1.本發(fā)明涉及輪廓線解析裝置、處理?xiàng)l件決定系統(tǒng)、形狀估計(jì)系統(tǒng)、半導(dǎo)體裝置制造系統(tǒng)、搜索裝置以及在這些中使用的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。


背景技術(shù)：

2.通過在半導(dǎo)體工藝中，根據(jù)適合的處理?xiàng)l件處理半導(dǎo)體樣品，能實(shí)施期望的半導(dǎo)體加工。近年來，隨著導(dǎo)入構(gòu)成器件的新材料，器件結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，半導(dǎo)體處理裝置的控制范圍擴(kuò)大，追加了許多控制參數(shù)。工藝多步化，實(shí)現(xiàn)微細(xì)且復(fù)雜的加工。為了使用半導(dǎo)體處理裝置生產(chǎn)高性能的器件，需要進(jìn)行工藝開發(fā)，導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體樣品的目標(biāo)的加工形狀的適合的處理?xiàng)l件。
3.為了充分調(diào)動(dòng)半導(dǎo)體處理裝置的性能，大量的控制參數(shù)的最優(yōu)化是不可或缺的，為了其實(shí)現(xiàn)，需要工藝開發(fā)的技術(shù)訣竅、高的裝置運(yùn)用技巧以及處理試驗(yàn)的大量的試錯(cuò)。因此，在工藝開發(fā)中，需要大規(guī)模的次數(shù)的尺寸測量。例如在作為處理對象而考慮線條/間距(line and space，l/s)圖案的樣品的情況下，若將每個(gè)線條圖案的cd(critical dimension，臨界尺寸)、深度等尺寸設(shè)為10處，將進(jìn)行測量的線條圖案數(shù)設(shè)為10個(gè)，則對每1個(gè)樣品需要進(jìn)行100個(gè)測量。因此，假設(shè)對100個(gè)樣品進(jìn)行處理，則需要合計(jì)10000次的尺寸測量。
4.器件的結(jié)構(gòu)越復(fù)雜化，則測量部位數(shù)越增多，因此與尺寸測量時(shí)間的長期化相伴的工藝開發(fā)的延遲成為課題。此外，這些尺寸伴隨結(jié)構(gòu)的微細(xì)化而每年縮小，變得難以憑借人手進(jìn)行尺寸提取。因此，需要不依賴人手地從半導(dǎo)體樣品的圖像高速且高精度地提取對象結(jié)構(gòu)的尺寸的技術(shù)。專利文獻(xiàn)1公開了這樣的技術(shù)。
5.在專利文獻(xiàn)1中，使用形狀模型生成假想的加工形狀，使用sem模擬來作成加工形狀和sem信號(hào)波形的數(shù)據(jù)庫。通過將在sem中得到的實(shí)際的信號(hào)波形與數(shù)據(jù)庫進(jìn)行比對來確定接近于信號(hào)波形的加工形狀，將其估計(jì)為觀察中的加工形狀。由此，能進(jìn)行sem圖像的輪廓線檢測(邊緣檢測)、提取對象結(jié)構(gòu)的尺寸。
6.現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
7.專利文獻(xiàn)
8.專利文獻(xiàn)1：jp特開2009-198339號(hào)公報(bào)


技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

9.發(fā)明要解決的課題
10.在專利文獻(xiàn)1的情況下，由于實(shí)施例所示的形狀模型被簡化，因此認(rèn)為難以辨識(shí)復(fù)雜的形狀。此外，由于通過數(shù)據(jù)庫比對進(jìn)行估計(jì)，因此對于數(shù)據(jù)庫中沒有的形狀，認(rèn)為難以進(jìn)行估計(jì)。當(dāng)前，在半導(dǎo)體器件中推進(jìn)微細(xì)化、3d化，此外還在提出量子計(jì)算機(jī)等多樣的結(jié)構(gòu)。與此相伴，認(rèn)為通過人手進(jìn)行的尺寸提取在今后更加困難，需要不伴隨手動(dòng)操作地在短
時(shí)間內(nèi)提取復(fù)雜且多種的形狀。
11.由于難以辨識(shí)復(fù)雜且多種的形狀的課題，例如難以在線條/間距圖案中辨識(shí)在側(cè)壁和底部具有不同的曲率的形狀。在通常蝕刻中，由于基于自由基的各向同性的蝕刻和基于離子輔助的各向異性的蝕刻的效果重疊，因此，會(huì)頻繁出現(xiàn)這樣的曲率不同的加工結(jié)果。此外，若為了避免難以辨識(shí)未知形狀的課題而使用龐大的規(guī)模的數(shù)據(jù)庫，就有現(xiàn)實(shí)的時(shí)間中的估計(jì)變得困難的可能性。
12.用于解決課題的手段
13.通過在組合多個(gè)橢圓而形成的圖形的周上設(shè)置起點(diǎn)和終點(diǎn)，將連起這2點(diǎn)的周上的一筆畫的曲線用作形狀模型，來描述對象結(jié)構(gòu)的輪廓線。
14.發(fā)明的效果
15.能對會(huì)在半導(dǎo)體處理中產(chǎn)生的復(fù)雜的形狀進(jìn)行高精度的尺寸提取。
16.其他課題和新的特征會(huì)從本說明書的描述以及附圖得以明確。
附圖說明
17.圖1是利用多個(gè)橢圓的形狀模型。
18.圖2a是帶掩模圖案樣品的截面圖。
19.圖2b是對帶掩模圖案樣品進(jìn)行蝕刻處理后的截面圖。
20.圖2c是對圖2b的截面圖例示典型的形狀特征量的圖。
21.圖3是散射測量中所用的假想形狀的示例。
22.圖4a是實(shí)施例1的尺寸提取系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例。
23.圖4b是輪廓線解析裝置的硬件結(jié)構(gòu)例。
24.圖5是實(shí)施例1中的提取尺寸的流程圖。
25.圖6a是圖2b所示的帶掩模圖案樣品的輪廓線數(shù)據(jù)。
26.圖6b是表示使形狀模型相對于圖6a的輪廓線進(jìn)行擬合的樣子的圖。
27.圖6c是表示使得與圖6a的輪廓線擬合(fitting)的形狀模型的圖。
28.圖7是用于說明使用形狀模型算出尺寸的方法的圖。
29.圖8是形狀模型數(shù)據(jù)庫的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的一例。
30.圖9是實(shí)施例2的處理?xiàng)l件決定系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例。
31.圖10是決定實(shí)施例2中的半導(dǎo)體處理裝置的處理?xiàng)l件的流程圖。
32.圖11是輸入用gui的示例。
33.圖12是輸出用gui的示例。
34.圖13是實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)形狀估計(jì)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例。
35.圖14是實(shí)施例3中的估計(jì)形狀的流程圖。
36.圖15是實(shí)施例4的輪廓線檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例。
37.圖16是實(shí)施例4中的檢測輪廓線的流程圖。
38.圖17是輸入用gui的示例。
39.圖18是輸出用gui的示例。
具體實(shí)施方式
40.以下使用附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。但本發(fā)明并不限制在以下所示的實(shí)施方式的記載內(nèi)容進(jìn)行解釋。只要是本領(lǐng)域技術(shù)人員，就容易理解能在不脫離本發(fā)明的思想或主旨的范圍內(nèi)變更其具體的結(jié)構(gòu)。
41.此外，附圖等中示出的各結(jié)構(gòu)的位置、大小、形狀以及范圍等為了發(fā)明的理解變得容易而有不表征實(shí)際的位置、大小、形狀以及范圍等的情況。因此，在本發(fā)明中，并不限定于附圖等公開的位置、大小、形狀以及范圍等。
42.實(shí)施例1
43.圖1以及圖4a分別是表示實(shí)施例1中的形狀模型以及尺寸提取系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例的圖。實(shí)施例1的尺寸提取系統(tǒng)從sem圖像等測量裝置取得的圖像，使用形狀模型來提取用戶的所期望的尺寸(希望提取的尺寸)。
44.在圖2a，作為半導(dǎo)體樣品的典型的示例而示出帶掩模圖案樣品的截面圖。掩模200形成于被蝕刻膜201上。圖2b是對該帶掩模圖案樣品進(jìn)行蝕刻處理后的截面圖。通過與掩模200相比，被蝕刻膜201被更優(yōu)先地蝕刻處理，在掩模圖案間形成槽。若設(shè)為目標(biāo)的截面形狀是圖3所示那樣的槽，則用戶需要掌握圖2b的對象結(jié)構(gòu)的形狀，調(diào)整半導(dǎo)體處理裝置的控制參數(shù)。但是，由于以半導(dǎo)體處理裝置的控制參數(shù)未適合化的狀態(tài)而形成的加工形狀具有復(fù)雜的形狀，因此尺寸測量是花功夫的作業(yè)，如上述那樣，成為工藝開發(fā)的延遲的原因之一。
45.在本實(shí)施例中，通過使用利用了圖1所示那樣的多個(gè)橢圓的形狀模型，能精度良好地描述復(fù)雜且多種的形狀。橢圓通過改變長軸、短軸的長度，能對從直線直至曲線進(jìn)行描述，通過組合多個(gè)橢圓，能描述按每個(gè)部位曲率不同的形狀。進(jìn)而，不是如專利文獻(xiàn)1那樣進(jìn)行數(shù)據(jù)庫比對，而是通過用對象結(jié)構(gòu)的輪廓線擬合形狀模型，來估計(jì)形狀模型的參數(shù)。若通過擬合得到看似合理的(尤
もらしい
)參數(shù)值，通過將其代入到形狀模型，來得到精度良好地描述對象結(jié)構(gòu)的輪廓線的看似合理的形狀模型。使用該看似合理的形狀模型來解析地提取輪廓線的種種尺寸。
46.在本實(shí)施例中，如圖1所示那樣，在組合多個(gè)橢圓100a～100e而形成的圖形的周設(shè)置起點(diǎn)110和終點(diǎn)111，將連起這2點(diǎn)的周上的一筆畫的曲線作為形狀模型120。在圖1中示出組合了5個(gè)橢圓的線對稱的形狀模型，但橢圓的數(shù)只要是多個(gè)，幾個(gè)都可以，此外，也可以是非線對稱的模型。
47.以下將描述形狀模型120的模型參數(shù)稱作形狀模型參數(shù)。形狀模型參數(shù)包含：對圖1的橢圓100b例示那樣的各橢圓的中心坐標(biāo)130、短軸長度131、長軸長度132、短軸的傾斜度133這樣的與橢圓的形狀以及配置相關(guān)的第1參數(shù)；與一筆畫的方法相關(guān)的第2參數(shù)(是連橢圓的內(nèi)周還是連外周等)等。圖1所示的第1參數(shù)的具體例是例示，包含這些當(dāng)中的至少1者以上。橢圓100能通過改變短軸長度131與長軸長度132的平衡來調(diào)整扁平度。由此，形狀模型120能描述組合接近于直線的輪廓和曲線的輪廓而形成的復(fù)雜的輪廓線。此外，能通過改變一筆畫的方法來變更輪廓線的凹凸。
48.如此地，能通過調(diào)整形狀模型參數(shù)來描述各種形狀。另外，由于使用多個(gè)橢圓，因此對各橢圓實(shí)施第1橢圓、第2橢圓
··
這樣的適當(dāng)?shù)木幪?hào)，將各個(gè)形狀模型參數(shù)稱作第1橢圓的長軸長度、第2橢圓的長軸長度
··
等。
49.使用圖4a來說明使用形狀模型120的尺寸提取系統(tǒng)。測量裝置400是利用了掃描電
子顯微鏡等帶電粒子線裝置的測量裝置，輸出樣品的對象結(jié)構(gòu)的信息，作為圖像數(shù)據(jù)。測量裝置400是利用使電子等向樣品入射時(shí)引發(fā)的反射、透射、干涉等現(xiàn)象來取得樣品的信息作為圖像的測量裝置。具體地，是作為利用了電子顯微鏡的測量裝置的掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope)、透射電子顯微鏡(transmission electron microscope)、掃描透射電子顯微鏡(scanning transmission electron microscope)等。測量裝置400中取得的圖像數(shù)據(jù)可以是這樣的任意的帶電粒子線裝置中得到的圖像數(shù)據(jù)。
50.輪廓線檢測裝置410是根據(jù)從測量裝置400輸入的圖像檢測邊緣(輪廓線)的裝置。例如，針對所輸入的sem(scanning electron macroscopy，掃描電子顯微鏡)圖像、tem圖像，輸出其輪廓線數(shù)據(jù)。作為輪廓線的檢測方法，有索貝爾(sobel)法、肯尼(canny)法、拉普拉斯法等基于像素值的變化進(jìn)行檢測的方法、open cv等使用機(jī)器學(xué)習(xí)進(jìn)行檢測的方法，可以使用任意方法。另外，輪廓線檢測裝置410可以作為后述的輪廓線解析裝置420的一個(gè)功能實(shí)現(xiàn)。
51.在圖4b示出輪廓線解析裝置420的硬件結(jié)構(gòu)例。輪廓線解析裝置420包含處理器431、主存儲(chǔ)432、輔助存儲(chǔ)裝置433、輸入輸出接口434、顯示接口435、網(wǎng)絡(luò)接口436、輸入輸出(i/o)端口437，這些通過總線438結(jié)合。輸入輸出接口434與鍵盤、鼠標(biāo)等輸入裝置440連接，顯示接口435與顯示器439連接，實(shí)現(xiàn)gui(graphical user interface，圖形用戶接口)。網(wǎng)絡(luò)接口436是用于經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與外部裝置連接的接口。輔助存儲(chǔ)裝置433通常由hdd(hard disk drive，硬盤驅(qū)動(dòng)器)、ssd(solid state drive，固態(tài)驅(qū)動(dòng)器)、閃速存儲(chǔ)器等非易失性存儲(chǔ)器構(gòu)成，存儲(chǔ)輪廓線解析裝置420所執(zhí)行的程序、程序設(shè)為處理對象的數(shù)據(jù)等。主存儲(chǔ)432由ram(random access memory，隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)構(gòu)成，通過處理器431的命令暫時(shí)存儲(chǔ)程序、程序的執(zhí)行所需的數(shù)據(jù)等。處理器431執(zhí)行從輔助存儲(chǔ)裝置433載入到主存儲(chǔ)432的程序。輪廓線解析裝置420的功能通過由處理器431執(zhí)行存放于輔助存儲(chǔ)裝置433的程序，來與其他硬件共同工作地實(shí)現(xiàn)所確定的處理。有將計(jì)算機(jī)等所執(zhí)行的程序、其功能、或?qū)崿F(xiàn)該功能的單元稱作“功能”、“部”等的情況。輪廓線解析裝置420例如可以在pc(personal computer，個(gè)人計(jì)算機(jī))、服務(wù)器或云上實(shí)現(xiàn)。
52.輪廓線解析裝置420具有解析部421、形狀模型數(shù)據(jù)庫422、形狀模型設(shè)定部423、形狀模型擬合設(shè)定部424、尺寸提取設(shè)定部425、尺寸算出方法設(shè)定部426，是根據(jù)從輪廓線檢測裝置410輸入的輪廓線數(shù)據(jù)算出作為形狀模型的參數(shù)的形狀模型參數(shù)的值、用戶希望提取的尺寸的值的裝置。以下，將由輪廓線解析裝置420算出的形狀模型參數(shù)、提取的尺寸分別稱作看似合理的形狀模型參數(shù)以及看似合理的尺寸。
53.解析部421針對所輸入的輪廓線數(shù)據(jù)進(jìn)行形狀模型的擬合、看似合理的形狀模型參數(shù)值的算出、看似合理的尺寸值的算出等解析。將所算出的看似合理的形狀模型參數(shù)值、看似合理的尺寸值存放到形狀模型數(shù)據(jù)庫422。
54.用戶通過形狀模型設(shè)定部423設(shè)定形狀模型的規(guī)格(形狀模型規(guī)格)，通過形狀模型擬合設(shè)定部424設(shè)定形狀模型的擬合方法。解析部421基于這些設(shè)定，使用從輪廓線檢測裝置410輸入的輪廓線數(shù)據(jù)進(jìn)行形狀模型的擬合，算出看似合理的形狀模型參數(shù)值。將看似合理的形狀模型參數(shù)值代入而得到的形狀模型是看似合理的形狀模型。
55.進(jìn)而，用戶通過尺寸提取設(shè)定部425設(shè)定希望提取的尺寸，通過尺寸算出方法設(shè)定部426設(shè)定希望提取的尺寸值的算出方法。解析部421基于以上的設(shè)定，使用看似合理的形
狀模型來算出關(guān)于希望提取的尺寸的看似合理的尺寸值。
56.在圖5示出由圖4a所示的尺寸提取系統(tǒng)從利用了帶電粒子線裝置的測量裝置400所取得的圖像數(shù)據(jù)提取尺寸的流程圖。以下使用圖5來說明尺寸提取的方法。
57.首先，使用測量裝置400來取得sem圖像等的圖像數(shù)據(jù)(s101)。接下來，使用輪廓線檢測裝置410從圖像數(shù)據(jù)取得輪廓線數(shù)據(jù)(s102)。作為輪廓線數(shù)據(jù)的一例，在圖6a示出表示被蝕刻處理過的帶掩模圖案樣品的截面的輪廓線數(shù)據(jù)600。通過與掩模200相比，被蝕刻膜201更優(yōu)先地被蝕刻處理，在掩模圖案間形成槽。
58.通過形狀模型設(shè)定部423設(shè)定形狀模型規(guī)格(s103)。例如，如圖1所示那樣的“由5個(gè)橢圓構(gòu)成的線對稱的形狀模型”那樣指定模型的種類，或指定描述形狀模型的形狀模型參數(shù)的種類。
59.接著，通過形狀模型擬合設(shè)定部424設(shè)定使形狀模型向輪廓線數(shù)據(jù)擬合的方法(s104)。例如，在擬合中使用最小二乘法、加權(quán)最小二乘法或正則化最小二乘法，能通過利用了迭代解法的非線性最優(yōu)化法、組合最優(yōu)化法來估計(jì)形狀模型參數(shù)的值。此外，還進(jìn)行與擬合的結(jié)束條件、最優(yōu)化處理時(shí)的隨機(jī)數(shù)或初始值生成方法相關(guān)的設(shè)定。
60.基于步驟s103、s104的設(shè)定，來針對從輪廓線檢測裝置410輸入的輪廓線數(shù)據(jù)實(shí)施形狀模型的擬合(s105)。使用圖6b來說明擬合的樣子。擬合前的形狀模型601描繪了針對形狀模型參數(shù)的初始值的形狀模型。通過使用輪廓線數(shù)據(jù)600進(jìn)行擬合來改善形狀模型參數(shù)值，如擬合中的形狀模型602那樣，形狀模型靠近輪廓線600。若擬合正常完成，就如圖6c所示那樣，針對輪廓線600得到看似合理的形狀模型參數(shù)值，該看似合理的形狀模型603成為良好地再現(xiàn)輪廓線數(shù)據(jù)600的模型。
61.接下來，關(guān)于擬合判定有無不良(s106)，在確認(rèn)到不良的情況下回到步驟s103，實(shí)施形狀模型的規(guī)格的再設(shè)定、與形狀模型的擬合方法相關(guān)的再設(shè)定。在此，所謂與擬合相關(guān)的不良，是擬合不結(jié)束、在擬合中形狀模型參數(shù)值落入局部值、在通過擬合得到的看似合理的形狀模型的形狀中觀察到異常等。形狀的異常的示例是在用戶目視測量裝置400所取得的圖像而辨識(shí)的形狀和看似合理的形狀模型的形狀中存在偏離的情況。在步驟s106中未確認(rèn)到不良的情況下，結(jié)束擬合，將得到的看似合理的形狀參數(shù)值存放到形狀模型數(shù)據(jù)庫422(s107)。
62.接下來，通過尺寸提取設(shè)定部425設(shè)定用戶希望提取的尺寸的種類(s108)。作為希望提取的尺寸的種類，例如根據(jù)圖2c所示那樣的一系列形狀特征量進(jìn)行設(shè)定。圖2c例示能對圖2b的截面圖設(shè)定的形狀特征量。在工藝開發(fā)中使用機(jī)器學(xué)習(xí)的情況下，求取以處理?xiàng)l件為說明變量x、以與加工形狀相關(guān)的特征量(將其稱作形狀特征量)為目的變量y的回歸等的相關(guān)模型y＝f(x)，使用相關(guān)模型來估計(jì)給出目標(biāo)的形狀特征量的處理?xiàng)l件。另外，作為半導(dǎo)體樣品的形狀特征量而選擇什么并沒有定量的方針，可使用由用戶選擇以及提取的尺寸數(shù)據(jù)。在圖2c的槽形狀中，考慮最大寬度210、深度211、底部的寬度212、上部的寬度213、中部的寬度214、錐角215、弓形的角度216、底部的離心率217等各種種類的形狀特征量。
63.接著，通過尺寸算出方法設(shè)定部426來設(shè)定希望提取的尺寸的算出方法(s109)。例如考慮圖2c所示的形狀特征量當(dāng)中的最大寬度210、深度211、底部的寬度212、底部的離心率217的算出方法。通過到步驟s108為止的過程來從圖2b所示的樣品的sem圖像取得輪廓線數(shù)據(jù)，得到圖6c所示那樣的看似合理的形狀模型603。
64.使用圖7來說明使用形狀模型603算出尺寸的方法的示例。在此，對于坐標(biāo)軸，沿著掩模200與被蝕刻膜201的邊界取x軸，在與其垂直的朝向上取y軸。能通過各橢圓604的長軸長度來估計(jì)底部的寬度702。由于能根據(jù)各橢圓604的長軸長度以及短軸長度算出離心率，因此能估計(jì)底部的離心率703。能根據(jù)各橢圓604的中心坐標(biāo)、長軸長度、短軸長度、短軸的傾斜度估計(jì)深度701。此外，對于各橢圓604，如圖7所示那樣，關(guān)于y軸求取多個(gè)微分值成為0的坐標(biāo)，通過算出其x坐標(biāo)間的距離，能估計(jì)最大寬度700。如此地，能通過使用形狀模型603中的微分值為0的極值點(diǎn)、不能進(jìn)行微分的點(diǎn)、微分值從正變?yōu)樨?fù)的拐點(diǎn)等奇異點(diǎn)，來估計(jì)希望提取的尺寸的值。這樣的使用形狀模型的奇異點(diǎn)算出尺寸的方法稱作奇異點(diǎn)搜索法。
65.算出方法并不限于奇異點(diǎn)搜索法。例如，還能沿著y軸以某步進(jìn)幅度提取形狀模型603上的x坐標(biāo)，將最大寬度700作為x坐標(biāo)間的距離的最大值來求取。將這樣通過沿著特定的軸提取坐標(biāo)來算出尺寸的方法稱作條帶搜索法。
66.對于在步驟s108設(shè)定的希望提取的尺寸，使用在步驟s109設(shè)定的算出方法，例如算出最大寬度700等的看似合理的尺寸(s110)。將所提取的看似合理的尺寸數(shù)據(jù)存放到形狀模型數(shù)據(jù)庫422(s111)，結(jié)束。在圖8示出對n個(gè)樣品的sem圖像(與數(shù)據(jù)編號(hào)對應(yīng))運(yùn)用以上的過程而得到的形狀模型數(shù)據(jù)庫422的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的一例。
67.實(shí)施例2
68.圖9是表示實(shí)施例2中的處理?xiàng)l件決定系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例的圖。在實(shí)施例2的處理?xiàng)l件決定系統(tǒng)中，決定半導(dǎo)體處理裝置的適合的處理?xiàng)l件。
69.實(shí)施例2以使利用了機(jī)器學(xué)習(xí)的工藝開發(fā)高速化為目的。如上述那樣，在利用了機(jī)器學(xué)習(xí)的工藝開發(fā)中，一般使用以處理?xiàng)l件為說明變量x、以與加工形狀相關(guān)的形狀特征量為目的變量y的相關(guān)模型來進(jìn)行給出目標(biāo)的形狀特征量的處理?xiàng)l件的搜索。但由于關(guān)于作為形狀特征量而使用什么并沒有定量的方針，會(huì)出現(xiàn)以下情況：在目的變量中采用冗余的形狀特征量，或者使描述加工形狀的重要的形狀特征量欠缺。在前者的情況下，由于伴隨目的變量的增加，在相關(guān)模型的學(xué)習(xí)中需要大量實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，因此半導(dǎo)體處理裝置的處理次數(shù)增加，擔(dān)心工藝開發(fā)期間的長期化。此外在后者的情況下，由于相關(guān)模型的表現(xiàn)力變?nèi)?，變得難以預(yù)測實(shí)現(xiàn)目標(biāo)的加工形狀的處理?xiàng)l件，同樣擔(dān)心工藝開發(fā)的延遲。
70.在本實(shí)施例中，通過將合適地描述加工形狀的形狀模型參數(shù)設(shè)為相關(guān)模型的目的變量，能避免上述那樣的冗余的形狀特征量的采用、重要的形狀特征量的欠缺。由此，能使工藝開發(fā)高速化。
71.在此，測量裝置400、輪廓線檢測裝置410、輪廓線解析裝置420、解析部421、形狀模型數(shù)據(jù)庫422、形狀模型設(shè)定部423、形狀模型擬合設(shè)定部424設(shè)為與實(shí)施例1相同的定義。
72.處理?xiàng)l件決定裝置900具有處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)庫901、學(xué)習(xí)部902、處理?xiàng)l件估計(jì)部903、目標(biāo)尺寸值設(shè)定部904，是基于形狀模型數(shù)據(jù)庫422內(nèi)的看似合理的形狀模型參數(shù)的數(shù)據(jù)和處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)庫901內(nèi)的處理?xiàng)l件來決定適合的處理?xiàng)l件的裝置。處理?xiàng)l件決定裝置900的硬件結(jié)構(gòu)也與圖4b所示的輪廓線解析裝置420同樣，因此省略重復(fù)的說明。
73.處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)庫901是存放既得的處理?xiàng)l件、由處理?xiàng)l件估計(jì)部903估計(jì)的處理?xiàng)l件的數(shù)據(jù)庫。在學(xué)習(xí)部902中，學(xué)習(xí)形狀模型數(shù)據(jù)庫422內(nèi)的看似合理的形狀模型參數(shù)與處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)庫901內(nèi)的處理?xiàng)l件的相關(guān)模型。在目標(biāo)尺寸值設(shè)定部904中，對看似合理的形狀模型設(shè)定用戶的所期望的形狀模型參數(shù)值(目標(biāo)值)?；蛘?，也可以根據(jù)用戶的所期望的
形狀尺寸來算出看似合理的形狀模型的形狀模型參數(shù)值(目標(biāo)值)。在處理?xiàng)l件估計(jì)部903中，使用學(xué)習(xí)部902中得到的相關(guān)模型來估計(jì)給出目標(biāo)尺寸值設(shè)定部904中設(shè)定的形狀模型參數(shù)值的處理?xiàng)l件。
74.半導(dǎo)體處理裝置910是對半導(dǎo)體樣品進(jìn)行處理的裝置，使用由處理?xiàng)l件決定裝置900決定的處理?xiàng)l件來進(jìn)行樣品的處理。在半導(dǎo)體處理裝置910中包含作為半導(dǎo)體制造裝置的光刻裝置、制膜裝置、圖案加工裝置、離子注入裝置、加熱裝置以及清洗裝置等。作為光刻裝置，有曝光裝置、電子線描繪裝置以及x射線描繪裝置等。作為制膜裝置，有cvd(chemical vapor deposition，化學(xué)氣相沉積)裝置、pvd(physical vapor deposition，物理氣相沉積)裝置、蒸鍍裝置、濺射裝置以及熱氧化裝置等。作為圖案加工裝置，有濕式蝕刻裝置、干式蝕刻裝置、電子束加工裝置以及激光加工裝置等。作為離子注入裝置，有等離子摻雜裝置以及離子束摻雜裝置等。作為加熱裝置，有電阻加熱裝置、燈加熱裝置以及激光加熱裝置等。
75.在圖10示出通過圖9的處理?xiàng)l件決定系統(tǒng)決定半導(dǎo)體處理裝置的處理?xiàng)l件的流程圖。以下使用圖10來說明半導(dǎo)體處理裝置910的處理?xiàng)l件的決定方法。
76.圖10的步驟s201～s207的過程分別與圖5的步驟s101～s107相同，因此省略說明。
77.在步驟s207中將看似合理的形狀模型參數(shù)存放到形狀模型數(shù)據(jù)庫422后，通過目標(biāo)尺寸值設(shè)定部904設(shè)定用戶的目標(biāo)的形狀模型參數(shù)值(s208)。接下來，判定在步驟s207中估計(jì)出的看似合理的形狀模型參數(shù)值是否接近于目標(biāo)尺寸值設(shè)定部904中設(shè)定的形狀模型參數(shù)值(s209)。在此，評價(jià)值的接近度的距離使用歐幾里德距離、曼哈頓距離、切比雪夫距離、馬氏距離的任一者來算出。根據(jù)該算出值比用戶所確定的基準(zhǔn)值大還是小，來判定是否接近。
78.在步驟s209，在判斷為步驟s207中估計(jì)出的看似合理的形狀模型參數(shù)值接近于目標(biāo)尺寸值設(shè)定部904中設(shè)定的形狀模型參數(shù)值的情況下，結(jié)束。另一方面，在步驟s209中判斷為不接近的情況下，學(xué)習(xí)部902學(xué)習(xí)處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)庫901內(nèi)的處理?xiàng)l件與形狀模型數(shù)據(jù)庫422內(nèi)的看似合理的形狀模型參數(shù)的相關(guān)模型(s210)。在此，相關(guān)模型表征回歸、分類的模型，使用利用了核方法的模型、利用了神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的模型、利用了決策樹的模型等。
79.接下來，處理?xiàng)l件估計(jì)部903使用學(xué)習(xí)部902中取得的相關(guān)模型來估計(jì)給出目標(biāo)尺寸值設(shè)定部904中設(shè)定的形狀模型參數(shù)值的處理?xiàng)l件(s211)。將估計(jì)出的處理?xiàng)l件追加到處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)庫901，更新數(shù)據(jù)庫(s212)。在半導(dǎo)體處理裝置910中使用估計(jì)出的處理?xiàng)l件來對新的樣品實(shí)施處理(s213)。將處理后的樣品從半導(dǎo)體處理裝置910取出，移轉(zhuǎn)到步驟s201的過程。直到成為結(jié)束為止都重復(fù)以上的一系列過程。
80.接下來，使用圖11、12來說明與實(shí)施例1以及實(shí)施例2相關(guān)的gui。
81.圖11所示的輸入用gui 1100是實(shí)施例1、2的輸入輪廓線解析裝置420的設(shè)定的輸入畫面的示例。該輸入畫面在實(shí)施例1的情況下，在步驟s101的過程中取得圖像后被提示，在實(shí)施例2的情況下，在步驟s201的過程中取得圖像后被提示。
82.輸入用gui 1100具有輪廓線檢測設(shè)定框1110、形狀模型選擇框1120、擬合設(shè)定框1130、尺寸提取設(shè)定框1140、算出方法設(shè)定框1150、有效/非有效顯示部1160、決定按鈕1170。輪廓線檢測設(shè)定框1110、形狀模型選擇框1120、擬合設(shè)定框1130、尺寸提取設(shè)定框1140、算出方法設(shè)定框1150分別進(jìn)行與輪廓線檢測裝置410、形狀模型設(shè)定部423、形狀模型
wave analysis、嚴(yán)格耦合波解析)等光學(xué)模擬，并生成假想的分光光譜的數(shù)據(jù)。求取作為所得到的假想形狀模型的cad數(shù)據(jù)與假想分光光譜數(shù)據(jù)的相關(guān)模型，使用相關(guān)模型來估計(jì)給出最接近于實(shí)際在分光器中得到的分光光譜的假想分光光譜數(shù)據(jù)的假想形狀模型的cad數(shù)據(jù)。由此，根據(jù)在分光器中得到的分光光譜來進(jìn)行形狀估計(jì)。過去，假想形狀是由圖3所示那樣的矩形等的組合構(gòu)成的單純的形狀，因此存在有曲率的形狀的估計(jì)精度低這樣的課題。在本實(shí)施例中，能通過使用利用了多個(gè)橢圓的形狀模型來生成按每個(gè)部位有不同的曲率的復(fù)雜的形狀，能使形狀估計(jì)高精度化。
92.假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置1300具有形狀模型設(shè)定部1301、生成方法設(shè)定部1302、參數(shù)生成部1303、假想尺寸數(shù)據(jù)庫1304、cad部1305、假想形狀數(shù)據(jù)庫1306，是生成假想的形狀數(shù)據(jù)的裝置。
93.用戶通過形狀模型設(shè)定部1301設(shè)定形狀模型規(guī)格，通過生成方法設(shè)定部1302設(shè)定形狀模型參數(shù)值的組的生成方法。將參數(shù)生成部1303基于這些設(shè)定生成的形狀模型參數(shù)的值的組存放到假想尺寸數(shù)據(jù)庫1304。cad部1305輸出通過將假想尺寸數(shù)據(jù)庫1304內(nèi)的形狀模型參數(shù)值代入到形狀模型而得到的形狀，作為cad數(shù)據(jù)。將所輸出的cad數(shù)據(jù)存放到假想形狀數(shù)據(jù)庫1306。
94.光學(xué)模擬器1310是對假想形狀數(shù)據(jù)庫1306內(nèi)的cad數(shù)據(jù)(假想形狀模型)實(shí)施rcwa等光學(xué)模擬的模擬器。特別設(shè)為能對以cad數(shù)據(jù)表征的幾何結(jié)構(gòu)算出通過散射測量得到的分光光譜的理論值的模擬器。以下將該分光光譜的理論值稱作假想分光光譜。
95.分光光譜測量裝置1330是從由半導(dǎo)體樣品的對象結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的散射光、反射光、干涉光等光取得分光光譜的裝置。
96.光學(xué)形狀估計(jì)裝置1320是從測量出的分光光譜估計(jì)半導(dǎo)體樣品的對象結(jié)構(gòu)的形狀的裝置，具有假想分光光譜數(shù)據(jù)庫1321、學(xué)習(xí)部1322、形狀估計(jì)部1323。假想分光光譜數(shù)據(jù)庫1321是存放在光學(xué)模擬器1310算出的假想分光光譜的數(shù)據(jù)庫。學(xué)習(xí)部1322學(xué)習(xí)假想尺寸數(shù)據(jù)庫1304內(nèi)的形狀模型參數(shù)值與假想分光光譜數(shù)據(jù)庫1321內(nèi)的假想分光光譜的相關(guān)模型。形狀估計(jì)部1323使用學(xué)習(xí)部1322中得到的相關(guān)模型來估計(jì)給出最接近于分光光譜測量裝置1330中取得的分光光譜的假想分光光譜的形狀模型參數(shù)值。此外，輸出通過將該形狀模型參數(shù)值代入到形狀模型而得到的形狀。
97.另外，假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置1300、光學(xué)模擬器1310、光學(xué)形狀估計(jì)裝置1320的硬件結(jié)構(gòu)分別與圖4b所示的輪廓線解析裝置420同樣，因此省略重復(fù)的說明。
98.在圖14示出通過圖13所示的結(jié)構(gòu)形狀估計(jì)系統(tǒng)從通過分光光譜測量裝置1330測量的分光光譜估計(jì)形狀的流程圖。以下使用圖14來說明形狀估計(jì)方法。
99.通過形狀模型設(shè)定部1301設(shè)定形狀模型規(guī)格(s301)。例如如“由5個(gè)橢圓構(gòu)成的線對稱的形狀模型”那樣指定模型的種類，或者指定描述形狀模型的形狀模型參數(shù)的種類。
100.接下來，通過生成方法設(shè)定部1302設(shè)定形狀模型參數(shù)值的組的生成法(s302)。例如，指定形狀模型參數(shù)的范圍，能通過將該范圍等間隔地進(jìn)行分割來生成多個(gè)值。以后將該間隔稱作步進(jìn)幅度。在此，范圍以及步進(jìn)幅度也可以按每個(gè)形狀模型參數(shù)的種類設(shè)定不同的值?；蛘?，還能使用隨機(jī)數(shù)生成。
101.參數(shù)生成部1303使用生成方法設(shè)定部1302中設(shè)定的生成方法來生成形狀模型參數(shù)值的組，將所生成的組存放到假想尺寸數(shù)據(jù)庫1304(s303)。cad部1305輸出通過將假想尺
寸數(shù)據(jù)庫1304內(nèi)的形狀模型參數(shù)值代入到形狀模型而得到的假想形狀模型，作為cad數(shù)據(jù)(s304)。
102.cad部1305將所生成的cad數(shù)據(jù)(假想形狀模型)存放到假想形狀數(shù)據(jù)庫1306(s305)，使用光學(xué)模擬器1310來算出假想分光光譜。將所算出的假想分光光譜存放到假想分光光譜數(shù)據(jù)庫1321(s306)。學(xué)習(xí)部1322學(xué)習(xí)假想分光光譜數(shù)據(jù)庫1321內(nèi)的假想分光光譜與假想尺寸數(shù)據(jù)庫1304內(nèi)的形狀模型參數(shù)的相關(guān)模型(s307)。在此，相關(guān)模型表征回歸、分類的模型，使用利用了核方法的模型、利用了神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的模型、利用了決策樹的模型等。
103.對半導(dǎo)體樣品使用分光光譜測量裝置1330來得到分光光譜(s308)。形狀估計(jì)部1323使用學(xué)習(xí)部1322學(xué)習(xí)的相關(guān)模型來估計(jì)給出最接近于所取得的分光光譜的假想分光光譜的形狀模型參數(shù)(s309)。在此，評價(jià)值的接近度的距離使用歐幾里德距離、曼哈頓距離、切比雪夫距離、馬氏距離的任一者來算出。
104.接著，形狀估計(jì)部1323將估計(jì)出的形狀模型參數(shù)代入到形狀模型，并輸出所得到的形狀(s310)。以后將該形狀稱作估計(jì)形狀。關(guān)于估計(jì)形狀判定有無不良(s311)，在確認(rèn)到不良的情況下，回到步驟s301，實(shí)施形狀模型的規(guī)格的再?zèng)]定、與形狀模型參數(shù)的生成方法相關(guān)的再?zèng)]定。在此，與估計(jì)形狀相關(guān)的不良是估計(jì)出的形狀模型參數(shù)值脫離了生成方法設(shè)定部1302中設(shè)定的形狀模型參數(shù)的范圍的情況、在估計(jì)形狀中產(chǎn)生缺損部分的情況等。在未在步驟s311確認(rèn)到不良的情況下，結(jié)束。
105.實(shí)施例4
106.圖15是表示實(shí)施例4中輪廓線檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例的圖。實(shí)施例4檢測sem圖像等檢查裝置所取得的圖像的輪廓線。
107.實(shí)施例4以根據(jù)檢查裝置所取得的圖像的輪廓線檢測的高精度化為目的。特別是利用了機(jī)器學(xué)習(xí)的檢測法中的檢測精度較大依賴于圖像和輪廓線的學(xué)習(xí)數(shù)據(jù)的質(zhì)以及量。在本實(shí)施例中，通過使用利用了多個(gè)橢圓的形狀模型生成多樣的形狀和其輪廓線，來使輪廓線檢測高精度化。
108.在此，測量裝置400設(shè)為與實(shí)施例1的測量裝置相同的定義，假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置1300設(shè)為與實(shí)施例3的假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置相同的定義。另外，在本實(shí)施例中，cad部1305所生成的cad數(shù)據(jù)是假想輪廓線數(shù)據(jù)1500和假想圖像數(shù)據(jù)1501。假想輪廓線數(shù)據(jù)1500通過cad部1305將通過形狀模型得到的對象結(jié)構(gòu)的輪廓線設(shè)為cad數(shù)據(jù)。假想圖像數(shù)據(jù)1501由cad部1305對通過形狀模型得到的形狀，實(shí)施顏色、色調(diào)、明亮度、噪聲量、倍率、畫面尺寸等的修正來獲得，是模擬實(shí)際在測量裝置400取得的圖像的cad數(shù)據(jù)。
109.輪廓線估計(jì)裝置1510是基于假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置1300的假想形狀數(shù)據(jù)庫1306來從由測量裝置400輸入的圖像數(shù)據(jù)檢測輪廓線數(shù)據(jù)的裝置。輪廓線估計(jì)裝置1510具有學(xué)習(xí)部1511和輪廓線估計(jì)部1512。另外，輪廓線估計(jì)裝置1510的硬件結(jié)構(gòu)由于與圖4b所示的輪廓線解析裝置420同樣，因此省略重復(fù)的說明。
110.學(xué)習(xí)部1511學(xué)習(xí)假想形狀數(shù)據(jù)庫1306內(nèi)的假想輪廓線數(shù)據(jù)1500與假想圖像數(shù)據(jù)的相關(guān)模型。輪廓線估計(jì)部1512使用學(xué)習(xí)部1511中得到的相關(guān)模型來估計(jì)給出最接近于測量裝置400中取得的圖像的假想圖像數(shù)據(jù)1501的假想輪廓線數(shù)據(jù)1500。此外，輸出該假想輪廓線數(shù)據(jù)。
111.在圖16中示出通過圖15所示的輪廓線檢測系統(tǒng)從測量裝置400中取得測量的圖像
數(shù)據(jù)檢測輪廓線的流程圖。以下使用圖16來說明輪廓線檢測方法。
112.圖16的步驟s401～s403的過程分別與圖14的s301～s303相同，因此省略說明。cad部1305將通過將假想尺寸數(shù)據(jù)庫1304內(nèi)的形狀模型參數(shù)值代入到形狀模型而得到的形狀作為cad數(shù)據(jù)，并輸出假想圖像數(shù)據(jù)1501和假想輪廓線數(shù)據(jù)1500(s404)。將這些cad數(shù)據(jù)存放到假想形狀數(shù)據(jù)庫1306(s405)。學(xué)習(xí)部1511學(xué)習(xí)假想形狀數(shù)據(jù)庫1306內(nèi)的假想圖像數(shù)據(jù)1501與假想輪廓線數(shù)據(jù)1500的相關(guān)模型(s406)。在此，相關(guān)模型表征回歸、分類的模型，使用利用了核方法的模型、利用了神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的模型、利用了決策樹的模型等。
113.接著，在測量裝置400中取得sem圖像等圖像數(shù)據(jù)(s407)。輪廓線估計(jì)部1512使用學(xué)習(xí)部1511中得到的相關(guān)模型來估計(jì)給出與所取得的圖像數(shù)據(jù)最接近的假想圖像數(shù)據(jù)的假想輪廓線數(shù)據(jù)(s408)。在此，通過關(guān)于與各像素中的顏色、色調(diào)、明亮度相關(guān)的數(shù)值，算出歐幾里德距離、曼哈頓距離、切比雪夫距離、馬氏距離的任一者，來得到評價(jià)圖像的接近度的距離。接下來，輪廓線估計(jì)部1512輸出估計(jì)出的假想輪廓線數(shù)據(jù)(s409)。關(guān)于估計(jì)出的假想輪廓線數(shù)據(jù)判定有無不良(s410)，在確認(rèn)到不良的情況下，回到步驟s401，實(shí)施形狀模型的規(guī)格的再設(shè)定、與形狀模型參數(shù)的生成方法相關(guān)的再設(shè)定。在此，關(guān)于估計(jì)出的假想輪廓線數(shù)據(jù)的不良是給出該假想輪廓線數(shù)據(jù)的形狀模型參數(shù)值脫離了生成方法設(shè)定部1302中設(shè)定的形狀模型參數(shù)的范圍的情況、在假想輪廓線數(shù)據(jù)中產(chǎn)生缺損部分的情況等。在步驟s410中未確認(rèn)到不良的情況下，結(jié)束。
114.接下來，使用圖17、18來說明與實(shí)施例3以及4相關(guān)的gui。
115.圖17所示的輸入用gui 1700是輸入實(shí)施例3、4的假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置1300的設(shè)定的輸入畫面的示例。該輸入畫面在實(shí)施例3的情況下在步驟s301的過程前進(jìn)行提示，在實(shí)施例4的情況下，在步驟s401的過程前進(jìn)行提示。
116.輸入用gui 1700具有形狀模型選擇框1710、形狀模型參數(shù)生成方法設(shè)定框1720、有效/非有效顯示部1730、決定按鈕1740。形狀模型選擇框1710、形狀模型參數(shù)生成方法設(shè)定框1720分別進(jìn)行與形狀模型設(shè)定部1301、生成方法設(shè)定部1302相關(guān)的設(shè)定。
117.形狀模型選擇框1710具有模型輸入部1711。例如，選擇由特定的個(gè)數(shù)的橢圓構(gòu)成的線對稱的形狀模型、不假定線對稱性的形狀模型等。
118.形狀模型參數(shù)生成方法設(shè)定框1720具有范圍輸入部1721和步進(jìn)幅度輸入部1722。通過范圍輸入部1721指定形狀模型參數(shù)的范圍。該范圍可以按每個(gè)形狀參數(shù)指定不同的范圍。通過步進(jìn)幅度輸入部1722指定將在范圍輸入部1721輸入的范圍分割的步進(jìn)幅度。在圖17所示的示例中，將形狀模型參數(shù)的parameter1、2、3的范圍分別分割成100
÷
1＝100、10
÷
1＝10、1
÷
0.1＝10個(gè)。即，在該情況下，所生成的形狀模型參數(shù)值分別成為parameter1＝(0，1，2，
…
100)、parameter 2＝(0，1，2，
…
10)、parameter 3＝(0，0.1，0.2，
…
1)。
119.通過上述各設(shè)定框所具有的有效/非有效顯示部1730顯示是否有效地進(jìn)行了以上的輸入。若有效/非有效顯示部1730全都成為有效，則通過按下輸入用gui1700的決定按鈕1740，在實(shí)施例3的情況下開始步驟s303的過程，在實(shí)施例4的情況下開始步驟s404的過程。
120.按下輸入用gui1700的決定按鈕1740，執(zhí)行圖14或圖16的過程，在圖18示出輸出用gui 1800，在實(shí)施例3的情況下在步驟s304進(jìn)行提示，在實(shí)施例4的情況下在步驟s404進(jìn)行提示。該gui顯示當(dāng)前的狀況，使用戶選擇是否前進(jìn)到接下來的過程。假想形狀生成結(jié)果顯示部1810具有假想形狀數(shù)據(jù)編號(hào)顯示部1811、cad數(shù)據(jù)顯示部1812、形狀模型參數(shù)顯示部
1813和完成/再設(shè)定選擇部1820。
121.假想形狀數(shù)據(jù)編號(hào)顯示部1811顯示所生成的形狀模型參數(shù)的連續(xù)編號(hào)。形狀模型參數(shù)顯示部1813顯示具有顯示于假想形狀數(shù)據(jù)編號(hào)顯示部1811的連續(xù)編號(hào)的形狀模型參數(shù)的組。即，在圖18的示例中，顯示第23個(gè)生成的形狀模型參數(shù)的組。cad數(shù)據(jù)顯示部1812顯示cad部1305基于該形狀模型參數(shù)的組生成的cad數(shù)據(jù)。
122.用戶能基于顯示于假想形狀生成結(jié)果顯示部1810的假想形狀的信息來在完成/再設(shè)定選擇部1820選擇完成或者再設(shè)定。在用戶判斷為在cad數(shù)據(jù)、形狀模型參數(shù)中沒有不良時(shí)，通過選擇完成并按下決定按鈕1830，在實(shí)施例3的情況下前進(jìn)到步驟s305，在實(shí)施例4的情況下前進(jìn)到步驟s405的過程。在判斷為有不良時(shí)，通過選擇再設(shè)定并按下決定按鈕1830，回到輸入用gui 1700的畫面，能進(jìn)行再設(shè)定。
123.以上，作為說明的實(shí)施例1～4的實(shí)施方式，考慮在平臺(tái)上執(zhí)行對包含半導(dǎo)體處理裝置、測量裝置的生產(chǎn)線進(jìn)行運(yùn)用管理的應(yīng)用的半導(dǎo)體裝置制造系統(tǒng)。在該情況下，通過將輪廓線檢測裝置410、輪廓線解析裝置420、處理?xiàng)l件決定裝置900、假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置1300、光學(xué)形狀估計(jì)裝置1320、輪廓線估計(jì)裝置1510作為平臺(tái)上的應(yīng)用，使得各個(gè)處理得以執(zhí)行，由此能在半導(dǎo)體裝置制造系統(tǒng)中實(shí)施實(shí)施例1～4。
124.附圖標(biāo)記的說明
125.100：橢圓、110：起點(diǎn)、111：終點(diǎn)、120：形狀模型、130：中心坐標(biāo)、131：短軸長度、132：長軸長度、133：短軸的傾斜度、200：掩模、201：被蝕刻膜、210：最大寬度、211：深度、212：底部的寬度、213：上部的寬度、214：中部的寬度、215：錐角、216：弓形的角度、217：底部的離心率、400：測量裝置、410：輪廓線檢測裝置、420：輪廓線解析裝置、421：解析部、422：形狀模型數(shù)據(jù)庫、423：形狀模型設(shè)定部、424：形狀模型擬合設(shè)定部、425：尺寸提取設(shè)定部、426：尺寸算出方法設(shè)定部、600：輪廓線、601、602：形狀模型、603：看似合理的形狀模型、604：橢圓、700：看似合理的最大寬度、701：看似合理的深度、702：看似合理的底部的寬度、703：看似合理的底部的離心率、900：處理?xiàng)l件決定裝置、901：處理?xiàng)l件數(shù)據(jù)庫、902：學(xué)習(xí)部、903：處理?xiàng)l件估計(jì)部、904：目標(biāo)尺寸值設(shè)定部、910：半導(dǎo)體處理裝置、1100：輸入用gui、1110：輪廓線檢測設(shè)定框、1111：檢測方法輸入部、1112：圖像輸入部、1120：形狀模型選擇框、1121：模型輸入部、1130：擬合設(shè)定框、1131：擬合方法輸入部、1140：尺寸提取設(shè)定框、1141：尺寸輸入部、1150：算出方法設(shè)定框、1151：算出方法輸入部、1160：有效/非有效顯示部、1170：決定按鈕、1200：輸出用gui、1210：尺寸提取結(jié)果顯示部、1211：看似合理的形狀模型顯示部、1212：尺寸算出結(jié)果顯示部、1220：完成/再設(shè)定選擇部、1230：決定按鈕、1300：假想形狀數(shù)據(jù)生成裝置、1301：形狀模型設(shè)定部、1302：生成方法設(shè)定部、1303：參數(shù)生成部、1304：假想尺寸數(shù)據(jù)庫、1305：cad部、1306：假想形狀數(shù)據(jù)庫、1310：光學(xué)模擬器、1320：光學(xué)形狀估計(jì)裝置、1321：假想分光光譜數(shù)據(jù)庫、1322：學(xué)習(xí)部、1323：形狀估計(jì)部、1330：分光光譜測量裝置、1500：假想輪廓線數(shù)據(jù)、1501：假想圖像數(shù)據(jù)、1510：輪廓線估計(jì)裝置、1511：學(xué)習(xí)部、1512：輪廓線估計(jì)部、1700：輸入用gui、1710：形狀模型選擇框、1711：模型輸入部、1720：形狀模型參數(shù)生成方法設(shè)定框、1721：范圍輸入部、1722：步進(jìn)幅度輸入部、1730：有效/非有效顯示部、1740：決定按鈕、1800：輸出用gui、1810：假想形狀生成結(jié)果顯示部、1811：假想形狀數(shù)據(jù)編號(hào)顯示部、1812：cad數(shù)據(jù)顯示部、1813：形狀模型參數(shù)顯示部、1820：完成/再設(shè)定選擇部、1830：決定按鈕。