技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種聲表面波磁傳感器。所述聲表面波磁傳感器包括壓電薄膜、分別設(shè)于所述壓電薄膜兩側(cè)的種子層和叉指換能器、以及設(shè)于所述種子層背離所述壓電薄膜的表面的襯底基片，所述叉指換能器包括叉指電極及位于所述叉指電極兩端的反射柵，所述叉指電極為磁性叉指電極。本發(fā)明同時(shí)提供一種聲表面波磁傳感器的制備方法。本發(fā)明的叉指電極為磁性叉指電極，在外加磁場(chǎng)的作用下，叉指電極彈性模量會(huì)發(fā)生改變，從而整個(gè)器件的等效彈性模量也會(huì)發(fā)生變化，導(dǎo)致聲表面波的諧振頻率發(fā)生改變，能實(shí)現(xiàn)檢測(cè)外界磁場(chǎng)的大小的功能；且具有膜層結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制備方法簡(jiǎn)單、低成本、高各向異性、高靈敏度、高分辨率、易于微型化等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：童貝;李楊;周卓帆;歐陽(yáng)君;朱本鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：瑞聲聲學(xué)科技（常州）有限公司
文檔號(hào)碼：201610443415
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.20
技術(shù)公布日：2016.11.23