專利名稱：通過式Ag-Bi薄膜激光探測器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
通過式Ag－Bi薄膜激光探測器是一種專門配在激光器上檢測激光功率和能量的新型探測器。
目前，檢測激光的方法有兩種一種是分光方法測量；這種方法對于激光能量有一定的損失，并且安裝不方便；另一種檢測方法是用功率計(jì)檢測，這種方法在使用激光時不能隨時檢測能量。
本實(shí)用新型的目的，在使用激光器檢測能量時，提供了一種用Ag－Bi薄膜熱電堆通過式的方法，可以隨時測量激光能量。
本實(shí)用新型是在圓環(huán)形絕緣材料襯底上，用真空蒸發(fā)法制成Ag－Bi熱電堆，中間接點(diǎn)上鍍金黑(圖A)吸收層。金黑(圖A)是在氬氣的氣分中蒸涂金而成的。它在紫外、可見與紅外具有非常高的吸收率。檢測時，激光通過中間孔，檢測到激光能量。
主要性能如下激光響應(yīng)率－0.15mv／w～0.3mv／w(直流)激光能量透過率＜99.98％光譜響應(yīng)－無選擇性響應(yīng)時間－15msec。
測量功率范圍－1w～1000W。
通過式Ag－Bi薄膜激光探測器，用Ag－Bi薄膜熱電堆測量激光側(cè)翼光能量時，測量功率范圍寬、精度高；使用范圍廣；物理化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定；操作方便。并且，沒有損失激光能量，另外也不用調(diào)光路，隨時都可以檢測激光能量，這樣大大地提高效率和質(zhì)量。
附圖
是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)圖。
下面結(jié)合本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)圖加以詳細(xì)說明Ag(圖C)－Bi(圖B)熱電堆多元數(shù)可根據(jù)靈敏度要求確定，在接點(diǎn)圓中間有孔，并在接點(diǎn)處上鍍金黑(圖A)吸收層。中間孔徑大于激光光班直徑，孔徑大小根據(jù)激光能量強(qiáng)弱來確定，使用時激光光班中心和探測器需要同心。這樣，檢測時激光通過中間孔，就可檢測到激光能量。
權(quán)利要求1.一種激光能量檢測器，其特征在于薄膜熱電堆是環(huán)狀型。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜熱電堆，其特征在于在圓環(huán)型絕緣材料襯底上是Ag－Bi的薄膜熱電堆。
專利摘要通過式Ag-Bi薄膜激光探測器是專門配在激光器上檢測激光功率/能量的新型探測器。本實(shí)用新型用通過式的方法，用Ag-Bi薄膜熱電堆來檢測激光能量。檢測時激光通過探頭的中間孔，靠激光側(cè)翼光輻射來測激光能量。所以，對于激光能量既沒有損失，又不用調(diào)光路，使用時可以隨時檢測激光能量。
文檔編號G01J1/00GK2050161SQ8920608
公開日1989年12月27日 申請日期1989年4月20日 優(yōu)先權(quán)日1989年4月20日
發(fā)明者韓順姬 申請人:吉林大學(xué)