本發(fā)明涉及材料
技術(shù)領(lǐng)域：
，具體而言，涉及一種阻隔膜氣阻性能的測(cè)試裝置及測(cè)試方法。
背景技術(shù)：
：對(duì)于現(xiàn)行的水汽阻隔膜的氣阻性能的檢測(cè)，國際通用的是采用mocon公司的mocon儀器，其wvtr測(cè)試極限為：10-5g/m2·day，是現(xiàn)階段公認(rèn)的最先進(jìn)的水氧透過率測(cè)試方法。mocon使用紅外傳感器法測(cè)試水蒸氣透過率，它使用阻隔膜樣品內(nèi)外兩側(cè)恒定的濃度差作為水蒸氣透過的推動(dòng)力，并在測(cè)試腔的內(nèi)側(cè)通入干燥的n2，通過阻隔膜滲透過的水蒸氣隨著通入的n2流傳輸?shù)郊t外傳感器，并進(jìn)行測(cè)量。對(duì)于水汽透氣率(mvtr)測(cè)試，可以進(jìn)一步地通過在阻隔膜的內(nèi)側(cè)抽高真空，在膜的外側(cè)通入水蒸氣，使得阻隔膜兩側(cè)存在一定的水蒸氣濃度差和壓力差，在同樣的濃度差的情況下，相比于上述mocon測(cè)試方法，水的透過率會(huì)加大，從而對(duì)測(cè)試精度有一定的改善，使精度能夠達(dá)到10-6g/m2·day。隨著現(xiàn)階段對(duì)電子產(chǎn)品以及產(chǎn)品包裝的性能需求以及使用壽命要求越來越高，譬如oled的封裝要求為wvtr＜10-6g/m2·day。而現(xiàn)階段的測(cè)試方法極限僅能達(dá)到10-6g/m2·day，無法達(dá)到產(chǎn)品需求所能測(cè)試的范圍；并且，使用mocon設(shè)備進(jìn)行阻隔膜的wvtr檢測(cè)，通常需要三天左右的時(shí)間來完成一次測(cè)試實(shí)驗(yàn)，耗費(fèi)時(shí)間長(zhǎng)，測(cè)試效率低下。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的主要目的在于提供一種阻隔膜氣阻性能的測(cè)試裝置及測(cè)試方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中阻隔膜氣阻性能的測(cè)試裝置無法達(dá)到產(chǎn)品需求所能測(cè)試的范圍的問題。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種阻隔膜氣阻性能的測(cè)試裝置，包括：小分子氣體儲(chǔ)罐，小分子氣體的分子直徑小于水分子的直徑；測(cè)試腔，與小分子氣體儲(chǔ)罐連接，測(cè)試腔中設(shè)置有阻隔膜，且阻隔膜將測(cè)試腔分為第一腔室和第二腔室，第一腔室上設(shè)置有測(cè)試腔的進(jìn)氣口，第二腔室上設(shè)置有測(cè)試腔的出氣口；第一壓力閥，設(shè)置于連接進(jìn)氣口的管道上，用于控制進(jìn)氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)；第二壓力閥，設(shè)置于連接出氣口的管道上，用于控制出氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)；殘余氣體分析儀，與出氣口連接，用于在捕捉小分子氣體后測(cè)量阻隔膜的氣體透過率。進(jìn)一步地，測(cè)試裝置還包括與進(jìn)氣口和/或出氣口連接的真空泵。進(jìn)一步地，測(cè)試裝置還包括真空計(jì)，真空計(jì)設(shè)置于連接進(jìn)氣口的管道上和/或連接出氣口的管道上。進(jìn)一步地，測(cè)試裝置還包括與測(cè)試腔并聯(lián)設(shè)置的充氣閥。進(jìn)一步地，殘余氣體分析儀為質(zhì)譜儀。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種阻隔膜氣阻性能的測(cè)試方法，包括以下步驟：將上述的測(cè)試裝置中小分子氣體儲(chǔ)罐中的小分子氣體通入測(cè)試腔中；控制第一壓力閥使進(jìn)氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第一壓強(qiáng)；控制第二壓力閥使出氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第二壓強(qiáng)，且第二壓強(qiáng)小于第一壓強(qiáng)；利用殘余氣體分析儀捕捉小分子氣體，并根據(jù)小分子氣體的量獲取阻隔膜的氣體透過率。進(jìn)一步地，第一壓強(qiáng)與第二壓強(qiáng)之間的差值為10-6～0.1mbar。進(jìn)一步地，測(cè)試裝置為上述的測(cè)試裝置，在將小分子氣體儲(chǔ)罐中的小分子氣體通入測(cè)試腔中的步驟之前，測(cè)試方法還包括利用真空泵對(duì)測(cè)試腔進(jìn)行抽真空處理。進(jìn)一步地，測(cè)試裝置為上述的測(cè)試裝置，在利用殘余氣體分析儀測(cè)量并獲取阻隔膜的氣體透過率的步驟之后，測(cè)試方法還包括利用充氣閥向測(cè)試腔進(jìn)行充氣處理。進(jìn)一步地，在利用真空泵對(duì)測(cè)試腔進(jìn)行抽真空處理的步驟中，通過抽真空處理使測(cè)試腔的壓強(qiáng)小于10-4mbar；在利用充氣閥向測(cè)試腔進(jìn)行充氣處理的步驟中，通過充氣處理使測(cè)試腔內(nèi)的壓強(qiáng)大于10-6mbar。進(jìn)一步地，小分子氣體包括h2，he，ne和ar中的任一種或多種。進(jìn)一步地，小分子氣體為he，且殘余氣體分析儀為質(zhì)譜儀。應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案，本發(fā)明提供了一種包括小分子氣體儲(chǔ)罐、測(cè)試腔、第一壓力閥、第二壓力閥和殘余氣體分析儀的阻隔膜氣阻性能的測(cè)試裝置，由于上述小分子氣體儲(chǔ)罐能夠向測(cè)試腔通入分子直徑小于水分子的小分子氣體作為測(cè)試介質(zhì)，并能夠通過控制第一壓力閥和第二壓力閥，使進(jìn)氣口與阻隔膜之間的小分子氣體壓強(qiáng)大于出氣口與阻隔膜之間的小分子氣體壓強(qiáng)，從而使通入測(cè)試腔的小分子氣體能夠通過阻隔膜并從出氣口流經(jīng)殘余氣體分析儀為殘余氣體分析儀所捕捉以進(jìn)行分析以獲得阻隔膜的氣體透過率，并將氣體透過率作為阻隔膜的氣阻性能的測(cè)試結(jié)果，利用上述測(cè)試裝置獲得的阻隔膜氣阻性能的精度可以達(dá)到10-7g/m2·day，而且由于安裝有阻隔膜的測(cè)試腔管道內(nèi)的空間很小，使得抽真空速度大幅提升，從而實(shí)現(xiàn)了測(cè)試效果的快速響應(yīng)，提高了測(cè)試速度。除了上面所描述的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)之外，本發(fā)明還有其它的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。下面將參照?qǐng)D，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。附圖說明構(gòu)成本發(fā)明的一部分的說明書附圖用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：圖1示出了本發(fā)明實(shí)施方式所提供的一種阻隔膜氣阻性能的測(cè)試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2示出了圖1所提供的測(cè)試裝置中測(cè)試腔的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式需要說明的是，在不沖突的情況下，本發(fā)明中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明。為了使本
技術(shù)領(lǐng)域：
的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分的實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。需要說明的是，本發(fā)明的說明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對(duì)象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可以互換，以便這里描述的本發(fā)明的實(shí)施例。此外，術(shù)語“包括”和“具有”以及他們的任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含，例如，包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元，而是可包括沒有清楚地列出的或?qū)τ谶@些過程、方法、產(chǎn)品或設(shè)備固有的其它步驟或單元。正如
背景技術(shù)：
中所介紹的，現(xiàn)有技術(shù)中現(xiàn)階段的測(cè)試方法極限僅能達(dá)到10-6g/m2·day，無法達(dá)到產(chǎn)品需求所能測(cè)試的范圍。本發(fā)明的發(fā)明人針對(duì)上述問題進(jìn)行研究，提出了一種阻隔膜氣阻性能的測(cè)試裝置，如圖1和圖2所示，包括：小分子氣體儲(chǔ)罐10，小分子氣體的分子直徑小于水分子的直徑；測(cè)試腔20，與小分子氣體儲(chǔ)罐10連接，測(cè)試腔20中設(shè)置有阻隔膜100，且阻隔膜100將測(cè)試腔20分為第一腔室210和第二腔室220，第一腔室210上設(shè)置有測(cè)試腔20的進(jìn)氣口，第二腔室220上設(shè)置有測(cè)試腔20的出氣口；第一壓力閥310，設(shè)置于連接進(jìn)氣口的管道上，用于控制進(jìn)氣口與阻隔膜100之間的小分子氣體的壓強(qiáng)；第二壓力閥320，設(shè)置于連接出氣口的管道上，用于控制出氣口與阻隔膜100之間的小分子氣體的壓強(qiáng)；殘余氣體分析儀40，與出氣口連接，用于在捕捉小分子氣體后測(cè)量阻隔膜100的氣體透過率。上述阻隔膜性能的測(cè)試裝置中由于小分子氣體儲(chǔ)罐能夠向測(cè)試腔通入分子直徑小于水分子的小分子氣體作為測(cè)試介質(zhì)，并能夠通過控制第一壓力閥和第二壓力閥，使進(jìn)氣口與阻隔膜之間的小分子氣體壓強(qiáng)大于出氣口與阻隔膜之間的小分子氣體壓強(qiáng)，從而使通入測(cè)試腔的小分子氣體能夠通過阻隔膜并從出氣口流經(jīng)殘余氣體分析儀并可為殘余氣體分析儀所捕捉后進(jìn)行分析以獲得阻隔膜的氣體透過率，并將氣體透過率作為阻隔膜的氣阻性能的測(cè)試結(jié)果，利用上述測(cè)試裝置獲得的阻隔膜氣阻性能的精度可以達(dá)到10-7g/m2·day；而且，由于安裝有阻隔膜的測(cè)試腔管道內(nèi)的空間很小，使得抽真空速度大幅提升，從大氣壓到10-4mbar僅需要五分鐘，且使整個(gè)測(cè)試過程所需時(shí)間控制在十分鐘之內(nèi)，而mocon儀器測(cè)試阻隔膜的氣阻性能則需要幾天甚至幾十天，從而采用上述阻隔膜性能的測(cè)試裝置實(shí)現(xiàn)了測(cè)試效果的快速響應(yīng)，提高了測(cè)試速度。在本發(fā)明的上述測(cè)試裝置中，測(cè)試腔20用來設(shè)置阻隔膜100并通過通入測(cè)試介質(zhì)對(duì)阻隔膜100的氣體透過率進(jìn)行測(cè)試。如圖2所示，阻隔膜100設(shè)置于測(cè)試腔20中并將測(cè)試腔20左右分隔為兩個(gè)腔室，第一腔室210與測(cè)試腔20的進(jìn)氣口連通，第二腔室220與測(cè)試腔20的出氣口連通。在本發(fā)明的上述測(cè)試裝置中，殘余氣體分析儀40可以為質(zhì)譜儀。如當(dāng)選擇he作為測(cè)試用的氣體時(shí)，殘余氣體分析儀40為he質(zhì)譜儀。由于he的分子直徑(0.26nm)小于水分子的直徑(0.4nm)，化學(xué)性能穩(wěn)定，背景成分含量低，抽氣效果比h2要好，而且he質(zhì)譜儀對(duì)he的靈敏度高達(dá)10-14～10-15pa·m3/，因此采用he作為滲透測(cè)量氣體，通過he質(zhì)譜儀檢測(cè)到he的濃度，從而得到阻隔膜100的氣體透過率，并將氣體透過率作為阻隔膜的氣阻性能的測(cè)試結(jié)果，且得到的阻隔膜的氣阻性能(例如評(píng)測(cè)水蒸汽透過率或者氧氣透過率)的測(cè)量精度可達(dá)到10-7數(shù)量級(jí)或者更高。在本發(fā)明的上述測(cè)試裝置中，測(cè)試裝置還可以包括與進(jìn)氣口和/或出氣口連接的真空泵50。上述測(cè)試裝置可以直接與測(cè)試腔20的進(jìn)氣口和/或出氣口連接，也可以設(shè)置于與上述進(jìn)氣口和/或出氣口連接的管道上，且上述真空泵50用于在向測(cè)試腔20通入小分子氣體前對(duì)測(cè)試腔20進(jìn)行抽真空處理，以減少測(cè)試腔20中由于存在大分子氣體而導(dǎo)致的對(duì)阻隔膜100透過率測(cè)試的影響。優(yōu)選地，測(cè)試裝置還包括真空計(jì)60，真空計(jì)60設(shè)置于連接進(jìn)氣口的管道上和/或連接出氣口的管道上。上述真空計(jì)60用于觀察測(cè)試裝置中的真空狀態(tài)，通過觀察真空計(jì)60以調(diào)整真空泵50的泵速，從而提高對(duì)測(cè)試腔20抽真空的效率，并在滿足真空條件時(shí)停止真空泵50對(duì)測(cè)試腔20的抽真空處理。在上述設(shè)置有真空泵50的測(cè)試裝置中，測(cè)試裝置還可以包括與測(cè)試腔20并聯(lián)設(shè)置的充氣閥70。上述充氣閥70可以直接與測(cè)試腔20的進(jìn)氣口和/或出氣口連接，也可以與設(shè)置有測(cè)試腔20的管道并聯(lián)連接。由于測(cè)試腔20內(nèi)壓強(qiáng)較低可能會(huì)導(dǎo)致無法開腔室取膜，或阻隔膜100再取出過程中由于壓強(qiáng)低而導(dǎo)致的性能降低，因此在測(cè)量得到阻隔膜100的氣體透過率后，利用上述充氣閥70向測(cè)試腔20中通入氣體，可以通過提高測(cè)試腔20中的壓強(qiáng)，來降低測(cè)試腔20內(nèi)壓強(qiáng)較低帶來的對(duì)阻隔膜100的影響，當(dāng)上述測(cè)試裝置中設(shè)置有真空計(jì)60時(shí)，可以通過真空計(jì)60觀察測(cè)試裝置中的壓強(qiáng)狀態(tài)，通過觀察真空計(jì)60以調(diào)整充氣閥70的氣體流速，從而提高對(duì)測(cè)試腔20充氣的效率，并在當(dāng)測(cè)試腔20內(nèi)的壓強(qiáng)達(dá)到一定程度時(shí)再停止充氣閥70向測(cè)試腔20的充氣處理。在本發(fā)明的上述測(cè)試裝置中還包括有真空閥80，真空閥80設(shè)置于與測(cè)試腔20連接的管路上，用于調(diào)節(jié)連接測(cè)試腔20的管路中的氣體壓強(qiáng)，通過調(diào)節(jié)管路中的壓強(qiáng)實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)試腔20內(nèi)氣體壓強(qiáng)的調(diào)節(jié)。上述真空閥80的數(shù)量可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選擇。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述測(cè)試裝置中包括兩個(gè)真空閥80，一個(gè)真空閥80與測(cè)試腔20的進(jìn)氣口連接，另一個(gè)真空閥80與測(cè)試腔20并聯(lián)連接。設(shè)置多個(gè)真空閥80，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)測(cè)試腔20內(nèi)氣體壓強(qiáng)更為有效地調(diào)節(jié)。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種阻隔膜氣阻性能的測(cè)試方法，包括以下步驟：將上述的測(cè)試裝置中小分子氣體儲(chǔ)罐中的小分子氣體通入測(cè)試腔中；控制第一壓力閥使進(jìn)氣口與 阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第一壓強(qiáng)；控制第二壓力閥使出氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第二壓強(qiáng)，且第二壓強(qiáng)小于第一壓強(qiáng)；利用殘余氣體分析儀捕捉小分子氣體，并測(cè)量小分子氣體的量以獲取阻隔膜的氣體透過率。由于上述阻隔膜氣阻性能的測(cè)試方法中小分子氣體儲(chǔ)罐能夠向測(cè)試腔通入分子直徑小于水分子的小分子氣體作為測(cè)試介質(zhì)，并能夠通過控制第一壓力閥和第二壓力閥，使進(jìn)氣口與阻隔膜之間的小分子氣體壓強(qiáng)大于出氣口與阻隔膜之間的小分子氣體壓強(qiáng)，從而使通入測(cè)試腔的小分子氣體能夠通過阻隔膜并從出氣口流經(jīng)殘余氣體分析儀的檢測(cè)端口，檢測(cè)端口可以捕捉小分子氣體以進(jìn)行分析以獲得阻隔膜的氣體透過率，并將氣體透過率作為阻隔膜的氣阻性能的測(cè)試結(jié)果，利用上述測(cè)試裝置獲得的阻隔膜氣阻性能的精度可以達(dá)到10-7g/m2·day，而且，由于安裝有阻隔膜的測(cè)試腔管道內(nèi)的空間很小，使得抽真空速度大幅提升，從大氣壓到10-4mbar僅需要五分鐘，且使整個(gè)測(cè)試過程所需時(shí)間控制在十分鐘之內(nèi)，而mocon儀器測(cè)試阻隔膜的氣阻性能則需要幾天甚至幾十天，從而采用上述阻隔膜氣阻性能的測(cè)試方法實(shí)現(xiàn)了測(cè)試效果的快速響應(yīng)，提高了測(cè)試速度。下面將結(jié)合圖1和圖2更詳細(xì)地描述根據(jù)本申請(qǐng)?zhí)峁┑淖韪裟庾栊阅艿臏y(cè)試方法的示例性實(shí)施方式。然而，這些示例性實(shí)施方式可以由多種不同的形式來實(shí)施，并且不應(yīng)當(dāng)被解釋為只限于這里所闡述的實(shí)施方式。應(yīng)當(dāng)理解的是，提供這些實(shí)施方式是為了使得本申請(qǐng)的公開徹底且完整，并且將這些示例性實(shí)施方式的構(gòu)思充分傳達(dá)給本領(lǐng)域普通技術(shù)人員。首先，將上述測(cè)試裝置中小分子氣體儲(chǔ)罐10中的小分子氣體通入測(cè)試腔20中。優(yōu)選地，選擇化學(xué)性質(zhì)為惰性的小分子氣體，包括h2，he，ne和ar中的任一種或多種。由于水分子的分子直徑較大以及水蒸氣、氧氣的化學(xué)性質(zhì)活潑(水蒸氣、氧氣容易與阻隔膜的材料發(fā)生反應(yīng))，在水分子透過量很少的情況下，設(shè)備的測(cè)量誤差以及操作過程中的誤差相對(duì)就比較大，造成測(cè)量的精度不夠，因此本申請(qǐng)通過采用直徑小于水分子直徑的上述小分子氣體，從而在后續(xù)將小分子氣體通入測(cè)試腔20中時(shí)，能夠提高氣體對(duì)于阻隔膜100的透過量，從而降低設(shè)備的測(cè)量誤差以及操作過程中的誤差，進(jìn)而提高了測(cè)量的精度。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，在將小分子氣體儲(chǔ)罐10中的小分子氣體通入測(cè)試腔20中的步驟之前，測(cè)試方法還包括利用真空泵50對(duì)測(cè)試腔20進(jìn)行抽真空處理。在向測(cè)試腔20通入小分子氣體前利用上述真空泵50對(duì)測(cè)試腔20進(jìn)行抽真空處理，以減少測(cè)試腔20中由于存在大分子氣體而導(dǎo)致的對(duì)阻隔膜100透過率測(cè)試的影響。當(dāng)測(cè)試裝置還包括真空計(jì)60時(shí)，可以利用真空計(jì)60觀察測(cè)試裝置中的真空狀態(tài)，并根據(jù)觀察到的真空度來調(diào)整真空泵50的泵速，從而提高對(duì)測(cè)試腔20抽真空的效率，并在滿足真空條件時(shí)停止真空泵50對(duì)測(cè)試腔20的抽真空處理。在上述優(yōu)選的實(shí)施方式中，更為優(yōu)選地，通過抽真空處理使測(cè)試腔20的壓強(qiáng)小于10-4mbar，最為優(yōu)選地，使測(cè)試腔20的壓強(qiáng)小于10-5mbar。將壓強(qiáng)值限定在上述優(yōu)選的范圍內(nèi)，能夠保證測(cè)試腔20內(nèi)殘留少量的大分子氣體，從而進(jìn)一步減少了測(cè)試腔20中由于存在大分子氣體而導(dǎo)致的對(duì)阻隔膜100透過率測(cè)試精度的影響。在完成將上述測(cè)試裝置中小分子氣體儲(chǔ)罐10中的小分子氣體通入測(cè)試腔20中的步驟之后，控制第一壓力閥310使進(jìn)氣口與阻隔膜100之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第一壓強(qiáng)，并控制第二壓力閥320使出氣口與阻隔膜100之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第二壓強(qiáng)，且第二壓強(qiáng)小于第一壓強(qiáng)。通過控制進(jìn)氣口與阻隔膜100之間的小分子氣體的壓強(qiáng)大于出氣口與阻隔膜100之間的小分子氣體的壓強(qiáng)，能夠使從進(jìn)氣口進(jìn)入測(cè)試腔20內(nèi)的小分子氣體能夠更為有效地穿過阻隔膜100并從出氣口流出。優(yōu)選地，第一壓強(qiáng)與第二壓強(qiáng)之間的差值為10-6～0.1mbar。更為優(yōu)選地，第一壓強(qiáng)與第二壓強(qiáng)之間的差值為0.01mbar。將第一壓強(qiáng)與第二壓強(qiáng)之間的差值限定在上述優(yōu)選的參數(shù)范圍內(nèi)，能夠提高小分子氣體對(duì)阻隔膜100的穿透效率，從而通過進(jìn)一步提高氣體對(duì)于阻隔膜100的透過量，更為有效地提高了測(cè)量阻隔膜100的氣體透過率的精度。在完成控制第一壓力閥310使進(jìn)氣口與阻隔膜100之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第一壓強(qiáng)，并控制第二壓力閥320使出氣口與阻隔膜100之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第二壓強(qiáng)，且第二壓強(qiáng)小于第一壓強(qiáng)的步驟之后，利用殘余氣體分析儀40捕捉小分子氣體，并根據(jù)小分子氣體測(cè)量阻隔膜100的氣體透過率。通過殘余氣體分析儀40分析獲得阻隔膜100的氣體透過率，并將獲得的氣體透過率作為阻隔膜100的氣阻性能的測(cè)試結(jié)果，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)阻隔膜100的氣阻性能的有效測(cè)量，且測(cè)得的阻隔膜氣阻性能具有更高的精度。在考慮到真空泵50對(duì)各種氣體的抽速、測(cè)試成本以及測(cè)量精度上面，在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，使用he作為測(cè)試用的氣體，此時(shí)殘余氣體分析儀40可以為質(zhì)譜儀。he的分子直徑(0.26nm)小于水分子的直徑(0.4nm)，化學(xué)性能穩(wěn)定，背景成分含量低，抽氣效果比h2要好，而且he質(zhì)譜儀對(duì)he的靈敏度高達(dá)10-14～10-15pa·m3/，所以本實(shí)施例采用he作為滲透測(cè)量氣體，通過he質(zhì)譜儀檢測(cè)到he的濃度，從而得到阻隔膜100的氣體透過率，且得到的氣體透過率的測(cè)量精度可達(dá)到10-7數(shù)量級(jí)或者更高。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，在利用殘余氣體分析儀40測(cè)量并獲取阻隔膜100的氣體透過率的步驟之后，測(cè)試方法還包括利用充氣閥70向測(cè)試腔20進(jìn)行充氣處理。由于測(cè)試腔20內(nèi)壓強(qiáng)較低可能會(huì)導(dǎo)致無法開腔室取膜，或阻隔膜100再取出過程中由于壓強(qiáng)低而導(dǎo)致的性能降低，因此在測(cè)量得到阻隔膜100的氣體透過率后，利用上述充氣閥70向測(cè)試腔20中通入氣體，可以通過提高測(cè)試腔20中的壓強(qiáng)，來降低測(cè)試腔20內(nèi)壓強(qiáng)較低帶來的對(duì)阻隔膜100性能的影響，當(dāng)上述測(cè)試裝置中設(shè)置有真空計(jì)60時(shí)，還可以通過真空計(jì)60觀察測(cè)試裝置中的壓強(qiáng)狀態(tài)，并根據(jù)觀察到的真空度來調(diào)整充氣閥70的氣體流速，從而提高對(duì)測(cè)試腔20充氣的效率，并在當(dāng)測(cè)試腔20內(nèi)的壓強(qiáng)達(dá)到一定程度時(shí)再停止充氣閥70向測(cè)試腔20的充氣處理。在上述優(yōu)選的實(shí)施方式中，更為優(yōu)選地，通過充氣處理使測(cè)試腔20內(nèi)的壓強(qiáng)大于10-6mbar。(因?yàn)橘|(zhì)譜儀靈敏度較高，因此充氣量很小就能檢測(cè)到?jīng)_入的氣體，整個(gè)過程中只有很少的測(cè)試氣體進(jìn)入到測(cè)試腔內(nèi)，測(cè)試腔都處于高真空狀態(tài)。)將測(cè)試腔20的壓強(qiáng)限定在上述優(yōu)選的參數(shù)范圍內(nèi)，保證了測(cè)試腔20內(nèi)的壓強(qiáng)能夠達(dá)到取膜所需的壓強(qiáng)，從而進(jìn)一步地降低了在取阻隔膜100時(shí)由于測(cè)試腔20內(nèi)壓強(qiáng)較低而帶來的對(duì)阻隔膜100性能的影響。下面將結(jié)合實(shí)施例和對(duì)比例進(jìn)一步說明本申請(qǐng)?zhí)峁┑淖韪裟庾栊阅艿臏y(cè)試方法，其中，實(shí)施例1至4和對(duì)比例1均對(duì)具有同一性質(zhì)的阻隔膜進(jìn)行測(cè)試，且實(shí)施例1至4采用的測(cè)試裝置包括上述小分子氣體儲(chǔ)罐、上述測(cè)試腔、上述第一壓力閥、上述第二壓力閥、上述殘余氣體分析儀、上述真空泵和上述充氣閥。實(shí)施例1本實(shí)施例提供的阻隔膜氣阻性能的測(cè)試方法包括：將小分子氣體he儲(chǔ)罐中的小分子氣體通入測(cè)試腔中；控制第一壓力閥使進(jìn)氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第一壓強(qiáng)；控制第二壓力閥使出氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第二壓強(qiáng)，且第一壓強(qiáng)與所述第二壓強(qiáng)之間的差值為0.1mbar；利用質(zhì)譜儀捕捉小分子氣體，并根據(jù)小分子氣體測(cè)量阻隔膜的氣體透過率。實(shí)施例2本實(shí)施例提供的阻隔膜氣阻性能的測(cè)試方法包括：將小分子氣體he儲(chǔ)罐中的小分子氣體通入測(cè)試腔中；控制第一壓力閥使進(jìn)氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第一壓強(qiáng)；控制第二壓力閥使出氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第二壓強(qiáng)，且第一壓強(qiáng)與所述第二壓強(qiáng)之間的差值為0.01mbar；利用質(zhì)譜儀捕捉小分子氣體，并根據(jù)小分子氣體測(cè)量阻隔膜的氣體透過率。實(shí)施例3本實(shí)施例提供的阻隔膜氣阻性能的測(cè)試方法包括：利用真空泵對(duì)測(cè)試腔進(jìn)行抽真空處理，抽真空處理使測(cè)試腔的壓強(qiáng)小于10-5mbar；將小分子氣體he儲(chǔ)罐中的小分子氣體通入測(cè)試腔中；控制第一壓力閥使進(jìn)氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第一壓強(qiáng)；控制第二壓力閥使出氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第二壓強(qiáng)，且第一壓強(qiáng)與第二壓強(qiáng)之間的差值為0.01mbar；利用質(zhì)譜儀捕捉小分子氣體，并根據(jù)小分子氣體測(cè)量阻隔膜的氣體透過率；利用充氣閥向測(cè)試腔進(jìn)行充氣處理，通過充氣處理使測(cè)試腔內(nèi)的壓強(qiáng)大于大氣壓。實(shí)施例4本實(shí)施例提供的阻隔膜氣阻性能的測(cè)試方法包括：將小分子氣體ar儲(chǔ)罐中的小分子氣體通入測(cè)試腔中；控制第一壓力閥使進(jìn)氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第一壓強(qiáng)；控制第二壓力閥使出氣口與阻隔膜之間的小分子氣體的壓強(qiáng)為第二壓強(qiáng)，且第一壓強(qiáng)與所述第二壓強(qiáng)之間的差值為10-6mbar；利用質(zhì)譜儀捕捉小分子氣體，并根據(jù)小分子氣體測(cè)量阻隔膜的氣體透過率。對(duì)比例1采用mocon儀器對(duì)阻隔膜進(jìn)行水汽透過率的測(cè)試。實(shí)施例1至4和對(duì)比例1中阻隔膜氣阻性能的測(cè)試結(jié)果如下表所示：氣體分壓強(qiáng)氣體透過率實(shí)施例14.1*10-8mbar4.1*10-8g/m2*day實(shí)施例23.9*10-8mbar3.9*10-8g/m2*day實(shí)施例33.75*10-8mbar3.75*10-8g/m2*day實(shí)施例43.7*10-8mbar3.7*10-8g/m2*day對(duì)比例12.1*10-3g/m2*day2.1*10-3g/m2*day從上述測(cè)試結(jié)果可以看出，實(shí)施例1至4中阻隔膜氣阻性能(氣體分壓強(qiáng)和氣體透過率)的精度可以達(dá)到10-7g/m2·day，而對(duì)比例1中阻隔膜氣阻性能的精度僅為10-3g/m2·day，即相比于mocon儀器，采用本申請(qǐng)的測(cè)試裝置獲得的阻隔膜氣阻性能的精度具有更高的精度(10-7g/m2·day)。從以上的描述中，可以看出，本發(fā)明上述的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果：1、利用小分子氣體作為測(cè)試介質(zhì)，通過使小分子氣體通過阻隔膜并從出氣口流經(jīng)殘余氣體分析儀為殘余氣體分析儀所捕捉以進(jìn)行分析，從而獲得了阻隔膜的氣體透過率，并將氣體透過率作為阻隔膜的氣阻性能的測(cè)試結(jié)果；2、利用上述測(cè)試裝置獲得氣體透過率的精度可以達(dá)到10-7g/m2·day；3、由于安裝有阻隔膜的測(cè)試腔管道內(nèi)的空間很小，使得抽真空速度大幅提升，從大氣壓到10-4mbar僅需要五分鐘，且使整個(gè)測(cè)試過程所需時(shí)間控制在十分鐘之內(nèi)，而mocon儀器測(cè)試阻隔膜的氣阻性能則需要幾天甚至幾十天，從而采用上述阻隔膜性能的測(cè)試裝置實(shí)現(xiàn)了測(cè)試效果的快速響應(yīng)，提高了測(cè)試速度。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。當(dāng)前第1頁12