專利名稱：圓片釋放法和釋放器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是Blake等人在1993年1月15日向美國專利局申請的題為“圓片檢測和夾持監(jiān)示器”的專利申請08/005，030的部分繼續(xù)(CIP)申請。
本發(fā)明涉及一種用以將半導(dǎo)體圓片夾持在圓片支架上的靜電式夾持器，更具體地說，涉及控制這種夾持器工作過程的一種方法和裝置。
標(biāo)題為“應(yīng)用交流電場激磁的靜電式夾具”的美國專利5，103，367涉及一種半導(dǎo)體圓片固定機構(gòu)，用以在圓片處理過程中固定與支架接觸的圓片。這種靜電式夾具有三個電極，其中兩個電極形成基本上為平面的表面，且埋置在一個絕緣薄膜中。該兩電極由低頻(約200赫)交流電源激勵，產(chǎn)生幅值和相位受控的信號波場(signwavefields)。第三個電極采用屏蔽電極，用作其它兩個電極的參考點。通過控制電壓的施加和消除頻率，可以在圓片支架上得出低電壓梯度。這樣做可以使絕緣介質(zhì)與圓片之間沒有保持力(retentiveforces)。用低幅值的交流電激勵夾具可以通過容性電流檢測出圓片和絕緣薄膜的相對位置，從而可以簡化施加到電極上的電壓的控制過程。
靜電式夾持法常見的問題是切斷加到夾具上的保持電壓時，圓片不能從夾具中釋放出來。有若干因素是造成這種殘留夾持力的原因。
首先，大多數(shù)絕緣體曝露在強電場中之后顯示出一定程度的半永久性極化現(xiàn)象。這種極化現(xiàn)象即使在電壓消除之后也具有保持夾持力的作用。高介電常數(shù)的物質(zhì)特別容易受到這種作用，而制造圓片支架最經(jīng)常使用的絕緣材料正是這種物質(zhì)，因為它們的高介電常數(shù)提高了上述夾持力。
其次，即使介絕體是沒有任何殘留極化現(xiàn)象的完美物質(zhì)，存儲在夾具中的彈性能量也會引起殘留夾持力。舉例說，在夾具結(jié)構(gòu)的一部分是由彈性體制成的情況下，夾具的電容就變得與電壓有關(guān)。這樣單憑短接電壓源是不能使構(gòu)成夾具的串聯(lián)電容器放電的。更確切地說，必須將所存儲的能量散發(fā)到外部電路中。由于夾具的電路不是簡單的直流源而是含有電容和電感電路，因而單靠經(jīng)外部電路的短接不能引出所存儲的能量。
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體圓片在離子束處理工序前、后對圓片的處理方法和裝置。處理之前，在半導(dǎo)體圓片與支架之間產(chǎn)生靜電吸力，使圓片固定到支架上。接著，圓片通常運送到處理站，再送回到裝料站，然后從支架上卸下來。
在圓片處理的過程中，圓片與圓片支架因相互的靜電吸力彼此相互吸引。這最好是通過激勵圓片支架中的電極而進行。這些電極是通過電源加過來的偏壓產(chǎn)生靜電吸力的。
圓片業(yè)已處理之后，以受控的頻率轉(zhuǎn)換電源的輸出極性以減小圓片與圓片支架之間的吸引力。這樣就可以借助現(xiàn)有技術(shù)所周知的圓片機械處理裝置從支架上卸下圓片。有節(jié)制進行轉(zhuǎn)換的同時，還可以逐步減小加在支架電極兩端的電位差的幅值。通過減小圓片與支架之間的吸力可以完好無損地卸下圓片，從而提高了離子注入器的效率。
現(xiàn)有技術(shù)圓片處理系統(tǒng)中，圓片與圓片支架之間的殘留吸力可能是由存儲在圓片支架中的電荷引起的?；仡櫼幌蚂o電式夾具的結(jié)構(gòu)和制造過程，支架可以看成多個串聯(lián)的電容器。電容器不同，表明其各不同材料層的介電常數(shù)不同。僅僅短接圓片支架并不能使所有的電容器都徹底放電，因為一旦內(nèi)部達到某種平衡狀態(tài)，放電電流就會停止流通(在此過程中，一個電容器成了另一個電容器的充電源)。本發(fā)明的作法是使足量的放電電流保持下去，直到剩余的電荷可以忽略不計為止。
偏壓中衰減的幅值可用施加從低到高的可變頻率而進行的頻率調(diào)制來近似，即轉(zhuǎn)換(跨過兩支架電極兩端的)電源電壓的極性。這個方法是以這樣的事實為依據(jù)的，即這些電容器都不是理想的電容器，其介電常數(shù)由于圓片支架的彈性體材料而實際上“有損耗”。這樣來“訓(xùn)練”電容器，使得可將存儲的能量加以散發(fā)。
從上述內(nèi)容可知，本發(fā)明的一個目的是提供一種便于對圓片進行處理但又能始終控制圓片的離子注入裝置和方法。這最好是用按這里所公開和要求保護的本發(fā)明構(gòu)制的圓片釋放器和按本發(fā)明進行的圓片釋放法付諸實施。
從結(jié)合


的最佳實施例的詳細說明可以更好地理解本發(fā)明的上述和其它目的、優(yōu)點和特點。
圖1是電源、靜電式夾持裝置和電容測定電路的原理圖。
圖2是離子注入器中使用的圓片支架的平面圖。
圖3是從圖2的平面3-3看上去的視圖。
圖4和4A是電容檢測電路的原理圖。
圖5是用來供電給圖4和4A的檢測電路的電源電路。
圖6是應(yīng)用圖4和4A電容檢測電路的輸出來控制離子注入器的控制系統(tǒng)的原理圖。
圖7和圖8是用以控制圖1中所示的電源的輸出極性的電路原理圖。
各附圖示出了用以支撐和固定半導(dǎo)體圓片12(圖3)以便進行處理的夾持裝置10。夾持裝置10包括最好由氧化鋁或鉬制成的支撐板14、也是由氧化鋁制成的底板構(gòu)件16、玻璃絕緣層18和氧化鋁絕緣層20。電極22、24置于玻璃層18與絕緣層20之間，加熱元件26置于玻璃層與底板構(gòu)件16之間。
如美國專利4，261，762中所述的那樣，氣體管件28通過夾具裝置孔延伸入圓片與層20之間的界面，起冷卻在圓片與夾具之間流通的氣體的作用。層20上部表面開有氣體分配槽29，協(xié)助氣體的分配工作。
底板構(gòu)件16形成有一個冷卻流體流通通道30的管道。在最佳實施例中，通道呈螺旋形，但也可以是曲曲折折的通路，也可以是一系列相互連接的通道。各通道借助于支撐板14封閉起來，形成密閉的一條或多條導(dǎo)管，支撐板14緊挨管道而密封著。支板上開有冷卻劑入口管件32和冷卻劑出管件34用的孔。鑒于本夾具裝置是準(zhǔn)備在很寬范圍的溫度條件下工作的，因而流過管道的冷卻介質(zhì)可以是液體或氣體，視具體應(yīng)用情況而定。
夾具結(jié)構(gòu)絕緣層20最好由高純度(99.5%)的薄氧化鋁層(約0.25毫米厚)制成。然后將電極22和24敷到絕緣層的底表面(如圖2中所示)上，最好是用絲網(wǎng)印刷法將銅鋁粉或銀鈀粉以及玻璃料粉組成的糊劑印制到絕緣層上，然后在大約700℃下燒制。如圖1中所示，各電極在平面圖中基本上呈半圓形。
加熱元件26是用絲網(wǎng)印刷法將鎢粉和玻璃料粉組成的糊劑印制到管道上形成連續(xù)彎彎曲曲的通路制成的，通路的幾何結(jié)構(gòu)最好如圖3所示的那種，使外邊緣的加熱功率密度更高一些，從而使夾具整個表面上的溫度均勻性達到最佳狀態(tài)。
電極22、24和加熱元件26一經(jīng)燒制到絕緣層上，絕緣層20就固定到管道上。上述裝配過程完畢之后，支撐板14就在爐中借助于密封玻璃而釬焊或密封到管道16的底部。
如圖3的示意圖所示，供接電極22的第一導(dǎo)線40和接電極24的第二導(dǎo)線42用的通孔36、38都穿過支撐板14、管道16和絕緣層18。導(dǎo)線40、42用釬焊或其它適當(dāng)?shù)姆椒?例如可與電極接合的彈性觸點)連接到各電極上，并連接到電源44(圖1)，由電源44提供約3千伏的直流信號，以產(chǎn)生作用到安置在絕緣層20表面的半導(dǎo)體圓片12上的靜電夾持力。電源44有兩個模件44a、44b，兩者連接在一起形成雙極的輸出端。
第三導(dǎo)線50也是用釬焊等方法連接到加熱元件的一個端子上，第四導(dǎo)線52同樣連接到加熱元件26的另一個端子上以便將加熱元件接到工作電壓一般為120伏的第二電源54上，供第三和第四導(dǎo)線用的通孔46、48也穿過支撐板14和管道16開設(shè)。通孔36、38和供氣體管件28用的孔最好開設(shè)成通入結(jié)構(gòu)中，孔36、38用密封玻璃加以密封，管件用密封玻璃連接到孔中。
電容檢測電路從圖1中可以看到，來自電極22、24的輸入110、112耦合到電容檢測電路114上。該兩輸入端110、112兩端之間的電容與電極22、24之間的電容相當(dāng)，它不僅受加到電極上的電壓的影響，也受圓片是否存在的影響。這兩個輸入耦合到集成電路122中的運算放大器120上。集成電路是市售的LF356集成電路，可從美國國家半導(dǎo)體公司購得。
運算放大器120產(chǎn)生的輸出信號具有直接與輸入端110、112之間的電容有關(guān)的振蕩頻率。
運算放大器120的輸出振蕩信號在0伏與5伏之間變化。該信號經(jīng)過整形加到比較放大器130上，該放大器的參考輸入端132的電壓由齊納二極管134限定到5伏左右。比較放大器130產(chǎn)生的方波信號輸出，其占空因數(shù)為50%，其作用時間(ONperiod)隨檢測出的電容值而變化。圓片的直徑為4英寸，這個作用時間當(dāng)圓片未就位時約為20微秒，圓片在層20上就位時約為30微秒，圓片就位且電極上有電源44加的夾持電壓(約3千伏)時約為40微秒。
比較放大器130的輸出使發(fā)光二極管140、142導(dǎo)通和截止，該兩發(fā)光二極管在光路上與相應(yīng)的光檢測器隔離開來。上部光檢測器144供判斷用，其輸出148可耦合到例如一個示波器上，供監(jiān)測頻率隨電容值而產(chǎn)生的變化。
第二光檢測器146產(chǎn)生與模擬開關(guān)152(圖4A)連接的、用以使晶體管150導(dǎo)通和截止的信號。模擬開關(guān)152的輸入端(IN)接晶體管150的集電極。該晶體管導(dǎo)通及截止時，開關(guān)152的輸出端(S1，S2)依次根據(jù)來自比較器130的方波頻率輸出從地改變到8伏的狀態(tài)。
模擬開關(guān)152的輸出由電阻電容電路154進行積分，從而使加到運算放大器162的不倒相輸入端160上的輸入的電壓電平直接與電路114檢測到的電容有關(guān)。運算放大器162作為電壓跟隨器工作，從而使命名為FVOU的輸出164是一個直接與所檢測的電容值有關(guān)的直流輸出信號。注入器控制系統(tǒng)250(圖6)即用該直流輸出信號來監(jiān)測系統(tǒng)的性能。用以將圓片放置到夾具上的圓片輸送機是根據(jù)檢測到的適當(dāng)?shù)臒o圓片情況而啟動的。一旦檢測出有圓片存在，控制電路250就促使電源44供電給電極22、24，使夾具與圓片之間產(chǎn)生靜電吸力。
現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖5，圖中示出了用以產(chǎn)生適用于電容監(jiān)測電路114的電壓的電源電路200。圖5左側(cè)的兩個輸入端210、212提供激勵發(fā)光二極管213的電壓。該電壓根據(jù)齊納二極管214的箝位操作產(chǎn)生12伏信號。接著，12伏信號加到集成電路調(diào)壓器216、218以產(chǎn)生+8伏和-5伏的電壓。直流/直流變流器220提供±15伏信號。這些電壓加到圖4、4A中的電路，使本發(fā)明具備監(jiān)測電容值的能力。
圓片釋放圖6的注入器控制系統(tǒng)250與圖7和8中畫出的圓片釋放電路300相連接，由該電路觸發(fā)具有雙極輸出結(jié)構(gòu)的電源44。電路300包括邏輯驅(qū)動電路310，電路310的兩個輸出端OUT1、OUT2接兩個電源模件44a、44b。電源模件最好是市售的MC-30電源模件，可從美國佛羅里達州奧蒙德比奇的伽馬高電壓公司購得。兩個輸入IN1、IN2控制輸出OUT1、OUT2。當(dāng)IN1為正時，來自邏輯電路310的輸出OUT1為正并起電流源的作用，從而啟動第一電源模件44a。發(fā)生這種情況時，裝在圓片支架上的兩個電極兩端的電壓處于第一極性。當(dāng)IN2為正時，邏輯電路310的輸出OUT2為正，并起電流源的作用，且第二開關(guān)電源模件44b起作用，從而倒轉(zhuǎn)跨在電極兩端電壓的極性。電路310在市面上有出售，可從SGS湯姆公司購得，物品名稱為L6202。
圓片放置到支撐層20上之后，在圓片注入離子之前，啟動電源44的一個模件，使圓片與支架之間保持靜電吸力。為達到此目的，電路310的ENABLE(啟動)輸入端312處于高電平，其中一個或其它輸入端IN1、IN2在注入離子過程中仍然為正。這使電極22、24上加有固定電壓，保持圓片與支架之間的靜電吸力。
要從支架上釋放圓片時，電路310的啟動輸入端ENABLE仍然處于高電平，但兩個輸入端IN1、IN2借助于觸發(fā)器320的Q和Q非輸出端交替導(dǎo)通和截止。電源極性的切換頻率由觸發(fā)器320的輸入322控制。觸發(fā)器系構(gòu)制成除2計數(shù)器，使得輸入端信號的頻為f，其輸出按f/2的頻率而改變狀態(tài)。Q和Q非輸出切換時，模件44a、44b中不同的一個啟動，切換圓片支架內(nèi)各電極兩端的極性。
現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖7，加到觸發(fā)器320的輸入322是來自于有兩個輸入端332、334的“與”門330。加到“與”門330的一個輸入332與來自控制器250加到光頻隔離器(optoisolator)344的兩個輸入端340、342的控制信號有關(guān)。當(dāng)輸入端340相對于輸入端342為正時，電流流經(jīng)光頻隔離器內(nèi)的發(fā)光二極管344a，使光敏傳感器344b啟動。于是便產(chǎn)生加到輸入端332的低輸出。當(dāng)控制器250檢測出支架上有圓片時就把電壓加到兩輸入端340、342兩端，并根據(jù)該檢測出的情況使圓片與支架之間的吸力起作用。
當(dāng)控制器250將夾持啟動電壓加到輸入端340、342上時，“與”門330的輸入端332上的信號轉(zhuǎn)入低電平，促使來自“與”門330的輸出轉(zhuǎn)入低電平，并保持觸發(fā)器320處于一個狀態(tài)(該狀態(tài)在夾持過程中不重要)。從圖7中可以看到，來自光頻隔離器344的低輸出信號也加到一個其輸出端通過倒相器352接“與”門354(圖8)的負“或門”350上。來自光頻隔離器344的低輸出促使“與”門354的輸出轉(zhuǎn)入高電平，從而促使邏輯驅(qū)動電路310的輸入端312能接收啟動信號。兩個輸入端IN1、IN2的狀態(tài)促使模件44a或44b起作用，從而使一個電壓差加到圓片支架內(nèi)的電極上。這使圓片支架與圓片之間的吸力起作用。從“與”門354來的倒相器353的第二輸入端接收從FVOUT信號164導(dǎo)出的、由硬件產(chǎn)生的圓片檢測信號。
注入離子之后，控制器250通過提供控制信號使加到圓片電極上電壓的極性來回變化，從而將靜電能量在圓片與電極之間散發(fā)開，使靜電吸力停止作用。
當(dāng)控制器250使圓片夾持作用停止時，來自光頻隔離器344的輸出信號轉(zhuǎn)入高電平，確?！芭c”門的輸入端332也轉(zhuǎn)入高電平。另兩個產(chǎn)生輸入360、362的控制器與第二光頻隔離器364相耦合。輸入端360處的電壓比輸入端362處的電壓更為正時，該第二光頻隔離器364起作用，于是來自光頻隔離器的低輸出通過倒相器366耦合，因而轉(zhuǎn)入高電平。此高輸入信號加到第一單穩(wěn)觸發(fā)器370，促使來自單穩(wěn)觸發(fā)器370的Q輸出端372加入高電平，與此同時，Q非輸出端轉(zhuǎn)入低電平且與門350耦合，使驅(qū)動電路310起作用。因此，雖然去掉了來自控制器的信號340，驅(qū)動電路仍然起作用。單穩(wěn)觸發(fā)器370的Q輸出端接到構(gòu)制成振蕩電路的第二單觸發(fā)器380。該單穩(wěn)觸發(fā)器的Q輸出通過一個能促使第二單穩(wěn)觸發(fā)器以大約20赫的預(yù)定頻率振蕩的外電路反饋到啟動輸入端。這促使加到“與”門330的輸入334以該頻率脈動。上面說過，“與”門330的輸出端與作為除2計數(shù)器的觸發(fā)器耦合。這促使電極的極性來回波動，歷時相當(dāng)于第一單穩(wěn)觸發(fā)器370的輸出時間。在單穩(wěn)觸發(fā)器370的時間已過之后，此單觸發(fā)器的Q輸出使單穩(wěn)觸發(fā)振蕩器380停止作用，并從電路310除去啟動信號。
按照本發(fā)明受控釋放機構(gòu)的第二實施例，控制器350直接使輸入340、342起作用，歷時受控的通/斷時間。連接點322在輸入340處于高電平時處于低電平。通過以有節(jié)制或可調(diào)節(jié)的頻率對輸入340計時，可以控制來自電路310的轉(zhuǎn)換頻率，從而去控制兩個電源模件44a、44b極性的轉(zhuǎn)換。單穩(wěn)觸發(fā)器370輸入端處的三個跨接線接頭P1、P2、P3是根據(jù)由控制器執(zhí)行轉(zhuǎn)換，還是由單穩(wěn)觸器370與多諧振蕩器380的組合來控制轉(zhuǎn)換而進行設(shè)定的?？缃覲1和P2的跨接線使單穩(wěn)觸發(fā)器370不起作用，跨接P2和P3的跨接線使單穩(wěn)觸器起作用。
操作情況在操作時，將準(zhǔn)備處理的圓片12放到層20的表面上，然后激發(fā)電源44使其往圓片與層之間施加足以使圓片在夾具上保持就位的靜電吸力。接著令夾具10轉(zhuǎn)動和移動，將圓片送到圓片處理站，例如離子注入室。
注入器控制系統(tǒng)250(圖6)有許多裝置接口，這些接口接收來自傳感器252的輸入(例如壓力計測出的壓力;電壓表、編碼器測出的機械位置和FVOUT輸出164)，并將操作指令發(fā)送到機械和電氣元件254(例如閥、電壓、自動裝置和靜電夾具電源44)。
在控制系統(tǒng)內(nèi)，一系列必須在發(fā)送操作指令之前進行的交錯檢查(例如，深冷泵的閥只有在離子注入室經(jīng)證實已大致處于真空狀態(tài)之后才能打開)已被編成程序。輸出164表明支架上有圓片，以及圓片是否夾緊，并給這些交錯檢查提供執(zhí)行圓片搬運和離子注入操作的關(guān)鍵性信息。例如，組件10只有在圓片被證實處于牢靠夾緊狀態(tài)才能轉(zhuǎn)到垂直位置。當(dāng)交錯檢查結(jié)果不合乎要求時，控制系統(tǒng)250能使離子注入器轉(zhuǎn)入HOLD(“暫停狀態(tài)”，暫停進行以后的各項操作)以防損壞設(shè)備或產(chǎn)生圓片。
一系列交錯檢查的第二個作用是給操作人員接口260提供有關(guān)設(shè)備狀態(tài)的信息。具體地說，當(dāng)交錯檢查結(jié)果不合要求時，就有警報信息產(chǎn)生，顯示在操作人員接口屏幕上，并記錄在保存在磁盤機上的數(shù)據(jù)記錄上。這個信息使操作人員可以采取使設(shè)備恢復(fù)正常操作的校正行動。
圓片一旦經(jīng)過離子注入處理這后，組件10移動，將圓片從支架上卸下。這時控制器250或者給單穩(wěn)觸發(fā)器370發(fā)出將電源40極性倒過來的信息，或者直接以受控頻率切換該極性。交替地改變電極的極性并減小圓片支架與圓片之間的吸力，由此將圓片釋放開。
圖6示出了控制設(shè)備的當(dāng)前技術(shù)水平。這里增設(shè)了容性檢測電路114和圓片釋放電路300，這兩項措施在可獲取的有關(guān)夾具10上圓片狀態(tài)的信息質(zhì)量方面和高效處理圓片的能力方面是一個進步。
雖然本發(fā)明實施例的說明在一定程度上是具有一定的特殊性，但我們的意圖是，本發(fā)明包括所有在本說明書所附權(quán)利要求書的精神實質(zhì)或范圍內(nèi)對所公開的設(shè)計進行的所有修改和更改方案。
權(quán)利要求
1.一種在半導(dǎo)體圓片(12)處理過程中使用的操縱圓片的方法，包括下列步驟a)將半導(dǎo)體圓片放置到圓片支架(14，16，18，20)上；b)一當(dāng)圓片放到圓片支架上后就給圓片支架加上偏壓，使半導(dǎo)體圓片與圓片支架之間產(chǎn)生靜電吸力，由此將圓片固定到支架上；c)在保持圓片與圓片支架的吸力的同時，對圓片進行處理；其特征在于d)經(jīng)處理的圓片是這樣從圓片支架上卸下來的先交替改變加到圓片支架上的電壓的極性以減小圓片與圓片支架之間的靜電吸力，然后將圓片從圓片支架上分離開。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述固定圓片的步驟是通過往埋置在支架中的兩個電極(22，24)上加直流電壓而進行的，減小靜電吸力的方法是反復(fù)以受控的頻率倒轉(zhuǎn)直流電壓的極性歷時預(yù)定的時間而進行的。
3.一種用以支撐半導(dǎo)體圓片(12)的圓片處理設(shè)備，包括a)一個支架(14，16，18，20)，具有一個與圓片和兩個電極(22，24)接合的絕緣表面，用以以靜電的方式將圓片吸持到圓片支架上;b)一個電源裝置(44)，供激勵該兩個電極之用，具有一個給電極兩端提供受控極性的電路;和c)一個控制器(250)，用以控制將激勵信號從電源加到兩個電極的施加過程，從而一旦圓片已安置到圓片支架上時將圓片吸持到圓片支架上;其特征在于d)所述控制器有一個裝置(370)，用以在所述圓片與支架接觸時使電源定期倒轉(zhuǎn)其加到電極上的偏壓極性。
4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，它還有一個傳感電路(114)，用以一旦電源電壓已加到電極上即根據(jù)兩電極之間檢測出的電容值監(jiān)測電源產(chǎn)生的吸力。
5.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，該控制器包括一個振蕩電路(300)，它耦合到所述電源，用以以受控頻率改變加到電極上的偏壓的極性，歷時一個受控期間。
6.一種對半導(dǎo)體圓片(12)進行離子注入用的設(shè)備，包括a)絕緣層(20)，用以支撐半導(dǎo)體圓片;b)一個底座構(gòu)件(16)，用以支撐所述絕緣層;c)第一和第二電極(22，24)，安置在所述絕緣層后面，且被支撐在所述底座構(gòu)件內(nèi);d)電源(44)，用以往所述第一和第二電極之間施加一個電位，從而在所述第一絕緣層與所述圓片之間產(chǎn)生靜電吸力;和e)檢測裝置(114)，用以在圓片放置到第一絕緣層時檢測第一與第二電極之間的電容并監(jiān)測所述電容值的變化，并用以在圓片借助于該圓片與第一和第二電極之間的靜電吸力固定就位時進一步監(jiān)測所述電容值的變化;其特征在于f)所述電源裝置具有一個電源(44a，44b)，用以交替改變加到第一和第二電極上的電壓的極性，從而固定和釋放在絕緣層上就位的圓片。
7.如權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，它還具有一個控制器(250)，用以控制電源改變所加到所述電極上的電壓極性的頻率。
8.如權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，所述控制器具有一個振蕩器(300)，用以根據(jù)振蕩頻率以一時鐘頻率切換極性。
全文摘要
一種圓片位置和夾持傳感器。電路(114)監(jiān)測圓片支架內(nèi)的二電極(22，24)。圓片不在支架上時，電容值在某一范圍內(nèi)；圓片就位但不夾上時，電容值在第二范圍內(nèi)；圓片借靜電力固定就位時，電容值在第三范圍內(nèi)。測出的電容值先轉(zhuǎn)換成某一頻率，再轉(zhuǎn)換成易檢測的直流電平，再用此電平先后進一步確定圓片的位置和夾緊情況。圓片經(jīng)處理卸下后再處理下一圓片。釋放圓片時以一受控頻率倒轉(zhuǎn)將圓片夾持在支架上的夾持電壓極性以消除圓片與支架間的吸力。
文檔編號G01R27/26GK1095526SQ9410246
公開日1994年11月23日 申請日期1994年3月10日 優(yōu)先權(quán)日1993年3月10日
發(fā)明者J·G·布萊克, W·L·杜 申請人:易通公司