本技術是有關于一種待檢測物檢測系統(tǒng),特別是一種是適用于有包裝研磨墊檢測的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng)。
背景技術:
1、研磨墊于上機執(zhí)行研磨制程之前,通常都會先檢測研磨墊是否有缺陷存在,以防該缺陷在研磨過程中影響被磨物的表面性質,以確保研磨質量;而研磨墊于出貨之前,其制造商會先利用包材予以包裝,然而坊間并無獨立的自動光學檢測設備可針對研磨墊本身是否有缺陷,要如何區(qū)分研磨墊的外包裝的包材存有缺陷,或者是包材之內(nèi)的研磨墊有缺陷;又,所述缺陷可能為包材自身的刮痕、包裝制造程序所致的刮傷或者是包裝過程外來雜質,在此先予陳明。
2、現(xiàn)有技術中的研磨墊檢測方式,是將研磨墊檢測系統(tǒng)整合于研磨制程機臺上,以此在執(zhí)行研磨制程之前,檢測研磨墊本身是否有缺陷存在。由此可知,傳統(tǒng)上研磨墊檢測通常只在使用端上機前進行檢測;然而值得注意的是,假若在上機正式進行研磨制程前的這個重要時點才發(fā)現(xiàn)研磨墊有瑕疵,不僅延誤生產(chǎn)機臺的生產(chǎn)時間,而且不容易厘清該瑕疵是使用者拆封所致或者來料即存在;簡言之,發(fā)現(xiàn)瑕疵的時點太晚,使用方其付出成本更大。當然,研磨墊的制造業(yè)者也可在其出貨前進行質量檢測,或者使用者亦可在入庫前再次進行質量檢測,以確保研磨墊質量并厘清責任歸屬;然而,苦于并無獨立的自動光學檢測設備可供研磨墊的制造業(yè)者或使用者選用。
技術實現(xiàn)思路
1、本實用新型的目的是在于提供一種具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),能檢測并辨識缺陷是在包材或包材之內(nèi)的待檢測物,以利后續(xù)處置。
2、本實用新型的一實施例提供一種具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),用以檢測一具有包材的待檢測物。具有包材的待檢測物包括一待檢測物以及一包材,待檢測物位于包材之內(nèi)。具包材的待檢測物檢測系統(tǒng)包括一承載臺、一第一光源、一第二光源、一鏡組、以及一取像模塊。承載臺承載具有包材的待檢測物。第一光源設于承載臺的下方,第一光源朝具有包材的待檢測物提供一第一光束,第一光束能穿透包材及其內(nèi)的待檢測物而產(chǎn)生一穿透光。第二光源設于承載臺的上方,第二光源朝具有包材的待檢測物提供一第二光束,第二光束照射包材及待檢測物而產(chǎn)生一反射光。鏡組設于承載臺的上方。取像模塊通過鏡組而接收穿透光及反射光,并分別對應產(chǎn)生一第一影像及一第二影像。
3、在本實用新型的一實施例中,上述影像處理模塊接收來自取像模塊的第一影像與第二影像,并比對第一影像的一灰階值與第二影像的一灰階值。
4、在本實用新型的一實施例中,上述第一光源可選擇為一紅外線光及一可見光的其中之一。
5、在本實用新型的一實施例中,上述第二光束以相對該包材形成一傾斜角朝具包材的待檢測物照射,傾斜角的范圍為介于5度至45度之間,以使第二光束照射包材及待檢測物而產(chǎn)生反射光,而使反射光具有散射光特性。
6、在本實用新型的一實施例中,上述第二光源經(jīng)過一分光片而產(chǎn)生第二光束,而反射光穿透分光片而傳導至取像模塊。
7、在本實用新型的一實施例中,上述具包材的待檢測物檢測系統(tǒng)還包括一旋轉平臺。旋轉平臺設置一容置部,容置部承載承載臺,旋轉平臺以一轉動方向轉動承載臺。
8、在本實用新型的一實施例中,上述具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng)包括一對位元件。對位元件一端連接于旋轉平臺,對位元件的另一端位于承載臺之上,對位元件用以對位具有包材的待檢測物。
9、在本實用新型的一實施例中,上述具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng)包括一吹氣模塊。吹氣模塊設于承載臺的上方,吹氣模塊提供一氣流至承載臺。
10、在本實用新型的一實施例中,上述承載臺為一透明結構。
11、在本實用新型的一實施例中,上述第一光源的波長不同于第二光源的波長。
12、在本實用新型的一實施例中,上述第一光源及第二光源分別為一線型光。
13、在本實用新型的一實施例中,上述具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng)還包括一徑向移動器,其可移載取像模塊及鏡組而相對具有包材的待檢測物移動。
14、基于上述,本實用新型具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng)是利用穿透光與反射光的光束特性分別對應作為背向光源使用與正向光源使用的特定光路的設計,而得到兩個影像,以利基于兩個影像的灰階特性的變化程度來判斷雜質是產(chǎn)生在包材或待檢測物上。
15、為讓本實用新型能更明顯易懂,下文特列舉實施例,并配合所附圖式作詳細說明如下。
1.一種具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),用以檢測一具有包材的待檢測物,其中該具有包材的待檢測物包括一待檢測物以及一包材,該待檢測物位于該包材之內(nèi),其特征在于,所述具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng)包括:
2.如權利要求1所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,所述具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng)還包括:一影像處理模塊,用以接收來自該取像模塊的該第一影像與該第二影像,并比對該第一影像的一灰階值與該第二影像的一灰階值。
3.如權利要求1所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,該第一光源為一紅外線光及一可見光的其中之一。
4.如權利要求1所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,該第二光束以相對該包材形成一傾斜角朝該具有包材的待檢測物照射,該傾斜角的范圍為介于5度至45度之間,以使該第二光束照射該包材及該待檢測物而產(chǎn)生該反射光,而使該反射光具有散射光特性。
5.如權利要求1所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,該第二光源經(jīng)過一分光片而產(chǎn)生該第二光束,而該反射光穿透該分光片而傳導至該取像模塊。
6.如權利要求1所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,還包括:
7.如權利要求6所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,包括:
8.如權利要求5所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,包括:
9.如權利要求1至權利要求6中任一項所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,該承載臺為一透明結構。
10.如權利要求1至權利要求6中任一項所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,該第一光源的波長不同于該第二光源的波長。
11.如權利要求1至權利要求6中任一項所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,該第一光源為一線型光及該第二光源分別為一線型光。
12.如權利要求1至權利要求6中任一項所述的具有包材的待檢測物檢測系統(tǒng),其特征在于,還包括:一徑向移動器,其能夠移載該取像模塊及該鏡組而相對該具有包材的待檢測物移動。