電極22b的短路。另外，優(yōu)選的是，在紅外線檢測(cè)元件20a中，第1背面電極22b的外周緣離開(kāi)切縫26的第1背面電極22b側(cè)的開(kāi)孔緣。由此，紅外線檢測(cè)元件20a能夠更可靠地抑制第1表面電極22a和第1背面電極22b的短路，能夠抑制電氣穩(wěn)定性的下降。圖4A、圖4B及圖4C表示紅外線檢測(cè)元件20a的第1變形例的紅外線檢測(cè)元件20b。紅外線檢測(cè)元件20b的第1熱電元件22和第2熱電元件23反向串聯(lián)連接，這一點(diǎn)與紅外線檢測(cè)元件20a不同。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)元件20b，對(duì)與紅外線檢測(cè)元件20a相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。在紅外線檢測(cè)元件20b中，第1熱電元件22的第1表面電極22a和第2熱電元件23的第2表面電極23a通過(guò)第1表面配線24a和第2表面配線25a電連接。在圖4A的示例中，第1表面電極22a和第2表面電極23a之間的表面配線的右半部分與第1表面配線24a對(duì)應(yīng)，其左半部分與第2表面配線25a對(duì)應(yīng)。由此，紅外線檢測(cè)元件20b的第1熱電元件22和第2熱電元件23被反向串聯(lián)連接。圖5是第1變形例的紅外線檢測(cè)元件20b的等效電路圖。紅外線檢測(cè)元件20b具有一對(duì)的輸出端子28c、28d。在紅外線檢測(cè)元件20b中，端子部24bb構(gòu)成一個(gè)輸出端子28c(第1輸出端子28c)，端子部25bb構(gòu)成另一個(gè)輸出端子28d(第2輸出端子28d)。紅外線檢測(cè)元件20b通過(guò)將第1熱電元件22用作受光用的熱電元件、將第2熱電元件23用作溫度補(bǔ)償用的熱電元件，能夠減輕紅外線的串?dāng)_的影響。因此，紅外線檢測(cè)元件20b能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。圖6A、圖6B及圖6C表示紅外線檢測(cè)元件20a的第2變形例的紅外線檢測(cè)元件20c。紅外線檢測(cè)元件20c的基本結(jié)構(gòu)與紅外線檢測(cè)元件20a大致相同。紅外線檢測(cè)元件20c在第1表面電極22a上形成有吸收紅外線的紅外線吸收層27，僅這一點(diǎn)與紅外線檢測(cè)元件20a不同。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)元件20c，對(duì)與紅外線檢測(cè)元件20a相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線檢測(cè)元件20c通過(guò)設(shè)置紅外線吸收層27，能夠提高紅外線吸收率，能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。換個(gè)角度來(lái)看，紅外線檢測(cè)元件20c的第1表面電極22a的表面被輻射率高于第1表面電極22a的紅外線吸收層27覆蓋。由此，紅外線檢測(cè)元件20c能夠提高第1熱電元件22的紅外線吸收率，實(shí)現(xiàn)第1熱電元件22的高靈敏度化。紅外線的輻射率和紅外線吸收率是相同的值。優(yōu)選的是，紅外線吸收層27利用例如樹(shù)脂和導(dǎo)電性微粉末的混合體形成。在這種情況下，紅外線吸收層27在樹(shù)脂中分散了導(dǎo)電性微粉末。導(dǎo)電性微粉末是具有導(dǎo)電性的微粉末。導(dǎo)電性微粉末優(yōu)選采用從碳類(lèi)微粉末、金屬類(lèi)微粉末、金屬氧化物類(lèi)微粉末的組中選擇的至少一種的導(dǎo)電性微粉末?？傊瑑?yōu)選紅外線吸收層27由在樹(shù)脂中分散了從碳類(lèi)微粉末、金屬類(lèi)微粉末、金屬氧化物類(lèi)微粉末的組中選擇的至少一種的導(dǎo)電性微粉末的第1樹(shù)脂層構(gòu)成。在此，優(yōu)選紅外線吸收層27形成為在俯視觀察時(shí)覆蓋由切縫26包圍的整個(gè)區(qū)域。紅外線檢測(cè)元件20c通過(guò)設(shè)置紅外線吸收層27，能夠提高紅外線吸收率，而且紅外線吸收層27與第1表面電極22a一起作為收集通過(guò)熱電體基板21的自發(fā)極化而產(chǎn)生的電荷的電極發(fā)揮作用。因此，紅外線檢測(cè)元件20c能夠增大熱電電流的檢測(cè)區(qū)域。因此，與不設(shè)置紅外線吸收層27的情況相比，紅外線檢測(cè)元件20c能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。將紅外線吸收層27中的導(dǎo)電性微粉末的體積濃度設(shè)定為17％，但該數(shù)值是一個(gè)例子，并沒(méi)有特殊限定。導(dǎo)電性微粉末的體積濃度例如能夠設(shè)定在約1～30％的范圍內(nèi)。利用例如網(wǎng)版印刷法、凹版印刷法等印刷在樹(shù)脂中分散導(dǎo)電性微粉末并混合了有機(jī)溶劑的膏(印刷墨)，然后進(jìn)行烘干使固化，由此能夠形成紅外線吸收層27。在形成紅外線吸收層27時(shí)，例如通過(guò)將膏中的導(dǎo)電性微粉末的組分設(shè)為8.5％，能夠使紅外線吸收層27中的導(dǎo)電性微粉末的體積濃度達(dá)到約17％。優(yōu)選紅外線吸收層27在更廣的溫度范圍內(nèi)化學(xué)性及物理性穩(wěn)定。因此，作為紅外線吸收層27的樹(shù)脂，優(yōu)選熱固性樹(shù)脂。關(guān)于熱固性樹(shù)脂，例如可以舉出酚醛類(lèi)樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、三聚氰酰胺樹(shù)脂、尿素樹(shù)脂、非飽和聚酯樹(shù)脂、醇酸樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、熱固性聚酰亞胺樹(shù)脂等。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)元件20c采用這些熱固性樹(shù)脂中、對(duì)紅外線檢測(cè)元件20c檢測(cè)對(duì)象的紅外線的吸收率更高的熱固性樹(shù)脂。因此，紅外線檢測(cè)元件20c能夠使紅外線吸收層27的厚度變薄，能夠進(jìn)一步提高靈敏度。能夠吸收檢測(cè)對(duì)象的紅外線的樹(shù)脂優(yōu)選對(duì)檢測(cè)對(duì)象的紅外線的吸收率在30％以上，更優(yōu)選50％以上。在將紅外線檢測(cè)元件20c用于氣體的檢測(cè)等用途、并且檢測(cè)對(duì)象的紅外線的波長(zhǎng)在3～8μm、特別在3～5μm的范圍內(nèi)的情況下，作為紅外線吸收層27的樹(shù)脂，優(yōu)選含有羥基的樹(shù)脂。含有羥基的樹(shù)脂在多分子之間進(jìn)行氫結(jié)合，因而具有從3μm附近一直到長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)吸收紅外線的特性。作為這種樹(shù)脂可以舉出酚醛類(lèi)樹(shù)脂。關(guān)于酚醛類(lèi)樹(shù)脂，例如可以舉出熱塑性酚醛類(lèi)樹(shù)脂、苯酚芳烷基樹(shù)脂、環(huán)戊二烯、酚醛聚合物、萘酚樹(shù)脂、雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚F型環(huán)氧樹(shù)脂等。這些樹(shù)脂可以單獨(dú)使用，也可以混合使用兩種以上。另外，在將紅外線檢測(cè)元件20c用于人體的檢測(cè)等用途、檢測(cè)對(duì)象的紅外線的波長(zhǎng)在8～13μm的范圍內(nèi)的情況下，作為紅外線吸收層27的樹(shù)脂，優(yōu)選芳香族類(lèi)的樹(shù)脂。關(guān)于這種樹(shù)脂，例如可以舉出酚醛類(lèi)樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、熱固性聚酰亞胺樹(shù)脂等。在考慮應(yīng)用于氣體的檢測(cè)、人體的檢測(cè)兩方面的情況下，作為紅外線吸收層27的樹(shù)脂，優(yōu)選具有羥基的芳香族類(lèi)的樹(shù)脂，例如可以舉出酚醛類(lèi)樹(shù)脂。作為碳類(lèi)微粉末，在固體碳材料中紅外線吸收率較高，能夠分散到樹(shù)脂中的微粉末比較適合。關(guān)于這種碳類(lèi)微粉末，例如可以舉出被分類(lèi)為非晶體(微晶體)碳的碳黑、碳纖維、石墨等，被分類(lèi)為納米碳的富勒烯(Fullerene)、納米管、石墨烯(graphene)等。尤其是碳黑，粒徑小、化學(xué)性穩(wěn)定，因而是優(yōu)選的。關(guān)于金屬類(lèi)微粉末，粒徑在約0.1μm以下的金屬類(lèi)微粉末具有吸收紅外線的性質(zhì)，并具有在較寬的紅外波長(zhǎng)區(qū)域中吸收率高的特點(diǎn)。并且，該特點(diǎn)與金屬的種類(lèi)無(wú)關(guān)。因此，作為金屬類(lèi)微粉末的材料，可以舉出化學(xué)性穩(wěn)定的Au、Pt、Ag等貴金屬，耐熱性較高的W、Mo等高熔點(diǎn)金屬，容易制成微粉末的Zn、Mg、Cd、Al、Cu、Fe、Cr、Ni、Co、Sn、及其中兩種以上的合金等。金屬氧化物類(lèi)微粉末由于能夠有效地吸收遠(yuǎn)紅外線、并且化學(xué)性穩(wěn)定，因而能夠適合用于將紅外線檢測(cè)元件20c用于人體的檢測(cè)等用途的情況等。作為金屬氧化物類(lèi)微粉末的材料，例如可以舉出ITO(IndiumTinOxide：氧化銦錫)、AZO(摻雜鋁的氧化鋅)、GZO(摻雜鈣的氧化鋅)等。紅外線檢測(cè)元件20c通過(guò)附加紅外線吸收層27，能夠提高第1熱電元件22的紅外線吸收率，能夠提高靈敏度，但另一方面具有這樣的傾向，即第1熱電元件22的熱容量增大，因在第1熱電元件22接受到的紅外線使得第1熱電元件22的溫度上升減小，靈敏度下降。圖7是通過(guò)設(shè)置紅外線吸收層27而引起的靈敏度的變化方向的示意說(shuō)明圖，橫軸表示紅外線的頻率，縱軸表示靈敏度(電流靈敏度)。圖7示意地示出了由于紅外線吸收率的增加，靈敏度如箭頭A21所示提高，由于熱容量的增加，靈敏度如箭頭A22所示下降。因此，關(guān)于紅外線檢測(cè)元件20c，存在根據(jù)紅外線吸收層27的厚度，而不能得到設(shè)置紅外線吸收層27的效果的顧慮。并且，圖7示意地示出了由于因熱容量的增加而引起的熱響應(yīng)性的惡化，靈敏度的頻率特性如箭頭A23所示惡化。根據(jù)圖7可知，紅外線檢測(cè)元件20c在重視較高的頻域的靈敏度的情況下，優(yōu)選將紅外線吸收層27的厚度設(shè)定為較薄。第1熱電元件22在假定散熱性不變時(shí)，靈敏度與熱容量成反比例。并且，第1熱電元件22的靈敏度與紅外線吸收率成比例。因此，通過(guò)附加紅外線吸收層27而引起的靈敏度的變化率，能夠用[靈敏度的變化率]＝[紅外線吸收率的變化率]/[熱容量的變化率]表示。其中，為了提高靈敏度，需要使靈敏度的變化率大于1。并且，在按照每單位面積的熱容量進(jìn)行考慮的情況下，能夠根據(jù)厚度與體積熱容量之積研究靈敏度的變化率。在此，設(shè)第1表面電極22a上的紅外線吸收層27的厚度為Ad[μm]、設(shè)紅外線吸收層27的體積熱容量為Aρ[J/K]、設(shè)熱電體基板21的厚度為Sd[μm]、設(shè)熱電體基板21的體積熱容量為Sρ[J/K]。在這種情況下，通過(guò)設(shè)置紅外線吸收層27，第1熱電元件22的每單位面積的熱容量從Sd×Sρ變化為Sd×Sρ+Ad×Aρ。因此，在這種情況下，在紅外線吸收率從20％上升到40％時(shí)，能夠用下述的式(4)表示用于提高靈敏度的條件。1<(0.4/0.2)/{(Sd×Sρ+Ad×Aρ)/(Sd×Sρ)}……式(4)將式(4)進(jìn)行整理，能夠用下述的式(5)表示。0.2/(Sd×Sρ)<0.4/(Sd×Sρ+Ad×Aρ)……式(5)進(jìn)一步整理式(5)，能夠用下述的式(6)表示。Ad<(Sd×Sρ)/Aρ……式(6)另外，在通過(guò)附加紅外線吸收層27而靈敏度沒(méi)有變化的情況下，不等號(hào)成為等號(hào)，因而能夠用下述的式(7)表示式(6)。Ad＝(Sd×Sρ)/Aρ……式(7)式(6)、式(7)意味著在紅外線吸收層27的厚度Ad為(Sd×Sρ)/Aρ時(shí)靈敏度沒(méi)有變化，并且意味著如果比(Sd×Sρ)/Aρ薄，則靈敏度提高。在此，設(shè)紅外線吸收層27的厚度Ad的正規(guī)化厚度為NAd＝(Sd×Sρ)/Aρ，將設(shè)正規(guī)化厚度NAd＝1時(shí)的靈敏度為1的相對(duì)靈敏度定義為正規(guī)化靈敏度。在這種情況下，紅外線吸收層27的正規(guī)化厚度NAd與第1熱電元件22的正規(guī)化靈敏度的關(guān)系如圖8所示。根據(jù)圖8可知，紅外線檢測(cè)元件20c通過(guò)使紅外線吸收層27的正規(guī)化厚度NAd小于1，能夠使正規(guī)化靈敏度大于1。優(yōu)選的是，在設(shè)紅外線吸收層27對(duì)檢測(cè)對(duì)象的紅外線的波長(zhǎng)的折射率為An、設(shè)第1表面電極22a上的紅外線吸收層27的厚度為Ad[μm]、設(shè)檢測(cè)對(duì)象的紅外線的波長(zhǎng)為λt[μm]時(shí)，紅外線檢測(cè)元件20c滿(mǎn)足下述的式(8)的關(guān)系。(An×Ad)>(λt/4)……式(8)紅外線檢測(cè)元件20c通過(guò)滿(mǎn)足式(8)，能夠提高紅外線吸收層27的紅外線吸收率。在這種情況下，紅外線吸收層27的厚度與紅外線吸收層27的紅外線吸收率的關(guān)系如圖9所示的模擬結(jié)果所示。在該模擬中，假定模擬條件如下，即紅外線吸收層27的紅外線吸收率根據(jù)朗伯-比爾定律是依賴(lài)于紅外線吸收層27的厚度，紅外線吸收層27的紅外線吸收率為90％，紅外線吸收層27的樹(shù)脂為酚醛類(lèi)樹(shù)脂，紅外線吸收層27的折射率An為酚醛類(lèi)樹(shù)脂的1.6，檢測(cè)對(duì)象的紅外線的波長(zhǎng)λt為4μm。另外，紅外線吸收層27在樹(shù)脂中分散了導(dǎo)電性微粉末，但由于導(dǎo)電性微粉末的體積濃度小，因而紅外線吸收層27的折射率能夠大致以樹(shù)脂的折射率進(jìn)行定義。另一方面，在金屬黑等單元的紅外線吸收層中，每單位體積的空氣的比率較高，因而該折射率成為接近空氣的折射率即1的值。另外，紅外線吸收層27的厚度與正規(guī)化靈敏度的關(guān)系如圖10示出的模擬結(jié)果所示。在該模擬中，假設(shè)模擬條件與圖9的情況相同，并且設(shè)熱電體基板21的材料為L(zhǎng)iTaO3，設(shè)熱電體基板21的厚度為50μm。在圖10的例子中可知，通過(guò)設(shè)置紅外線吸收層27，能夠使正規(guī)化靈敏度大于1，即能夠提高靈敏度。并且，在圖10的例子中可知，通過(guò)使紅外線吸收層27的厚度比75μm薄，能夠使正規(guī)化靈敏度大于1，即能夠提高靈敏度。優(yōu)選的是，以使紅外線檢測(cè)元件20c中的第1表面電極22a和第2表面電極23a作為反射紅外線的紅外線反射層發(fā)揮作用的方式，設(shè)定各個(gè)表面電極的表面電阻。由此，紅外線檢測(cè)元件20c能夠在第1表面電極22a更加有效地反射未被紅外線吸收層27吸收而入射到第1表面電極22a的表面的紅外線，能夠?qū)崿F(xiàn)在紅外線吸收層27的紅外線吸收率的提高。因此，紅外線檢測(cè)元件20c能夠?qū)崿F(xiàn)靈敏度的進(jìn)一步提高。并且，紅外線檢測(cè)元件20c能夠在第2表面電極23a更加有效地反射由于紅外線的串?dāng)_而向第2熱電元件23入射的紅外線，能夠進(jìn)一步減輕紅外線的串?dāng)_的影響，能夠?qū)崿F(xiàn)靈敏度的提高。圖11示意地示出了第1表面電極22a的表面電阻、與在第1表面電極22a的紅外線的反射率及吸收率各自的關(guān)系。圖11中的橫軸表示表面電阻，縱軸表示反射率、吸收率各自的比率。紅外線檢測(cè)元件20c優(yōu)選將第1表面電極22a的表面電阻設(shè)為50Ω/□以下，更優(yōu)選設(shè)為20Ω/□以下。紅外線檢測(cè)元件20c通過(guò)將第1表面電極22a的表面電阻設(shè)為50Ω/□以下，能夠?qū)⒎瓷渎试O(shè)為大于吸收率的2倍的值。并且，紅外線檢測(cè)元件20c通過(guò)將第1表面電極22a的表面電阻設(shè)為20Ω/□以下，能夠使反射率高于80％。另外，紅外線檢測(cè)元件20c更優(yōu)選將第1表面電極22a的表面電阻和第2表面電極23a的表面電阻設(shè)為相同的值。由此，紅外線檢測(cè)元件20c在制造時(shí)，能夠同時(shí)形成第1表面電極22a和第2表面電極23a，能夠?qū)崿F(xiàn)制造成本的低成本化。第1表面電極22a的表面電阻和第2表面電極23a的表面電阻相同不限于完全相同的情況，也可以具有制造時(shí)的偏差程度的誤差。圖12A、圖12B及圖12C表示紅外線檢測(cè)元件20a的第3變形例的紅外線檢測(cè)元件20d。紅外線檢測(cè)元件20d的基本結(jié)構(gòu)與第2變形例的紅外線檢測(cè)元件20c大致相同。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)元件20d，對(duì)與紅外線檢測(cè)元件20c相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。在紅外線檢測(cè)元件20d中，第1表面電極22a的外周緣離開(kāi)包圍第1表面電極22a的切縫26的、第1表面電極22a側(cè)的開(kāi)孔緣。由此，紅外線檢測(cè)元件20d能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化，并且更可靠地抑制第1表面電極22a和第1背面電極22b的短路。另外，優(yōu)選的是，在紅外線檢測(cè)元件20d中，第1背面電極22b的外周緣離開(kāi)包圍第1背面電極22b的切縫26的、第1背面電極22b側(cè)的開(kāi)孔緣。具體而言，第1部分22c的周邊部比第1表面電極22a、第1背面電極22b向第1方向突出。因此，紅外線檢測(cè)元件20d能夠更可靠地抑制第1表面電極22a和第1背面電極22b的短路，能夠抑制電氣穩(wěn)定性的下降。圖13A、圖13B及圖13C表示本實(shí)施方式的紅外線檢測(cè)元件20a的第4變形例的紅外線檢測(cè)元件20e。紅外線檢測(cè)元件20e的基本結(jié)構(gòu)與第1變形例的紅外線檢測(cè)元件20b大致相同。紅外線檢測(cè)元件20e具有多組的第1熱電元件22和第2熱電元件23的組，熱電體基板21在相鄰的兩個(gè)第1熱電元件22各自的另一個(gè)第1熱電元件22側(cè)形成有切縫26。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)元件20e，對(duì)與紅外線檢測(cè)元件20b相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線檢測(cè)元件20e在具有兩組的第1熱電元件22和第2熱電元件23的組的情況下，能夠形成具有兩個(gè)通道(channel)的結(jié)構(gòu)，能夠用作將第1熱電元件22和第2熱電元件23的各組分別作為一個(gè)通道的紅外線檢測(cè)元件。換言之，紅外線檢測(cè)元件20e是具有兩個(gè)通道的結(jié)構(gòu)，各個(gè)通道由檢測(cè)單元DE、DE構(gòu)成，該檢測(cè)單元具有第1熱電元件22、第2熱電元件23、第1表面配線24a、第1背面配線24b、第2表面配線25a及第2背面配線25b。下面，為了便于說(shuō)明，將圖13A中的左側(cè)的檢測(cè)單元DE稱(chēng)為第1檢測(cè)單元DE1。將圖13A中的右側(cè)的檢測(cè)單元DE稱(chēng)為第2檢測(cè)單元DE2。紅外線檢測(cè)元件20e如圖14所示將構(gòu)成組的第1熱電元件22和第2熱電元件23反向串聯(lián)連接。在圖14中，用箭頭表示上述的熱電體基板21的自發(fā)極化的方向。反向串聯(lián)連接是指將構(gòu)成組的第1熱電元件22和第2熱電元件23以使彼此成為相反極性的方式串聯(lián)連接。在紅外線檢測(cè)元件20e中，例如在用于紅外線式氣體傳感器等的情況下，能夠按照第1熱電元件22和第2熱電元件23的組的數(shù)量設(shè)定檢測(cè)對(duì)象的紅外線的波長(zhǎng)。檢測(cè)對(duì)象的紅外線的波長(zhǎng)例如能夠通過(guò)光學(xué)濾波器等進(jìn)行設(shè)定。在具有紅外線檢測(cè)元件20e的紅外線式氣體傳感器中，能夠構(gòu)成具有與第1熱電元件22和第2熱電元件23的組的數(shù)量對(duì)應(yīng)的多個(gè)通道的紅外線式氣體傳感器。紅外線檢測(cè)元件20e在具有兩組的第1熱電元件22和第2熱電元件23的組的情況下，能夠按照各個(gè)組，將第1熱電元件22用作受光用熱電元件，將第2熱電元件23用作溫度補(bǔ)償用熱電元件。因此，紅外線檢測(cè)元件20e在用于紅外線式氣體傳感器等的情況下，能夠?qū)γ總€(gè)受光用熱電元件設(shè)定檢測(cè)對(duì)象的紅外線的波長(zhǎng)。紅外線檢測(cè)元件20e如上所述具有兩組的第1熱電元件22和第2熱電元件23的組。下面，為了便于說(shuō)明，將第1檢測(cè)單元DE1的第1熱電元件22、第2熱電元件23分別稱(chēng)為第1受光元件221、第1溫度補(bǔ)償元件231。并且，下面為了便于說(shuō)明，有時(shí)也將第2檢測(cè)單元DE2的第1熱電元件22、第2熱電元件23分別稱(chēng)為第2受光元件222、第2溫度補(bǔ)償元件232。紅外線檢測(cè)元件20e在相鄰的兩個(gè)第1熱電元件22各自的另一個(gè)第1熱電元件22側(cè)形成有切縫26，因而能夠抑制在相鄰的兩個(gè)第1熱電元件22之間的熱傳遞。由此，紅外線檢測(cè)元件20e能夠抑制第1檢測(cè)單元DE1及第2檢測(cè)單元DE2各自的靈敏度的下降。圖15A、圖15B及圖15C表示紅外線檢測(cè)元件20a的第5變形例的紅外線檢測(cè)元件20f。紅外線檢測(cè)元件20f的基本結(jié)構(gòu)與第4變形例的紅外線檢測(cè)元件20e大致相同。紅外線檢測(cè)元件20f在第1熱電元件22的第1表面電極22a上設(shè)置紅外線吸收層27，僅這一點(diǎn)與紅外線檢測(cè)元件20e不同。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)元件20f，對(duì)與紅外線檢測(cè)元件20e相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。另外，紅外線檢測(cè)元件20f也可以按照各個(gè)通道，將第1熱電元件22和第2熱電元件23反向并聯(lián)連接進(jìn)行使用，還可以構(gòu)成為在第1表面電極22a上設(shè)置與紅外線檢測(cè)元件20c(參照?qǐng)D6)和紅外線檢測(cè)元件20d(參照?qǐng)D12)相同的紅外線吸收層27。(實(shí)施方式2)下面，根據(jù)圖16～圖18、圖19A、圖19B、圖20、圖21、圖22A～圖22F說(shuō)明本實(shí)施方式的紅外線檢測(cè)器2a。另外，在紅外線檢測(cè)器2a中，對(duì)與實(shí)施方式1的第4變形例的紅外線檢測(cè)元件20e相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線檢測(cè)器2a具有：紅外線檢測(cè)元件20e；光學(xué)濾波器30，配置在紅外線檢測(cè)元件20e的前方，使紅外線檢測(cè)元件20e的檢測(cè)對(duì)象的波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線透射。并且，紅外線檢測(cè)器2a具有；基板43，安裝有紅外線檢測(cè)元件20e；外殼29，收納有紅外線檢測(cè)元件20e、光學(xué)濾波器30和基板43。外殼29具有：底座29a，支撐基板43；金屬制的蓋29b，以覆蓋紅外線檢測(cè)元件20e和光學(xué)濾波器30的方式固定粘接在底座29a上。并且，外殼29具有；窗孔29c，形成于蓋29的頂板部29ba；以及窗部件29w，以封堵窗孔29c的方式配置，能夠使紅外線透射。紅外線檢測(cè)器2a具有紅外線檢測(cè)元件20e，因而能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。另外，優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2a具有對(duì)紅外線檢測(cè)元件20e的輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理的IC元件40。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2a將IC元件40安裝于基板43，并收納在外殼29內(nèi)。下面，更詳細(xì)地說(shuō)明紅外線檢測(cè)器2a的各個(gè)構(gòu)成要素。紅外線檢測(cè)元件20e如上所述具有兩組的第1熱電元件22和第2熱電元件23的組。并且，紅外線檢測(cè)器2a具有兩個(gè)光學(xué)濾波器30。紅外線檢測(cè)器2a的一個(gè)光學(xué)濾波器30配置在第1受光元件221的前方，另一個(gè)光學(xué)濾波器30配置在第2受光元件222的前方。紅外線檢測(cè)器2a通過(guò)將光學(xué)濾波器30收納在外殼29內(nèi)，能夠抑制光學(xué)濾波器30暴露于外部氣體中，能夠抑制濾波器特性隨時(shí)間而變化。下面，為了便于說(shuō)明，有時(shí)也將配置在第1受光元件221的前方的光學(xué)濾波器30稱(chēng)為第1光學(xué)濾波器31，將配置在第2受光元件222的前方的光學(xué)濾波器30稱(chēng)為第2光學(xué)濾波器32。第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32只要以具有紅外線檢測(cè)器2a所需要的光學(xué)特性的方式設(shè)計(jì)濾波器特性即可。第1光學(xué)濾波器31例如如圖21所示具有第1基板31s、第1濾波器部31a、第2濾波器部31b。并且，第2光學(xué)濾波器32例如如圖21所示具有第2基板32s、第3濾波器部32a、第4濾波器部32b。第1基板31s和第2基板32s是能夠使紅外線透射的基板。作為第1基板31s和第2基板32s，例如能夠采用硅酮基板、鍺基板、藍(lán)寶石基板、氧化鎂基板等。紅外線檢測(cè)器2a能夠?qū)⒌?濾波器部31b和第4濾波器部32b設(shè)為相同的結(jié)構(gòu)。由此，紅外線檢測(cè)器2a能夠使第2濾波器部31b的分光特性和第4濾波器部32b的分光特性大致相同。第1濾波器部31a例如能夠是由λ0/4多層膜34、波長(zhǎng)選擇層35、和λ0/4多層膜36構(gòu)成的帶通濾波器。λ0/4多層膜34是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜31aa、31ab交替地層壓而成的多層膜。光學(xué)膜厚被設(shè)定為設(shè)計(jì)波長(zhǎng)λ0的1/4。λ0/4多層膜36是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜31aa、31ab交替地層壓而成的多層膜。波長(zhǎng)選擇層35介入在λ0/4多層膜34和λ0/4多層膜36之間。波長(zhǎng)選擇層35按照選擇波長(zhǎng)使光學(xué)膜厚與各個(gè)薄膜31aa、31ab的光學(xué)膜厚不同。λ0/4多層膜34和λ0/4多層膜36只要具有折射率周期構(gòu)造即可，也可以是將三種以上的薄膜層壓而成的多層膜。作為薄膜的材料，例如能夠采用Ge、Si、MgF2、Al2O3、SiOx、Ta2O5、SiNx等。SiOx是SiO或SiO2。SiNx等是SiN、Si3N4等。第3濾波器部32a例如能夠是由λ0/4多層膜37、波長(zhǎng)選擇層38、和λ0/4多層膜39構(gòu)成的帶通濾波器。λ0/4多層膜37是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜32aa、32ab交替地層壓而成的多層膜。λ0/4多層膜39是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜32aa、32ab交替地層壓而成的多層膜。波長(zhǎng)選擇層38介入在λ0/4多層膜37和λ0/4多層膜39之間。波長(zhǎng)選擇層38按照選擇波長(zhǎng)使光學(xué)膜厚與各個(gè)薄膜32aa、32ab的光學(xué)膜厚不同。λ0/4多層膜37和λ0/4多層膜39只要具有折射率周期構(gòu)造即可，也可以是將三種以上的薄膜層壓而成的多層膜。作為薄膜的材料，例如能夠采用Ge、Si、MgF2、Al2O3、SiOx、Ta2O5、SiNx等。第1濾波器部31a的薄膜31aa、31ab和第3濾波器部32a的薄膜32aa、32ab分別能夠采用相同的材料。第1濾波器部31a通過(guò)在折射率周期構(gòu)造中設(shè)置光學(xué)膜厚不同的波長(zhǎng)選擇層35，并在折射率周期構(gòu)造中導(dǎo)入局部的紊亂構(gòu)造，能夠使反射頻帶中局部存在波譜寬度比反射頻帶寬度窄的透射頻帶。第1濾波器部31a通過(guò)適當(dāng)改變波長(zhǎng)選擇層35的光學(xué)膜厚，能夠改變透射波長(zhǎng)區(qū)域的透射峰值波長(zhǎng)。第3濾波器部32a通過(guò)在折射率周期構(gòu)造中設(shè)置光學(xué)膜厚不同的波長(zhǎng)選擇層38，并在折射率周期構(gòu)造中導(dǎo)入局部的紊亂構(gòu)造，能夠使反射頻帶中局部存在波譜寬度比反射頻帶寬度窄的透射頻帶。第3濾波器部32a通過(guò)適當(dāng)改變波長(zhǎng)選擇層38的光學(xué)膜厚，能夠改變透射波長(zhǎng)區(qū)域的透射峰值波長(zhǎng)。通過(guò)將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜層壓而成的光學(xué)多層膜的反射頻帶的寬度，能夠用下述的式(9)近似地求出。[數(shù)式8]式(9)其中，λ0表示對(duì)于各個(gè)薄膜共同的與光學(xué)膜厚的4倍相當(dāng)?shù)脑O(shè)定波長(zhǎng)。Δλ0表示反射頻帶的寬度。nH表示兩種薄膜中折射率相對(duì)較高的材料的折射率。nL表示兩種薄膜中折射率相對(duì)較低的材料的折射率。第1濾波器部31a的選擇波長(zhǎng)是第1濾波器部31a的透射波長(zhǎng)區(qū)域的中心波長(zhǎng)λ1。并且，第3濾波器部32a的選擇波長(zhǎng)是第3濾波器部32a的透射波長(zhǎng)區(qū)域的中心波長(zhǎng)λ2。第2濾波器部31b是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜31ba、31bb交替地層壓而成的多層膜。第2濾波器部31b例如能夠采用Ge、Si等作為折射率相對(duì)較高的薄膜的材料，例如能夠采用MgF2、Al2O3、SiOx、Ta2O5、SiNx等作為折射率相對(duì)較低的薄膜的材料。SiOx是SiO或SiO2。SiNx等是SiN、Si3N4等。第4濾波器部32b是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜32ba、32bb交替地層壓而成的多層膜。第4濾波器部32b例如能夠采用Ge、Si等作為折射率相對(duì)較高的薄膜的材料，例如能夠采用MgF2、Al2O3、SiOx、Ta2O5、SiNx等作為折射率相對(duì)較低的薄膜的材料。第2濾波器部31b構(gòu)成為使長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線的透射率比第1濾波器部31a的透射波長(zhǎng)區(qū)域低。并且，第4濾波器部32b構(gòu)成為使長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線的透射率比第3濾波器部32a的透射波長(zhǎng)區(qū)域低。第2濾波器部31b是通過(guò)吸收規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線而進(jìn)行遮斷的濾波器。第4濾波器部32b是通過(guò)吸收規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線而進(jìn)行遮斷的濾波器。圖22A、圖22B及圖22C是第1光學(xué)濾波器31的透射波譜的示意說(shuō)明圖。其中，圖22C表示第1光學(xué)濾波器31的透射波譜，第1光學(xué)濾波器31具有：第1濾波器部31a，具有圖22A的透射波譜；第2濾波器部31b，具有圖22B的透射波譜。另外，圖22D、圖22E及圖22F是第2光學(xué)濾波器32的透射波譜的示意說(shuō)明圖。其中，圖22F表示第2光學(xué)濾波器32的透射波譜，第2光學(xué)濾波器32具有：第3濾波器部32a，具有圖22D的透射波譜；第4濾波器部32b，具有圖22E的透射波譜。圖22A～圖22F各自的λ1表示第1濾波器部31a的透射波長(zhǎng)區(qū)域的中心波長(zhǎng)。并且，圖22A～圖22F的λ2表示第3濾波器部32a的透射波長(zhǎng)區(qū)域的中心波長(zhǎng)。紅外線檢測(cè)器2a如上所述，第1光學(xué)濾波器31具有第1濾波器部31a和第2濾波器部31b，第2光學(xué)濾波器32具有第3濾波器部32a和第4濾波器部32b。由此，紅外線檢測(cè)器2a能夠降低規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線的透射率，能夠提高第1檢測(cè)單元DE1及第2檢測(cè)單元DE2各自的輸出信號(hào)的S/N比。并且，紅外線檢測(cè)器2a是通過(guò)由第2濾波器部31b和第4濾波器部32b吸收規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線來(lái)降低透射率的濾波器，因而能夠抑制紅外線在第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32各自上的反射。假定紅外線檢測(cè)器2a用于紅外線式氣體傳感器。紅外線式氣體傳感器對(duì)紅外線的吸收波長(zhǎng)根據(jù)檢測(cè)對(duì)象的氣體的種類(lèi)而不同，因而能夠提高氣體的識(shí)別性。吸收波長(zhǎng)例如是，對(duì)于甲烷(CH4)約在3.3μ附近，對(duì)于二氧化碳(CO2)約在4.3μ附近，對(duì)于一氧化碳(CO)約在4.7μ附近，對(duì)于一氧化氮(NO)約在5.3μ附近。紅外線檢測(cè)器2a在用于紅外線式氣體傳感器的情況下，例如可以將第1濾波器部31a的中心波長(zhǎng)λ1設(shè)定為檢測(cè)對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)，將第3濾波器部32a的中心波長(zhǎng)λ2設(shè)定為參照波長(zhǎng)。參照波長(zhǎng)是指在檢測(cè)對(duì)象的氣體及其它氣體中不吸收的波長(zhǎng)。在假定檢測(cè)對(duì)象的氣體是CO2的情況下，關(guān)于其它氣體可以舉出例如H2O、CH4、CO、NO等。第1濾波器部31a和第3濾波器部32a優(yōu)選透射波譜的半值全寬狹窄的帶通濾波器。并且，紅外線檢測(cè)器2a優(yōu)選第1濾波器部31a的中心波長(zhǎng)λ1與第3濾波器部32a的中心波長(zhǎng)λ2之差較小。由此，紅外線檢測(cè)器2a能夠減小檢測(cè)對(duì)象的氣體不存在時(shí)透射第1濾波器部31a的紅外線的光量與透射第3濾波器部32a的紅外線的光量之差。例如在紅外線式氣體傳感器的檢測(cè)對(duì)象的氣體是CO2的情況下，紅外線檢測(cè)器2a能夠?qū)⒌?濾波器部31a的中心波長(zhǎng)λ1設(shè)定為4.3μm，將第3濾波器部32a的中心波長(zhǎng)λ2設(shè)定為例如3.9μm。紅外線檢測(cè)器2a將第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32單片化，但也可以分體形成。紅外線檢測(cè)器2a具有兩個(gè)IC元件40。下面，為了便于說(shuō)明，將對(duì)第1檢測(cè)單元DE1的輸出信號(hào)(第1輸出信號(hào))進(jìn)行信號(hào)處理的IC元件40稱(chēng)為第1IC元件41，將對(duì)第2檢測(cè)單元DE2的輸出信號(hào)(第2輸出信號(hào))進(jìn)行信號(hào)處理的IC元件40稱(chēng)為第2IC元件42。第1IC元件41例如如圖23所示能夠構(gòu)成為具有電流電壓變換電路41a和放大電路41b。電流電壓變換電路41a是對(duì)第1檢測(cè)單元DE1的輸出信號(hào)即電流信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換并輸出的電路。放大電路41b是將電流電壓變換電路41a的輸出信號(hào)分別放大的電路。電流電壓變換電路41a具有運(yùn)算放大器OP1和電容器Cf1。第1檢測(cè)單元DE1通過(guò)基準(zhǔn)電壓源E11將第1檢測(cè)單元DE1的第2輸出端子28d接地，第1輸出端子28c與運(yùn)算放大器OP1的反轉(zhuǎn)輸入端子連接。電流電壓變換電路41a將電容器Cf1連接在運(yùn)算放大器OP1的輸出端子和反轉(zhuǎn)輸入端子之間。電流電壓變換電路41a將用于把運(yùn)算放大器OP1的動(dòng)作點(diǎn)設(shè)定為規(guī)定電平的基準(zhǔn)電壓源E21與運(yùn)算放大器OP1的非反轉(zhuǎn)輸入端子連接。電流電壓變換電路41a將運(yùn)算放大器OP1的輸出端子與放大電路41b連接。另外，第2IC元件42例如如圖23所示能夠構(gòu)成為具有電流電壓變換電路42a和放大電路42b。電流電壓變換電路42a是對(duì)第2檢測(cè)單元DE2的輸出信號(hào)即電流信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換并輸出的電路。放大電路42b是將電流電壓變換電路42a的輸出信號(hào)分別放大的電路。電流電壓變換電路42a具有運(yùn)算放大器OP2和電容器Cf2。第1檢測(cè)單元DE2通過(guò)基準(zhǔn)電壓源E12將第2檢測(cè)單元DE2的第2輸出端子28d接地，第1輸出端子28c與運(yùn)算放大器OP2的反轉(zhuǎn)輸入端子連接。電流電壓變換電路42a將電容器Cf2連接在運(yùn)算放大器OP2的輸出端子和反轉(zhuǎn)輸入端子之間。電流電壓變換電路42a將用于把運(yùn)算放大器OP2的動(dòng)作點(diǎn)設(shè)定為規(guī)定電平的基準(zhǔn)電壓源E22與運(yùn)算放大器OP2的非反轉(zhuǎn)輸入端子連接。電流電壓變換電路42a將運(yùn)算放大器OP2的輸出端子與放大電路42b連接。電流電壓變換電路41a、42a的電路結(jié)構(gòu)也可以是圖23所示的結(jié)構(gòu)以外的結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2a的第1IC元件41的電路結(jié)構(gòu)和第2IC元件42的電路結(jié)構(gòu)相同?？傊?，在紅外線檢測(cè)器2a中，優(yōu)選第1IC元件41的運(yùn)算放大器OP1、電容器Cf1、基準(zhǔn)電壓源E21及放大電路41b、與第2IC元件42的運(yùn)算放大器OP2、電容器Cf2、基準(zhǔn)電壓源E22及放大電路42b分別是相同的規(guī)格、且大致相同的特性。并且，在紅外線檢測(cè)器2a中，優(yōu)選基準(zhǔn)電壓源E11和基準(zhǔn)電壓源E12是相同的規(guī)格、且大致相同的特性。另外，在紅外線檢測(cè)器2a中，優(yōu)選將電流電壓變換電路41a、電流電壓變換電路42a、放大電路41b及放大電路42b集成化為單片?；?3例如能夠利用MID(MoldedInterconnectDevices)基板構(gòu)成。MID基板在利用樹(shù)脂成形品形成的絕緣性基材43a上形成有兩組的、兩個(gè)一組的引線端子43j、43k的組?？傊?3具有與具有電絕緣性的絕緣性基材43a一體設(shè)置的第1引線端子43j及第2引線端子43k。絕緣性基材43a具有電絕緣性。另外，基板43不限于MID基板，也能夠利用部件內(nèi)置基板、陶瓷基板、印制基板等構(gòu)成。并且，也可以是，基板43在引線框上形成了由樹(shù)脂成形品構(gòu)成的絕緣性基材43a后，去除引線框的不需要的部分。紅外線檢測(cè)器2a利用導(dǎo)電性粘接劑將第1檢測(cè)單元DE1的第1輸出端子28c、第2輸出端子28d、與圖16中的左側(cè)的第1引線端子43j、第2引線端子43k分別接合而電連接。并且，紅外線檢測(cè)器2a利用導(dǎo)電性粘接劑將第2檢測(cè)單元DE2的第1輸出端子28c、第2輸出端子28d、與圖16中的右側(cè)的第1引線端子43j、第2引線端子43k分別接合而電連接?？傊t外線檢測(cè)器2a通過(guò)由導(dǎo)電性粘接劑構(gòu)成的第1接合部(未圖示)將各第1引線端子43j與第1檢測(cè)單元DE1及第2檢測(cè)單元DE2各自的第1輸出端子28c單獨(dú)地電連接。并且，紅外線檢測(cè)器2a通過(guò)由導(dǎo)電性粘接劑構(gòu)成的第1接合部(未圖示)將各第2引線端子43k與第1檢測(cè)單元DE1及第2檢測(cè)單元DE2各自的第2輸出端子28d單獨(dú)地電連接。導(dǎo)電性粘接劑例如能夠采用含有Ag粉末或者Au粉末的環(huán)氧類(lèi)樹(shù)脂或聚酰亞胺類(lèi)樹(shù)脂的粘接劑。導(dǎo)電性粘接劑例如能夠使用導(dǎo)電膏。導(dǎo)電膏例如能夠采用銀膏、金膏、銅膏等。優(yōu)選導(dǎo)電性粘接劑采用有機(jī)樹(shù)脂類(lèi)的導(dǎo)電性粘接劑。由此，紅外線檢測(cè)器2a能夠抑制從基板43向紅外線檢測(cè)元件20e的熱傳導(dǎo)。在絕緣性基材43a形成有用于定位紅外線檢測(cè)元件20e的兩個(gè)突起43c。各個(gè)突起43c在絕緣性基材43a的第1面43aa中向絕緣性基材43a的厚度方向突出。各個(gè)突起43c形成于絕緣性基材43a中預(yù)計(jì)安裝紅外線檢測(cè)元件20e的區(qū)域的外側(cè)。各個(gè)突起43c分別形成在構(gòu)成組的第1引線端子43j和第2引線端子43k之間且比第1引線端子43j和第2引線端子43k突出?？傊?，在絕緣性基材43a中，在絕緣性基材43a的第1面43aa形成有突起43c，該突起43c在第1引線端子43j和第2引線端子43k之間、從紅外線檢測(cè)元件20e的預(yù)計(jì)搭載區(qū)域的外側(cè)向絕緣性基材43a的厚度方向突出，從而定位紅外線檢測(cè)元件20e。紅外線檢測(cè)器2a能夠利用兩個(gè)突起43c定位紅外線檢測(cè)元件20e，提高紅外線檢測(cè)元件20e的位置精度。由此，紅外線檢測(cè)器2a不需要起因于紅外線檢測(cè)元件20e的位置精度的冗余設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化及靈敏度的提高。優(yōu)選的是，絕緣性基材43a在第1面43aa形成有大小包括各個(gè)第1熱電元件22和各個(gè)第2熱電元件23的垂直投影區(qū)域的孔43b?；谔岣吒鱾€(gè)第1熱電元件22和各個(gè)第2熱電元件23與絕緣性基材43a之間的熱絕緣性的目的，孔43b形成為熱絕緣用的孔。絕緣性基材43a的第1面43aa構(gòu)成基板43的第1面143的一部分。總之，在基板43中，在基板43的第1面143中的各個(gè)第1熱電元件22和各個(gè)第2熱電元件23的垂直投影區(qū)域形成有熱絕緣用的孔43b。由此，紅外線檢測(cè)器2a能夠?qū)崿F(xiàn)各個(gè)第1熱電元件22和各個(gè)第2熱電元件23各自的靈敏度的提高。也可以是，對(duì)各個(gè)第1熱電元件22和各個(gè)第2熱電元件23分別形成有各一個(gè)孔43b。并且，優(yōu)選的是，在絕緣性基材43a形成有兩個(gè)定位部43d，該定位部43d從絕緣性基材43a在第1面43aa向沿著紅外線檢測(cè)元件20e的厚度方向的方向突出，從而定位第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32。由此，紅外線檢測(cè)器2a能夠在基板43中定位第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32。因此，紅外線檢測(cè)器2a能夠提高第1光學(xué)濾波器31、第2光學(xué)濾波器32與第1受光元件221、第2受光元件222的相對(duì)位置精度，能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。優(yōu)選的是，定位部43d具有：壁部43e，用于規(guī)定在俯視觀察時(shí)的第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32的排列方向上的第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32的位置；支撐部43f，用于支撐第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32。優(yōu)選的是，第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32例如利用粘接劑固定在壁部43e、43e上。由此，與利用粘接劑將光學(xué)濾波器31、32固定在支撐部43f、43f上的情況相比，紅外線檢測(cè)器2a能夠提高紅外線檢測(cè)元件20e與光學(xué)濾波器31、32的距離的精度。在此，優(yōu)選基板43在壁部43e形成有凹陷部43g，該凹陷部43g的前端面以及與第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32的對(duì)置面開(kāi)放。并且，優(yōu)選第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32通過(guò)凹陷部43g內(nèi)的由粘接劑構(gòu)成的粘接部49(參照?qǐng)D19A)被固定于壁部43e。由此，在制造時(shí)，紅外線檢測(cè)器2a能夠使粘接劑的涂覆量穩(wěn)定，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)性的提高。作為粘接部49的粘接劑，例如能夠采用環(huán)氧樹(shù)脂和丙烯樹(shù)脂等。作為粘接劑，也可以是熱固化型的粘接劑，但更優(yōu)選采用紫外線固化型的粘接劑。紅外線檢測(cè)器2a在紅外線檢測(cè)元件20e的厚度方向上，在第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32與紅外線檢測(cè)元件20e之間形成有間隙。由此，紅外線檢測(cè)器2a能夠?qū)Φ?光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32與紅外線檢測(cè)元件20e進(jìn)行熱絕緣，能夠?qū)崿F(xiàn)紅外線檢測(cè)元件20e的高靈敏度化。紅外線檢測(cè)器2a例如通過(guò)使支撐部43f的突出尺寸大于紅外線檢測(cè)元件20e的厚度尺寸，在光學(xué)濾波器31、32與紅外線檢測(cè)元件20e之間形成間隙。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2a在基板43的第1面143側(cè)配置有紅外線檢測(cè)元件20e，在基板43的第2面144側(cè)配置有第1IC元件41及第2IC元件42。由此，與在基板43的第1面143側(cè)，在紅外線檢測(cè)元件20e的側(cè)方配置有第1IC元件41及第2IC元件42的情況相比，紅外線檢測(cè)器2a能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。并且，紅外線檢測(cè)器2a能夠進(jìn)一步抑制在各個(gè)第1IC元件41及第2IC元件42分別產(chǎn)生的熱向紅外線檢測(cè)元件20e傳熱。第1IC元件41及第2IC元件42分別是裸裝片，通過(guò)芯片焊接件被固定在設(shè)于基板43的第2面144的凹部43y(參照?qǐng)D19A)的內(nèi)底面上。芯片焊接件例如能夠使用環(huán)氧樹(shù)脂。另外，在基板43按照規(guī)定的圖案形成有將第1IC元件41及第2IC元件42電連接的多個(gè)導(dǎo)體部。優(yōu)選第1IC元件41及第2IC元件42被利用密封材料形成的密封部(未圖示)覆蓋。密封材料能夠采用例如環(huán)氧樹(shù)脂、硅酮樹(shù)脂等。外殼29如上所述具有底座29a、蓋29b、窗部件29w。優(yōu)選底座29a是金屬制。底座29a形成為圓板狀。優(yōu)選蓋29b是金屬制。蓋29b在圓筒狀的筒部29bb的一端側(cè)形成有圓板狀的頂板部29ba。蓋29b在頂板部29ba的中央部形成有窗孔29c。外殼29具有4根引線銷(xiāo)29d。4根引線銷(xiāo)29d被保持在底座29a上。4根引線銷(xiāo)29d貫穿底座29a的厚度方向設(shè)于底座29a上。各個(gè)引線銷(xiāo)29d被結(jié)合在基板43上。4根引線銷(xiāo)29d中的各引線銷(xiāo)分別被用作給電用、接地用、第1IC元件41的輸出信號(hào)的取出用、以及第2IC元件42的輸出信號(hào)的取出用。接地用的引線銷(xiāo)29d利用導(dǎo)電性的密封材料固定在底座29a上，并與底座29a電連接。除此以外的引線銷(xiāo)29d利用電絕緣性的密封材料(玻璃)固定在底座29a上，并與底座29a電氣絕緣。另外，紅外線檢測(cè)器2a也可以設(shè)置將接地用的引線銷(xiāo)29d與基板43電連接的屏蔽板或屏蔽層(shieldlayer)。底座29a的俯視觀察形狀呈圓形狀，但不限于此，例如也可以是多邊形狀。并且，蓋29b的形狀可以按照底座29a的形狀適當(dāng)變更。例如，在底座29a的俯視觀察形狀呈矩形狀的情況下，蓋29b的俯視觀察形狀既可以是圓形狀，也可以是矩形狀。窗孔29c形成為比將第1受光元件221和第2受光元件222合并的尺寸稍大的開(kāi)口尺寸。窗孔29c的開(kāi)口形狀是矩形狀，但不限于此，例如也可以是圓形狀或矩形狀以外的多邊形狀等。將窗孔29c封堵的窗部件29w具有使紅外線透射的功能。窗部件29w利用平板狀的硅酮基板構(gòu)成。窗部件29w形成為比窗孔29c的開(kāi)口尺寸稍大的矩形板狀。優(yōu)選窗部件29w利用導(dǎo)電性材料(例如焊錫、導(dǎo)電性粘接劑等)固定粘接在蓋29b上。由此，紅外線檢測(cè)器2a能夠?qū)⒋安考?9w設(shè)為與蓋29b大致相同的電位，具有不易受到外來(lái)的電磁噪聲的影響的優(yōu)點(diǎn)。窗部件29w不限于硅酮基板，例如也可以是鍺基板或硫化鋅基板等，但采用硅酮基板有利于低成本化。并且，也能夠采用透鏡作為窗部件29w。透鏡能夠利用半導(dǎo)體透鏡(例如硅酮透鏡等)構(gòu)成。在制造半導(dǎo)體透鏡時(shí)，例如準(zhǔn)備半導(dǎo)體基板(例如硅酮基板等)。然后，以使在半導(dǎo)體基板的一表面?zhèn)扰c半導(dǎo)體基板的接觸成為歐姆接觸的方式形成陽(yáng)極，對(duì)該陽(yáng)極按照期望的透鏡形狀設(shè)計(jì)了與半導(dǎo)體基板的接觸圖案。然后，在由用于蝕刻去除半導(dǎo)體基板的構(gòu)成要素的氧化物的溶液構(gòu)成的電解液中對(duì)半導(dǎo)體基板的另一表面?zhèn)冗M(jìn)行陽(yáng)極氧化，由此形成成為去除部位的多孔質(zhì)部。然后，通過(guò)去除該多孔質(zhì)部而形成半導(dǎo)體透鏡。另外，由上述的半導(dǎo)體透鏡構(gòu)成的透鏡例如使用半導(dǎo)體晶片(例如硅酮晶片)作為半導(dǎo)體基板，在形成了多個(gè)透鏡后，通過(guò)切割等分離成各個(gè)透鏡。透鏡優(yōu)選透鏡部和遍及全周包圍該透鏡部的凸緣部連續(xù)形成為一體的半導(dǎo)體透鏡。紅外線檢測(cè)器2a通過(guò)具有厚度大致一定、厚度方向的兩面分別呈平面狀的凸緣部，能夠提高透鏡的光軸方向的透鏡與紅外線檢測(cè)元件20e的距離的精度。外殼29優(yōu)選以如下的方式形成窗孔29c，即各個(gè)第1熱電元件22位于窗孔29c向紅外線檢測(cè)元件20e的垂直投影區(qū)域內(nèi)，而且各個(gè)第2熱電元件23位于垂直投影區(qū)域外。由此，紅外線檢測(cè)器2a能夠利用外殼29抑制檢測(cè)對(duì)象的紅外線向各個(gè)第2熱電元件23入射，能夠通過(guò)部件數(shù)目的削減實(shí)現(xiàn)低成本化。圖20中的箭頭示意地示出了通過(guò)窗孔29c入射的紅外線的行進(jìn)方向。并且，與利用在外殼29的內(nèi)側(cè)或外側(cè)配置的導(dǎo)光鏡抑制檢測(cè)對(duì)象的紅外線向各個(gè)第2熱電元件23入射的情況相比，紅外線檢測(cè)器2a能夠抑制靈敏度的偏差。圖24表示紅外線檢測(cè)器2a的第1變形例的主要部分。紅外線檢測(cè)器2a的第1變形例在支撐部43f的與紅外線檢測(cè)元件20e的側(cè)面的對(duì)置面上形成有多個(gè)凹部43h。由此，紅外線檢測(cè)器2a的第1變形例能夠進(jìn)一步抑制從第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32向紅外線檢測(cè)元件20e的熱傳導(dǎo)，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)紅外線檢測(cè)元件20e的高靈敏度化。圖25表示紅外線檢測(cè)器2a的第2變形例的紅外線檢測(cè)器2b。紅外線檢測(cè)器2b的基本結(jié)構(gòu)與紅外線檢測(cè)器2a大致相同。紅外線檢測(cè)器2b具有在頂板部29ba的紅外線檢測(cè)元件20e側(cè)的下表面29bd形成的第2樹(shù)脂層33，第2樹(shù)脂層33形成為覆蓋下表面29bd中不與窗部件29w重疊的區(qū)域的整個(gè)區(qū)域，這一點(diǎn)與紅外線檢測(cè)器2a不同。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)器2b，對(duì)與紅外線檢測(cè)器2a相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。第2樹(shù)脂層33的材料例如能夠采用環(huán)氧樹(shù)脂等。紅外線檢測(cè)器2b由于第2樹(shù)脂層33覆蓋頂板部29ba的下表面29bd中不與窗部件29w重疊的區(qū)域的整個(gè)區(qū)域，因而進(jìn)入外殼29內(nèi)的紅外線散射或反射等產(chǎn)生的雜散光的一部分能夠被第2樹(shù)脂層33吸收。因此，紅外線檢測(cè)器2b能夠抑制成為了雜散光的紅外線入射到各個(gè)第2熱電元件23，能夠?qū)崿F(xiàn)S/N比的提高。下面，根據(jù)圖26、圖27A、圖27B、圖28、圖29A、圖29B、圖29C及圖30說(shuō)明紅外線檢測(cè)器2a的第3變形例的紅外線檢測(cè)器2c。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)器2c，對(duì)與紅外線檢測(cè)器2a相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線檢測(cè)器2c與紅外線檢測(cè)器2a一樣具有紅外線檢測(cè)元件20e、光學(xué)濾波器30和基板43。因此，紅外線檢測(cè)器2c能夠與紅外線檢測(cè)器2a一樣地實(shí)現(xiàn)高靈敏度化?；?3包括具有電絕緣性的絕緣性基材43a、兩個(gè)第1引線端子43j、兩個(gè)第2引線端子43k。各個(gè)第1引線端子43j及各個(gè)第2引線端子43k與絕緣性基材43a設(shè)置成一體。各個(gè)第1引線端子43j通過(guò)由導(dǎo)電性粘接劑構(gòu)成的第1接合部7j(參照?qǐng)D29B)分別與第1檢測(cè)單元DE1及第2檢測(cè)單元DE2各自的第1輸出端子28c電連接。各個(gè)第2引線端子43k通過(guò)由導(dǎo)電性粘接劑構(gòu)成的第2接合部7k(參照?qǐng)D29C)分別與第1檢測(cè)單元DE1及第2檢測(cè)單元DE2各自的第2輸出端子28d電連接。導(dǎo)電性粘接劑例如是含有Ag或者Au粉末的環(huán)氧樹(shù)脂類(lèi)樹(shù)脂或聚酰亞胺類(lèi)樹(shù)脂的粘接劑。導(dǎo)電性粘接劑能夠使用導(dǎo)電膏。導(dǎo)電膏例如是銀膏、金膏、銅膏等。優(yōu)選導(dǎo)電性粘接劑采用有機(jī)樹(shù)脂類(lèi)的導(dǎo)電性粘接劑。由此，紅外線檢測(cè)器2c能夠抑制從基板43向紅外線檢測(cè)元件20e的熱傳導(dǎo)?；?3在絕緣性基材43a的第1面43aa中形成有壁43r，該壁43r從紅外線檢測(cè)元件20e的預(yù)計(jì)搭載區(qū)域的外側(cè)向沿著紅外線檢測(cè)元件20e的厚度方向的方向突出，從而定位紅外線檢測(cè)元件20e。如圖29C所示，壁43r的高度TH1小于紅外線檢測(cè)元件20e的厚度。由此，紅外線檢測(cè)器2c能夠利用壁43r定位紅外線檢測(cè)元件20e。因此，紅外線檢測(cè)器2c能夠提高紅外線檢測(cè)元件20e的位置精度，因而不需要起因于紅外線檢測(cè)元件20e的位置精度的冗余設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化及靈敏度的提高。在制造紅外線檢測(cè)器2c時(shí)，在將紅外線檢測(cè)元件20e安裝于基板43時(shí)，能夠在使開(kāi)口夾等拾取工具不接觸紅外線檢測(cè)元件20e的表側(cè)來(lái)保持紅外線檢測(cè)元件20e的狀態(tài)下，將紅外線檢測(cè)元件20e定位在基板43上。因此，紅外線檢測(cè)器2c在制造時(shí)，能夠縮短用于在基板43安裝紅外線檢測(cè)元件20e的工序的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)性的提高和低成本化。另外，壁43r的高度TH1小于紅外線檢測(cè)元件20e中的熱電體基板21的厚度與端子部24bb的厚度之合計(jì)厚度TH2。第1檢測(cè)單元DE1及第2檢測(cè)單元DE2分別以在熱電體基板21的厚度方向上不與第1輸出端子28c及第2輸出端子28d重疊的方式配置。由此，紅外線檢測(cè)元件20e能夠在各個(gè)第1檢測(cè)單元DE1及第2檢測(cè)單元DE2中防止第1輸出端子28c和第2輸出端子28d之間產(chǎn)生寄生電容，進(jìn)而能夠抑制第1輸出端子28c和第2輸出端子28d短路。因此，紅外線檢測(cè)器2c能夠抑制第1表面電極22a和第1背面電極22b的短路的發(fā)生，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性的提高。并且，紅外線檢測(cè)器2c能夠抑制隨著第1表面電極22a和第1背面電極22b之間的漏泄而形成的浮動(dòng)電荷導(dǎo)致的噪聲的產(chǎn)生，能夠?qū)崿F(xiàn)S/N比的提高和高靈敏度化。另外，紅外線檢測(cè)器2c與紅外線檢測(cè)器2a一樣形成有定位部43d，該定位部43d向沿著紅外線檢測(cè)元件20e的厚度方向的方向突出，從而定位第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32。由此，紅外線檢測(cè)器2c能夠在基板43中定位第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32。因此，紅外線檢測(cè)器2c能夠提高第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32與第1受光元件221及第2受光元件222的相對(duì)位置精度，能夠?qū)崿F(xiàn)第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32的小型化。紅外線檢測(cè)器2c能夠通過(guò)第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32的小型化而實(shí)現(xiàn)低成本化。紅外線檢測(cè)器2c能夠在不需將第1受光元件221及第2受光元件222小型化的情況下，減小第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32的平面尺寸。由此，紅外線檢測(cè)器2c能夠在實(shí)現(xiàn)低成本化的情況下，抑制靈敏度的下降。另外，各個(gè)第1IC元件41及第2IC元件42也可以適當(dāng)連接多個(gè)分立元件而構(gòu)成。在基板43如圖30所示，在該基板43的凹部43y的內(nèi)底面具有多個(gè)導(dǎo)電部46。第1IC元件41及第2IC元件42通過(guò)導(dǎo)電性的金屬細(xì)線(線)48與導(dǎo)電部46電連接。金屬細(xì)線48的材料能夠采用例如金、鋁、銅等。導(dǎo)電部46包括與對(duì)第1IC元件41及第2IC元件42供電用的引線銷(xiāo)29d電連接的導(dǎo)電部46s、和與接地用的引線銷(xiāo)29d電連接的導(dǎo)電部46g。并且，導(dǎo)電部46包括與取出第1IC元件41的第1輸出信號(hào)的第1輸出用引線銷(xiāo)29d電連接的導(dǎo)電部46a、和與取出第2IC元件42的第2輸出信號(hào)的第2輸出用引線銷(xiāo)29d電連接的導(dǎo)電部46b。優(yōu)選第1IC元件41、第2IC元件42及各條金屬細(xì)線48被由密封材料構(gòu)成的密封部(未圖示)覆蓋。因此，紅外線檢測(cè)器2c能夠防止各條金屬細(xì)線48的斷線或與外殼29的接觸。密封材料能夠采用例如環(huán)氧樹(shù)脂、硅酮樹(shù)脂等。另外，紅外線檢測(cè)器2c通過(guò)設(shè)置密封部，也具有使在各個(gè)第1IC元件41及第2IC元件42產(chǎn)生的熱不易向紅外線檢測(cè)元件20e傳熱的優(yōu)點(diǎn)。絕緣性基材43a中的紅外線檢測(cè)元件20e的預(yù)計(jì)搭載區(qū)域是在俯視觀察時(shí)與紅外線檢測(cè)元件20e重疊的區(qū)域。定位紅外線檢測(cè)元件20e用的壁43r在絕緣性基材43a中，從紅外線檢測(cè)元件20e的預(yù)計(jì)搭載區(qū)域的外側(cè)的部位向沿著紅外線檢測(cè)元件20e的厚度方向的方向(圖27A中的上方向)突出。因此，在絕緣性基材43a中，在與第1檢測(cè)單元DE1和第2檢測(cè)單元DE2的排列方向正交的方向的兩側(cè)分別形成有各一個(gè)的壁43r。由此，紅外線檢測(cè)器2c能夠利用兩個(gè)壁43r定位紅外線檢測(cè)元件20e，提高在第1檢測(cè)單元DE1和第2檢測(cè)單元DE2的排列方向上的紅外線檢測(cè)元件20e的位置精度，因而不需要起因于紅外線檢測(cè)元件20e的位置精度的冗余設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化及靈敏度的提高。并且，與沒(méi)有壁43r的情況、或例如在圖31示出主要部分的紅外線檢測(cè)器2a的第4變形例相比，紅外線檢測(cè)器2c能夠抑制第1表面電極22a和第1背面電極22b的短路的發(fā)生，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性的提高。在紅外線檢測(cè)器2a的第4變形例中，在絕緣性基材43a中的紅外線檢測(cè)元件20e的四個(gè)角部各自的附近，形成有比紅外線檢測(cè)元件20e的厚度高的較大的突起43s。與此相對(duì)，在紅外線檢測(cè)器2c中，第1輸出端子28c和第2輸出端子28d在紅外線檢測(cè)元件20e的厚度方向上不重疊，而且利用壁43r來(lái)定位紅外線檢測(cè)元件20e，因而能夠抑制隨著第1表面電極22a和第1背面電極22b之間的漏泄而形成的浮動(dòng)電荷導(dǎo)致的噪聲的產(chǎn)生，能夠?qū)崿F(xiàn)S/N比的提高和高靈敏度化。另外，紅外線檢測(cè)器2c與紅外線檢測(cè)器2a一樣，優(yōu)選定位部43d具有壁部43e和支撐部43f。壁部43e規(guī)定了在俯視觀察時(shí)第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32的排列方向上的第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32的位置。第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32架設(shè)在支撐部43f上。壁部43e和支撐部43f分別形成于在基板43中俯視觀察時(shí)第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32的排列方向的兩側(cè)。由此，紅外線檢測(cè)器2c能夠提高第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32與紅外線檢測(cè)元件20e的相對(duì)位置精度。因此，紅外線檢測(cè)器2c能夠?qū)崿F(xiàn)小型化和高靈敏度化。另外，壁部43e距離支撐部43f的高度沒(méi)有特殊限定，也可以小于第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32的厚度。優(yōu)選的是，第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32例如利用粘接劑固定在壁部43e上。由此，與利用粘接劑將第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32固定在支撐部43f上的情況相比，紅外線檢測(cè)器2c能夠提高紅外線檢測(cè)元件20e與第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32之間的距離的精度。優(yōu)選的是，在紅外線檢測(cè)器2c中，支撐部43f的突出尺寸大于紅外線檢測(cè)元件20e的厚度，在紅外線檢測(cè)元件20e的厚度方向上，在第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32與紅外線檢測(cè)元件20e之間形成有間隙。由此，紅外線檢測(cè)器2c能夠?qū)t外線檢測(cè)元件20e與第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32進(jìn)行熱絕緣，能夠?qū)崿F(xiàn)紅外線檢測(cè)元件20e的高靈敏度化。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2c在壁部43e形成有凹陷部43g，該凹陷部43g的前端面以及與第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32的對(duì)置面開(kāi)放，第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32通過(guò)凹陷部43g內(nèi)的由粘接劑構(gòu)成的粘接部49被固定于壁部43e。由此，在制造時(shí)，紅外線檢測(cè)器2c能夠使粘接劑的涂覆量穩(wěn)定，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)性的提高。凹陷部43g的內(nèi)側(cè)面既可以是平滑的連續(xù)的面，也可以是多個(gè)平面的組合。凹陷部43g的內(nèi)側(cè)面也能夠是與R倒角部或C倒角部相同的形狀。作為粘接部49的粘接劑，例如能夠采用環(huán)氧樹(shù)脂和丙烯樹(shù)脂等。作為粘接劑，也可以是熱固化型的粘接劑，但更優(yōu)選采用紫外線固化型的粘接劑。在紅外線檢測(cè)器2a的第5變形例中，設(shè)置圖32A、圖32B及圖32C所示結(jié)構(gòu)的紅外線檢測(cè)元件20g取代紅外線檢測(cè)元件20e。在紅外線檢測(cè)元件20g中，第1檢測(cè)單元DE1和第2檢測(cè)單元DE2分別在熱電體基板21的背面21b側(cè)具有電氣絕緣層21p，電氣絕緣層21p包圍第2輸出端子28d的外周面中除了沿著熱電體基板21的側(cè)面的一面以外的面。電氣絕緣層21p由對(duì)導(dǎo)電性粘接劑的潤(rùn)濕性比熱電體基板21低的材料(例如環(huán)氧樹(shù)脂、丙烯樹(shù)脂等)構(gòu)成。因此，紅外線檢測(cè)器2a的第5變形例在制造時(shí)，能夠進(jìn)一步抑制第1輸出端子28c和第2輸出端子28d由于導(dǎo)電性粘接劑而短路的不合格品的發(fā)生，能夠?qū)崿F(xiàn)制造成本的低成本化。并且，紅外線檢測(cè)器2a的第5變形例能夠進(jìn)一步提高第1輸出端子28c與第2輸出端子28d之間的電絕緣性。紅外線檢測(cè)器2a例如也可以如在圖33示出了一部分的第6變形例那樣，在支撐部43f的與紅外線檢測(cè)元件20e的側(cè)面的對(duì)置面形成有多個(gè)凹部43h。由此，紅外線檢測(cè)器2a的第6變形例能夠進(jìn)一步抑制從第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32向紅外線檢測(cè)元件20e的熱傳導(dǎo)，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)紅外線檢測(cè)元件20e的高靈敏度化。紅外線檢測(cè)器2a也可以將第1變形例～第6變形例和其它結(jié)構(gòu)例適當(dāng)組合進(jìn)行應(yīng)用。紅外線檢測(cè)器2a、紅外線檢測(cè)器2b及紅外線檢測(cè)器2c也可以構(gòu)成為具有一個(gè)乃至多個(gè)的各個(gè)紅外線檢測(cè)元件20a、20b、20c、20d、20f、20g中任意一個(gè)紅外線檢測(cè)元件，以取代紅外線檢測(cè)元件20e。下面，根據(jù)圖34～圖42說(shuō)明紅外線檢測(cè)器2a的第7變形例的紅外線檢測(cè)器2h。紅外線檢測(cè)器2h具有：紅外線檢測(cè)元件20h；光學(xué)濾波器30，使特定波長(zhǎng)的紅外線透射；基板43，安裝有紅外線檢測(cè)元件20h；以及外殼29，收納有紅外線檢測(cè)元件20h、光學(xué)濾波器30及基板43。外殼29具有：底座29a，支撐基板43；蓋29b，覆蓋紅外線檢測(cè)元件20h和光學(xué)濾波器30并固定粘接在底座29a上；以及窗部件29w，封堵在蓋29b的頂板部29ba形成的窗孔，使紅外線透射。紅外線檢測(cè)元件20h是在一個(gè)熱電體基板21上排列構(gòu)成組的受光用的第1熱電元件22和溫度補(bǔ)償用的第2熱電元件23而形成的。紅外線檢測(cè)器2h將構(gòu)成組的第1熱電元件22和第2熱電元件23反向并聯(lián)連接。紅外線檢測(cè)器2h以使第1熱電元件22位于窗孔29c向紅外線檢測(cè)元件20h的垂直投影區(qū)域內(nèi)的方式配置。在圖34的示例中，第1熱電元件22、22配置在光學(xué)濾波器30、30的垂直投影區(qū)域內(nèi)。光學(xué)濾波器30配置在窗部件29w和第1熱電元件22之間。紅外線檢測(cè)器2h還具有遮光部件9，該遮光部件9配置在窗部件29w和紅外線檢測(cè)元件20h之間，將從外殼29的外部透射窗部件29w進(jìn)入到外殼29內(nèi)的紅外線中朝向第2熱電元件23的紅外線遮光。遮光部件9被保持在基板43上。遮光部件9具有開(kāi)口部91，在該垂直投影區(qū)域內(nèi)僅配置了第1熱電元件22、22，第2熱電元件23、23全部被遮光部件9覆蓋。因此，紅外線檢測(cè)器2h能夠提高第2熱電元件23與遮光部件9的相對(duì)位置精度，能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。紅外線檢測(cè)器2h在一個(gè)熱電體基板21具有兩組的構(gòu)成組的受光用的第1熱電元件22和溫度補(bǔ)償用的第2熱電元件23。紅外線檢測(cè)器2h具有配置在一組的第1熱電元件22的前方的光學(xué)濾波器30(以下，稱(chēng)為“第1光學(xué)濾波器31”)、和配置在另一組的第1熱電元件22的前方的光學(xué)濾波器30(以下，稱(chēng)為“第2光學(xué)濾波器32”)。第1光學(xué)濾波器31的特定波長(zhǎng)(以下，稱(chēng)為“第1特定波長(zhǎng)”)和第2光學(xué)濾波器32的特定波長(zhǎng)(以下，稱(chēng)為“第2特定波長(zhǎng)”)能夠分別設(shè)定，既可以是不同的波長(zhǎng)，也可以是相同的波長(zhǎng)。下面說(shuō)明紅外線檢測(cè)器2h的各個(gè)構(gòu)成要素，但關(guān)于與紅外線檢測(cè)器2a相同的構(gòu)成要素，將適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線檢測(cè)元件20h是如圖39A、圖39B及圖39C所示構(gòu)成的。第1熱電元件22具有：第1表面電極22a，形成于熱電體基板21的表面21a；第1背面電極22b，形成于熱電體基板21的背面21b；和第1部分22c，在熱電體基板21中被夾在第1表面電極22a和第1背面電極22b之間。第1熱電元件22的第1表面電極22a和第1背面電極22b相面對(duì)。第2熱電元件23具有：第2表面電極23a，形成于熱電體基板21的表面21a；第2背面電極23b，形成于熱電體基板21的背面21b；和第2部分23c，在熱電體基板21中被夾在第2表面電極23a和第2背面電極23b之間。第2熱電元件23的第2表面電極23a和第2背面電極23b相面對(duì)。在熱電體基板21的表面21a形成有與第1表面電極22a電連接的第1表面配線24a。并且，在熱電體基板21的表面21a形成有與第2表面電極23a電連接的第2表面配線25a。在熱電體基板21的背面21b形成有與第1背面電極22b電連接的第1背面配線24b。在熱電體基板21的背面21b形成有與第2背面電極23b電連接的第2背面配線25b。紅外線檢測(cè)元件20h在熱電體基板21中包圍第1熱電元件22的周邊部形成有沿著第1熱電元件22的外周的形狀的切縫26，該切縫26避開(kāi)了第1表面配線24a和第1背面配線24b。并且，紅外線檢測(cè)元件20h為，熱電體基板21中包圍第2熱電元件23的周邊部沿著第2部分23c的全周而連續(xù)?？傊?，紅外線檢測(cè)元件20h僅在包圍第1熱電元件22的周邊部形成切縫26，在第2熱電元件23的周邊部沒(méi)有形成切縫26。因此，紅外線檢測(cè)元件20h能夠在第1熱電元件22和第2熱電元件23的組中減輕紅外線的串?dāng)_的影響，能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。第1熱電元件22的俯視觀察時(shí)的形狀呈半圓形狀。第2熱電元件23的俯視觀察時(shí)的形狀呈將長(zhǎng)方形的兩條長(zhǎng)邊中第1熱電元件22側(cè)的長(zhǎng)邊的兩端部以外的部分設(shè)為圓弧的形狀。第1熱電元件22的俯視觀察時(shí)的形狀不限于半圓形狀，例如也可以是半橢圓形狀、圓形狀、橢圓形狀、多邊形狀等。第2熱電元件23的俯視觀察時(shí)的形狀不限于上述的形狀，例如也可以是半圓形狀、半橢圓形狀、圓形狀、橢圓形狀、多邊形狀等。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)元件20h將第1熱電元件22的表面的面積和第2熱電元件23的表面的面積設(shè)定為相同的面積。表面的面積是指俯視觀察時(shí)的面積。另外，紅外線檢測(cè)元件20h使第1熱電元件22的俯視觀察形狀和第2熱電元件23的俯視觀察形狀不同，但也可以使第1熱電元件22的俯視觀察形狀和第2熱電元件23的俯視觀察形狀相同。優(yōu)選的是，第1熱電元件22的第1表面電極22a和第1背面電極22b是相同的形狀，第1背面電極22b以與第1表面電極22a的垂直投影區(qū)域一致的方式配置。優(yōu)選的是，第2熱電元件23的第2表面電極23a和第2背面電極23b是相同的形狀，第2背面電極23b以與第2表面電極23a的垂直投影區(qū)域一致的方式配置。紅外線檢測(cè)元件20h由在第1表面配線24a中的第1表面電極22a側(cè)的相反側(cè)的端部構(gòu)成輸出用的端子部24aa。并且，紅外線檢測(cè)元件20h由在第1背面配線24b中的第1背面電極22b側(cè)的相反側(cè)的端部構(gòu)成輸出用的端子部24bb。另外，紅外線檢測(cè)元件20h由在第2表面配線25a中的第2表面電極23a側(cè)的相反側(cè)的端部構(gòu)成輸出用的端子部25aa。并且，紅外線檢測(cè)元件20h由在第2背面配線25b中的第2背面電極23b側(cè)的相反側(cè)的端部構(gòu)成輸出用的端子部25bb。紅外線檢測(cè)元件20h以如下的方式進(jìn)行配置：使與第1熱電元件22的第1表面電極22a電連接的端子部24aa、和與第2熱電元件23的第2背面電極23b電連接的端子部25bb在熱電體基板21的厚度方向上重疊。并且，紅外線檢測(cè)元件20h以如下的方式進(jìn)行配置：使與第1熱電元件22的第1背面電極22b電連接的端子部24bb、和與第2熱電元件23的第2表面電極23a電連接的端子部25aa在熱電體基板21的厚度方向上重疊。紅外線檢測(cè)元件20h在第3方向的一端部形成有端子部24aa、25bb，在第3方向的另一端部形成有端子部24bb、25aa。紅外線檢測(cè)元件20h能夠構(gòu)成為將端子部24aa和端子部25bb電連接，并且將端子部24bb和端子部25aa電連接，由此將第1熱電元件22和第2熱電元件23反向并聯(lián)連接(參照?qǐng)D42)。將端子部24aa和端子部25bb電連接的第1連接部(未圖示)例如能夠利用導(dǎo)電膏形成。將端子部24bb和端子部25aa電連接的第2連接部(未圖示)例如能夠利用導(dǎo)電膏形成。紅外線檢測(cè)器2h能夠由第1連接部和第2連接部構(gòu)成紅外線檢測(cè)元件20h的一對(duì)輸出端子。紅外線檢測(cè)器2h能夠由第1連接部構(gòu)成一對(duì)輸出端子中的一個(gè)輸出端子(第1輸出端子)，由第2連接部構(gòu)成一對(duì)輸出端子中的另一個(gè)輸出端子(第2輸出端子)。假定紅外線檢測(cè)元件20h將第1熱電元件22用作紅外線的受光用的熱電元件，將第2熱電元件23用作溫度補(bǔ)償用的熱電元件。受光用的熱電元件是指用于檢測(cè)紅外線檢測(cè)元件20h的檢測(cè)對(duì)象的紅外線的熱電元件，是紅外線檢測(cè)元件20h的檢測(cè)對(duì)象的紅外線進(jìn)行入射的熱電元件。溫度補(bǔ)償用的熱電元件是指用于減小因紅外線檢測(cè)元件20h的周?chē)鷾囟鹊淖兓鸬妮敵鲂盘?hào)的變動(dòng)的熱電元件，理想地講是指紅外線檢測(cè)元件20h的檢測(cè)對(duì)象的紅外線不入射的熱電元件。換言之，溫度補(bǔ)償用的熱電元件是指用于從第1熱電元件22的輸出信號(hào)中去除起因于周?chē)鷾囟鹊某煞值臒犭娫?。因此，紅外線檢測(cè)元件20h是以檢測(cè)對(duì)象的紅外線入射到第1熱電元件22、但不入射到第2熱電元件23的方式進(jìn)行使用。但是，紅外線檢測(cè)元件20h是在紅外線入射的入射面?zhèn)染哂锌臻g的狀態(tài)下使用的，因而由于紅外線的串?dāng)_，從第2熱電元件23輸出信號(hào)。在紅外線檢測(cè)元件20h中紅外線入射的入射面是指第1表面電極22a的表面以及第2表面電極23a的表面。紅外線的串?dāng)_是指在用于使紅外線向第1熱電元件22入射的窗部件29w和第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32等透射的紅外線、從傾斜方向向第2熱電元件23的第2表面電極23a的表面入射的情況。換言之，紅外線的串?dāng)_是指在第1熱電元件22的檢測(cè)對(duì)象的紅外線從傾斜方向向旨在阻止紅外線的入射的第2熱電元件23的第2表面電極23a入射的情況。紅外線檢測(cè)元件20h在紅外線向第2熱電元件23的第2表面電極23a傾斜入射時(shí)，從第2熱電元件23輸出相位與第1熱電元件22相反的信號(hào)，因而導(dǎo)致靈敏度下降。并且，紅外線檢測(cè)元件20h也有可能使得應(yīng)該入射到第1受光元件221的紅外線入射到第2受光元件222，而應(yīng)該入射到第2受光元件222的紅外線入射到第1受光元件221。紅外線檢測(cè)元件20h通過(guò)僅在第1熱電元件22的周邊部形成切縫26，能夠使產(chǎn)生基于因檢測(cè)對(duì)象的紅外線的入射而形成的第1熱電元件22和第2熱電元件23的熱時(shí)間常數(shù)之差的靈敏度差。因此，紅外線檢測(cè)元件20h通過(guò)將第1熱電元件22和第2熱電元件23反向并聯(lián)連接，并將第1熱電元件22、第2熱電元件23分別用作受光用的熱電元件和溫度補(bǔ)償用的熱電元件，能夠減輕紅外線的串?dāng)_的影響。由此，紅外線檢測(cè)元件20h能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。優(yōu)選的是，熱電體基板21的切縫26至少形成在第1熱電元件22的第2熱電元件23側(cè)。由此，紅外線檢測(cè)元件20h不僅能夠在低頻區(qū)域中使第1熱電元件22的靈敏度比第2熱電元件23高，而且能夠抑制熱量的串?dāng)_，能夠?qū)崿F(xiàn)第1熱電元件22的靈敏度的進(jìn)一步提高。也可以是，在紅外線檢測(cè)元件20h中，第1表面電極22a的外周緣離開(kāi)切縫26的第1表面電極22a側(cè)的開(kāi)孔緣。由此，紅外線檢測(cè)元件20h能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化，并且更可靠地抑制第1表面電極22a和第1背面電極22b的短路。另外，優(yōu)選的是，在紅外線檢測(cè)元件20h中，第1背面電極22b的外周緣離開(kāi)切縫26的第1背面電極22b側(cè)的開(kāi)孔緣。由此，紅外線檢測(cè)元件20h能夠更可靠地抑制第1表面電極22a和第1背面電極22b的短路，能夠抑制電氣穩(wěn)定性的下降。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)元件20h具有多組的第1熱電元件22和第2熱電元件23的組。并且，優(yōu)選的是，熱電體基板21在相鄰的兩個(gè)第1熱電元件22各自的另一個(gè)第1熱電元件22側(cè)形成有切縫26。紅外線檢測(cè)元件20h在具有兩組的第1熱電元件22和第2熱電元件23的組的情況下，能夠形成具有兩個(gè)通道的結(jié)構(gòu)。即，紅外線檢測(cè)元件20h能夠用作將具有第1熱電元件22和第2熱電元件23的各組分別作為一個(gè)通道的紅外線檢測(cè)元件。紅外線檢測(cè)元件20h是具有兩個(gè)通道的結(jié)構(gòu)，各個(gè)通道由檢測(cè)單元DE構(gòu)成，該檢測(cè)單元DE具有第1熱電元件22、第2熱電元件23、第1表面配線24a、第1背面配線24b、第2表面配線25a及第2背面配線25b。下面，為了便于說(shuō)明，將圖34中的左側(cè)的檢測(cè)單元DE稱(chēng)為第1檢測(cè)單元DE1。將圖34中的右側(cè)的檢測(cè)單元DE稱(chēng)為第2檢測(cè)單元DE2。紅外線檢測(cè)元件20h如上所述具有兩組的第1熱電元件22和第2熱電元件23的組。下面，為了便于說(shuō)明，有時(shí)將第1檢測(cè)單元DE1的第1熱電元件22、第2熱電元件23分別稱(chēng)為第1受光元件221、第1溫度補(bǔ)償元件231。并且，有時(shí)也將第2檢測(cè)單元DE2的第1熱電元件22、第2熱電元件23分別稱(chēng)為第2受光元件222、第2溫度補(bǔ)償元件232。紅外線檢測(cè)元件20h在相鄰的兩個(gè)第1熱電元件22各自的另一個(gè)第1熱電元件22側(cè)形成有切縫26，因而能夠抑制在相鄰的兩個(gè)第1熱電元件22之間的熱傳遞。由此，紅外線檢測(cè)元件20h能夠抑制第1檢測(cè)單元DE1及第2檢測(cè)單元DE2各自的靈敏度的下降。另外，紅外線檢測(cè)元件20h也可以構(gòu)成為在第1熱電元件22的第1表面電極22a上設(shè)置紅外線吸收層(未圖示)。紅外線檢測(cè)器2h將第1光學(xué)濾波器31配置在第1受光元件221的前方，將第2光學(xué)濾波器32配置在第2受光元件222的前方。紅外線檢測(cè)器2h將第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32收納在外殼29內(nèi)。由此，紅外線檢測(cè)器2h能夠抑制第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32暴露于外部氣體中，能夠抑制濾波器特性隨時(shí)間而變化。第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32只要以具有紅外線檢測(cè)器2h所需要的光學(xué)特性的方式設(shè)計(jì)特定波長(zhǎng)、濾波器特性即可。第1光學(xué)濾波器31例如如圖40所示具有第1基板31s、第1濾波器部31a、第2濾波器部31b。并且，第2光學(xué)濾波器32例如如圖41所示具有第2基板32s、第3濾波器部32a、第4濾波器部32b。第1基板31s和第2基板32s是能夠使紅外線透射的基板。作為第1基板31s和第2基板32s，例如能夠采用硅酮基板、鍺基板、藍(lán)寶石基板、氧化鎂基板等。紅外線檢測(cè)器2h例如能夠用于紅外線式氣體傳感器。紅外線檢測(cè)器2h能夠?qū)⒌?濾波器部31a的中心波長(zhǎng)作為第1光學(xué)濾波器31的第1特定波長(zhǎng)，將第3濾波器部32a的中心波長(zhǎng)作為第2光學(xué)濾波器32的第2特定波長(zhǎng)。紅外線檢測(cè)器2h在用于紅外線式氣體傳感器的情況下，例如能夠?qū)⒌?濾波器部31a的中心波長(zhǎng)設(shè)定為檢測(cè)對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)，將第3濾波器部32a的中心波長(zhǎng)設(shè)定為參照波長(zhǎng)。紅外線檢測(cè)器2h將第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32分體形成，但不限于此，例如也可以將第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32單片化。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2h具有對(duì)紅外線檢測(cè)元件20h的輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理的IC元件40。優(yōu)選的是，IC元件40被安裝在基板43上，并被收納在外殼29內(nèi)。優(yōu)選的是，在紅外線檢測(cè)元件20h具有兩個(gè)檢測(cè)單元DE的情況下，紅外線檢測(cè)元件20h對(duì)應(yīng)每個(gè)檢測(cè)單元DE具有IC元件40。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2h具有對(duì)第1檢測(cè)單元DE1的輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理的IC元件40(第1IC元件41)、和對(duì)第2檢測(cè)單元DE2的輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理的IC元件40(第2IC元件42)。第1IC元件41例如如圖42所示能夠構(gòu)成為具有電流電壓變換電路41a和放大電路41b。第2IC元件42例如如圖42所示能夠構(gòu)成為具有電流電壓變換電路42a和放大電路42b。電流電壓變換電路41a、42a的電路結(jié)構(gòu)也可以是圖42所示的結(jié)構(gòu)以外的結(jié)構(gòu)。紅外線檢測(cè)器2h將檢測(cè)單元DE的第1輸出端子、第2輸出端子分別與基板43的第1引線端子43j(參照?qǐng)D36)、第2引線端子(未圖示)電連接。第1引線端子43j及第2引線端子分別構(gòu)成基板43的配線的彼此不同的一部分。紅外線檢測(cè)器2h在利用上述的第1連接部、第2連接部分別構(gòu)成檢測(cè)單元DE的第1輸出端子、第2輸出端子的情況下，第1連接部及第2連接部能夠兼做紅外線檢測(cè)器2h與基板43的接合部?；?3具有與該基板43的厚度方向正交的第1面143、和第2面144?；?3以使該基板43的厚度方向與底座29a的厚度方向一致的方式配置，并固定于底座29a。優(yōu)選的是，基板43如圖36所示具有從第1面143突出并定位紅外線檢測(cè)元件20h的兩個(gè)第1突部43m和兩個(gè)第2突部43n。兩個(gè)第1突部43m和兩個(gè)第2突部43n形成于基板43中的紅外線檢測(cè)元件20h的預(yù)計(jì)搭載區(qū)域的外側(cè)。兩個(gè)第1突部43m在第1方向上位于紅外線檢測(cè)元件20h的兩側(cè)。兩個(gè)第2突部43n在第3方向上位于紅外線檢測(cè)元件20h的兩側(cè)。在兩個(gè)第2突部43n中分別面對(duì)紅外線檢測(cè)元件20h的面上，形成有用于使第1引線端子43j和第2引線端子分別露出的各兩個(gè)的凹部43p。因此，紅外線檢測(cè)器2h能夠利用導(dǎo)電性粘接劑將紅外線檢測(cè)元件20h與第1引線端子43j及第2引線端子接合并電連接。紅外線檢測(cè)器2h能夠利用兩個(gè)第1突部43m及兩個(gè)第2突部43n定位紅外線檢測(cè)元件20h，提高紅外線檢測(cè)元件20h在與基板43的厚度方向正交的面內(nèi)的位置精度。由此，紅外線檢測(cè)器2h不需要緣于紅外線檢測(cè)元件20h的位置精度的冗余設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化及靈敏度的提高。優(yōu)選的是，在基板43的第1面143形成有大小包括各個(gè)第1熱電元件22和各個(gè)第2熱電元件23的垂直投影區(qū)域的孔43b。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2h在基板43的第1面143側(cè)配置有紅外線檢測(cè)元件20h，在基板43的第2面144側(cè)配置有第1IC元件41及第2IC元件42。各個(gè)第1IC元件41及第2IC元件42是裸裝片，通過(guò)芯片焊接件被固定在設(shè)于基板43的第2面144的凹部43y的內(nèi)底面上。外殼29如上所述具有底座29a、蓋29b、窗部件29w。優(yōu)選底座29a是金屬制。底座29a形成為圓板狀。底座29a具有與其為一體的從外周部向外方突出的第1凸緣29ab。優(yōu)選蓋29b是金屬制。蓋29b在圓筒狀的筒部29bb的一端側(cè)形成有圓板狀的頂板部29ba，在另一端側(cè)形成有第2凸緣29be。蓋29b在頂板部29ba的中央部形成有窗孔29c。外殼29通過(guò)焊接等將底座29a的第1凸緣29ab和蓋29b的第2凸緣29be接合。窗孔29c形成為比將第1受光元件221和第2受光元件222合并的尺寸稍大的開(kāi)口尺寸。窗孔29c的開(kāi)口形狀是矩形狀，但不限于此，例如也可以是圓形狀或矩形狀以外的多邊形狀等。優(yōu)選窗部件29w利用導(dǎo)電性材料固定粘接在蓋29b上。由此，紅外線檢測(cè)器2h能夠?qū)⒋安考?9w設(shè)為與蓋29b大致相同的電位，具有不易受到外來(lái)的電磁噪聲的影響的優(yōu)點(diǎn)。窗部件29w不限于硅酮基板，例如也可以是鍺基板或硫化鋅基板等，但采用硅酮基板有利于低成本化。導(dǎo)電性材料能夠采用例如焊錫、導(dǎo)電性粘接劑等。外殼29以使第1熱電元件22位于窗孔29c向紅外線檢測(cè)元件20h的垂直投影區(qū)域內(nèi)的方式形成窗孔29c。也可以是，外殼29以使第2熱電元件23位于窗孔29c向紅外線檢測(cè)元件20h的垂直投影區(qū)域外的方式形成窗孔29c。在這種情況下，紅外線檢測(cè)器2h能夠利用外殼29進(jìn)一步抑制第1熱電元件22的檢測(cè)對(duì)象的紅外線向第2熱電元件23入射。另外，優(yōu)選的是，在紅外線檢測(cè)元件20h中，第1熱電元件22形成于熱電體基板21的中央部，第2熱電元件23形成于熱電體基板21的周部。并且，優(yōu)選的是，遮光部件9形成為板狀，在遮光部件9的中央部形成有比第1熱電元件22的向厚度方向的垂直投影區(qū)域大的開(kāi)口部91。由此，紅外線檢測(cè)器2h能夠抑制在窗部件29w透射并朝向第1熱電元件22的檢測(cè)對(duì)象的紅外線被遮光部件9遮光。開(kāi)口部91的大小可以按照第1熱電元件22的數(shù)量適當(dāng)設(shè)定，在第1熱電元件22是兩個(gè)的情況下，只要大于將兩個(gè)第1熱電元件22各自的垂直投影區(qū)域相加后的區(qū)域即可。遮光部件9被固定于基板43。遮光部件9被放置在基板43的兩個(gè)第1突部43m和兩個(gè)第2突部43n上。基板43在兩個(gè)第2突部43n上分別形成有各一個(gè)的第3突部43o，第3突部43o在第1方向及第3方向上定位遮光部件9。遮光部件9具有與其為一體的兩個(gè)突片97(參照?qǐng)D37、圖38)，兩個(gè)突片97從第3方向的兩端面突出，在第1方向上配置于第3突部43o的兩側(cè)。因此，紅外線檢測(cè)器2h能夠提高遮光部件9在與基板43的厚度方向正交的面內(nèi)的位置精度。在兩個(gè)第3突部43o彼此的對(duì)置面上形成有各兩個(gè)的凹部43q。第3突部43o的凹部43q形成于與第2突部43n的凹部43p對(duì)應(yīng)的位置。優(yōu)選遮光部件9利用進(jìn)入到第3突部43o的凹部43q內(nèi)的粘接劑固定于基板43。由此，紅外線檢測(cè)器2h能夠提高遮光部件9與紅外線檢測(cè)元件20h的相對(duì)位置精度?；?3將兩個(gè)第1突部43m、43m及兩個(gè)第2突部43n、43n的高度設(shè)定為大于紅外線檢測(cè)元件20h的厚度。由此，紅外線檢測(cè)器2h能夠提高在基板43的厚度方向上的遮光部件9與紅外線檢測(cè)元件20h的相對(duì)位置精度，也能夠提高遮光部件9與紅外線檢測(cè)元件20h的間隙長(zhǎng)度Lg的精度。紅外線檢測(cè)器2h將紅外線檢測(cè)元件20h和遮光部件9固定在相同的基板43上，因而能夠提高紅外線檢測(cè)元件20h與遮光部件9的相對(duì)位置精度，能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32被固定于遮光部件9。第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32能夠利用粘接劑等固定于遮光部件9。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2h以用第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32封堵開(kāi)口部91的方式配置第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32。優(yōu)選的是，第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32在遮光部件9的第1面9a側(cè)固定粘接于開(kāi)口部91的周邊部94。由此，紅外線檢測(cè)器2h能夠在第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32與紅外線檢測(cè)元件20h之間形成間隙。優(yōu)選的是，在遮光部件9形成有多個(gè)窗部92，以便能夠從遮光部件9的第1面9a側(cè)視覺(jué)辨認(rèn)紅外線檢測(cè)元件20h的一部分。由此，紅外線檢測(cè)器2h在制造時(shí)，在將預(yù)先固定粘接了第1光學(xué)濾波器31及第2光學(xué)濾波器32的遮光部件9固定于基板43后，能夠進(jìn)行紅外線檢測(cè)元件20h的有無(wú)和有無(wú)位置偏移的確認(rèn)等檢查步驟。并且，紅外線檢測(cè)器2h在制造時(shí)，在將遮光部件9固定于基板43后，能夠通過(guò)外觀檢查來(lái)評(píng)價(jià)遮光部件9與紅外線檢測(cè)元件20h的相對(duì)位置關(guān)系。優(yōu)選的是，窗部92分別對(duì)應(yīng)紅外線檢測(cè)元件20h的四個(gè)角部而形成于遮光部件9的周部。窗部92是在遮光部件9的外周面形成的切口部。窗部92也可以是貫穿遮光部件9的厚度方向的貫穿孔，也可以是透射可見(jiàn)光的透明的部件。遮光部件9能夠構(gòu)成為例如具有樹(shù)脂板、和被層壓在樹(shù)脂板上的金屬箔。由此，紅外線檢測(cè)器2h能夠利用例如印制配線板等形成遮光部件9。在這種情況下，印制配線板的樹(shù)脂基材構(gòu)成樹(shù)脂板，銅箔構(gòu)成金屬箔。樹(shù)脂基材能夠采用例如酚醛類(lèi)樹(shù)脂基板、和在玻璃纖維中浸漬了環(huán)氧樹(shù)脂的玻璃環(huán)氧樹(shù)脂基板等。并且，金屬箔只要是能夠反射紅外線等并遮光的材料即可，不限于銅箔，也可以采用例如鋁箔、金箔等。遮光部件9在利用印制配線板形成的情況下，只要將印制配線板阻斷成規(guī)定的形狀使用即可，具有不需通過(guò)樹(shù)脂成形來(lái)成形樹(shù)脂板的優(yōu)點(diǎn)。遮光部件9也可以是例如金屬板。因此，紅外線檢測(cè)器2h能夠進(jìn)一步降低遮光部件9的熱容量。金屬板的材料只要是能夠反射紅外線等并遮光的材料即可。金屬板的材料優(yōu)選熱容量較小的材料，例如能夠采用鋁。金屬板的材料也可以是不銹鋼等。在紅外線檢測(cè)器2a的第8變形例的紅外線檢測(cè)器中，例如能夠采用圖43A、圖43B及圖43C所示的結(jié)構(gòu)的紅外線檢測(cè)元件20i取代紅外線檢測(cè)器2h的紅外線檢測(cè)元件20h。紅外線檢測(cè)元件20i的第1熱電元件22和第2熱電元件23反向串聯(lián)連接，這一點(diǎn)與紅外線檢測(cè)元件20h不同。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)元件20i，對(duì)與紅外線檢測(cè)元件20h相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線檢測(cè)元件20i將構(gòu)成組的第1熱電元件22的第1表面電極22a和第2熱電元件23的第2表面電極23a、通過(guò)第1表面配線24a和第2表面配線25a電連接。由此，紅外線檢測(cè)元件20i將構(gòu)成組的第1熱電元件22和第2熱電元件23被反向串聯(lián)連接?？傊?，第8變形例的紅外線檢測(cè)器中的第1檢測(cè)單元DE1及第2檢測(cè)單元DE2將第1熱電元件22和第2熱電元件23反向串聯(lián)連接。紅外線檢測(cè)元件20i對(duì)應(yīng)第1熱電元件22和第2熱電元件23的每個(gè)組具有一對(duì)的輸出端子28c、28d。在紅外線檢測(cè)元件20i中，端子部24bb構(gòu)成一個(gè)輸出端子28c(第1輸出端子28c)，端子部25bb構(gòu)成另一個(gè)輸出端子28d(第2輸出端子28d)。紅外線檢測(cè)元件20i通過(guò)將第1熱電元件22用作受光用的熱電元件、將第2熱電元件23用作溫度補(bǔ)償用的熱電元件，能夠減輕紅外線的串?dāng)_的影響。因此，紅外線檢測(cè)元件20i能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。紅外線檢測(cè)元件20i具有兩組的第1熱電元件22和第2熱電元件23的組。因此，紅外線檢測(cè)元件20i按照每個(gè)組將第1熱電元件22和第2熱電元件23反向串聯(lián)連接。圖44表示紅外線檢測(cè)器2a的第9變形例的紅外線檢測(cè)器2j。紅外線檢測(cè)器2j的基本結(jié)構(gòu)與紅外線檢測(cè)器2h大致相同，遮光部件9的形狀不同。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)器2j，對(duì)與紅外線檢測(cè)器2h相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線檢測(cè)器2j的遮光部件9在開(kāi)口部91的周邊部94形成有窗部件29w側(cè)及開(kāi)口部91側(cè)開(kāi)放的凹部93。并且，遮光部件9與紅外線檢測(cè)器2h一樣形成有窗部92，以便能夠從第1面9a側(cè)視覺(jué)辨認(rèn)紅外線檢測(cè)元件20h的一部分。并且，遮光部件9的窗部92是避開(kāi)了遮光部件9中第2熱電元件23的向厚度方向的垂直投影區(qū)域、開(kāi)口部91及凹部93而形成的。光學(xué)濾波器30封堵開(kāi)口部91，光學(xué)濾波器30的周部被放置在凹部93中，從而相對(duì)于遮光部件9被定位。由此，紅外線檢測(cè)器2j能夠進(jìn)一步提高光學(xué)濾波器30與紅外線檢測(cè)元件20h的相對(duì)位置精度。尤其是，紅外線檢測(cè)器2j能夠提高第1光學(xué)濾波器31、第2光學(xué)濾波器32與第1受光元件221、第2受光元件222的相對(duì)位置精度，能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。圖45及圖46表示紅外線檢測(cè)器2a的第10變形例的紅外線檢測(cè)器2k。紅外線檢測(cè)器2k的基本結(jié)構(gòu)與紅外線檢測(cè)器2h大致相同，遮光部件9的形狀不同。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)器2k，對(duì)與紅外線檢測(cè)器2h相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。另外，圖45是與圖46的X-X截面對(duì)應(yīng)的概略縱剖視圖。紅外線檢測(cè)器2k的遮光部件9形成為與蓋29b的內(nèi)周面29bc接觸的形狀。并且，蓋29b通過(guò)遮光部件9進(jìn)行在與底座29a的厚度方向正交的面內(nèi)的定位。由此，紅外線檢測(cè)器2k能夠提高窗部件29w與遮光部件9的相對(duì)位置精度。因此，紅外線檢測(cè)器2k能夠進(jìn)一步提高窗部件29w與光學(xué)濾波器30與紅外線檢測(cè)元件20h的相對(duì)位置精度，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)高靈敏度化。遮光部件9形成為圓形的板狀，從外周面突出形成有多個(gè)突出片96，各個(gè)突出片96各自的前端面與蓋29b的筒部29bb的內(nèi)周面29bc接觸。優(yōu)選的是，遮光部件9的多個(gè)突出片96在沿著蓋29b的內(nèi)周面29bc的圓周方向的方向上以相等間隔而形成。由此，紅外線檢測(cè)器2k能夠進(jìn)一步提高蓋29b相對(duì)于底座29a的位置精度。圖47表示紅外線檢測(cè)器2a的第11變形例的紅外線檢測(cè)器2m。紅外線檢測(cè)器2m的基本結(jié)構(gòu)與紅外線檢測(cè)器2h大致相同，遮光部件9的形狀不同。另外，關(guān)于紅外線檢測(cè)器2m，對(duì)與紅外線檢測(cè)器2h相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線檢測(cè)器2m的遮光部件9在開(kāi)口部91的周邊部94具有向紅外線檢測(cè)元件20h的表面?zhèn)韧怀龅耐黄?5。由此，紅外線檢測(cè)器2m能夠抑制傾斜入射到光學(xué)濾波器30的紅外線和成為雜散光的紅外線等入射到第2熱電元件23、23，能夠通過(guò)提高S/N比而進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)高靈敏度化。紅外線檢測(cè)器2j、2k、2m也可以構(gòu)成為具有紅外線檢測(cè)元件20a、20b、20c、20d、20e、20f、20g、20i中的任意一個(gè)紅外線檢測(cè)元件，以取代紅外線檢測(cè)元件20h。并且，紅外線檢測(cè)器2a也可以通過(guò)適當(dāng)組合第1變形例～第11變形例而構(gòu)成。(實(shí)施方式3)下面，根據(jù)圖48～圖53、圖54A、圖54B、圖55及圖56說(shuō)明本實(shí)施方式的紅外線式氣體傳感器100。紅外線式氣體傳感器100具有通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線的紅外線輻射元件10、和紅外線檢測(cè)元件20e。因此，紅外線式氣體傳感器100能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。另外，對(duì)于紅外線式氣體傳感器100中與實(shí)施方式2的紅外線檢測(cè)器2a相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線式氣體傳感器100(以下也稱(chēng)為“氣體傳感器100”)利用紅外線的吸收波長(zhǎng)根據(jù)檢測(cè)對(duì)象的氣體的種類(lèi)而不同的性質(zhì)來(lái)檢測(cè)氣體，因而能夠提高氣體的識(shí)別性。優(yōu)選的是，氣體傳感器100具有紅外線輻射元件10(參照?qǐng)D49)、紅外線檢測(cè)器2a、配置在紅外線輻射元件10和紅外線檢測(cè)器2a之間的試料室6(參照?qǐng)D49～圖52)、和信號(hào)處理部4。第1光學(xué)濾波器31以使檢測(cè)對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)的紅外線透射的方式來(lái)設(shè)定第1透射波長(zhǎng)區(qū)域。第2光學(xué)濾波器32以使不被氣體吸收的參照波長(zhǎng)的紅外線透射、且不與第1透射波長(zhǎng)區(qū)域重疊的方式來(lái)設(shè)定第2透射波長(zhǎng)區(qū)域。信號(hào)處理部4根據(jù)第1檢測(cè)單元DE1的第1輸出信號(hào)與第2檢測(cè)單元DE2的第2輸出信號(hào)的之比，求出氣體的濃度。由此，氣體傳感器100能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)定精度的提高。也可以是，信號(hào)處理部4根據(jù)第1檢測(cè)單元DE1的第1輸出信號(hào)與第2檢測(cè)單元DE2的第2輸出信號(hào)的差分，求出氣體的濃度。第1透射波長(zhǎng)區(qū)域是上述的第1濾波器部31a(參照?qǐng)D21)的透射波長(zhǎng)區(qū)域。第2透射波長(zhǎng)區(qū)域是上述的第3濾波器部32a(參照?qǐng)D21)的透射波長(zhǎng)區(qū)域。并且，氣體傳感器100具有斷續(xù)地對(duì)紅外線輻射元件10通電的驅(qū)動(dòng)電路5、和控制驅(qū)動(dòng)電路5的控制部51。信號(hào)處理部4具有信號(hào)處理電路45，對(duì)第1IC元件41的第1輸出信號(hào)和第2IC元件42的第2輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。信號(hào)處理電路45構(gòu)成為根據(jù)第1IC元件41的第1輸出信號(hào)與第2IC元件42的第2輸出信號(hào)之比，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度，并產(chǎn)生與該濃度相當(dāng)?shù)妮敵鲂盘?hào)。第1IC元件41的第1輸出信號(hào)是由電流電壓變換電路41a對(duì)第1檢測(cè)單元DE1的輸出信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換后，在放大電路41b被放大而輸出的模擬的電壓信號(hào)。第2IC元件42的第2輸出信號(hào)是由電流電壓變換電路41a對(duì)第2檢測(cè)單元DE2的輸出信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換后，在放大電路41b被放大而輸出的模擬的電壓信號(hào)。也可以是，信號(hào)處理電路45根據(jù)第1IC元件41的第1輸出信號(hào)與第2IC元件42的第2輸出信號(hào)的差分，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度，并產(chǎn)生與該濃度相當(dāng)?shù)妮敵觥?yōu)選的是，氣體傳感器100具有將紅外線輻射元件10收納在外殼19中的紅外光源1。下面，更詳細(xì)地說(shuō)明氣體傳感器100的各構(gòu)成要素。紅外線輻射元件10構(gòu)成為通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線。由此，紅外線輻射元件10能夠輻射比紅外發(fā)光二極管寬廣的波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線。紅外線輻射元件10能夠輻射包括第1透射波長(zhǎng)區(qū)域的中心波長(zhǎng)和第2透射波長(zhǎng)區(qū)域的中心波長(zhǎng)在內(nèi)的寬廣頻帶的紅外線。總之，紅外線輻射元件10能夠輻射包括第1光學(xué)濾波器31的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域和第2光學(xué)濾波器32的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域在內(nèi)的波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線。紅外光源1具有紅外線輻射元件10和收納紅外線輻射元件10的外殼19。另外，圖49中的帶箭頭的線示意地示出了在氣體傳感器100中從紅外光源1輻射的紅外線的行進(jìn)路徑。從紅外光源1輻射的紅外線是指從紅外線輻射元件10輻射、并從外殼19出射的紅外線。紅外線輻射元件10如圖54A及圖54B所示具有：半導(dǎo)體基板11；薄膜部12，形成于半導(dǎo)體基板11的表面111側(cè)；開(kāi)口部11a，形成于半導(dǎo)體基板11，使薄膜部12中的半導(dǎo)體基板11側(cè)的第1面121的一部分露出。并且，紅外線輻射元件10具有紅外線輻射層13，形成于薄膜部12的第2面122，利用通過(guò)通電而產(chǎn)生的熱輻射來(lái)輻射紅外線。紅外線輻射層13從驅(qū)動(dòng)電路5被通電，通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線。紅外線輻射元件10具有保護(hù)層14、和與紅外線輻射層13電連接的多個(gè)端子部16。保護(hù)層14形成為在薄膜部12的第2面122側(cè)覆蓋紅外線輻射層13。保護(hù)層14利用能夠使從紅外線輻射層13輻射的紅外線透射的材料形成。紅外線輻射層13和各個(gè)端子部16通過(guò)配線15而電連接。紅外線輻射元件10能夠利用MEMS(microelectromechanicalsystems)的制造技術(shù)等制造。紅外線輻射元件10通過(guò)對(duì)紅外線輻射層13的通電，紅外線輻射層13發(fā)熱，從紅外線輻射層13通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線。紅外線輻射元件10的紅外線輻射層13構(gòu)成紅外光源1的發(fā)熱體。半導(dǎo)體基板11采用單晶體的硅酮基板。半導(dǎo)體基板11不限于單晶體的硅酮基板，例如能夠采用多晶體的硅酮基板等。薄膜部12例如能夠由半導(dǎo)體基板11側(cè)的氧化硅膜12a和氮化硅膜12b的層壓膜構(gòu)成，氮化硅膜12b被層壓在氧化硅膜12a中的半導(dǎo)體基板11側(cè)的相反側(cè)。薄膜部12例如也可以是氧化硅膜或氮化硅膜的單層構(gòu)造。紅外線輻射層13的材料采用氮化鉭。即，紅外線輻射層13由氮化鉭層構(gòu)成。紅外線輻射層13的材料不限于氮化鉭，例如也可以采用氮化鈦、鎳鉻、鎢、鈦、釷、白金、鋯、鉻、釩、銠、鉿、镥、硼、銥、鈮、鉬、鉭、鋨、錸、鈥、鈷、鉺、釔、鐵、鈧、銩、鈀、镥。并且，紅外線輻射層13的材料也可以采用導(dǎo)電性多晶硅。即，紅外線輻射層13也可以由導(dǎo)電性多晶硅層構(gòu)成。從在高溫時(shí)的化學(xué)性穩(wěn)定、而且表面電阻的容易設(shè)計(jì)性的角度考慮，優(yōu)選紅外線輻射層13采用氮化鉭層、氮化鈦層、導(dǎo)電性多晶硅層等。各個(gè)氮化鉭層和氮化鈦層通過(guò)改變其組分，能夠改變表面電阻。導(dǎo)電性多晶硅層通過(guò)改變不純物濃度，能夠改變表面電阻。開(kāi)口部11a由貫穿半導(dǎo)體基板11的厚度方向的孔形成。該開(kāi)口部11a通過(guò)將半導(dǎo)體基板11的一部分從半導(dǎo)體基板11的背面112一直蝕刻到半導(dǎo)體基板11的表面111而形成。開(kāi)口部11a不限于貫穿半導(dǎo)體基板11的厚度方向的孔，也可以由形成于半導(dǎo)體基板11的表面111的孔形成。保護(hù)層14由氮化硅膜構(gòu)成。保護(hù)層14不限于氮化硅膜，例如也可以由氧化硅膜構(gòu)成，也可以具有氧化硅膜和氮化硅膜的層壓構(gòu)造。保護(hù)層14是用于確保耐潮性等的可靠性的鈍化膜。優(yōu)選的是，保護(hù)膜14在對(duì)紅外線輻射層13通電時(shí)針對(duì)從紅外線輻射層13輻射的期望的波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線的透射率比較高，但并非透射率必須是100％。從實(shí)現(xiàn)紅外線輻射層13的低熱容量化的角度考慮，優(yōu)選紅外線輻射層13的厚度在0.2μm以下。從實(shí)現(xiàn)薄膜部12和紅外線輻射層13和保護(hù)層14的層壓構(gòu)造的低熱容量化的角度考慮，優(yōu)選將薄膜部12的厚度和紅外線輻射層13的厚度和保護(hù)層14的厚度之合計(jì)厚度設(shè)定在例如約0.1μm～1μm的范圍內(nèi)，更優(yōu)選設(shè)為0.7μm以下。配線15的材料采用鋁合金(Al-Si)。配線15的材料沒(méi)有特殊限定，例如也可以采用金、銅等。并且，配線15只要是與紅外線輻射層13接觸的部分能夠與紅外線輻射層13實(shí)現(xiàn)歐姆接觸的材料即可，不限于單層構(gòu)造，也可以是多層構(gòu)造。例如，也可以是，配線15在其厚度方向上從紅外線輻射層13側(cè)起依次層壓了第1層、第2層、第3層的三層構(gòu)造，將與紅外線輻射層13接觸的第1層的材料設(shè)為高熔點(diǎn)金屬，將第2層的材料設(shè)為鎳，將第3層的材料設(shè)為金。高熔點(diǎn)金屬能夠采用例如鉻等。端子部16構(gòu)成焊盤(pán)電極。端子部16的材料采用鋁合金(Al-Si)。端子部16的材料采用與配線15相同的材料，但也可以是與端子部16的材料不同的材料。氣體傳感器100通過(guò)調(diào)整從驅(qū)動(dòng)電路5向紅外線輻射元件10的一對(duì)端子部16之間提供的輸入電力，能夠改變?cè)诩t外線輻射層13產(chǎn)生的焦耳熱，能夠改變紅外線輻射層13的溫度。因此，紅外線輻射元件10通過(guò)改變紅外線輻射層13的溫度，能夠改變從紅外線輻射層13輻射的紅外線的峰值波長(zhǎng)。外殼19具有：底座19a，安裝有紅外線輻射元件10；和蓋19b，以覆蓋紅外線輻射元件10的方式固定粘接于底座19a。外殼19具有：窗孔19r，形成于蓋19b中的紅外線輻射元件10的前方；以及窗部件19w，以封堵窗孔19r的方式配置，能夠使紅外線透射。優(yōu)選底座19a是金屬制。底座19a形成為圓板狀。優(yōu)選蓋19b是金屬制。蓋19b在圓筒狀的筒部19bb部位的一端側(cè)形成有圓板狀的頂板部19ba，在頂板部19ba的中央部形成有窗孔19r。底座19a的俯視觀察形狀呈圓形狀，但不限于此，例如也可以是多邊形狀。并且，蓋19b的形狀可以按照底座19a的形狀適當(dāng)變更。例如，在底座19a的俯視觀察形狀呈矩形狀的情況下，蓋19b的俯視觀察形狀既可以是圓形狀，也可以是矩形狀。外殼19具有2根引線銷(xiāo)19d作為對(duì)紅外線輻射元件10供電用的端子。紅外線輻射元件10的端子部16和引線銷(xiāo)19d通過(guò)金屬細(xì)線(未圖示)而電連接。2根引線銷(xiāo)19d被保持在底座19a上。2根引線銷(xiāo)19d貫穿底座19a的厚度方向設(shè)于底座19a上。2根引線銷(xiāo)19d利用電絕緣性的密封材料(玻璃)固定在底座19上，并與底座19a電氣絕緣。窗部件19w具有使紅外線透射的功能。窗部件19w利用平板狀的硅酮基板構(gòu)成。窗部件19w不限于硅酮基板，例如也可以是鍺基板或硫化鋅基板等，但采用硅酮基板有利于低成本化。并且，也能夠采用透鏡作為窗部件19w。氣體傳感器100通過(guò)調(diào)整從驅(qū)動(dòng)電路5向紅外線輻射元件10的紅外線輻射層13提供的輸入電力，能夠改變?cè)诩t外線輻射層13產(chǎn)生的焦耳熱，能夠改變紅外線輻射層13的溫度。因此，在氣體傳感器100中，通過(guò)改變紅外線輻射層13的溫度，能夠改變從紅外線輻射層13輻射的紅外線的峰值波長(zhǎng)。驅(qū)動(dòng)電路5斷續(xù)地驅(qū)動(dòng)紅外線輻射元件10。驅(qū)動(dòng)電路5以一定的時(shí)間間隔對(duì)紅外線輻射元件10施加規(guī)定脈沖寬度的電壓(以下也稱(chēng)為“脈沖電壓”)。因此，氣體傳感器100周期性地從驅(qū)動(dòng)電路5向紅外線輻射元件10施加脈沖電壓。紅外線輻射元件10被施加脈沖電壓的期間成為通電期間，未被施加脈沖電壓的期間成為非通電期間。另外，驅(qū)動(dòng)紅外線輻射元件10與驅(qū)動(dòng)紅外光源1是相同的意思。試料室6形成為筒狀。試料室6形成有連通其內(nèi)部空間和外部的多個(gè)通氣孔69。由此，試料室6能夠供檢測(cè)對(duì)象的氣體進(jìn)出。優(yōu)選的是，通氣孔69貫穿與試料室6的軸向正交的方向而形成。在試料室6形成為圓筒狀的情況下，優(yōu)選通氣孔69貫穿試料室6的徑向而形成。試料室6通過(guò)通氣孔69將來(lái)自外部的氣體導(dǎo)入、將內(nèi)部空間的氣體導(dǎo)出。氣體傳感器100在試料室6的軸向的一端部側(cè)配置有紅外光源1，在試料室6的軸向的另一端部側(cè)配置有紅外線檢測(cè)器2a。氣體傳感器100通過(guò)通氣孔69將例如來(lái)自外部的檢測(cè)對(duì)象的氣體或者包含檢測(cè)對(duì)象的氣體的氣體導(dǎo)入試料室6的內(nèi)部空間中。氣體傳感器100在位于試料室6的內(nèi)部空間中的檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度增加時(shí)，向紅外線檢測(cè)器2a入射的紅外線的光量下降，在位于試料室6的內(nèi)部空間中的檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度下降時(shí)，向紅外線檢測(cè)器2a入射的紅外線的光量增加。在氣體傳感器100中，紅外線的吸收波長(zhǎng)根據(jù)檢測(cè)對(duì)象的氣體的種類(lèi)而不同，因而能夠提高氣體的識(shí)別性。吸收波長(zhǎng)例如是CH4為3.3μm、CO2為4.3μm、CO為4.7μm、NO為5.3μm。因此，紅外線檢測(cè)器2a例如可以將第1濾波器部31a(參照?qǐng)D21)的中心波長(zhǎng)λ1設(shè)定為檢測(cè)對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)，將第3濾波器部32a的中心波長(zhǎng)λ2設(shè)定為檢測(cè)對(duì)象的氣體及其它氣體(H2O、CH4、CO、NO等)不吸收的波長(zhǎng)。第1濾波器部31a和第3濾波器部32a優(yōu)選透射波譜的半值全寬狹窄的帶通濾波器。并且，氣體傳感器100優(yōu)選第1濾波器部31a的中心波長(zhǎng)λ1與第3濾波器部32a的中心波長(zhǎng)λ2之差較小。由此，氣體傳感器100能夠減小檢測(cè)對(duì)象的氣體不存在時(shí)透射第1濾波器部31a的紅外線的光量與透射第3濾波器部32a的紅外線的光量之差。優(yōu)選的是，第1光學(xué)濾波器31將第1濾波器部31a的中心波長(zhǎng)λ1設(shè)定為檢測(cè)對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)。由此，第1光學(xué)濾波器31能夠使檢測(cè)對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)的紅外線以更高的透射率透射。第1濾波器部31a對(duì)中心波長(zhǎng)λ1的紅外線的透射率優(yōu)選在50％以上，更優(yōu)選在70％以上，最優(yōu)選在90％以上。優(yōu)選的是，第2光學(xué)濾波器32將第3濾波器部32a的中心波長(zhǎng)λ2設(shè)定為檢測(cè)對(duì)象的氣體及其它氣體不吸收的波長(zhǎng)(以下也稱(chēng)為“參照波長(zhǎng)”)。優(yōu)選的是，第3濾波器部32a的透射波長(zhǎng)區(qū)域不與第1濾波器部31a的透射波長(zhǎng)區(qū)域重疊。第3濾波器部32a對(duì)中心波長(zhǎng)λ2的紅外線的透射率優(yōu)選在50％以上，更優(yōu)選在70％以上，最優(yōu)選在90％以上。第3濾波器部32a對(duì)中心波長(zhǎng)λ2的紅外線的透射率與第1濾波器部31a對(duì)中心波長(zhǎng)λ1的紅外線的透射率之差越小越好。在檢測(cè)對(duì)象的氣體例如是二氧化碳的情況下，氣體傳感器100能夠?qū)⒌?濾波器部31a的中心波長(zhǎng)λ1設(shè)定為4.3μm，將第3濾波器部32a的中心波長(zhǎng)λ2例如設(shè)定為3.9μm。試料室6是通過(guò)將沿包含該試料室6的中心軸的平面進(jìn)行分割的成對(duì)的盒半體64、65(參照?qǐng)D50～圖52)接合而形成的。盒半體64和盒半體65例如能夠利用從嵌合、超聲波熔敷、粘接等選擇的技術(shù)進(jìn)行接合。優(yōu)選的是，試料室6兼做使從紅外線輻射元件10輻射的紅外線向紅外線檢測(cè)器2a側(cè)反射的光學(xué)要素。試料室6例如在由合成樹(shù)脂形成的情況下，優(yōu)選在內(nèi)表面?zhèn)染哂蟹瓷浼t外線的反射層的構(gòu)造。試料室6的材料不限于合成樹(shù)脂，例如也可以采用金屬?？傊瑑?yōu)選的是，試料室6呈筒狀，其內(nèi)表面構(gòu)成使從紅外線輻射元件10輻射的紅外線反射的反射面66(參照?qǐng)D50、圖52)。在具有上述的反射層的情況下，該反射層的表面能夠構(gòu)成反射面66。氣體傳感器100具有保持紅外光源1的保持部件70(參照?qǐng)D50～圖52)，該保持部件70被安裝在試料室6上。并且，氣體傳感器100具有保持紅外線檢測(cè)器2a的保持部件80，該保持部件80被安裝在試料室6上。保持部件70具有蓋部71和壓板72。蓋部71呈圓盤(pán)狀，在蓋部71的試料室6側(cè)的端面設(shè)有供試料室6的一端部插入的凹部71a，在凹部71a的底部的中央形成有供紅外光源1插入的貫通孔71b。壓板72用于將紅外光源1按壓于蓋部71。將在壓板72的孔72b以及蓋部71的孔71d中通過(guò)的多個(gè)螺釘(未圖示)旋入試料室6的一端部的內(nèi)螺紋部64d、65d中，由此保持部件70被安裝在試料室6上。保持部件80具有蓋部81和壓板82。蓋部81呈圓盤(pán)狀，在蓋部81的試料室6側(cè)的端面設(shè)有供試料室6的另一端部插入的凹部81a，在凹部81a的底部的中央形成有供紅外線檢測(cè)器2a插入的貫通孔81b。壓板82用于將紅外線檢測(cè)器2a按壓于蓋部81。將在壓板82的孔82b以及蓋部81的孔81c中通過(guò)的多個(gè)螺釘(未圖示)旋入試料室6的另一端部的內(nèi)螺紋部(未圖示)中，由此保持部件80被安裝在試料室6上。另外，保持部件70、80各自的構(gòu)造沒(méi)有特殊限定。并且，保持部件70、80各自向試料室6的安裝構(gòu)造也沒(méi)有特殊限定。試料室6的反射面66呈如圖53所示的如下形狀，即以試料室6的中心軸上規(guī)定的長(zhǎng)軸為旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)橢圓體的長(zhǎng)軸方向的兩端部分別被與長(zhǎng)軸正交的兩個(gè)平面VP1、VP2切割后得到的形狀。因此，在試料室6形成有與旋轉(zhuǎn)橢圓體(長(zhǎng)橢圓體)的一部分對(duì)應(yīng)的內(nèi)部空間。氣體傳感器100如圖53所示，將紅外光源1配置在試料室6的中心軸上、所述旋轉(zhuǎn)橢圓體的一個(gè)焦點(diǎn)P1(以下稱(chēng)為“第1焦點(diǎn)P1”)上，將紅外線檢測(cè)器2a配置在試料室6的中心軸上、比所述旋轉(zhuǎn)橢圓體的另一個(gè)焦點(diǎn)P2(以下稱(chēng)為“第2焦點(diǎn)P2”)靠近紅外光源1的一側(cè)。氣體傳感器100將紅外線輻射元件10配置在所述旋轉(zhuǎn)橢圓體的第1焦點(diǎn)P1附近。附近是指由第1焦點(diǎn)P1和紅外線輻射元件10的距離小于規(guī)定值的所有的點(diǎn)構(gòu)成的部分集合，也包含第1焦點(diǎn)P1的點(diǎn)。所述規(guī)定值根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)橢圓體的第1焦點(diǎn)P1和第2焦點(diǎn)P2的距離而變化?？傊t外線輻射元件10嚴(yán)格意義上不需要配置在第1焦點(diǎn)P1，只要是視為實(shí)質(zhì)上配置在第1焦點(diǎn)P1的位置即可。從紅外線輻射元件10沿傾斜方向輻射的紅外線以通過(guò)反射面66被反射并會(huì)聚于第2焦點(diǎn)P2的方式被導(dǎo)光。但是，在將紅外線檢測(cè)器2a配置在第2焦點(diǎn)P2的情況下，在試料室6的另一端部，在反射面66反射并入射到第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32的紅外線的入射角容易增大。并且，第1光學(xué)濾波器31和第2光學(xué)濾波器32在入射角越大時(shí)，透射波譜(透射率-波長(zhǎng)特性)向短波長(zhǎng)側(cè)的偏移越大，包含選擇波長(zhǎng)的特定波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線的透射率下降。并且，在沿著試料室6的中心軸OX的方向上的試料室6與紅外線檢測(cè)器2a的距離越長(zhǎng)時(shí)，氣體傳感器100的紅外線的損失越多。因此，氣體傳感器100將紅外線檢測(cè)器2a配置在試料室6的中心軸OX上、比第2焦點(diǎn)P2靠近紅外光源1的一側(cè)。即，紅外線檢測(cè)器2a在沿著試料室6的中心軸OX的方向上、比第2焦點(diǎn)P2靠近紅外光源1的一側(cè)，而且在試料室6和第2焦點(diǎn)P2之間配置第1光學(xué)濾波器31、第2光學(xué)濾波器32、第1受光元件221、第2受光元件222。由此，氣體傳感器100在使沿著試料室6的中心軸OX的方向上的試料室6與紅外線檢測(cè)器2a的距離、和將紅外線檢測(cè)器2a配置于第2焦點(diǎn)P2時(shí)的試料室6與紅外線檢測(cè)器2a的距離相同時(shí)，能夠減小在試料室6的另一端部、由反射面66反射并入射到第1光學(xué)濾波器31、第2光學(xué)濾波器32的紅外線的入射角。因此，氣體傳感器100能夠抑制特定波長(zhǎng)區(qū)域(第1光學(xué)濾波器31、第2光學(xué)濾波器32各自的設(shè)計(jì)上的透射波長(zhǎng)區(qū)域)的紅外線的透射率下降，能夠提高S/N比。并且，能夠抑制串?dāng)_的發(fā)生，即抑制在第1光學(xué)濾波器31、第2光學(xué)濾波器32透射的紅外線入射到與第1光學(xué)濾波器31、第2光學(xué)濾波器32面對(duì)的第1受光元件221、第2受光元件222以外的第2溫度補(bǔ)償元件232、第1溫度補(bǔ)償元件231的串?dāng)_，能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)定精度的提高。沿著試料室6的中心軸OX的方向上的試料室6與紅外線檢測(cè)器2a的距離優(yōu)選比較短，更優(yōu)選為零。另外，氣體傳感器100對(duì)在紅外光源1和紅外線檢測(cè)器2a之間配置的部件(試料室6等)的形狀和數(shù)量、配置等沒(méi)有特殊限定。優(yōu)選的是，信號(hào)處理部4具有第1IC元件41、第2IC元件42、和信號(hào)處理電路45。信號(hào)處理電路45具有A/D變換電路45a和濃度運(yùn)算部45b。A/D變換電路45a構(gòu)成為對(duì)第1IC元件41的第1輸出信號(hào)、第2IC元件42的第2輸出信號(hào)分別進(jìn)行模擬-數(shù)字變換并輸出。濃度運(yùn)算部45b構(gòu)成為根據(jù)在A/D變換電路45a分別被數(shù)字化后的第1輸出信號(hào)與第2輸出信號(hào)之比，計(jì)算檢測(cè)對(duì)象(以下稱(chēng)為“測(cè)定對(duì)象”)的氣體的濃度。濃度運(yùn)算部45b構(gòu)成為根據(jù)第1IC元件41的第1輸出信號(hào)與第2IC元件42的第2輸出信號(hào)之比計(jì)算濃度。在濃度運(yùn)算部45b中，在[第1IC元件41的第1輸出信號(hào)]/[第2IC元件42的第2輸出信號(hào)]的值越大時(shí)，濃度越高。濃度運(yùn)算部45b也可以構(gòu)成為根據(jù)在A/D變換電路45a分別被數(shù)字化后的第1輸出信號(hào)與第2輸出信號(hào)的差分，運(yùn)算測(cè)定對(duì)象的氣體的濃度。在這種情況下，在濃度運(yùn)算部45b中，在︱[第1IC元件41的第1輸出信號(hào)]-[第2IC元件42的第2輸出信號(hào)]︱的值越大時(shí)，濃度越高。氣體傳感器100通過(guò)在微處理器中安裝適宜的程序，構(gòu)成具有控制部51和濃度運(yùn)算部45b的運(yùn)算部。運(yùn)算部例如也可以由定制IC等構(gòu)成。氣體傳感器100也可以具有顯示部8，顯示通過(guò)濃度運(yùn)算部45b的運(yùn)算而求出的濃度。顯示部8例如能夠由液晶顯示裝置、或有機(jī)EL顯示裝置、或使用了發(fā)光二極管的顯示裝置等構(gòu)成。優(yōu)選的是，氣體傳感器100將控制部51與設(shè)定紅外光源1的電阻值的設(shè)定部52連接?？刂撇?1構(gòu)成為根據(jù)由設(shè)定部52設(shè)定的電阻值決定規(guī)定脈沖寬度，以便使從驅(qū)動(dòng)電路5向紅外光源1的接通電力達(dá)到規(guī)定值。紅外光源1的電阻的測(cè)定值是指在室溫(例如25℃)下，在對(duì)紅外光源1施加電壓時(shí)測(cè)定在紅外光源1流過(guò)的電流，并根據(jù)歐姆定律求出的值。紅外光源1的電阻可以在氣體傳感器100的制造階段或者制造氣體傳感器100之前預(yù)先測(cè)定。紅外光源1的電阻的測(cè)定值是指紅外線輻射元件10的紅外線輻射層13的電阻、和外殼19的引線銷(xiāo)19d與紅外線輻射層13之間的電路的電阻之合成電阻的值。紅外光源1從增大在紅外線輻射層13產(chǎn)生的焦耳熱、使從紅外線輻射層13高效地輻射紅外線的角度考慮，優(yōu)選紅外線輻射層13的電阻值相比電路的電阻值足夠大。換言之，優(yōu)選紅外光源1的電路的電阻值較小到紅外光源1的電阻的測(cè)定值被視為紅外線輻射層13的電阻值的程度。驅(qū)動(dòng)電路5構(gòu)成為向紅外線輻射元件10提供由控制部51決定的規(guī)定脈沖寬度的電壓。由此，氣體傳感器100即使是由于紅外線輻射元件10的制造偏差等使得紅外線輻射元件10的電阻值產(chǎn)生偏差時(shí)，也能夠通過(guò)在制造時(shí)由設(shè)定部52將預(yù)先測(cè)定的紅外光源1的電阻的測(cè)定值設(shè)定為電阻值，抑制對(duì)紅外線輻射元件10的接通電力的偏差，能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)定精度的高精度化。另外，氣體傳感器100將從驅(qū)動(dòng)電路5向紅外線輻射層13提供的電壓的規(guī)定脈沖寬度，設(shè)定為比按照第1熱電元件22接受到的紅外線量的時(shí)間變化來(lái)輸出電流的響應(yīng)時(shí)間短的時(shí)間。圖55示意地表示施加給紅外線輻射層13的脈沖電壓的波形、與紅外線輻射層13輻射的紅外線量的關(guān)系。紅外線輻射層13僅在被施加脈沖電壓的期間被通電，在未被施加脈沖電壓的期間通電停止(阻斷)。在圖55中，將對(duì)紅外線輻射層13通電的通電期間設(shè)為T(mén)1，將從對(duì)紅外線輻射層13的通電被截止到下一次開(kāi)始通電的非通電期間設(shè)為T(mén)2。紅外光源1由存在紅外線輻射元件10的開(kāi)口部11a內(nèi)的氣體構(gòu)成氣體層。構(gòu)成氣體層的氣體優(yōu)選惰性氣體。惰性氣體能夠采用例如N2氣體、Ar氣體等。紅外光源1通過(guò)具有氣體層，能夠在通電期間T1使紅外線輻射層13有效升溫，能夠?qū)崿F(xiàn)規(guī)定脈沖寬度的縮短，并確保期望的紅外線量。并且，紅外光源1通過(guò)具有氣體層，即使是在非通電期間T2中，也能夠在比通電期間T1長(zhǎng)的期間中輻射紅外線。氣體傳感器100通過(guò)縮短規(guī)定脈沖寬度，能夠?qū)崿F(xiàn)低功耗化。紅外線輻射層13在通電開(kāi)始時(shí)隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)而溫度上升。紅外線輻射層13的紅外線量隨著溫度上升而呈曲線式增加。紅外線輻射層13在通電被截止時(shí)溫度下降。紅外線輻射層13的紅外線量隨著溫度下降而平緩地減小。在非通電期間T2中紅外線輻射層13輻射的紅外線量的時(shí)間變化的頻率成分，是根據(jù)具有氣體層的紅外光源1的構(gòu)造上的熱時(shí)間常數(shù)而決定的。從時(shí)間上，將非通電期間T2設(shè)定為比通電期間T1足夠長(zhǎng)的時(shí)間。例如，氣體傳感器100例如能夠?qū)⑼娖陂gT1設(shè)定在約5ms～30ms的范圍內(nèi)，將非通電期間T2設(shè)定在約5s～30s的范圍內(nèi)。非通電期間T2中的紅外線量的時(shí)間變化的頻率成分是比通電期間T1中的紅外線量的時(shí)間變化的頻率成分低的低頻。氣體傳感器100即使是在非通電期間T2中，也能夠在比通電期間T1長(zhǎng)的期間中輻射紅外線，因而在非通電期間T2中能夠?qū)崿F(xiàn)利用了低頻且減少的紅外線的低頻響應(yīng)。在電流電壓變換電路41a中，使用作為電容性元件的電容器Cf1的阻抗，對(duì)第1檢測(cè)單元DE1的輸出信號(hào)即電流信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換。從第1檢測(cè)單元DE1來(lái)看的阻抗(以下稱(chēng)為變換阻抗)能夠用下述的式(10)表示。Z＝1/(2·π·f·C)……式(10)在式(10)中，設(shè)變換阻抗為Z[Ω]，設(shè)頻率為f[Hz]，設(shè)電容器Cf1的電容值為C[F]。圖56示意地表示變換阻抗Z的頻率特性。圖56是半對(duì)數(shù)圖，設(shè)縱軸為對(duì)數(shù)刻度。在圖56中，分別省略了縱軸及橫軸的刻度。變換阻抗Z如圖56所示具有隨著頻率下降而呈線性增加的傾向。氣體傳感器100與紅外光源1不具有氣體層的情況相比，在紅外光源1的非通電期間T2中從紅外光源1輻射的紅外線量的時(shí)間變化的頻率成分是低頻。因此，電流電壓變換電路41a對(duì)于第1檢測(cè)單元DE1輸出的低頻的電流信號(hào)，在變換阻抗Z(增益)較高的區(qū)域中進(jìn)行動(dòng)作，能夠?qū)崿F(xiàn)輸出信號(hào)的S/N比的提高。因此，第1IC元件41能夠?qū)崿F(xiàn)將電流電壓變換電路41a的輸出信號(hào)放大的放大電路41b的輸出信號(hào)的S/N比的提高。第1IC元件41由放大電路41b的輸出信號(hào)構(gòu)成第1IC元件41的第1輸出信號(hào)。第2IC元件42的電流電壓變換電路42a的電路結(jié)構(gòu)與電流電壓變換電路41a相同，放大電路42b的電路結(jié)構(gòu)與放大電路41b相同，因而能夠?qū)崿F(xiàn)第2輸出信號(hào)的S/N比的提高。如上所述，紅外線輻射元件10具有：半導(dǎo)體基板11；薄膜部12，形成于半導(dǎo)體基板11的表面111側(cè)；開(kāi)口部11a，形成于半導(dǎo)體基板11，使薄膜部12中的半導(dǎo)體基板11側(cè)的第1面121的一部分露出。并且，紅外線輻射元件10具有紅外線輻射層13，其形成于薄膜部12的第2面122，利用通過(guò)通電而產(chǎn)生的熱輻射來(lái)輻射紅外線，即使是在從對(duì)紅外線輻射層13的通電被截止到下一次通電開(kāi)始的非通電期間中，也輻射紅外線。并且，第1IC元件41具有電流電壓變換電路41a，對(duì)紅外線檢測(cè)元件20e的第1檢測(cè)單元DE1的第1輸出信號(hào)即電流信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換。并且，第2IC元件42具有電流電壓變換電路42a，對(duì)紅外線檢測(cè)元件20e的第2檢測(cè)單元DE2的第2輸出信號(hào)即電流信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換。優(yōu)選的是，各個(gè)電流電壓變換電路41a、42a使針對(duì)在紅外線輻射元件10的非通電期間中紅外線輻射元件10輻射的紅外線量的時(shí)間變化的頻率成分的增益、大于針對(duì)比該頻率成分高的頻域的增益。各個(gè)電流電壓變換電路41a、42a的增益是指上述的變換阻抗Z。氣體傳感器100通過(guò)縮短對(duì)紅外線輻射層13的通電期間，能夠?qū)崿F(xiàn)紅外線輻射元件10的驅(qū)動(dòng)電力的降低。并且，氣體傳感器100通過(guò)使針對(duì)在紅外線輻射元件10的非通電期間中紅外線輻射元件10輻射的紅外線量的時(shí)間變化的頻率成分的增益、大于針對(duì)比該頻率成分高的頻域的增益，能夠?qū)崿F(xiàn)S/N比的提高。各個(gè)電流電壓變換電路41a、42a也可以構(gòu)成為將各個(gè)電容器Cf1、Cf2分別與MOSFET等開(kāi)關(guān)元件并聯(lián)連接，以便能夠進(jìn)行使各個(gè)電容器Cf1、Cf2的電荷定期放電的重設(shè)動(dòng)作。在這種情況下，各個(gè)電流電壓變換電路41a、42a通過(guò)使各個(gè)開(kāi)關(guān)元件定期地僅接通規(guī)定時(shí)間，能夠使各個(gè)電容器Cf1、Cf2的電荷定期放電。因此，氣體傳感器100能夠抑制各個(gè)電流電壓變換電路41a、42a各自的輸出信號(hào)飽和。驅(qū)動(dòng)電路5構(gòu)成為將來(lái)自控制部51的控制信號(hào)升壓來(lái)生成脈沖電壓。驅(qū)動(dòng)電路5具有將作為控制信號(hào)而提供的輸入電壓升壓的升壓功能?？刂菩盘?hào)是指示規(guī)定脈沖寬度的信號(hào)。氣體傳感器100為，即使從驅(qū)動(dòng)電路5向紅外線輻射元件10提供的脈沖電壓相同時(shí)，紅外線輻射層13的溫度也根據(jù)紅外線輻射元件10的電阻值的差異而不同。因此，氣體傳感器100構(gòu)成為使控制部51根據(jù)由設(shè)定部52設(shè)定的電阻值來(lái)決定規(guī)定脈沖寬度，以便使從驅(qū)動(dòng)電路5向紅外線輻射元件10的接通電力達(dá)到規(guī)定值。設(shè)定部52例如能夠由非易失性存儲(chǔ)元件構(gòu)成。例如在氣體傳感器100的出廠檢查時(shí)等，設(shè)定部52將另外測(cè)定的紅外光源1的電阻的測(cè)定值存儲(chǔ)為紅外光源1的電阻值，由此進(jìn)行設(shè)定。控制部51在決定規(guī)定脈沖寬度時(shí)，從設(shè)定部52讀出紅外光源1的電阻值，將該電阻值代入規(guī)定的運(yùn)算式中進(jìn)行運(yùn)算，由此決定規(guī)定脈沖寬度。另外，氣體傳感器100構(gòu)成為，驅(qū)動(dòng)電路5向紅外線輻射元件10斷續(xù)地提供由控制部51決定的規(guī)定脈沖寬度的脈沖電壓。由此，氣體傳感器100即使是由于紅外線輻射元件10的制造偏差等使得紅外線輻射元件10的電阻值產(chǎn)生偏差時(shí)，也能夠通過(guò)在制造時(shí)由設(shè)定部52將預(yù)先測(cè)定的紅外光源1的電阻的測(cè)定值設(shè)定為電阻值，能夠抑制對(duì)紅外線輻射元件10的接通電力的偏差，能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)定精度的高精度化?？傊瑲怏w傳感器100具有在制造時(shí)根據(jù)紅外光源1的電阻的測(cè)定值初始調(diào)整規(guī)定脈沖寬度的功能，能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)定精度的高精度化。氣體傳感器100能夠根據(jù)第1檢測(cè)單元DE1的第1輸出信號(hào)與第2檢測(cè)單元DE2的第2輸出信號(hào)之比或者差分達(dá)到與檢測(cè)對(duì)象的氣體(例如二氧化碳)的濃度對(duì)應(yīng)的值，在信號(hào)處理部4中高精度地求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。從擴(kuò)寬動(dòng)態(tài)范圍的角度考慮，優(yōu)選氣體傳感器100根據(jù)第1檢測(cè)單元DE1的第1輸出信號(hào)與第2檢測(cè)單元DE2的第2輸出信號(hào)的差分求出氣體的濃度。另一方面，從抑制隨時(shí)間而變動(dòng)的角度考慮，優(yōu)選氣體傳感器100根據(jù)第1檢測(cè)單元DE1的第1輸出信號(hào)與第2檢測(cè)單元DE2的第2輸出信號(hào)之比求出氣體的濃度。氣體傳感器100也可以使用在實(shí)施方式2中說(shuō)明的第1變形例的紅外線檢測(cè)器2b、第2變形例的紅外線檢測(cè)器2c、紅外線檢測(cè)器2a的第3變形例～第6變形例中的任意一個(gè)紅外線檢測(cè)器，取代紅外線檢測(cè)器2a。并且，氣體傳感器100也可以使用各兩個(gè)的、在實(shí)施方式1中說(shuō)明的紅外線檢測(cè)元件20a、20b、20c、20d、20f、20g中的任意一種紅外線檢測(cè)元件，取代紅外線檢測(cè)器2a的紅外線檢測(cè)元件20e。氣體傳感器100僅具有一組的第1檢測(cè)單元DE1和第2檢測(cè)單元DE2的組，但不限于此，也可以具有多組的第1檢測(cè)單元DE1和第2檢測(cè)單元DE2的組。因此，氣體傳感器100能夠測(cè)定與第1檢測(cè)單元DE1和第2檢測(cè)單元DE2的組是一對(duì)一對(duì)應(yīng)的種類(lèi)的氣體的濃度。即，氣體傳感器100也能夠?qū)y(cè)定對(duì)象的氣體的種類(lèi)設(shè)為多種，而不僅限于一種。另外，紅外光源1不限于具有紅外線輻射元件10和外殼19的結(jié)構(gòu)，例如也能夠采用鹵素?zé)舻?。下面，根?jù)圖57和圖58說(shuō)明具有紅外線檢測(cè)器2h的第1變形例的紅外線式氣體傳感器101。另外，在紅外線式氣體傳感器101(以下稱(chēng)為“氣體傳感器101”)中，對(duì)與氣體傳感器100相同的構(gòu)成要素，標(biāo)注與氣體傳感器100相同的標(biāo)號(hào)并適當(dāng)省略說(shuō)明。氣體傳感器101具有紅外線輻射元件10、紅外線檢測(cè)元件20h。因此，氣體傳感器101能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。氣體傳感器101具有紅外線輻射元件10、紅外線檢測(cè)器2h、配置在紅外線輻射元件10和紅外線檢測(cè)器2h之間的試料室6、和信號(hào)處理部4。并且，氣體傳感器101具有斷續(xù)地對(duì)紅外線輻射元件10通電的驅(qū)動(dòng)電路5、和控制驅(qū)動(dòng)電路5的控制部51。信號(hào)處理部4具有第1IC元件41、第2IC元件42、和信號(hào)處理電路45。信號(hào)處理電路45對(duì)第1IC元件41的第1輸出信號(hào)和第2IC元件42的第2輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理，并求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。紅外線檢測(cè)器2h中的第1光學(xué)濾波器31以使測(cè)定對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)的紅外線透射的方式來(lái)設(shè)定第1透射波長(zhǎng)區(qū)域。第1透射波長(zhǎng)區(qū)域是指上述的第1濾波器部31a(參照?qǐng)D40)的透射波長(zhǎng)區(qū)域。第1光學(xué)濾波器31將測(cè)定對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)設(shè)定為第1特定波長(zhǎng)。紅外線檢測(cè)器2h中的第2光學(xué)濾波器32以使測(cè)定對(duì)象的氣體不吸收的參照波長(zhǎng)的紅外線透射、且不與第1透射波長(zhǎng)區(qū)域重疊的方式來(lái)設(shè)定第2透射波長(zhǎng)區(qū)域。第2透射波長(zhǎng)區(qū)域是指上述的第3濾波器部32a(參照?qǐng)D41)的透射波長(zhǎng)區(qū)域。第2光學(xué)濾波器32將參照波長(zhǎng)設(shè)定為第2特定波長(zhǎng)。信號(hào)處理電路45構(gòu)成為根據(jù)第1IC元件41的第1輸出信號(hào)與第2IC元件42的第2輸出信號(hào)之比，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度，并產(chǎn)生與該濃度相當(dāng)?shù)妮敵鲂盘?hào)。第1IC元件41的第1輸出信號(hào)是由電流電壓變換電路41a對(duì)第1檢測(cè)單元DE1的第1輸出信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換后，在放大電路41b被放大而輸出的模擬的電壓信號(hào)。第2IC元件42的第2輸出信號(hào)是由電流電壓變換電路42a對(duì)第2檢測(cè)單元DE2的第2輸出信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換后，在放大電路42b被放大而輸出的模擬的電壓信號(hào)。也可以是，信號(hào)處理電路45根據(jù)第1IC元件41的第1輸出信號(hào)與第2IC元件42的第2輸出信號(hào)的差分，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度，并產(chǎn)生與該濃度相當(dāng)?shù)妮敵鲂盘?hào)。紅外光源1具有通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線的紅外線輻射元件10、和收納紅外線輻射元件10的外殼19。另外，圖58中的帶箭頭的線示意地示出了在氣體傳感器101中從紅外光源1輻射的紅外線的行進(jìn)路徑。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2h的將第1檢測(cè)單元DE1中的第1熱電元件22的第1表面電極22a的平面形狀和第2檢測(cè)單元DE2中的第1熱電元件22的第1表面電極22a的平面形狀合并形成的形狀，呈沿著熱電體基板21的表面21a與所述旋轉(zhuǎn)橢圓體的交線的形狀。因此，氣體傳感器101能夠削減在各個(gè)第1熱電元件22、22各自中的無(wú)助于接受紅外線的區(qū)域，能夠降低各個(gè)第1熱電元件22、22各自的熱容量，能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。氣體傳感器101也可以采用紅外線檢測(cè)元件20d、20e、20f、20g、20i等取代紅外線檢測(cè)元件20h。氣體傳感器101也可以采用第8變形例的紅外線檢測(cè)器、第9變形例的紅外線檢測(cè)器2j、第10變形例的紅外線檢測(cè)器2k、第11變形例的紅外線檢測(cè)器2m等，取代紅外線檢測(cè)器2h。氣體傳感器101具有僅一組的第1檢測(cè)單元DE1和第2檢測(cè)單元DE2的組，但不限于此，也可以具有多組的第1檢測(cè)單元DE1和第2檢測(cè)單元DE2的組。下面，根據(jù)圖59和圖60說(shuō)明第2變形例的紅外線式氣體傳感器102。另外，在紅外線式氣體傳感器102中，對(duì)與氣體傳感器100相同的構(gòu)成要素，標(biāo)注與氣體傳感器100相同的標(biāo)號(hào)并適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線式氣體傳感器102具有通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線的紅外線輻射元件10、和紅外線檢測(cè)元件20e(參照?qǐng)D13)。由此，紅外線式氣體傳感器102能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。紅外線式氣體傳感器102具有第1受光元件221、第2受光元件222、第1光學(xué)系統(tǒng)3a、第2光學(xué)系統(tǒng)3b、驅(qū)動(dòng)電路5、和信號(hào)處理部4。紅外線檢測(cè)元件20e在一個(gè)熱電體基板21形成有兩組的受光用的第1熱電元件22和溫度補(bǔ)償用的第2熱電元件23的組，一組構(gòu)成第1檢測(cè)單元DE1，另一組構(gòu)成第2檢測(cè)單元DE2。并且，紅外線檢測(cè)元件20e由第1檢測(cè)單元DE1的第1熱電元件22構(gòu)成第1受光元件221，由第2檢測(cè)單元DE2的第1熱電元件22構(gòu)成第2受光元件222。驅(qū)動(dòng)電路5構(gòu)成為驅(qū)動(dòng)紅外線輻射元件10。第1光學(xué)系統(tǒng)3a配置在紅外線輻射元件10和第1受光元件221之間，第2光學(xué)系統(tǒng)3b配置在紅外線輻射元件10和第2受光元件222之間。信號(hào)處理部4構(gòu)成為根據(jù)第1受光元件221的第1輸出信號(hào)與第2受光元件222的第2輸出信號(hào)之比，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。以使包含基于檢測(cè)對(duì)象的氣體的紅外線的吸收波長(zhǎng)λg(參照?qǐng)D60)的方式設(shè)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11(參照?qǐng)D60)。以使包含參照波長(zhǎng)λr(參照?qǐng)D60)的方式設(shè)定第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12(參照?qǐng)D60)。第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11和第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12彼此不同，而且第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12比第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11靠短波長(zhǎng)側(cè)。紅外線式氣體傳感器102對(duì)于第1光學(xué)系統(tǒng)3a和第2光學(xué)系統(tǒng)3b，在比第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11和第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12雙方都靠長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)，對(duì)第1光學(xué)系統(tǒng)3a和第2光學(xué)系統(tǒng)3b設(shè)定共用的補(bǔ)償用的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd(參照?qǐng)D60)。紅外線式氣體傳感器102使第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的第1平均透射率小于第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的第2平均透射率。紅外線式氣體傳感器102以補(bǔ)償由于紅外線輻射元件10的輻射功率的變化而引起的比值的變化的方式分別設(shè)定第1平均透射率和第2平均透射率，所述比值是指基于第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11的紅外線的第1受光元件221的第1輸出信號(hào)成分、與基于第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12的紅外線的第2受光元件222的第2輸出信號(hào)成分之比。因此，紅外線式氣體傳感器102能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。優(yōu)選的是，紅外線式氣體傳感器102具有將第1受光元件221和第2受光元件222收納在外殼29中的紅外線檢測(cè)器2d。紅外線檢測(cè)器2d的基本結(jié)構(gòu)與紅外線檢測(cè)器2a相同，因而標(biāo)注與紅外線檢測(cè)器2a相同的標(biāo)號(hào)并適當(dāng)省略說(shuō)明。優(yōu)選的是，紅外線式氣體傳感器102具有配置在紅外線輻射元件10和紅外線檢測(cè)器2d之間的試料室6。另外，圖59中的帶箭頭的線示意地示出了從紅外光源1輻射的紅外線的行進(jìn)路徑。下面，更詳細(xì)地說(shuō)明紅外線式氣體傳感器102(以下也稱(chēng)為“氣體傳感器102”)的各個(gè)構(gòu)成要素，但適當(dāng)省略有關(guān)與氣體傳感器100相同的構(gòu)成要素的說(shuō)明。紅外線輻射元件10能夠輻射包括第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11、第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12及規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的寬廣頻帶的紅外線。優(yōu)選的是，驅(qū)動(dòng)電路5斷續(xù)地驅(qū)動(dòng)紅外線輻射元件10。優(yōu)選的是，驅(qū)動(dòng)電路5構(gòu)成為以一定的電壓或者一定的電流對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)。驅(qū)動(dòng)電路5例如在以一定的電壓對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)的情況下，以規(guī)定的時(shí)間間隔對(duì)紅外線輻射元件10施加規(guī)定的脈沖寬度的電壓(以下也稱(chēng)為“脈沖電壓”)。因此，氣體傳感器102從驅(qū)動(dòng)電路5向紅外線輻射元件10周期地施加脈沖電壓。紅外線輻射元件10被施加脈沖電壓的期間成為通電期間，未被施加脈沖電壓的期間成為非通電期間。驅(qū)動(dòng)電路5在以一定的電流對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)的情況下，以規(guī)定的時(shí)間間隔對(duì)紅外線輻射元件10提供規(guī)定的脈沖寬度的電流(以下也稱(chēng)為“脈沖電流”)。第1光學(xué)系統(tǒng)3a參與從紅外線輻射元件10輻射的紅外線入射到第1受光元件221的傳播路徑。并且，第2光學(xué)系統(tǒng)3b參與從紅外線輻射元件10輻射的紅外線入射到第2受光元件222的傳播路徑。優(yōu)選第1光學(xué)系統(tǒng)3a具有例如如圖40所示的第1光學(xué)濾波器31。并且，優(yōu)選第2光學(xué)系統(tǒng)3b具有例如如圖41所示的第2光學(xué)濾波器32。氣體傳感器102中的第1光學(xué)系統(tǒng)3a除第1光學(xué)濾波器31以外，還包括紅外光源1的窗孔19r、紅外光源1的窗部件19w、試料室6的反射面66、紅外線檢測(cè)器2d的窗孔29c、和紅外線檢測(cè)器2d的窗部件29w。并且，氣體傳感器102中的第2光學(xué)系統(tǒng)3b除第2光學(xué)濾波器32以外，還包括紅外光源1的窗孔19r、紅外光源1的窗部件19w、試料室6的反射面66、紅外線檢測(cè)器2d的窗孔29c、和紅外線檢測(cè)器2d的窗部件29w。第1光學(xué)濾波器31具有第1基板31s、第1濾波器部31a、第2濾波器部31b。以下，將第1濾波器部31a也稱(chēng)為第1狹窄頻帶透射濾波器部31a。并且，以下，將第2濾波器部31b也稱(chēng)為第1寬廣頻帶阻斷濾波器部31b。第1狹窄頻帶透射濾波器部31a以規(guī)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11的方式設(shè)計(jì)濾波器特性。第1寬廣頻帶阻斷濾波器部31b以使第1光學(xué)濾波器31在規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的透射率小于僅是第1狹窄頻帶透射濾波器部31a時(shí)的透射率的方式進(jìn)行設(shè)計(jì)。第1寬廣頻帶阻斷濾波器部31b是通過(guò)吸收規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線而進(jìn)行阻斷的濾波器。第1狹窄頻帶透射濾波器部31a例如能夠是由λ0/4多層膜34、波長(zhǎng)選擇層35、和λ0/4多層膜36構(gòu)成的帶通濾波器。λ0/4多層膜34是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜31aa、31ab交替地層壓而成的多層膜。λ0/4多層膜34的兩種薄膜31aa、31ab的光學(xué)膜厚被設(shè)定為λ0/4多層膜34的設(shè)計(jì)波長(zhǎng)λ0的1/4。λ0/4多層膜36是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜31aa、31ab交替地層壓而成的多層膜。λ0/4多層膜36的兩種薄膜31aa、31ab的光學(xué)膜厚被設(shè)定為λ0/4多層膜36的設(shè)計(jì)波長(zhǎng)λ0的1/4。波長(zhǎng)選擇層35介入在λ0/4多層膜34和λ0/4多層膜36之間。波長(zhǎng)選擇層35的光學(xué)膜厚是按照波長(zhǎng)選擇層35的選擇波長(zhǎng)決定的，與各個(gè)薄膜31aa、31ab的光學(xué)膜厚不同。波長(zhǎng)選擇層35的選擇波長(zhǎng)是吸收波長(zhǎng)λg。第1狹窄頻帶透射濾波器部31a對(duì)吸收波長(zhǎng)λg的紅外線的透射率優(yōu)選在50％以上，更優(yōu)選70％以上，最優(yōu)選90％以上。第2光學(xué)濾波器32具有第2基板32s、第3濾波器部32a、第4濾波器部32b。以下，將第3濾波器部32a也稱(chēng)為第2狹窄頻帶透射濾波器部32a。并且，以下，將第4濾波器部32b也稱(chēng)為第2寬廣頻帶阻斷濾波器部32b。第2狹窄頻帶透射濾波器部32a以規(guī)定第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12的方式設(shè)計(jì)濾波器特性。第2寬廣頻帶阻斷濾波器部32b以使第2光學(xué)濾波器32在規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的透射率小于僅是第2狹窄頻帶透射濾波器部32a時(shí)的透射率的方式進(jìn)行設(shè)計(jì)。第2寬廣頻帶阻斷濾波器部32b是通過(guò)吸收規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線而進(jìn)行阻斷的濾波器。第2狹窄頻帶透射濾波器部32a例如能夠是由λ0/4多層膜37、波長(zhǎng)選擇層38、和λ0/4多層膜39構(gòu)成的帶通濾波器。λ0/4多層膜37和λ0/4多層膜39的設(shè)定波長(zhǎng)λ0相同。λ0/4多層膜37是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜32aa、32ab交替地層壓而成的多層膜。λ0/4多層膜37的兩種薄膜32aa、32ab的光學(xué)膜厚被設(shè)定為λ0/4多層膜37的設(shè)計(jì)波長(zhǎng)λ0的1/4。λ0/4多層膜39是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜32aa、32ab交替地層壓而成的多層膜。λ0/4多層膜39的兩種薄膜32aa、32ab的光學(xué)膜厚被設(shè)定為λ0/4多層膜39的設(shè)計(jì)波長(zhǎng)λ0的1/4。波長(zhǎng)選擇層38介入在λ0/4多層膜37和λ0/4多層膜39之間。波長(zhǎng)選擇層38的光學(xué)膜厚是按照波長(zhǎng)選擇層38的選擇波長(zhǎng)決定的，與各個(gè)薄膜32aa、32ab的光學(xué)膜厚不同。波長(zhǎng)選擇層38的選擇波長(zhǎng)是參照波長(zhǎng)λr。參照波長(zhǎng)λr是指檢測(cè)對(duì)象的氣體及其它氣體不吸收的波長(zhǎng)。在假定檢測(cè)對(duì)象的氣體是CO2的情況下，關(guān)于其它氣體例如可以舉出H2O、CH4、CO、NO等。第2狹窄頻帶透射濾波器部32a對(duì)參照波長(zhǎng)λr的紅外線的透射率優(yōu)選在50％以上，更優(yōu)選70％以上，最優(yōu)選90％以上。第2狹窄頻帶透射濾波器部32a通過(guò)在λ0/4多層膜37和λ0/4多層膜39之間具有波長(zhǎng)選擇層38，能夠使在反射頻帶中局部存在透射波譜寬度比反射頻帶寬度狹窄的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λr-Δλr～λr+Δλr。第2寬廣頻帶阻斷濾波器部32b是將折射率不同、且光學(xué)膜厚相同的兩種薄膜32ba、32bb交替地層壓而成的多層膜。優(yōu)選的是，第1光學(xué)濾波器31將第1狹窄頻帶透射濾波器部31a的中心波長(zhǎng)設(shè)定為檢測(cè)對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)λg。并且，優(yōu)選的是，第2光學(xué)濾波器32將第2狹窄頻帶透射濾波器部32a的中心波長(zhǎng)設(shè)定為參照波長(zhǎng)λr。優(yōu)選的是，氣體傳感器102使吸收波長(zhǎng)λg與參照波長(zhǎng)λr之差比較小。因此，氣體傳感器102能夠減小檢測(cè)對(duì)象的氣體不存在時(shí)的、透射第1狹窄頻帶透射濾波器部31a的紅外線的光量與透射第2狹窄頻帶透射濾波器部32a的紅外線的光量之差。在檢測(cè)對(duì)象的氣體例如是二氧化碳的情況下，氣體傳感器102將吸收波長(zhǎng)λg設(shè)定為4.3μm，將參照波長(zhǎng)λr設(shè)定為例如3.9μm。信號(hào)處理部4具有：第1IC元件41，對(duì)第1受光元件221的第1輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理；和第2IC元件42，對(duì)第2受光元件222的第2輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理。并且，信號(hào)處理部4具有信號(hào)處理電路45，產(chǎn)生基于由第1放大電路放大后的第1輸出信號(hào)與由第2放大電路放大后的第2輸出信號(hào)之比的輸出。信號(hào)處理電路45根據(jù)由第1放大電路放大后的第1輸出信號(hào)與由第2放大電路放大后的第2輸出信號(hào)之比，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度，并產(chǎn)生與該濃度相當(dāng)?shù)妮敵?。另外，信?hào)處理部4也可以將該信號(hào)處理部4的所有部分設(shè)于紅外線檢測(cè)器2d的外殼29內(nèi)。并且，信號(hào)處理部4也可以將第1電流電壓變換電路、第1放大電路、第2電流電壓變換電路、第2放大電路及信號(hào)處理電路45集成化為單片的IC元件，并設(shè)于外殼29內(nèi)。并且，信號(hào)處理部4也可以適當(dāng)連接多個(gè)分立部件來(lái)構(gòu)成。并且，信號(hào)處理部4也可以將該信號(hào)處理部4的所有部分與紅外線檢測(cè)器2d分體設(shè)置。然而，在通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線的紅外線輻射元件10中，例如在由于該紅外線輻射元件10的特性隨時(shí)間的變化而使得相同輸入電力時(shí)的紅外光源1的到達(dá)溫度下降的情況下，輻射波譜(輻射能量的波長(zhǎng)依存性)變化。在圖60所示的示意圖中，用單點(diǎn)劃線表示溫度T1(例如700K)時(shí)的紅外線輻射元件10的輻射波譜，用雙點(diǎn)劃線表示溫度T2(<T1)時(shí)的紅外線輻射元件10的輻射波譜。另外，在圖60中，用實(shí)線表示第1光學(xué)系統(tǒng)3a的透射波譜(透射率的波長(zhǎng)依存性)，用虛線表示第2光學(xué)系統(tǒng)3b的透射波譜。根據(jù)圖60可知，在紅外線輻射元件10的輻射功率變化了的情況下，基于第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11的紅外線的第1受光元件221的第1輸出信號(hào)成分、與基于第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12的紅外線的第2受光元件222的第2輸出信號(hào)成分之比變化。優(yōu)選的是，根據(jù)紅外線輻射元件10的輻射波譜、由于第1光學(xué)系統(tǒng)3a及第2光學(xué)系統(tǒng)3b各自的濾波器的性能等而產(chǎn)生紅外線的漏泄的波長(zhǎng)區(qū)域，適當(dāng)設(shè)定補(bǔ)償用的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd。規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd例如能夠設(shè)為5μm～30μm的范圍，但不限于此，例如也可以設(shè)為10μm～25μm的范圍。氣體傳感器102使第1光學(xué)系統(tǒng)3a在規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的第1平均透射率小于第2光學(xué)系統(tǒng)3b在規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的第2平均透射率。“第1平均透射率”是指第1光學(xué)系統(tǒng)3a在規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率的平均值?！暗?平均透射率”是根據(jù)S2/S1的計(jì)算式求出的值。S1表示將紅外線波長(zhǎng)區(qū)域中從規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的最短波長(zhǎng)λc到最長(zhǎng)波長(zhǎng)λd之間的、透射率達(dá)到100％的假想透射波譜進(jìn)行積分得到的面積。總之，面積S1是由假想透射波譜和該假想透射波譜的橫軸(波長(zhǎng)軸)包圍的區(qū)域的面積。例如，在設(shè)最短波長(zhǎng)λc為10μm、設(shè)最長(zhǎng)波長(zhǎng)λd為25μm的情況下，S1＝100×(25-10)。S2表示利用分光器等實(shí)測(cè)的、將第1光學(xué)系統(tǒng)3a的透射波譜進(jìn)行積分得到的面積?？傊?，面積S2是由實(shí)測(cè)的透射波譜和該透射波譜的橫軸(波長(zhǎng)軸)包圍的區(qū)域的面積。氣體傳感器102也可以使第1平均透射率小于第2平均透射率。第1平均透射率例如能夠通過(guò)變更第1光學(xué)濾波器31的第1寬廣頻帶阻斷濾波器部31b的兩種薄膜31ba、31bb的層壓數(shù)、光學(xué)膜厚、材料的組合等而變化。第2平均透射率例如能夠通過(guò)變更第2光學(xué)濾波器32的第2寬廣頻帶阻斷濾波器部32b的兩種薄膜32ba、32bb的層壓數(shù)、光學(xué)膜厚、材料的組合等而變化。氣體傳感器102以補(bǔ)償因紅外線輻射元件10的輻射功率的變化而引起的比值的變化的方式，分別設(shè)定第1平均透射率和第2平均透射率，所述比值是指基于第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11的紅外線的第1受光元件221的第1輸出信號(hào)成分、與基于第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12的紅外線的第2受光元件222的第2輸出信號(hào)成分之比。因此，氣體傳感器102能夠降低紅外線輻射元件10的特性隨時(shí)間而劣化對(duì)長(zhǎng)期穩(wěn)定性造成的影響?？傊趯?duì)紅外線輻射元件10輸入相同輸入電力時(shí)的紅外線輻射元件10的到達(dá)溫度下降的情況下，即使是第1受光元件221及第2受光元件222各自的S/N比變化時(shí)，氣體傳感器102也能夠抑制第1受光元件221的S/N比與第2受光元件222的S/N比的相對(duì)比值的變化，能夠抑制測(cè)定精度的變化。因此，氣體傳感器102能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。氣體傳感器102根據(jù)第1受光元件221的第1輸出信號(hào)與第2受光元件222的第2輸出信號(hào)之比達(dá)到與檢測(cè)對(duì)象的氣體(例如二氧化碳)的濃度對(duì)應(yīng)的值，能夠高精度地求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。優(yōu)選的是，在氣體傳感器102中，驅(qū)動(dòng)電路5構(gòu)成為以一定的電壓或者一定的電流對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)。優(yōu)選的是，以滿(mǎn)足下述的式(11)的條件的方式，設(shè)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1平均透射率和第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2平均透射率。[數(shù)式9]式(11)其中，Qg1表示在紅外線輻射元件10的初始狀態(tài)下，在第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11通過(guò)并入射到第1受光元件221的紅外線能量。以下，設(shè)λ01＝λg-Δλg，λ11＝λg+Δλg。Qr1表示在紅外線輻射元件10的初始狀態(tài)下，在第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12通過(guò)并入射到第2受光元件222的紅外線能量。以下，設(shè)λ02＝λr-Δλr，λ12＝λr+Δλr。Qg2表示在紅外線輻射元件10隨時(shí)間而變化后的第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λg-Δλg～λg+Δλg通過(guò)并入射到第1受光元件221的紅外線能量。Qr2表示在紅外線輻射元件10隨時(shí)間而變化后的第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λr-Δλr～λr+Δλr通過(guò)并入射到第2受光元件222的紅外線能量。式(11)是以在紅外線輻射元件10的電阻值變化±10％時(shí)、使氣體傳感器102的測(cè)定精度的變化達(dá)到±3％以下的方式而決定的條件。由此，氣體傳感器102能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。紅外光源1具有上述的紅外線輻射元件10和外殼19，紅外光源1的電阻值是指紅外線輻射元件10的紅外線輻射層13的電阻、和外殼19的引線銷(xiāo)19d與紅外線輻射層13之間的電路的電阻之合成電阻的值。紅外光源1從增大在紅外線輻射層13產(chǎn)生的焦耳熱、使從紅外線輻射層13高效地輻射紅外線的角度考慮，優(yōu)選紅外線輻射層13的電阻值相比電路的電阻值足夠大。換言之，優(yōu)選紅外光源1的電路的電阻值較小到紅外光源1的電阻值被視為紅外線輻射層13的電阻值的程度。紅外線輻射元件10的電阻值是指如發(fā)熱并輻射紅外線的紅外線輻射層13那樣的電阻部的電阻值。另外，第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1平均透射率及第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2平均透射率也可以根據(jù)如下的思考方式來(lái)設(shè)定。在第1光學(xué)系統(tǒng)3a通過(guò)的紅外線的能量能夠用下述的式(12)表示。[數(shù)式10]式(12)其中，Pg1表示在第1光學(xué)系統(tǒng)3a通過(guò)的紅外線的能量。T1表示紅外線輻射元件10的絕對(duì)溫度[K]。λ表示波長(zhǎng)[μm]。P(λ，T1)表示基于弗蘭克的輻射原理的紅外線輻射元件10的分光輻射功率[W]。Tg(λ)表示第1光學(xué)系統(tǒng)3a的分光透射率[％]。式(12)是把除第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λg-Δλg～λg+Δλg和規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd以外的其它波長(zhǎng)區(qū)域的透射率視為0％時(shí)的算式。在第1光學(xué)系統(tǒng)3a通過(guò)的紅外線的能量與第1受光元件221的第1輸出信號(hào)的關(guān)系能夠用下述的式(13)表示。[數(shù)式11]Dg1∝Pg1式(13)其中，Dg1表示第1受光元件221的第1輸出信號(hào)。在第2光學(xué)系統(tǒng)3b通過(guò)的紅外線的能量能夠用下述的式(14)表示。[數(shù)式12]式(14)其中，Pr1表示在第2光學(xué)系統(tǒng)3b通過(guò)的紅外線的能量。T1表示紅外光源1的絕對(duì)溫度[K]。λ表示波長(zhǎng)[μm]。P(λ，T1)表示基于弗蘭克輻射原理的紅外線輻射元件10的分光輻射功率[W]。Tr(λ)表示第2光學(xué)系統(tǒng)3b的分光透射率[％]。式(14)是把除第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λr-Δλr～λr+Δλr和規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd以外的其它波長(zhǎng)區(qū)域的透射率視為0％時(shí)的算式。在第2光學(xué)系統(tǒng)3b通過(guò)的紅外線的能量與第2受光元件222的第2輸出信號(hào)的關(guān)系能夠用下述的式(15)表示。[數(shù)式13]Dr1∝Pr1式(15)其中，Dr1表示第2受光元件222的第2輸出信號(hào)。在氣體傳感器102中，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，第1受光元件221的第1輸出信號(hào)能夠用下述的式(16)表示。[數(shù)式14]式(16)其中，Dg1表示第1受光元件221的第1輸出信號(hào)。在氣體傳感器102中，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，第2受光元件222的第2輸出信號(hào)能夠用下述的式(17)表示。[數(shù)式15]式(17)在紅外線輻射元件10的絕對(duì)溫度由于紅外線輻射元件10隨時(shí)間的變化而從T1變化為T(mén)2的情況下，第1受光元件221的第1輸出信號(hào)能夠用下述的式(18)表示。[數(shù)式16]式(18)其中，Dg2表示第1受光元件221的第1輸出信號(hào)。并且，在紅外線輻射元件10的絕對(duì)溫度由于紅外線輻射元件10隨時(shí)間的變化而從T1變化為T(mén)2的情況下，第2受光元件222的第2輸出信號(hào)能夠用下述的式(19)表示。[數(shù)式17]式(19)用于消除因紅外線輻射元件10的絕對(duì)溫度從T1變化為T(mén)2而引起的誤差的理想條件，能夠用下述的式(20)表示。[數(shù)式18]式(20)式(20)能夠利用式(16)～式(19)變形為如下述的式(21)所示。[數(shù)式19]式(21)優(yōu)選的是，氣體傳感器102以滿(mǎn)足式(21)的方式設(shè)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λg-Δλg～λg+Δλg的透射率Tg(λ)、和第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率Tg(λ)。并且，優(yōu)選的是，氣體傳感器102以滿(mǎn)足式(21)的方式設(shè)定第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λr-Δλr～λr+Δλr的透射率Tr(λ)、和第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率Tr(λ)。優(yōu)選的是，以使檢測(cè)對(duì)象的氣體存在時(shí)的第1輸出信號(hào)的S/N比進(jìn)一步增大的方式，設(shè)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λg-Δλg～λg+Δλg的透射率Tg(λ)。優(yōu)選的是，以使在信號(hào)處理部4的誤差進(jìn)一步減小的方式，設(shè)定第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λr-Δλr～λr+Δλr的透射率Tr(λ)。優(yōu)選的是，以滿(mǎn)足式(11)的方式設(shè)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率Tg(λ)和第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率Tr(λ)。另外，在第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率Tg(λ)和第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率Tr(λ)雙方都是0％或者同等的情況下，只要設(shè)定在能夠得到氣體傳感器102的測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性的效果的范圍內(nèi)即可。在氣體傳感器102中，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，在假定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線不透射時(shí)，第1受光元件221的第1輸出信號(hào)能夠用下述的式(22)表示。[數(shù)式20]式(22)其中，Dg01表示第1受光元件221的第1輸出信號(hào)。Pg01表示在第1光學(xué)系統(tǒng)3a通過(guò)的紅外線的能量。并且，在氣體傳感器102中，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，在假定第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線不透射時(shí)，第2受光元件222的第2輸出信號(hào)能夠用下述的式(23)表示。[數(shù)式21]式(23)其中，Dr01表示第2受光元件222的第2輸出信號(hào)。Pr01表示在第2光學(xué)系統(tǒng)3b通過(guò)的紅外線的能量。并且，在氣體傳感器102中，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，在設(shè)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的透射率時(shí)，第1受光元件221的第1輸出信號(hào)能夠用下述的式(24)表示。[數(shù)式22]式(24)其中，Dg11表示第1受光元件221的第1輸出信號(hào)。Pg11表示在第1光學(xué)系統(tǒng)3a通過(guò)的紅外線的能量。并且，在氣體傳感器102中，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，在設(shè)定第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的透射率時(shí)，第2受光元件222的第2輸出信號(hào)能夠用下述的式(25)表示。[數(shù)式23]式(25)其中，Dr11表示第2受光元件222的第2輸出信號(hào)。Pr11表示在第2光學(xué)系統(tǒng)3b通過(guò)的紅外線的能量。并且，在氣體傳感器102中，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，在紅外線輻射元件10已隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而變化時(shí)，在假定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線不透射時(shí)，第1受光元件221的第1輸出信號(hào)能夠用下述的式(26)表示。[數(shù)式24]式(26)其中，Dg02表示第1受光元件221的第1輸出信號(hào)。Pg02表示在第1光學(xué)系統(tǒng)3a通過(guò)的紅外線的能量。在氣體傳感器102中，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，在紅外線輻射元件10已隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而變化時(shí)，在假定第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線不透射時(shí)，第2受光元件222的第2輸出信號(hào)能夠用下述的式(27)表示。[數(shù)式25]式(27)其中，Dr02表示第2受光元件222的第2輸出信號(hào)。Pr02表示在第2光學(xué)系統(tǒng)3b通過(guò)的紅外線的能量。在氣體傳感器102中，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，在紅外線輻射元件10已隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而變化時(shí)，在設(shè)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的透射率時(shí)，第1受光元件221的第1輸出信號(hào)能夠用下述的式(28)表示。[數(shù)式26]式(28)其中，Dg12表示第1受光元件221的第1輸出信號(hào)。Pg12表示在第1光學(xué)系統(tǒng)3a通過(guò)的紅外線的能量。在氣體傳感器102中，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，在紅外線輻射元件10已隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而變化時(shí)，在設(shè)定第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的透射率時(shí)，第2受光元件222的第2輸出信號(hào)能夠用下述的式(29)表示。[數(shù)式27]式(29)其中，Dr12表示第2受光元件222的第2輸出信號(hào)。Pr12表示在第2光學(xué)系統(tǒng)3b通過(guò)的紅外線的能量。用于消除因紅外線輻射元件10的絕對(duì)溫度從T1變化為T(mén)2而引起的誤差的理想條件，能夠以下述的式(30)為前提，用下述的式(31)表示。[數(shù)式28]式(30)[數(shù)式29]式(31)因此，氣體傳感器102以滿(mǎn)足下述的式(32)的方式，設(shè)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率、和第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率即可。[數(shù)式30]式(32)然而，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，第1受光元件221在第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λg-Δλg～λg+Δλg的紅外線的受光功率能夠用下述的式(33)表示。[數(shù)式31]式(33)其中，Qgs表示第1受光元件221的受光功率中、針對(duì)在第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λg-Δλg～λg+Δλg透射的紅外線的受光功率。并且，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，第2受光元件222在第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λr-Δλr～λr+Δλr的紅外線的受光功率能夠用下述的式(34)表示。[數(shù)式32]式(34)其中，Qrs表示針對(duì)在第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λr-Δλr～λr+Δλr透射的紅外線的受光功率。并且，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，第1受光元件221在規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的受光功率能夠用下述的式(35)表示。[數(shù)式33]式(35)其中，Qgr表示針對(duì)在第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd透射的紅外線的受光功率。并且，在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度是0[ppm]的情況下，第2受光元件222在規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的受光功率能夠用下述的式(36)表示。[數(shù)式34]式(36)其中，Qrr表示針對(duì)在第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd透射的紅外線的受光功率。優(yōu)選的是，氣體傳感器102設(shè)紅外線輻射元件的絕對(duì)溫度為T(mén)[K]、設(shè)吸收波長(zhǎng)為λg[μm]、設(shè)參照波長(zhǎng)為λr[μm]，并按照以上所述定義Qgr、Qrs及Qrr，在設(shè)R1＝Qrr/Qrs時(shí)，優(yōu)選以滿(mǎn)足下述的第1條件及第2條件的方式設(shè)定第1平均透射率和第2平均透射率。第1條件：[數(shù)式35]Qrg＞Qrr＞0第2條件：[數(shù)式36]時(shí)Qrr＞Qgr時(shí)此時(shí)，其中，x為系數(shù)。因此，氣體傳感器102能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。第1條件及第2條件是本申請(qǐng)發(fā)明人對(duì)氣體傳感器102的特性進(jìn)行各種分析，根據(jù)分析結(jié)果而導(dǎo)出的條件。進(jìn)行各種分析時(shí)的前提條件如下所述。根據(jù)紅外線輻射元件10的輻射能量分布依據(jù)于弗蘭克的輻射原理、以及第1光學(xué)系統(tǒng)3a及第2光學(xué)系統(tǒng)3b各自的透射率，假定紅外線輻射元件10的輻射溫度約在600～2500K。將第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λg-Δλg～λg+Δλg設(shè)定在對(duì)于紅外線式氣體傳感器而言實(shí)用的3～6μm左右的范圍內(nèi)。將規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd設(shè)為因水蒸氣導(dǎo)致的紅外線的吸收的影響較小的10～25μm。并且，假定因紅外線輻射元件10的隨時(shí)間變化而導(dǎo)致的紅外線輻射元件10的電阻值的允許變化比率為±3％。并且，假定紅外光源1以一定的電壓或者一定的電流進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)。氣體傳感器100的第3變形例的氣體傳感器的基本結(jié)構(gòu)例如與第3變形例的氣體傳感器102相同，不同之處在于，利用調(diào)整規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的阻斷率的第3光學(xué)濾波器構(gòu)成氣體傳感器102中的紅外光源1的窗部件19w。第3光學(xué)濾波器能夠構(gòu)成為在第3基板涂覆了防止反射膜的無(wú)反射涂層濾波器，該防止反射膜降低第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λg-Δλg～λg+Δλg及第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λr-Δλr～λr+Δλr的紅外線的反射率。第3光學(xué)濾波器例如能夠?qū)⑽詹ㄩL(zhǎng)λg和參照波長(zhǎng)λr的紅外線的反射率設(shè)為大致0％，能夠?qū)⒁?guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的反射率設(shè)為40～80％。第3基板能夠采用例如硅酮基板、鍺基板、藍(lán)寶石基板等。在第3變形例的氣體傳感器中，第3光學(xué)濾波器構(gòu)成第1光學(xué)系統(tǒng)3a及第2光學(xué)系統(tǒng)3b各自的一部分。因此，在第3變形例的氣體傳感器中，與第2變形例的氣體傳感器102相比，對(duì)于各個(gè)第1光學(xué)系統(tǒng)3a及第2光學(xué)系統(tǒng)3b而言，能夠進(jìn)一步降低規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的透射率。下面，根據(jù)圖59和圖61說(shuō)明第4變形例的紅外線式氣體傳感器102。第4變形例的紅外線式氣體傳感器102的基本結(jié)構(gòu)與第2變形例的紅外線式氣體傳感器102相同。第4變形例的紅外線式氣體傳感器102具有通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線的紅外線輻射元件10、和紅外線檢測(cè)元件20e(參照?qǐng)D13)。由此，第4變形例的紅外線式氣體傳感器102能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。第4變形例的紅外線式氣體傳感器102具有第1受光元件221、第2受光元件222、第1光學(xué)系統(tǒng)3a、第2光學(xué)系統(tǒng)3b、驅(qū)動(dòng)電路5、和信號(hào)處理部4。紅外線檢測(cè)元件20e在一個(gè)熱電體基板21形成有兩組的受光用的第1熱電元件22和溫度補(bǔ)償用的第2熱電元件23的組，一組構(gòu)成第1檢測(cè)單元DE1，另一組構(gòu)成第2檢測(cè)單元DE2。并且，紅外線檢測(cè)元件20e由第1檢測(cè)單元DE1的第1熱電元件22構(gòu)成第1受光元件221，由第2檢測(cè)單元DE2的第1熱電元件22構(gòu)成第2受光元件222。驅(qū)動(dòng)電路5構(gòu)成為驅(qū)動(dòng)紅外線輻射元件10。第1光學(xué)系統(tǒng)3a配置在紅外線輻射元件10和第1受光元件221之間。第2光學(xué)系統(tǒng)3b配置在紅外線輻射元件10和第2受光元件222之間。信號(hào)處理部4構(gòu)成為根據(jù)第1受光元件221的第1輸出信號(hào)與第2受光元件222的第2輸出信號(hào)之比，求出檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。以使包含基于檢測(cè)對(duì)象的氣體的紅外線的吸收波長(zhǎng)λg(參照?qǐng)D61)的方式設(shè)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11(參照?qǐng)D61)。以使包含參照波長(zhǎng)λr(參照?qǐng)D61)的方式設(shè)定第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12(參照?qǐng)D61)。第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11和第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12彼此不同，而且第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12比第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11靠長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)。第4變形例的紅外線式氣體傳感器102對(duì)于第1光學(xué)系統(tǒng)3a和第2光學(xué)系統(tǒng)3b，在比第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11和第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12雙方都靠長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)，對(duì)第1光學(xué)系統(tǒng)3a和第2光學(xué)系統(tǒng)3b設(shè)定共用的補(bǔ)償用的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd(參照?qǐng)D61)。第4變形例的紅外線式氣體傳感器102使第1光學(xué)系統(tǒng)3a的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的第1平均透射率大于第2光學(xué)系統(tǒng)3b的規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的第2平均透射率。第4變形例的紅外線式氣體傳感器102以補(bǔ)償由于紅外線輻射元件10的輻射功率的變化而引起的比值的變化的方式分別設(shè)定第1平均透射率和第2平均透射率，所述比值是指基于第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11的紅外線的第1受光元件221的第1輸出信號(hào)成分、與基于第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12的紅外線的第2受光元件222的第2輸出信號(hào)成分之比。因此，第4變形例的紅外線式氣體傳感器102能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。優(yōu)選的是，在紅外線式氣體傳感器102(以下也稱(chēng)為“氣體傳感器102”)中，驅(qū)動(dòng)電路5構(gòu)成為以一定的電壓或者一定的電流對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)。優(yōu)選的是，以滿(mǎn)足下述的式(37)的方式，設(shè)定第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1平均透射率和第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2平均透射率。[數(shù)式37]式(37)其中，Qg1表示在紅外線輻射元件10的初始狀態(tài)下，在第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λ01～λ11通過(guò)并入射到第1受光元件221的紅外線能量。以下，設(shè)λ01＝λg-Δλg，λ11＝λg+Δλg。Qr1表示在紅外線輻射元件10的初始狀態(tài)下，在第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λ02～λ12通過(guò)并入射到第2受光元件222的紅外線能量。以下，設(shè)λ02＝λr-Δλr，λ12＝λr+Δλr。Qg2表示在紅外線輻射元件10隨時(shí)間而變化后的第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λg-Δλg～λg+Δλg通過(guò)并入射到第1受光元件221的紅外線能量。Qr2表示在紅外線輻射元件10隨時(shí)間而變化后的第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λr-Δλr～λr+Δλr通過(guò)并入射到第2受光元件222的紅外線能量。式(37)是以在紅外線輻射元件10的電阻值變化±10％時(shí)、使第4變形例的氣體傳感器102的測(cè)定精度的變化達(dá)到±3％以下的方式而決定的條件。由此，第4變形例的氣體傳感器102能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。另外，第1光學(xué)系統(tǒng)3a的第1平均透射率及第2光學(xué)系統(tǒng)3b的第2平均透射率也可以根據(jù)如下的思考方式來(lái)設(shè)定。第4變形例的氣體傳感器102設(shè)紅外線輻射元件10的絕對(duì)溫度為T(mén)[K]、設(shè)吸收波長(zhǎng)為λg[μm]、設(shè)參照波長(zhǎng)為λr[μm]，并按照在第2變形例的氣體傳感器102中說(shuō)明的那樣定義Qgr、Qrs及Qrr，在設(shè)R2＝Qgr/Qrs時(shí)，優(yōu)選以滿(mǎn)足下述的第1條件及第2條件的方式設(shè)定第1平均透射率和第2平均透射率。第1條件：[數(shù)式38]Qrs＞Qgr＞0第2條件：[數(shù)式39]時(shí)Qgr＞Qrr時(shí)此時(shí)，其中，x為系數(shù)。因此，第4變形例的氣體傳感器102能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。第1條件及第2條件是本申請(qǐng)發(fā)明人對(duì)第4變形例的氣體傳感器102的特性進(jìn)行各種分析，根據(jù)分析結(jié)果而導(dǎo)出的條件。進(jìn)行各種分析時(shí)的前提條件如下所述。根據(jù)紅外線輻射元件10的輻射能量分布依據(jù)于弗蘭克的輻射原理、以及第1光學(xué)系統(tǒng)3a及第2光學(xué)系統(tǒng)3b各自的透射率，假定紅外線輻射元件10的輻射溫度約在600～2500K。將第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λg-Δλg～λg+Δλg設(shè)定在對(duì)于紅外線式氣體傳感器而言實(shí)用的3～6μm左右的范圍內(nèi)。將規(guī)定波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd設(shè)為因水蒸氣導(dǎo)致的紅外線的吸收的影響較小的10～25μm。并且，假定因紅外線輻射元件10的隨時(shí)間變化而導(dǎo)致的紅外線輻射元件10的電阻值的允許變化比率為±3％。并且，假定紅外線輻射元件10以一定的電壓或者一定的電流進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)。下面，根據(jù)圖62～圖69說(shuō)明第5變形例的紅外線式氣體傳感器105。另外，在紅外線式氣體傳感器105中，對(duì)于與紅外線式氣體傳感器100相同的構(gòu)成要素，標(biāo)注與紅外線式氣體傳感器100相同的標(biāo)號(hào)并適當(dāng)省略說(shuō)明。紅外線式氣體傳感器105具有通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線的紅外線輻射元件10、和紅外線檢測(cè)元件20a(參照?qǐng)D1)。由此，紅外線式氣體傳感器105能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。紅外線式氣體傳感器105具有光學(xué)系統(tǒng)3、驅(qū)動(dòng)電路5、控制部51和信號(hào)處理部4。光學(xué)系統(tǒng)3配置在紅外線輻射元件10和紅外線檢測(cè)元件20a之間。光學(xué)系統(tǒng)3在包含基于檢測(cè)對(duì)象的氣體的紅外線的吸收波長(zhǎng)λg(參照?qǐng)D63)的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb(參照?qǐng)D63)、和相比第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb被設(shè)定在長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)的第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd(參照?qǐng)D63)中，分別設(shè)定紅外線的透射率。光學(xué)系統(tǒng)3使第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的平均透射率小于第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb的平均透射率。驅(qū)動(dòng)電路5構(gòu)成為對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)?？刂撇?1按照時(shí)間序列控制驅(qū)動(dòng)電路5，使得驅(qū)動(dòng)電路5分別以使紅外線輻射元件10的輻射能量分布的峰值波長(zhǎng)彼此不同的第1驅(qū)動(dòng)條件和第2驅(qū)動(dòng)條件對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)。信號(hào)處理部4構(gòu)成為利用第1驅(qū)動(dòng)條件時(shí)的紅外線檢測(cè)元件20a的第1輸出信號(hào)與第2驅(qū)動(dòng)條件時(shí)的紅外線檢測(cè)元件20a的第2輸出信號(hào)之比，估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。因此，即使是紅外線輻射元件10的特性隨時(shí)間而變化時(shí)等，第1輸出信號(hào)和第2輸出信號(hào)也以相同的比率而變化，因而紅外線式氣體傳感器105能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。并且，與具有光軸不同的多個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的情況相比，紅外線式氣體傳感器105也能夠通過(guò)削減部件數(shù)目來(lái)實(shí)現(xiàn)低成本化。另外，控制部51根據(jù)弗蘭克的輻射原理，使紅外線輻射元件10的溫度在第1驅(qū)動(dòng)條件和第2驅(qū)動(dòng)條件時(shí)不同，由此使紅外線輻射元件10的輻射能量分布的峰值波長(zhǎng)彼此不同。另外，優(yōu)選的是，紅外線式氣體傳感器105具有：紅外光源1，將紅外線輻射元件10收納在外殼19(以下也稱(chēng)為“第1外殼19”)中；紅外線檢測(cè)器2e，將紅外線檢測(cè)元件20a收納在外殼29(以下也稱(chēng)為“第2外殼29”)中。紅外線檢測(cè)器2e具有光學(xué)濾波器30，該光學(xué)濾波器30配置在紅外線檢測(cè)元件20a的紅外光源1側(cè)，調(diào)整第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb及第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd各自的紅外線的透射率。第1外殼19具有使從紅外線輻射元件10輻射的紅外線透射的窗部件19w(以下也稱(chēng)為“第1窗部件19w”)。第2外殼29具有使從紅外線輻射元件10輻射的紅外線透射的窗部件29w(以下也稱(chēng)為“第2窗部件29w”)。優(yōu)選光學(xué)系統(tǒng)3包括第1窗部件19w、第2窗部件29w、和光學(xué)濾波器30。由此，紅外線式傳感器105能夠抑制紅外線輻射元件10隨時(shí)間的劣化，即使是紅外光源1的第1窗部件19w臟污和紅外線檢測(cè)器2e的第2窗部件29w臟污時(shí)等，也能夠使第1輸出信號(hào)和第2輸出信號(hào)以相同的比率而變化，因而能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。紅外線檢測(cè)元件20a具有僅一組的第1熱電元件22和第2熱電元件23的組。總之，紅外線檢測(cè)元件20a是僅一個(gè)通道的紅外線檢測(cè)元件。另外，優(yōu)選的是，紅外線式氣體傳感器105具有試料室6，該試料室6配置在紅外光源1和紅外線檢測(cè)器2e之間，能夠供檢測(cè)對(duì)象的氣體進(jìn)出。試料室6呈筒狀的形狀。優(yōu)選的是，紅外線式氣體傳感器105由試料室6的內(nèi)表面構(gòu)成將從紅外線輻射元件10輻射的紅外線反射的反射面66。光學(xué)系統(tǒng)3還包括反射面66。在這種情況下，紅外線式氣體傳感器105即使是因試料室6的變形而引起光軸的隨時(shí)間變化時(shí)等，也能夠使第1輸出信號(hào)和第2輸出信號(hào)以相同的比率而變化，因而能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。另外，圖62中的帶箭頭的線示意地示出了從紅外線輻射元件10輻射的紅外線的行進(jìn)路徑。試料室6是用于導(dǎo)入含有檢測(cè)對(duì)象的氣體的氣體或者檢測(cè)對(duì)象的氣體的盒。優(yōu)選的是，試料室6配置在紅外線輻射元件10和紅外線檢測(cè)元件20a之間，并且配置在紅外光源1和紅外線檢測(cè)器2e之間。紅外線式氣體傳感器105利用紅外線的吸收波長(zhǎng)λg根據(jù)氣體的種類(lèi)而不同的情況來(lái)檢測(cè)氣體。吸收波長(zhǎng)λg例如是，對(duì)于CH4約在3.3μm附近，對(duì)于CO2約在4.3μm附近，對(duì)于CO約在4.7μm附近，對(duì)于NO約在5.3μm附近。下面，更詳細(xì)地說(shuō)明紅外線式氣體傳感器105(以下也稱(chēng)為“氣體傳感器105”)的各個(gè)構(gòu)成要素。紅外線輻射元件10構(gòu)成為通過(guò)熱輻射來(lái)輻射紅外線，因此能夠輻射比紅外發(fā)光二極管寬廣的波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線。紅外線輻射元件10能夠輻射包括第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb和第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的寬廣頻帶的紅外線。紅外光源1能夠采用例如具有紅外線輻射元件10和收納紅外線輻射元件10的外殼19的紅外光源。外殼19具有：底座19a，安裝有紅外線輻射元件10；和蓋19b，以覆蓋紅外線輻射元件10的方式固定粘接于底座19a。外殼19具有：窗孔19r，形成于蓋19b中的紅外線輻射元件10的前方；以及窗部件19w，以封堵窗孔19r的方式配置，能夠使紅外線透射。外殼19具有2根引線銷(xiāo)19d作為對(duì)紅外線輻射元件10供電用的端子。紅外線輻射元件10的端子部16和引線銷(xiāo)19d通過(guò)金屬細(xì)線(未圖示)而電連接。窗部件19w具有使紅外線透射的功能。窗部件19w利用平板狀的硅酮基板構(gòu)成。窗部件19w不限于硅酮基板，例如也可以是鍺基板或硫化鋅基板等，但采用硅酮基板有利于低成本化。并且，也能夠采用透鏡作為窗部件19w。試料室6形成為筒狀。優(yōu)選的是，試料室6的多個(gè)通氣孔69貫穿與試料室6的軸向正交的方向而形成，該多個(gè)通氣孔69連通試料室6的內(nèi)部空間和外部。試料室6通過(guò)通氣孔69將來(lái)自外部的氣體導(dǎo)入、將內(nèi)部空間的氣體導(dǎo)出。氣體傳感器105在試料室6的軸向的一端部側(cè)配置有紅外光源1，在試料室6的軸向的另一端部側(cè)配置有紅外線檢測(cè)器2e。氣體傳感器105通過(guò)通氣孔69將例如來(lái)自外部的檢測(cè)對(duì)象的氣體或者包含檢測(cè)對(duì)象的氣體的氣體導(dǎo)入試料室6的內(nèi)部空間中。氣體傳感器105在位于試料室6的內(nèi)部空間中的檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度增加時(shí)，向紅外線檢測(cè)器2e入射的紅外線的光量下降，在位于試料室6的內(nèi)部空間中的檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度下降時(shí)，向紅外線檢測(cè)器2e入射的紅外線的光量增加。試料室6是通過(guò)將用包含該試料室6的中心軸的平面進(jìn)行分割的成對(duì)的盒半體64、65(參照?qǐng)D65～圖67)接合而形成的。盒半體64和盒半體65例如能夠利用從嵌合、超聲波熔敷、粘接等選擇的技術(shù)進(jìn)行接合。優(yōu)選的是，試料室6呈筒狀，其內(nèi)表面構(gòu)成使從紅外光源1輻射的紅外線反射的反射面66(參照?qǐng)D65、圖67)。氣體傳感器105具有保持紅外光源1的保持部件70(參照?qǐng)D65～圖67)，該保持部件70被安裝在試料室6上。并且，氣體傳感器105具有保持紅外線檢測(cè)器2e的保持部件80，該保持部件80被安裝在試料室6上。保持部件70具有蓋部71和壓板72。蓋部71呈圓盤(pán)狀，在試料室6側(cè)的端面設(shè)有供試料室6的一端部插入的凹部71a(參照?qǐng)D67)，在凹部71a的底部的中央形成有供紅外光源1插入的貫通孔71b。壓板72用于將紅外光源1按壓于蓋部71。將在壓板72的孔72b以及蓋部71的孔71d中通過(guò)的多個(gè)螺釘(未圖示)旋入試料室6的一端部的內(nèi)螺紋部64d、65d中，由此保持部件70被安裝在試料室6上。保持部件80具有蓋部81和壓板82。蓋部81呈圓盤(pán)狀，在試料室6側(cè)的端面設(shè)有供試料室6的另一端部插入的凹部81a，在凹部81a的底部的中央形成有供紅外線檢測(cè)器2e插入的貫通孔81b。壓板82用于將紅外線檢測(cè)器2e按壓于蓋部81。將在壓板82的孔82b以及蓋部81的孔81c中通過(guò)的螺釘(未圖示)旋入試料室6的另一端部的內(nèi)螺紋部(未圖示)中，由此保持部件80被安裝在試料室6上。試料室6的反射面66呈如下形狀，即以試料室6的中心軸上規(guī)定的長(zhǎng)軸為旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)橢圓體的長(zhǎng)軸方向的兩端部分別被與長(zhǎng)軸正交的兩個(gè)平面切割后得到的形狀。因此，在試料室6形成有與旋轉(zhuǎn)橢圓體(長(zhǎng)橢圓體)的一部分對(duì)應(yīng)的內(nèi)部空間。氣體傳感器105將紅外光源1配置在試料室6的中心軸上、所述旋轉(zhuǎn)橢圓體的一個(gè)焦點(diǎn)處，將紅外線檢測(cè)器2e配置在試料室6的中心軸上、比所述旋轉(zhuǎn)橢圓體的另一個(gè)焦點(diǎn)靠近紅外光源1的一側(cè)。另外，氣體傳感器105對(duì)在紅外光源1和紅外線檢測(cè)器2e之間配置的部件(試料室6等)的形狀和數(shù)量、配置等沒(méi)有特殊限定。光學(xué)系統(tǒng)3參與從紅外線輻射元件10輻射的紅外線入射到紅外線檢測(cè)元件20a的傳播路徑。優(yōu)選光學(xué)系統(tǒng)3具有例如如圖68所示的光學(xué)濾波器30。氣體傳感器105中的光學(xué)系統(tǒng)3除光學(xué)濾波器30以外，還包括紅外光源1的窗孔19r、紅外光源1的窗部件19w、試料室6的反射面66、紅外線檢測(cè)器2e的窗孔29c、紅外線檢測(cè)器2e的窗部件29w。光學(xué)濾波器30例如能夠形成為具有第1基板31s、第1濾波器部31a、第2濾波器部31b的結(jié)構(gòu)。第1基板31s是能夠使紅外線透射的基板。第1基板31s能夠采用例如硅酮基板、鍺基板、藍(lán)寶石基板、氧化鎂基板等。第1波器部31a以規(guī)定光學(xué)系統(tǒng)3的第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb的方式設(shè)計(jì)濾波器特性。第2濾波器部31b以使光學(xué)濾波器30在第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的透射率小于僅是第1濾波器部31a時(shí)的透射率的方式進(jìn)行設(shè)計(jì)。第2濾波器部31b是通過(guò)組合用于吸收第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的功能和用于反射第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的功能，調(diào)整紅外線的阻斷率的濾波器。第1濾波器部31a例如能夠是由λ0/4多層膜34、波長(zhǎng)選擇層35、和λ0/4多層膜36構(gòu)成的帶通濾波器。光學(xué)濾波器30例如是與紅外線式氣體傳感器100的第1光學(xué)濾波器31相同的結(jié)構(gòu)，因而省略詳細(xì)說(shuō)明。優(yōu)選的是，光學(xué)濾波器30將第1濾波器部31a的中心波長(zhǎng)設(shè)定為檢測(cè)對(duì)象的氣體的吸收波長(zhǎng)λg。優(yōu)選的是，對(duì)于氣體傳感器105，在檢測(cè)對(duì)象的氣體是例如二氧化碳的情況下，將吸收波長(zhǎng)λg設(shè)定為4.3μm。優(yōu)選的是，根據(jù)紅外線輻射元件10的輻射波譜、和由于光學(xué)系統(tǒng)3的光學(xué)濾波器30的設(shè)計(jì)上的分光透射特性等而產(chǎn)生紅外線的漏泄的波長(zhǎng)區(qū)域，適當(dāng)設(shè)定第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd。第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd例如能夠設(shè)為10μm～25μm的范圍。光學(xué)系統(tǒng)3在第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的平均透射率小于在第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λs的透射率。平均透射率是指光學(xué)系統(tǒng)3在第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率的平均值。平均透射率是根據(jù)S2/S1的計(jì)算式求出的值。S1表示將紅外線波長(zhǎng)區(qū)域中從第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的最短波長(zhǎng)λc到最長(zhǎng)波長(zhǎng)λd之間的、透射率達(dá)到100％的假想透射波譜進(jìn)行積分得到的面積?？傊?，面積S1是由假想透射波譜和該假想透射波譜的橫軸(波長(zhǎng)軸)包圍的區(qū)域的面積。例如，在設(shè)最短波長(zhǎng)λc為10μm、設(shè)最長(zhǎng)波長(zhǎng)λd為25μm的情況下，S1＝100×(25-10)。S2表示利用分光器等實(shí)測(cè)的、將光學(xué)系統(tǒng)3的透射波譜進(jìn)行積分得到的面積?？傊娣eS2是由實(shí)測(cè)的透射波譜和該透射波譜的橫軸(波長(zhǎng)軸)包圍的區(qū)域的面積。平均透射率例如能夠通過(guò)變更光學(xué)濾波器30的第2濾波器部31b的兩種薄膜31ba、31bb的層壓數(shù)、光學(xué)膜厚、材料的組合等而變化。紅外線檢測(cè)元件20a與實(shí)施方式1的紅外線檢測(cè)元件20a相同，因而省略說(shuō)明。在紅外線檢測(cè)器2e中，以使第2熱電元件23位于外殼29中窗部件29w的垂直投影區(qū)域外的方式規(guī)定窗部件29w的配置。由此，紅外線檢測(cè)器2e能夠?qū)⑼鈿?9中保持窗部件29w的遮光性的蓋29b的一部分，兼做用于使檢測(cè)對(duì)象的紅外線不入射到第2熱電元件23的遮光部。遮光部不限于此，例如也可以利用紅外線截止濾波器構(gòu)成，還可以利用金屬制的遮光板等構(gòu)成。紅外線檢測(cè)元件20a隨著環(huán)境溫度的變化而形成的第1熱電元件22和第2熱電元件23的溫度變化，與因檢測(cè)對(duì)象的紅外線入射而形成的第1熱電元件22的溫度變化和因紅外線的串?dāng)_而形成的第2熱電元件23的溫度變化相比，非常平緩。環(huán)境溫度是指紅外線檢測(cè)元件20a的周?chē)臏囟龋嘀竿鈿?9的周?chē)臏囟?。外?9的周?chē)臏囟仁峭獠繗怏w的溫度。紅外線檢測(cè)元件20a相對(duì)于檢測(cè)對(duì)象的紅外線向第1熱電元件22的入射，基本上只有第1熱電元件22被加熱，因而熱容量較小，熱時(shí)間常數(shù)較小。并且，紅外線檢測(cè)元件20a由于環(huán)境溫度的上升，紅外線檢測(cè)元件20a整體被加熱，因而熱容量較大，熱時(shí)間常數(shù)較大。尤其是紅外線檢測(cè)元件20a由于環(huán)境溫度的上升，外殼29和紅外線檢測(cè)元件20a被加熱，因而熱容量進(jìn)一步增大，熱時(shí)間常數(shù)增大。關(guān)于熱容量，在將相對(duì)于環(huán)境溫度的變化的第1熱電元件22的熱容量設(shè)為H1、將相對(duì)于檢測(cè)對(duì)象的紅外線的入射的第1熱電元件22的熱容量設(shè)為H2時(shí)，H1>H2。這是因?yàn)闊崛萘縃1是利用平緩的溫度變化將包括第1熱電元件22的周邊部在內(nèi)進(jìn)行加熱所必須的熱容量。另外，關(guān)于熱傳導(dǎo)，在將相對(duì)于環(huán)境溫度的變化的第1熱電元件22的導(dǎo)熱率設(shè)為G1、將相對(duì)于檢測(cè)對(duì)象的紅外線的入射的第1熱電元件22的導(dǎo)熱率設(shè)為G2時(shí)，G2>G1。這是因?yàn)闊醾鲗?dǎo)G2成為相對(duì)于外殼29的表面的第1熱電元件22的導(dǎo)熱率，是非常小的值。另外，關(guān)于熱時(shí)間常數(shù)，由于熱時(shí)間常數(shù)＝[熱容量]/[熱傳導(dǎo)]，因而在將相對(duì)于環(huán)境溫度的變化的第1熱電元件22的熱時(shí)間常數(shù)設(shè)為τ1、將相對(duì)于檢測(cè)對(duì)象的紅外線的入射的第1熱電元件22的熱時(shí)間常數(shù)設(shè)為τ2時(shí)，τ1>τ2。紅外線檢測(cè)元件20a如圖1A、圖1B及圖1C所示，通過(guò)僅在第1熱電元件22的周邊部形成切縫26，能夠使產(chǎn)生基于因檢測(cè)對(duì)象的紅外線的入射而形成的第1熱電元件22和第2熱電元件23的熱時(shí)間常數(shù)之差的靈敏度差。因此，紅外線檢測(cè)元件20a通過(guò)將第1熱電元件22和第2熱電元件23反向并聯(lián)連接，并將第1熱電元件22、第2熱電元件23分別用作受光用的熱電元件和溫度補(bǔ)償用的熱電元件，能夠減輕紅外線的串?dāng)_的影響。由此，紅外線檢測(cè)元件20a能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化。優(yōu)選的是，熱電體基板21的切縫26至少形成在第1熱電元件22的第2熱電元件23側(cè)。由此，紅外線檢測(cè)元件20a不僅能夠在低頻區(qū)域中使第1熱電元件22的靈敏度比第2熱電元件23高，而且能夠抑制熱量的串?dāng)_，能夠?qū)崿F(xiàn)第1熱電元件22的靈敏度的進(jìn)一步提高。熱量的串?dāng)_是指在第1熱電元件22和第2熱電元件23之間通過(guò)熱電體基板21傳遞熱量。紅外線檢測(cè)元件20a的切縫26只要是沿著第1熱電元件22的外周形成的即可，對(duì)切縫26的數(shù)量沒(méi)有特殊限定。紅外線檢測(cè)元件20a在第1熱電元件22的周邊部，在沿著第1熱電元件22的外周的方向上分開(kāi)形成多個(gè)切縫26，由此能夠提高機(jī)械強(qiáng)度。優(yōu)選的是，多個(gè)切縫26在沿著第1熱電元件22的外周的方向上以相等間隔形成。也可以是，在紅外線檢測(cè)元件20a中，第1表面電極22a的外周緣離開(kāi)切縫26的第1表面電極22a側(cè)的開(kāi)孔緣。由此，紅外線檢測(cè)元件20a能夠?qū)崿F(xiàn)高靈敏度化，并且更可靠地抑制第1表面電極22a和第1背面電極22b的短路。另外，優(yōu)選的是，在紅外線檢測(cè)元件20a中，第1背面電極22b的外周緣離開(kāi)切縫26的第1背面電極22b側(cè)的開(kāi)孔緣。由此，紅外線檢測(cè)元件20a能夠更可靠地抑制第1表面電極22a和第1背面電極22b的短路，能夠抑制電氣穩(wěn)定性的下降。紅外線檢測(cè)器2e的外殼29具有底座29a和固定粘接于底座29a的蓋29b。外殼29在蓋29b中的紅外線檢測(cè)元件20a的前方形成有窗孔29c。紅外線檢測(cè)器2e的外殼29具有：窗孔29c，形成于蓋29b的頂板部29ba；窗部件29w，以封堵窗孔29c的方式配置，能夠使紅外線透射。窗部件29w利用平板狀的硅酮基板構(gòu)成。窗部件29w形成為比窗孔29c的開(kāi)口尺寸稍大的矩形板狀。優(yōu)選窗部件29w利用導(dǎo)電性材料(例如焊錫、導(dǎo)電性粘接劑等)固定粘接在蓋29b上。由此，紅外線檢測(cè)器2e能夠?qū)⒋安考?9w設(shè)為與蓋29b大致相同的電位，具有不易受到外來(lái)的電磁噪聲的影響的優(yōu)點(diǎn)。窗部件29w不限于硅酮基板，例如也可以是鍺基板或硫化鋅基板等，但采用硅酮基板有利于低成本化。紅外線檢測(cè)器2e通過(guò)將光學(xué)濾波器30收納在外殼29內(nèi)，能夠使光學(xué)濾波器30不暴露在外殼29的外側(cè)的外部氣體中。因此，紅外線檢測(cè)器2e能夠抑制光學(xué)濾波器30暴露于外部氣體中。因此，紅外線檢測(cè)器2e能夠抑制光學(xué)濾波器30的濾波器特性隨時(shí)間而變化。信號(hào)處理部4具有對(duì)紅外線檢測(cè)元件20a的輸出信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理的IC元件40。優(yōu)選的是，IC元件40被收納在紅外線檢測(cè)器2e的外殼29內(nèi)。在這種情況下，優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2e例如將安裝了紅外線檢測(cè)元件20a和IC元件40的基板43收納在外殼29內(nèi)。優(yōu)選的是，紅外線檢測(cè)器2e在基板43的第1面143側(cè)配置有紅外線檢測(cè)元件20a，在基板43的第2面144側(cè)配置有IC元件40。IC元件40是裸裝片，通過(guò)芯片焊接件被固定在設(shè)于基板43的第2面144的凹部43y的內(nèi)底面上。芯片焊接件例如能夠使用環(huán)氧樹(shù)脂。在底座29a貫穿該底座29a的厚度方向設(shè)有3根引線銷(xiāo)29d。3根引線銷(xiāo)29d中的1根引線銷(xiāo)29d被用作IC元件40的接地端子，另1根引線銷(xiāo)29d被用作對(duì)IC元件40提供動(dòng)作電壓的電源端子，剩余的1根引線銷(xiāo)29d被用作取出IC元件40的輸出信號(hào)的端子。IC元件40例如能夠具有電流電壓變換電路和放大電路而構(gòu)成。電流電壓變換電路是對(duì)紅外線檢測(cè)元件20a的輸出信號(hào)即電流信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換并輸出的電路。放大電路是將在電流電壓變換電路中被實(shí)施電流-電壓變換后的輸出信號(hào)放大并輸出的電路。信號(hào)處理部4具有產(chǎn)生基于由IC元件40放大后的輸出信號(hào)的輸出的信號(hào)處理電路45。信號(hào)處理電路45利用第1驅(qū)動(dòng)條件時(shí)的紅外線檢測(cè)元件20a的第1輸出信號(hào)與第2驅(qū)動(dòng)條件時(shí)的紅外線檢測(cè)元件20a的第2輸出信號(hào)之比，估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度，并產(chǎn)生與該濃度相當(dāng)?shù)妮敵?。信?hào)處理電路45具有A/D變換電路45a和濃度運(yùn)算部45b。A/D變換電路45a對(duì)IC元件40的輸出信號(hào)進(jìn)行模擬-數(shù)字變換并輸出。另外，信號(hào)處理部4也可以將該信號(hào)處理部4的所有部分設(shè)在紅外線檢測(cè)器2e的外殼29內(nèi)。并且，信號(hào)處理部4也可以將電流電壓變換電路和放大電路和信號(hào)處理電路集成化為單片的IC元件，并設(shè)在外殼29內(nèi)。并且，信號(hào)處理部4也可以是適當(dāng)連接多個(gè)分立部件而構(gòu)成。并且，信號(hào)處理部4也可以將該信號(hào)處理部4的所有部分與紅外線檢測(cè)器2e分體設(shè)置。氣體傳感器105也可以具有顯示部8，顯示由濃度運(yùn)算部45d估計(jì)出的濃度。顯示部8例如能夠由液晶顯示裝置、或有機(jī)EL顯示裝置、或使用了發(fā)光二極管的顯示裝置等構(gòu)成。另外，氣體傳感器105通過(guò)調(diào)整從驅(qū)動(dòng)電路5向紅外線輻射元件10的紅外線輻射層13提供的輸入電力，能夠改變?cè)诩t外線輻射層13產(chǎn)生的焦耳熱，能夠改變紅外線輻射層13的溫度。因此，在氣體傳感器105中，通過(guò)改變紅外線輻射層13的溫度，能夠改變紅外線輻射層13的輻射能量分布的峰值波長(zhǎng)。驅(qū)動(dòng)電路5通過(guò)對(duì)紅外線輻射元件10施加規(guī)定脈沖寬度的電壓(以下也稱(chēng)為“脈沖電壓”)，對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)。驅(qū)動(dòng)電路5構(gòu)成為將來(lái)自控制部51的控制信號(hào)升壓來(lái)生成脈沖電壓。驅(qū)動(dòng)電路5具有將作為控制信號(hào)而提供的輸入電壓升壓的升壓功能?？刂菩盘?hào)是指示規(guī)定脈沖寬度的信號(hào)。紅外線輻射元件10在被施加脈沖電壓的期間處于通電期間，在未被施加脈沖電壓的期間處于非通電期間。驅(qū)動(dòng)電路5例如在以脈沖電壓為驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)的情況下，對(duì)紅外線輻射元件10斷續(xù)地施加驅(qū)動(dòng)電壓。驅(qū)動(dòng)電路5構(gòu)成為分別以第1驅(qū)動(dòng)條件、第2驅(qū)動(dòng)條件對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。在第1驅(qū)動(dòng)條件中，例如能夠設(shè)定成使紅外線輻射元件10以第1溫度發(fā)熱并輻射紅外線。在第2驅(qū)動(dòng)條件中，例如能夠設(shè)定成使紅外線輻射元件10以第2溫度發(fā)熱并輻射紅外線。第1溫度和第2溫度是彼此不同的溫度。在氣體傳感器105中，將第2溫度設(shè)定為比第1溫度低的溫度。在氣體傳感器105中，將第1溫度設(shè)定為700K，將第2溫度設(shè)定為500K，這些數(shù)值僅是一例，并沒(méi)有特殊限定。驅(qū)動(dòng)電路5將第1驅(qū)動(dòng)條件中的驅(qū)動(dòng)電壓作為第1脈沖電壓PV1(參照?qǐng)D64)，將第2驅(qū)動(dòng)條件中的驅(qū)動(dòng)電壓作為第2脈沖電壓PV2(參照?qǐng)D64)。第1脈沖電壓PV1是最大值為V1、規(guī)定脈沖寬度為W1的脈沖電壓。第2脈沖電壓PV2是最大值為V2、規(guī)定脈沖寬度為W2的脈沖電壓。在圖63中，用虛線示出了驅(qū)動(dòng)電路5以第1驅(qū)動(dòng)條件對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的紅外線輻射元件10的輻射波譜SL1。并且，在圖63中，用虛線示出了驅(qū)動(dòng)電路5以第2驅(qū)動(dòng)條件對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的紅外線輻射元件10的輻射波譜SL2。而且，在圖63中，用實(shí)線示出了光學(xué)系統(tǒng)3的透射波譜(透射率的波長(zhǎng)依存性)。根據(jù)圖63可知，在紅外線輻射元件10的輻射能量分布變化時(shí)，基于第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb的紅外線的紅外線檢測(cè)元件20a的輸出信號(hào)變化。作為IC元件40的輸出信號(hào)，包括驅(qū)動(dòng)電路5以第1驅(qū)動(dòng)條件對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的IC元件40的輸出信號(hào)(以下，也稱(chēng)為“第1輸出信號(hào)”)、和驅(qū)動(dòng)電路5以第2驅(qū)動(dòng)條件對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的IC元件40的輸出信號(hào)(以下，也稱(chēng)為“第2輸出信號(hào)”)。IC元件40的輸出信號(hào)是對(duì)紅外線檢測(cè)元件20a的輸出信號(hào)進(jìn)行電流-電壓變換并放大后的信號(hào)。圖64示意地表示從驅(qū)動(dòng)電路5施加給紅外線輻射元件10的驅(qū)動(dòng)電壓的波形、與IC元件40的輸出信號(hào)的關(guān)系。在圖64中，示意地示出了紅外線輻射元件10被以第1脈沖電壓PV1進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的第1脈沖電壓PV1與IC元件40的第1輸出信號(hào)的關(guān)系。并且，在圖64中，示意地示出了紅外線輻射元件10被以第2脈沖電壓PV2進(jìn)行驅(qū)動(dòng)時(shí)的第2沖電壓PV2與IC元件40的第2輸出信號(hào)的關(guān)系。氣體傳感器105的IC元件40的放大電路是可變放大電路，以減小在檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度為0ppm的狀態(tài)下的第1輸出信號(hào)與第2輸出信號(hào)之差的方式，使驅(qū)動(dòng)電路5在第1驅(qū)動(dòng)條件時(shí)和第2驅(qū)動(dòng)條件時(shí)的可變放大電路的放大率變化。控制部51將使驅(qū)動(dòng)電路5以第1驅(qū)動(dòng)條件對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行驅(qū)動(dòng)時(shí)的可變放大電路的放大率設(shè)為第1放大率，將使驅(qū)動(dòng)電路5以第2驅(qū)動(dòng)條件對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行驅(qū)動(dòng)時(shí)的可變放大電路的放大率設(shè)為第2放大率。第2放大率是比第1放大率大的值。將第2放大率設(shè)定為第1放大率的4倍的值，但不限于此。氣體傳感器105通過(guò)控制部51控制紅外線輻射元件10被以第1驅(qū)動(dòng)條件進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的第1放大率、和紅外線輻射元件10被以第2驅(qū)動(dòng)條件進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的第2放大率。由此，氣體傳感器105能夠抑制A/D變換電路45a的輸入值的分辨率下降。濃度估計(jì)部45d構(gòu)成為根據(jù)分別在A/D變換電路45a被數(shù)字化后的第1輸出信號(hào)與第2輸出信號(hào)之比，估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。優(yōu)選的是，信號(hào)處理電路45的A/D變換電路45a及濃度估計(jì)部45d各自的動(dòng)作定時(shí)由控制部51控制。在這種情況下，優(yōu)選的是，氣體傳感器105例如通過(guò)在一個(gè)微處理器中安裝適宜的程序來(lái)構(gòu)成控制部51和信號(hào)處理電路45。氣體傳感器105將第1脈沖電壓PV1的脈沖寬度W1、第2脈沖電壓PV2的脈沖寬度W2分別設(shè)定為、比紅外線檢測(cè)元件20a按照紅外線檢測(cè)元件20a接受到的紅外線量的時(shí)間變化而輸出電流的響應(yīng)時(shí)間短的時(shí)間。紅外線輻射元件10僅在被施加驅(qū)動(dòng)電壓的期間通電，在未被施加驅(qū)動(dòng)電壓的期間停止通電。紅外線輻射元件10及紅外光源1由位于紅外線輻射元件10的開(kāi)口部11a內(nèi)的氣體構(gòu)成氣體層。關(guān)于構(gòu)成氣體層的氣體，優(yōu)選惰性氣體。惰性氣體能夠采用例如N2氣體、Ar氣體等。紅外線輻射元件10及紅外光源1通過(guò)具有氣體層，能夠在通電期間使紅外線輻射層13有效地升溫，能夠?qū)崿F(xiàn)規(guī)定脈沖寬度的縮短，并且確保期望的紅外線量。并且，紅外線輻射元件10及紅外光源1通過(guò)具有氣體層，即使是在非通電期間，也能夠在比通電期間長(zhǎng)的期間內(nèi)輻射紅外線。氣體傳感器105能夠通過(guò)規(guī)定脈沖寬度的縮短，實(shí)現(xiàn)低功耗。紅外線輻射層13在通電開(kāi)始時(shí)，隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)而溫度上升。紅外線輻射層13的紅外線量隨著溫度上升而呈曲線式增加。紅外線輻射層13的溫度在通電斷開(kāi)時(shí)下降。紅外線輻射層13的紅外線量隨著溫度下降而緩慢減少。在紅外線輻射元件10的非通電期間中，紅外線輻射層13輻射的紅外線量的隨時(shí)間而變化的頻率成分是根據(jù)具有氣體層的紅外光源1的構(gòu)造上的熱時(shí)間常數(shù)而決定的。將紅外線輻射元件10的非通電期間設(shè)定為比紅外線輻射元件10的通電期間足夠長(zhǎng)的時(shí)間。例如，氣體傳感器105例如將通電期間設(shè)定在約5ms～30ms的范圍內(nèi)，將非通電期間設(shè)定在約5s～30s的范圍內(nèi)。另外，與紅外線輻射元件10的通電期間中的紅外線量的隨時(shí)間而變化的頻率成分相比，紅外線輻射元件10的非通電期間中的紅外線量的隨時(shí)間而變化的頻率成分屬于低頻。氣體傳感器105即使是在非通電期間中，也能夠在比通電期間長(zhǎng)的期間內(nèi)輻射紅外線，因而在非通電期間中能夠?qū)崿F(xiàn)利用了低頻且減少的紅外線的低頻響應(yīng)。在氣體傳感器105中，第1驅(qū)動(dòng)條件是峰值波長(zhǎng)屬于比第2驅(qū)動(dòng)條件時(shí)短的波長(zhǎng)的驅(qū)動(dòng)條件。優(yōu)選的是，信號(hào)處理部4的濃度估計(jì)部45d根據(jù)下述的式(38)的濃度換算式估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。[數(shù)式40]Con1＝A1×R12+B1×R1+C1式(38)在式(38)中，Con1表示檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度[ppm]。R1表示設(shè)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度為0ppm時(shí)的值為1，對(duì)將第1輸出信號(hào)除以第2輸出信號(hào)得到的值R進(jìn)行正規(guī)化后的值，A1、B1及C1分別為系數(shù)。系數(shù)A1、B1及C1的一例如下述表1所示。表1表示設(shè)檢測(cè)對(duì)象的氣體為CO2、設(shè)第1溫度為700K、設(shè)第2溫度為500K時(shí)的系數(shù)A1、B1及C1的一例。[表1]A1856733B1-1765421C1908690氣體傳感器105具有根據(jù)式(38)的濃度換算式估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度的濃度估計(jì)部45d，由此能夠提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。氣體傳感器105在設(shè)檢測(cè)對(duì)象的氣體的吸收系數(shù)為α、設(shè)氣體的濃度為C、設(shè)紅外線的光路長(zhǎng)度為L(zhǎng)時(shí)，能夠根據(jù)朗伯-比爾定律，用下述的式(39)、式(40)表示IC元件40的第1輸出信號(hào)Sg1、第2輸出信號(hào)Sg2。[數(shù)式41]Sg1∝P11×10-α·C·L+P12式(39)在式(39)中，將紅外線輻射元件10以達(dá)到第1溫度的第1驅(qū)動(dòng)條件進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的紅外線檢測(cè)元件20a的受光功率中、第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb的紅外線的受光功率設(shè)為P11、第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的受光功率設(shè)為P12。[數(shù)式42]Sg2∝P21×10-α·C·L+P22式(40)在式(40)中，將紅外線輻射元件10以達(dá)到第2溫度的第2驅(qū)動(dòng)條件進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的紅外線檢測(cè)元件20a的受光功率中、第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb的紅外線的受光功率設(shè)為P21、第2透射波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線的受光功率設(shè)為P22。將第1輸出信號(hào)除以第2輸出信號(hào)得到的值R，能夠用下述的式(41)表示。[數(shù)式43]式(41)在式(41)中，在Sg1＝Sg2的情況下，能夠用下述的式(42)表示第1輸出信號(hào)除以第2輸出信號(hào)得到的值R。[數(shù)式44]式(42)因此，在氣體傳感器105中，能夠根據(jù)(P11-P21)的變化量估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。另外，氣體傳感器105也能夠采用放大率一定的電路作為IC元件40的放大電路。在這種情況下，氣體傳感器105例如如圖70所示，通過(guò)使第2脈沖電壓PV2的脈沖寬度W2比第1脈沖電壓PV1的脈沖寬度W1長(zhǎng)，能夠抑制A/D變換電路45a的輸入值的分辨率下降。圖70示意地表示從驅(qū)動(dòng)電路5施加給紅外線輻射元件10的驅(qū)動(dòng)電壓的波形、與IC元件40的輸出信號(hào)的關(guān)系。在圖70中，示意地示出了紅外線輻射元件10被以第1脈沖電壓PV1進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的第1脈沖電壓PV1與IC元件40的第1輸出信號(hào)的關(guān)系。并且，在圖70中，示意地示出了紅外線輻射元件10被以第2脈沖電壓PV2進(jìn)行驅(qū)動(dòng)時(shí)的第2沖電壓PV2與IC元件40的第2輸出信號(hào)的關(guān)系。氣體傳感器105也可以構(gòu)成為，由濃度估計(jì)部45d根據(jù)下述的式(43)的濃度換算式估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。[數(shù)式45]Con2＝A2×X2+B2×X+C2式(43)在式(43)中，Con2表示檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度。X表示將第1輸出信號(hào)除以基準(zhǔn)值得到的值。A2、B2及C2分別為系數(shù)?；鶞?zhǔn)值是根據(jù)將第1輸出信號(hào)除以第2輸出信號(hào)得到的值和Con1估計(jì)出的、假定檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度為0ppm而且紅外線輻射元件10被以第1驅(qū)動(dòng)條件進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的紅外線檢測(cè)元件20a的輸出信號(hào)的估計(jì)值。系數(shù)A2、B2及C2的一例如下述表2所示。表2表示設(shè)檢測(cè)對(duì)象的氣體為CO2、設(shè)第1溫度為700K、設(shè)第2溫度為500K時(shí)的系數(shù)A2、B2及C2的一例。[表2]A2113789B2-243532C2129747氣體傳感器105由于P11根據(jù)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度而衰減的比率較大，因而通過(guò)具有根據(jù)式(43)的濃度換算式估計(jì)檢測(cè)對(duì)象的氣體的濃度的濃度估計(jì)部45d，能夠減小測(cè)定精度的偏差。氣體傳感器105不限于交替地進(jìn)行基于第1驅(qū)動(dòng)條件的對(duì)紅外線輻射元件10的脈沖驅(qū)動(dòng)、和基于第2驅(qū)動(dòng)條件的對(duì)紅外線輻射元件10的脈沖驅(qū)動(dòng)。例如，也可以是，氣體傳感器105使以第2驅(qū)動(dòng)條件對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)的次數(shù)、比以第1驅(qū)動(dòng)條件對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)的次數(shù)少。因此，氣體傳感器105能夠進(jìn)一步抑制功耗。在這種情況下，氣體傳感器105可以利用以第2驅(qū)動(dòng)條件進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的第2輸出信號(hào)、與該第2驅(qū)動(dòng)條件的脈沖驅(qū)動(dòng)最接近的以第1驅(qū)動(dòng)條件進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)時(shí)的第1輸出信號(hào)、和Con1，估計(jì)基準(zhǔn)值。氣體傳感器105通過(guò)將進(jìn)行多個(gè)第1輸出信號(hào)的平均處理而得到的值用作第1輸出信號(hào)，能夠進(jìn)一步提高測(cè)定精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。另外，氣體傳感器105也可以利用例如調(diào)整第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的阻斷率的光學(xué)濾波器(以下稱(chēng)為“第2光學(xué)濾波器”)等構(gòu)成紅外光源1的窗部件19w。第2光學(xué)濾波器能夠構(gòu)成為在第3基板涂覆了防止反射膜的無(wú)反射涂層濾波器，該防止反射膜降低第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb的紅外線的反射率。第2光學(xué)濾波器例如能夠?qū)⑽詹ㄩL(zhǎng)λg的紅外線的反射率設(shè)為大致0％，能夠?qū)⒌?透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的紅外線的反射率設(shè)為40～80％。第3基板能夠采用例如硅酮基板、鍺基板、藍(lán)寶石基板等。氣體傳感器105在紅外光源1的窗部件19w由第2光學(xué)濾波器構(gòu)成的情況下，由于第2光學(xué)濾波器構(gòu)成光學(xué)系統(tǒng)3的一部分，因而容易進(jìn)行第1透射波長(zhǎng)區(qū)域λa～λb和第2透射波長(zhǎng)區(qū)域λc～λd的透射率的調(diào)整。另外，在氣體傳感器105中，驅(qū)動(dòng)電路5不限于以脈沖電壓驅(qū)動(dòng)紅外線輻射元件10的結(jié)構(gòu)，也可以構(gòu)成為以脈沖電流對(duì)紅外線輻射元件10進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)。圖71A和圖71B表示圖54A和圖54B所示的紅外線輻射元件10的變形例的紅外線輻射元件10b。另外，對(duì)于變形例的紅外線輻射元件10b，對(duì)與紅外線輻射元件10相同的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)，并適當(dāng)省略說(shuō)明。另外，在圖71A中省略了保護(hù)層14的圖示。并且，在圖71A中，用雙點(diǎn)劃線表示半導(dǎo)體基板11的表面111中的開(kāi)口部11a的、向薄膜部12的第2面12d的垂直投影區(qū)域的第1外周線11aa。并且，在圖71A中，用雙點(diǎn)劃線表示半導(dǎo)體基板11的背面112中的開(kāi)口部11a的、向薄膜部12的第2面12d的垂直投影區(qū)域的第2外周線11ab。紅外線輻射元件10b形成為開(kāi)口部11a的開(kāi)口形狀為矩形狀、而且第1外周線11aa和第2外周線11ab是大小彼此不同的矩形狀。在紅外線輻射元件10b中，半導(dǎo)體基板11的背面112中的開(kāi)口部11a的開(kāi)口面積大于半導(dǎo)體基板11的表面111中的開(kāi)口部11a的開(kāi)口面積。因此，第2外周線11ab大于第1外周線11aa。半導(dǎo)體基板11的開(kāi)口部11a形成為開(kāi)口面積隨著離開(kāi)薄膜部12而逐漸增大的形狀。紅外線輻射層13在俯視觀察時(shí)的形狀呈長(zhǎng)方形狀。紅外線輻射層13以使長(zhǎng)邊方向與一對(duì)的端子部16、16的排列方向一致的方式配置。紅外線輻射層13的長(zhǎng)邊方向的長(zhǎng)度比沿著紅外線輻射層13的短邊方向的方向上的第1外周線11aa的邊的長(zhǎng)度長(zhǎng)。并且，紅外線輻射層13的短邊方向的長(zhǎng)度比沿著紅外線輻射層13的短邊方向的方向上的第1外周線11aa的邊的長(zhǎng)度短。變形例的紅外線輻射元件10b使紅外線輻射層13的兩端部13b、13b分別在一對(duì)的端子部16、16的排列方向上跨越第1外周線11aa的內(nèi)側(cè)和外側(cè)。另外，在紅外線輻射元件10b中，紅外線輻射層13中的兩端部13b、13b之間的中央部13a直接形成于薄膜部12的第2面12d上。紅外線輻射層13的中央部13a位于第1外周線11aa的內(nèi)側(cè)。并且，紅外線輻射元件10b使第1基底層17和第2基底層18的層壓膜介入在兩端部13b、13b與薄膜部12之間。因此，紅外線輻射元件10b的第1基底層17和第2基底層18也跨越第1外周線11aa的內(nèi)側(cè)和外側(cè)。第2基底層18優(yōu)選利用熔點(diǎn)比半導(dǎo)體基板11高、而且具有導(dǎo)電性的材料形成。第1基底層17優(yōu)選利用與紅外線輻射層13相同的材料形成。紅外線輻射元件10b通過(guò)利用由彼此相同的材料形成的第1基底層17和紅外線輻射層13的端部13b夾持第2基底層18，能夠降低第2基底層18的內(nèi)部的應(yīng)力。優(yōu)選第1基底層17的厚度與紅外線輻射層13的端部13b的厚度相同。第1基底層17及第2基底層18形成為長(zhǎng)方形狀。例如，紅外線輻射元件10b在設(shè)半導(dǎo)體基板11的材料為Si、設(shè)紅外線輻射層13的材料為T(mén)aN的情況下，能夠?qū)⒌?基底層17的材料設(shè)為T(mén)aN，將第2基底層18的材料設(shè)為T(mén)a。并且，紅外線輻射元件10b能夠采用Al-Si作為各配線15及各端子部16的材料。另外，紅外線輻射元件10b的配線15通過(guò)形成于保護(hù)層14的連接孔14b而形成于紅外線輻射層13的端部13b上，并與紅外線輻射層13電連接。并且，紅外線輻射元件10b的端子部16通過(guò)形成于保護(hù)層14的孔14c而形成于薄膜部12上。保護(hù)層14的孔14c位于比第2外周線11ab靠外側(cè)的位置。因此，紅外線輻射元件10b能夠抑制在紅外線輻射層13產(chǎn)生起因于端子部16的應(yīng)力。并且，紅外線輻射元件10b能夠?qū)雽?dǎo)體基板11用作將在端子部16等產(chǎn)生的熱量釋放到外部的散熱器。另外，端子部16構(gòu)成焊盤(pán)電極。在紅外線輻射元件10b中，設(shè)半導(dǎo)體基板11的厚度為525μm，設(shè)氧化硅膜12a的厚度為0.2μm，設(shè)氮化硅膜12b的厚度為0.2μm，設(shè)紅外線輻射層13的厚度為0.03μm。并且，在紅外線輻射元件10b中，設(shè)第1基底層17的厚度為0.03μm，設(shè)第2基底層18的厚度為0.07μm，設(shè)保護(hù)層14的厚度為0.3μm，設(shè)端子部16的厚度為1.5μm。紅外線輻射元件10b的各個(gè)構(gòu)成要素各自的數(shù)值僅是一例，并沒(méi)有特殊限定。紅外線輻射元件10b的薄膜部12由氧化硅膜12a和氮化硅膜12b的層壓膜構(gòu)成。紅外線輻射元件10b在氧化硅膜12a和氮化硅膜12b中使彼此的內(nèi)部應(yīng)力的朝向彼此相反，與僅由氧化硅膜12a構(gòu)成薄膜部12的情況相比，氮化硅膜12b作為使紅外線輻射層13的形狀穩(wěn)定的形狀穩(wěn)定層發(fā)揮作用。另外，紅外光源1不限于具有紅外線輻射元件10和外殼19的結(jié)構(gòu)，例如也能夠采用鹵素?zé)舻?。在這種情況下，鹵素?zé)舻臒艚z構(gòu)成紅外線輻射元件。在上述的實(shí)施方式1～3等中說(shuō)明的各個(gè)附圖是示意圖，各個(gè)構(gòu)成要素的尺寸和厚度的各個(gè)比值不一定反映了實(shí)際的尺寸比。并且，在實(shí)施方式等中記載的材料、數(shù)值等僅用于示例優(yōu)選的方式，并不限定于此。另外，本申請(qǐng)發(fā)明能夠在不脫離其技術(shù)思想的范圍的情況下適當(dāng)對(duì)結(jié)構(gòu)實(shí)施變更。