技術總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于光柵干涉儀的精密高度計，包括傳動結(jié)構(gòu)、光柵干涉儀系統(tǒng)和顯示裝置。傳動結(jié)構(gòu)包括測量導軌、配重導軌、測頭和配重，光柵干涉儀系統(tǒng)包括標尺光柵、光路干涉系統(tǒng)、光電檢測單元以及信號處理單元。本發(fā)明可實現(xiàn)對小零件高度的測量，測量分辨率可達到50nm。本發(fā)明利用光柵干涉儀代替常用光柵傳感器來研發(fā)具有納米級分辨率的精密高度計，是一種能實現(xiàn)高精度、高分辨率的測量系統(tǒng)。

技術研發(fā)人員：夏豪杰;張欣;張海鋮;胡夢雯;陳長春
受保護的技術使用者：合肥工業(yè)大學
文檔號碼：201610936769
技術研發(fā)日：2016.10.25
技術公布日：2017.02.15