專(zhuān)利名稱(chēng):用于測(cè)試集成電路元件的電路結(jié)構(gòu)的制作方法
本發(fā)明涉及一種用于測(cè)試集成電路元件的電路結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)把測(cè)試電路和開(kāi)關(guān)單元以集成電路的形式，一起形成在一塊公共基片上，并可通過(guò)基片上的公共供電線來(lái)操作，開(kāi)關(guān)單元由一包括有用于輸出測(cè)試數(shù)據(jù)的輸出電路的測(cè)試電路所控制。
這種類(lèi)型的電路結(jié)構(gòu)在“電氣與電子工程師協(xié)會(huì)”(IEEE)的會(huì)刊1982年1月Volume 70，No1，第59至78頁(yè)，由Frank F.Tsui所著的“在現(xiàn)場(chǎng)具有測(cè)試能力的結(jié)構(gòu)”一文中已作了描述。在這種已知的電路結(jié)構(gòu)中，在構(gòu)成多個(gè)集成電路元件(芯片)的基片(晶片)上帶有許多與單個(gè)或所有電路元件連接的外部連接區(qū)(基座)。通過(guò)適當(dāng)?shù)慕涌?，測(cè)試設(shè)備被連接到這些外部引線上。借助于這種測(cè)試設(shè)備，來(lái)測(cè)試基片上的電路元件。但是，對(duì)這種結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，假定其中的電路元件是數(shù)字單元，除了為正常工作需要的結(jié)構(gòu)元件外，附加的結(jié)構(gòu)元件是與控制線結(jié)合在一起的。利用這樣的結(jié)構(gòu)，測(cè)試時(shí)的電路元件能被轉(zhuǎn)換成為操作狀態(tài)，在這種狀態(tài)下，所有的結(jié)構(gòu)元件的功能度均能被測(cè)定。由于附加了這種結(jié)構(gòu)元件，電路元件的某些有用的表面部分被浪費(fèi)掉了，所需要的附加連線又使實(shí)際工作中有用的連線數(shù)目減少了。由于把基片連接到測(cè)試電路的接口，在整個(gè)測(cè)試過(guò)程中，接口一直是被占用的，因此，除非減少測(cè)試時(shí)間，以測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確和不完全為代價(jià)，否則被測(cè)試基片的通過(guò)速度是低的。
在過(guò)去的其它刊物上已提出過(guò)在每個(gè)電路元件內(nèi)部永久性地設(shè)置其本身的測(cè)試電路。這就會(huì)浪費(fèi)掉大部分電路元件面積和最后完成的單元的可用外部連線。而且，要對(duì)這些電路元件單獨(dú)地進(jìn)行測(cè)試是非常費(fèi)時(shí)的。電路元件的誤差僅在邊界條件(final ondition)下進(jìn)行檢測(cè)，以致許多制造步驟均需要達(dá)到邊界條件，結(jié)果浪費(fèi)了時(shí)間。
本發(fā)明的目的是開(kāi)發(fā)一種能經(jīng)濟(jì)地測(cè)試集成電路元件的電路結(jié)構(gòu)。
該目的是通過(guò)本發(fā)明的具有如下特征的電路結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)的，讓測(cè)試電路(3)把測(cè)試中獲得的實(shí)際值與至少一個(gè)要測(cè)試的參數(shù)的期望值進(jìn)行比較，該測(cè)試電路包括一個(gè)中央單元(4)，用來(lái)測(cè)試多個(gè)電路元件(2)，并就至少一個(gè)測(cè)試參數(shù)而言，用來(lái)判斷電路元件的失效和不失效，以及用來(lái)按時(shí)間順序地判定電路元件的各自的功能度。
在本發(fā)明中，與先有技術(shù)相比和被測(cè)電路需要的面積有關(guān)的測(cè)試電路所需面積是明顯地減少了，由于減少了為測(cè)試所生產(chǎn)的集成電路所耗用的更多附加面積的成本，因而生產(chǎn)這種自測(cè)試集成電路是經(jīng)濟(jì)的。
相應(yīng)地，在根據(jù)本發(fā)明的電路結(jié)構(gòu)中，在電路元件的基片上形成有專(zhuān)門(mén)用于測(cè)試的電路。為了執(zhí)行各個(gè)測(cè)試步驟，測(cè)試電路通過(guò)基片上的各個(gè)被控制的開(kāi)關(guān)單元和連接線與各個(gè)電路元件相連。測(cè)試的結(jié)果通過(guò)測(cè)試電路的輸出電路傳送。因此，基片僅僅被連接到為測(cè)試用的一個(gè)合適的電源上，基片上的電路元件在測(cè)試之后能自動(dòng)地導(dǎo)通。所以，這種方便的連接，有可能采用合理的方法，同時(shí)地對(duì)多個(gè)基片或基片上的各個(gè)電路元件進(jìn)行測(cè)試。電路元件可以是模擬和/或數(shù)字電路，而且，不需要為了測(cè)試而包含專(zhuān)用部件。再者，在同一塊基片上可以形成不同類(lèi)型的電路元件。因此，并不限于個(gè)別的電路類(lèi)型。在各個(gè)基片上形成的測(cè)試電路，只要根據(jù)所需要的測(cè)試過(guò)程及其精度來(lái)設(shè)計(jì)。這表明與一般的測(cè)試裝置相比，這樣的結(jié)構(gòu)是大大地簡(jiǎn)化了，對(duì)傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，還必須考慮不同電路類(lèi)型和不同測(cè)試要求的各種應(yīng)用場(chǎng)合。測(cè)試電路和開(kāi)關(guān)單元在基片上要占一定的面積，但是這一面積與電路元件所占的面積比較起來(lái)是相對(duì)當(dāng)小的。并不要需要為了測(cè)試目的對(duì)電路元件本身作什么變動(dòng)，因此，在這里并沒(méi)有浪費(fèi)掉有用的面積，而且也保持了實(shí)際工作的可用連線的數(shù)目。當(dāng)測(cè)量單獨(dú)的電路元件非常費(fèi)時(shí)時(shí)，諸如在大容量存貯器，信息處理機(jī)場(chǎng)合或類(lèi)似的情況下，用根據(jù)本發(fā)明的電路結(jié)構(gòu)，能對(duì)多個(gè)基片上的電路元件簡(jiǎn)單地同時(shí)測(cè)試就尤其有利。
根據(jù)本發(fā)明的電路結(jié)構(gòu)的最佳實(shí)施例將在后面加以說(shuō)明。
現(xiàn)在將參照附圖中的例子對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)介紹，附圖中圖1是根據(jù)本發(fā)明電路結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)施例的平面視圖;
圖2是該電路結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖;
圖3表示用于該電路結(jié)構(gòu)中的一個(gè)開(kāi)關(guān)單元的一個(gè)例子;
圖4表示對(duì)被測(cè)電路元件供電的一個(gè)例子。
圖1是基片1的一個(gè)概略的平面視圖，在基片1上，將多個(gè)被測(cè)電路元件2形成集成電路。為了進(jìn)行測(cè)試，在基片1的由粗線圍繞的部分形成有測(cè)試電路3，在本實(shí)施例中，測(cè)試電路包括中央單元4，程序存貯器5，和一個(gè)帶有結(jié)果存貯器6和顯示器件7的輸出電路，此外，基片1上還具有用來(lái)為外部連接用的連接區(qū)8。
基片1是(例如)一般用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的半導(dǎo)體片(晶片)。根據(jù)要在其上形成的電路元件的特性，基片1也可以是任何其它襯底，和具有其它形狀，例如是矩形的。被測(cè)試的電路元件2可以是數(shù)字的，模擬的或數(shù)/?；旌想娐贰８鶕?jù)所要求的作用原理，電路元件2可以全部或部分地包含超導(dǎo)體，有機(jī)物或生物開(kāi)關(guān)元件，光波導(dǎo)體和相類(lèi)似的材料。它們可被設(shè)計(jì)成具有各種功能，就是說(shuō)，它們可以是從簡(jiǎn)單的開(kāi)關(guān)元件或放大器一直到大容量存貯器構(gòu)成的組件。如果電路元件2是用作非易失型存貯器，則它們首先被做成可編程存貯器的形式，然后，在測(cè)試過(guò)程中，或測(cè)試應(yīng)把期望的固定值編入到程序中。如果電路元件為帶有附加電池的存貯器形式，對(duì)于后者，如果必要，當(dāng)測(cè)試發(fā)現(xiàn)的“環(huán)”的時(shí)，則可以用開(kāi)關(guān)轉(zhuǎn)換，以便代替這些電池。
測(cè)試電路3在基片1上占有比單獨(dú)的電路元件2更大的面積，但是這樣一來(lái)免去了安裝在每個(gè)電路元件內(nèi)的分立的測(cè)試電路，如果把每個(gè)電路元件中的測(cè)試電路合在一起，則甚至要占用更大的面積，特別會(huì)使電路元件中的功能件的數(shù)目減少。
測(cè)試電路3包含有一種帶有中央單元4和程序存貯器5的微處理器。中央單元4包括用于連接到開(kāi)關(guān)單元2和用于控制這些連線的接口;用于產(chǎn)生測(cè)試信號(hào)，時(shí)鐘信號(hào)，控制信號(hào)以及類(lèi)似信號(hào)的振蕩器;用于控制程序執(zhí)行等的時(shí)間發(fā)生器。中央單元4也可包含自測(cè)電路和帶有備用單元或備用通道，如果通過(guò)自測(cè)表明中央單元或通道已失效時(shí)，則可以用連接備用單元或通道來(lái)代替。中央單元4執(zhí)行貯存在程序存貯器中5的測(cè)試程序。測(cè)試程序?qū)⒏鶕?jù)待測(cè)電路元件的特性，被測(cè)參數(shù)的種類(lèi)，要求的精度以及類(lèi)似的要求來(lái)設(shè)計(jì)。因此，可以為程序存貯器5準(zhǔn)備適當(dāng)?shù)某绦蚰Ｊ?，并有選擇地使用與中央單元4的電路模式保持一致的程序。
此外，測(cè)試電路3包含具有結(jié)果存貯器6和顯示器件7的輸出電路。和程序存貯器5的情況一樣，結(jié)果存貯器6能根據(jù)待測(cè)電路元件和測(cè)試規(guī)范來(lái)設(shè)計(jì)，而且和程序存貯器一樣，也能有選擇地應(yīng)用。結(jié)果存貯器6可以貯存“好/壞”數(shù)據(jù)，誤差類(lèi)型的數(shù)據(jù)，質(zhì)量范圍的數(shù)據(jù)以及類(lèi)似的數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)是作為測(cè)試結(jié)果通過(guò)中央單元4引入的。測(cè)試數(shù)據(jù)被貯存在結(jié)果存貯器6的予定的存貯位置中，這些位置是與各個(gè)電路元件2有關(guān)的。結(jié)果存貯器6最好是諸如可編程序只讀存貯器之類(lèi)的非易失存貯器形式，在這類(lèi)存貯器中，貯存的內(nèi)容可由中央單元4檢索，例如，為了打印測(cè)試結(jié)果或進(jìn)行修理或根據(jù)測(cè)試結(jié)果打標(biāo)記，如果有可能去修復(fù)基片1上的不合格電路元件2(例如，利用激光束)，則結(jié)果存貯器6將采用可擦可編程序存貯器(EPROM)的形式，該存貯器在電路元件2完全修復(fù)后，可擦去原來(lái)的測(cè)試結(jié)果，并用來(lái)貯存新的測(cè)試結(jié)果。顯示器7用來(lái)把所需范圍的測(cè)試結(jié)果給出一個(gè)可見(jiàn)的顯示。顯示器件7可以隨結(jié)果存貯器6的內(nèi)容或自身所包含的用于某些測(cè)試結(jié)果(例如關(guān)于質(zhì)量等級(jí))的存貯單元而工作。顯示器件7對(duì)每個(gè)待測(cè)電路元件2包含至少一個(gè)顯示元件，例如發(fā)光二級(jí)管或易熔連線是最理想的，該連線熔斷時(shí)能用光學(xué)方法檢測(cè)。根據(jù)圖1，顯示器件7的顯示元件被組合在一個(gè)顯示區(qū)域中，在該區(qū)域中，顯示元件是以與電路元件2相同的圖樣排列的。測(cè)試結(jié)束后，為了進(jìn)行誤差分析，可對(duì)該顯示區(qū)域自動(dòng)地加以評(píng)價(jià)和/或用放大鏡或顯微鏡來(lái)檢查，并用墨水對(duì)不合格的電路元件打上標(biāo)記，當(dāng)誤差的數(shù)量超過(guò)一定值時(shí)，就報(bào)廢整個(gè)基片以及其它等等。雖然在圖中沒(méi)有說(shuō)明，也可把顯示區(qū)域或附加在其內(nèi)的顯示元件安排在對(duì)應(yīng)的電路元件2的附近。當(dāng)在評(píng)價(jià)測(cè)試結(jié)果時(shí)，這種安排能簡(jiǎn)化地址分配。
基片1上的連線區(qū)域8用于為電路元件2和測(cè)試電路3供電，還用于數(shù)據(jù)的輸入和輸出，例如，通過(guò)相應(yīng)的連線區(qū)域8，可以輸出結(jié)果存貯器6的內(nèi)容，以用來(lái)記錄或類(lèi)似的目的，或?yàn)殚_(kāi)始測(cè)試，或?qū)δ骋惶囟ú糠譁y(cè)試，或根據(jù)某些測(cè)試結(jié)果，執(zhí)行附加的測(cè)試而對(duì)中央單元4輸入一個(gè)指令。
按照?qǐng)D2所示的方法，測(cè)試電路3經(jīng)由連線和開(kāi)關(guān)單元被連到電路元件2。根據(jù)圖2，輸入總線9引到各個(gè)電路元件2的輸入端而電路元件的輸出端經(jīng)過(guò)各自的開(kāi)關(guān)單元10，在測(cè)試電路3的控制下連到公共輸出總線11，輸出總線11又引回到測(cè)試電路3中的中央單元4。開(kāi)關(guān)單元10通過(guò)控制線12和13由中央單元4控制。在圖2所示的情況下，開(kāi)關(guān)單元10以移位寄存器的形式連接成鏈?zhǔn)诫娐?，在這個(gè)鏈?zhǔn)诫娐分校_(kāi)關(guān)單元經(jīng)過(guò)被環(huán)繞或步進(jìn)線形式的控制線12依次導(dǎo)通和斷開(kāi)，控制線13在這里用來(lái)為步進(jìn)發(fā)送時(shí)鐘信號(hào)。
為了測(cè)試單個(gè)電路元件2，相應(yīng)的開(kāi)關(guān)單元10導(dǎo)通，而所有其它的開(kāi)關(guān)單元被關(guān)閉。電路元件2通過(guò)輸入總線9接收一定的輸入信號(hào)，這些信號(hào)把適當(dāng)?shù)妮敵鲂盘?hào)引到輸出總線11上。測(cè)試電路3借助中央單元4檢測(cè)實(shí)際出現(xiàn)于輸出總線11上的信號(hào)是否與期望的信號(hào)相符或是否在期望的范圍之內(nèi)。
同樣的開(kāi)關(guān)單元10也可以連接在總線9和電路元件2的輸入端之間，并分別同電路元件輸出端的相應(yīng)的開(kāi)關(guān)單元10一起受到控制。因而，能防止中央單元4的輸出級(jí)因驅(qū)動(dòng)接到許多電路元件2輸入端的總線9而過(guò)載。
圖3示出了一個(gè)開(kāi)關(guān)單元10的結(jié)構(gòu)的實(shí)施例。開(kāi)關(guān)單元10包括一個(gè)貯存元件14和至少一個(gè)開(kāi)關(guān)元件15。貯存元件14是觸發(fā)器型的，該觸發(fā)器在圖3的整個(gè)電路中是鏈?zhǔn)诫娐返囊徊糠?，該開(kāi)關(guān)根據(jù)前面開(kāi)關(guān)單元10的開(kāi)關(guān)狀態(tài)，在控制線13上的時(shí)鐘信號(hào)控制下經(jīng)由步進(jìn)線12來(lái)轉(zhuǎn)換。貯存元件14的輸出信號(hào)用來(lái)轉(zhuǎn)換被連接的開(kāi)關(guān)元件15，在圖3中示出了開(kāi)關(guān)元件的幾個(gè)例子。根據(jù)圖3，一個(gè)特定的開(kāi)關(guān)元件15可以是開(kāi)關(guān)型緩沖器或放大器，開(kāi)關(guān)型反相器，與門(mén)，與非門(mén)或開(kāi)關(guān)晶體管。根據(jù)電路元件2的特性，開(kāi)關(guān)元件可以是模擬或數(shù)字開(kāi)關(guān)元件型的。此外，開(kāi)關(guān)單元10可以包含多個(gè)如圖3的單元，這些單元用于為依次的測(cè)試步驟，諸如信號(hào)變換，電平轉(zhuǎn)換，信號(hào)組合以及其它類(lèi)似的步驟給出不同的測(cè)試狀態(tài)。
圖4示出了為各個(gè)電路元件2供電的圖。在圖4的例子中，每個(gè)電路元件2的兩根電源線均包含有保險(xiǎn)絲16，該保險(xiǎn)絲在電流過(guò)大時(shí)熔斷，這種熔斷狀態(tài)最好可用光學(xué)方法來(lái)確認(rèn)。熔絲16作為保險(xiǎn)絲用來(lái)切斷有故障電路元件2，這種有故障電路元件將妨礙對(duì)所有電路元件供電，從而使測(cè)試不能進(jìn)行。另外，圖4示出了兩個(gè)開(kāi)關(guān)晶體管17，利用該晶體管，在測(cè)試電路3的控制下，為了對(duì)已發(fā)現(xiàn)的不合格電路元件做上標(biāo)記，或?yàn)榱吮苊?例如)通過(guò)“雜散振蕩”(wild oscillations)使測(cè)試受到影響，可以加上一個(gè)電壓有意地使特定的保險(xiǎn)絲16熔斷。這種保險(xiǎn)絲16也可以加在各個(gè)電路元件2的特定的輸入和輸出線上，以致任何短路將不會(huì)使中央單元4受到影響。另外，為了減少測(cè)試期間的功率消耗，可以用其它的開(kāi)關(guān)晶體管(未示出)來(lái)代替保險(xiǎn)絲16或在其上附加一個(gè)晶體管，該晶體管在測(cè)試電路3的控制下，僅僅能使一個(gè)電路元件2或其中的一組被加上電流。
開(kāi)關(guān)單元10，輸入輸出總線9，11以及保險(xiǎn)絲16和開(kāi)關(guān)晶體管17與電源線一起，被安排在基片1的所要求的部位，當(dāng)基片1用激光束或其它方法割成單個(gè)電路元件時(shí)，該部位就被省去了?；?被分割后，即獲得一個(gè)已被測(cè)試過(guò)的，并僅僅包含結(jié)構(gòu)元件和為實(shí)現(xiàn)其功能所必要的連線的電路元件2。
圖1僅僅示出了測(cè)試電路3和電路元件2合在一起的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子。另一方面，測(cè)試電路3也能沿基片1的周緣排列而不象圖1那樣排列在一側(cè)，也能排列在基片1的中間可使引線更短，當(dāng)用不同的電路元件2裝備基片1時(shí)，可以配備不同的可檢索程序存貯器。
根據(jù)上述實(shí)施例，對(duì)帶有導(dǎo)線和開(kāi)關(guān)單元的用電信號(hào)來(lái)測(cè)試電路元件的電路結(jié)構(gòu)已經(jīng)作了說(shuō)明。但是，同樣地用來(lái)測(cè)試電路元件的電路結(jié)構(gòu)也能這樣構(gòu)成，在這種結(jié)構(gòu)中，到少部分地使用光導(dǎo)體，超導(dǎo)體，有機(jī)物導(dǎo)體或類(lèi)似的材料。在那種情況下，電路結(jié)構(gòu)的各個(gè)連線和開(kāi)關(guān)元件必需被適當(dāng)?shù)貥?gòu)成。
圖1中所示的測(cè)試電路3處在電路元件2以外的區(qū)域，但是測(cè)試電路的某些部分，例如，測(cè)試信號(hào)放大器，數(shù)字緩沖器，范圍極限開(kāi)關(guān)等等也能安排在線路元件的輸出或輸入端附近，以消除由過(guò)長(zhǎng)的測(cè)試信號(hào)線所引起的誤差影響。
權(quán)利要求
1.用于測(cè)試電路元件的電路結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)把測(cè)試電路和開(kāi)關(guān)單元以集成電路的形式，一起形成在一塊公共基片上，并可通過(guò)基片上的公共供電線來(lái)操作，開(kāi)關(guān)單元由測(cè)試電路控制，該測(cè)試電路包括用于輸出測(cè)試數(shù)據(jù)的輸出電路，特征在于測(cè)試電路(3)被安排成用于把測(cè)量中獲得的實(shí)際值與至少一個(gè)要測(cè)試的參數(shù)的期望值相比較，測(cè)試電路包括一個(gè)中央單元(4)，中央單元被配置成用來(lái)測(cè)試多個(gè)電路元件(2)，并就至少一個(gè)測(cè)試參數(shù)而言，用來(lái)判斷電路元件的合格和不合格，以及按時(shí)間順序地判定電路元件的各自的功能度。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1的電路結(jié)構(gòu)，特征在于測(cè)試電路(3)包括程序存貯器(5)和在中央單元(4)中的微處理器。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1或2的電路結(jié)構(gòu)，特征在于測(cè)試電路(3)被設(shè)計(jì)成自測(cè)試型的，并包含能根據(jù)自測(cè)試結(jié)果被轉(zhuǎn)換接通的等同電路組。
4.根據(jù)上述任一權(quán)利要求
的電路結(jié)構(gòu)，特征在于每個(gè)電路元件(2)的電源能由測(cè)試電路(3)接通和關(guān)斷。
5.根據(jù)上述任一權(quán)利要求
的電路結(jié)構(gòu)，特征在于各個(gè)電路元件(2)經(jīng)過(guò)熔絲(16)連接到電源線，該熔絲在相關(guān)的電路元件內(nèi)部短路時(shí)熔斷，或可通過(guò)由測(cè)試電路(3)操作的晶體管(17)加上電源電壓而熔斷。
6.根據(jù)上述任一權(quán)利要求
的電路結(jié)構(gòu)，特征在于輸出電路(6，7)包括其存貯位置分配給各個(gè)電路元件(2)的結(jié)果存貯器(6)，用來(lái)貯存有關(guān)電路元件的功能度方面的信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求
6的電路結(jié)構(gòu)，特征在于結(jié)果存貯器(6)是非易失型存貯器。
8.根據(jù)權(quán)利要求
6或7的電路結(jié)構(gòu)，特征在于結(jié)果存貯器(6)能通過(guò)基片(1)的外部連線(8)讀出。
9.根據(jù)上述任一權(quán)利要求
的電路結(jié)構(gòu)，特征在于輸出電路(6，7)包括一個(gè)用于可見(jiàn)地顯示測(cè)試結(jié)果的顯示器件(7)。
10.根據(jù)權(quán)利要求
9的電路結(jié)構(gòu)，特征在于顯示器件(7)包括用于每個(gè)電路元件(2)的至少一個(gè)顯示元件，所述顯示元件被安置于每個(gè)有關(guān)電路元件(2)的附近或單獨(dú)的顯示區(qū)域內(nèi)。
11.根據(jù)權(quán)利要求
10的電路結(jié)構(gòu)，特征在于顯示元件是發(fā)光二極管或易熔連線，該熔絲的熔斷狀態(tài)能用肉眼辨別。
12.根據(jù)權(quán)利要求
11的電路結(jié)構(gòu)，特征在于顯示元件與非易失存貯器的電池有關(guān)。
13.根據(jù)上述任一權(quán)利要求
的電路結(jié)構(gòu)，特征在于開(kāi)關(guān)單元(10)和/或連接所述開(kāi)關(guān)單元與測(cè)試電路的連線(9，11)被形成于基片(1)的一個(gè)區(qū)域中，當(dāng)基片被切割后，該區(qū)域就完全脫離了。
14.根據(jù)上述任一權(quán)利要求
的電路結(jié)構(gòu)，特征在于每個(gè)開(kāi)關(guān)單元10包括一個(gè)存貯器元件(14)和至少一個(gè)被控的開(kāi)關(guān)元件(15)，從而把連線(9.11)中的一根轉(zhuǎn)接到相應(yīng)的電路元件(2)上。
15.根據(jù)權(quán)利要求
14的電路結(jié)構(gòu)，特征在于存貯器元件(14)被連成一個(gè)鏈?zhǔn)诫娐?，該鏈?zhǔn)诫娐分薪油ù尜A器的狀態(tài)能被移位。
16.根據(jù)上述任一權(quán)利要求
的電路結(jié)構(gòu)，特征在于為了轉(zhuǎn)換或傳導(dǎo)電信號(hào)或電磁幅射形式的信號(hào)，開(kāi)關(guān)單元(10)至少是被局部形成的。
17.根據(jù)上述任一權(quán)利要求
的電路結(jié)構(gòu)，特征在于由測(cè)試電路(3)的測(cè)試結(jié)果所斷定不合格的電路元件(2)的至少一根公共電源線和/或連線(9，11)能被來(lái)自測(cè)試電路的控制信號(hào)暫時(shí)或永久地關(guān)斷。
專(zhuān)利摘要
用于測(cè)試電路元件的電路結(jié)構(gòu)，該電路元件作為 集成電路形成于一塊公共基片上，并可經(jīng)基片上的 公共供電和輸入線操作。該電路結(jié)構(gòu)的測(cè)試電路和 開(kāi)關(guān)單元作為集成電路形成在同一基片上，開(kāi)關(guān)單 元可由測(cè)試電路控制并插在連接測(cè)試電路和電路元 件的連線中。測(cè)試電路裝有傳遞測(cè)試結(jié)果的輸出電 路，在測(cè)試電路元件時(shí)，測(cè)試電路除電源線外沒(méi)其它 連線，自測(cè)試有利用測(cè)試電路的中央單元比較實(shí)際 和期望值來(lái)判別元件合格與否，并順時(shí)地確定其功 能度。
文檔編號(hào)G01R31/26GK86105604SQ86105604
公開(kāi)日1987年2月11日 申請(qǐng)日期1986年7月24日
發(fā)明者海因茨·克魯格 申請(qǐng)人:海因茨·克魯格導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan