技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種聲表面波傳感器，所述傳感器由Si襯底、SiO2緩沖層、換能器IDT、ZnO薄膜組成多層結(jié)構(gòu)，所述多層結(jié)構(gòu)從上之下依次為ZnO薄膜、換能器IDT、SiO2緩沖層及Si襯底，所述換能器IDT為同心環(huán)形結(jié)構(gòu)。本發(fā)明能夠有效減少聲表面波向自由空間的衍射現(xiàn)象，減少壓電基片各向異性對(duì)聲電轉(zhuǎn)換的影響，從而提高聲電轉(zhuǎn)換效率；同時(shí)可以用于生物檢測(cè)的液相檢測(cè)環(huán)境。

技術(shù)研發(fā)人員：徐靜波;張海英
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
文檔號(hào)碼：201610727889
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.25
技術(shù)公布日：2017.02.15