其中，第一開關(guān)在第三時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)信號(hào)的控制下閉合或斷開。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的相移電路，其中，第三時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)信號(hào)與所述輸入信號(hào) 的采樣周期相等。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的相移電路，其中，所述相移電路的工作周期分為連續(xù)的第 一至第三時(shí)間段， 在第一時(shí)間段內(nèi)，第一時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)為高電平，第二和第三時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)為低電平，第 三和第四開關(guān)閉合，第一、第二和第五開關(guān)斷開，第一電容和第一輸入電容作為輸入電容， 第三和第四電容作為輸出電容，在運(yùn)算放大器的輸入端，輸入信號(hào)對(duì)第一電容和第一輸入 電容充電，使得第一電容和第一輸入電容、第三開關(guān)組成的電路采樣儲(chǔ)存輸入信號(hào)的電荷， 第三電容復(fù)位至共模電壓，第四電容儲(chǔ)存上次的輸出信號(hào)的電荷，使得輸出端處于保持狀 態(tài)； 在第二時(shí)間段內(nèi)，第一時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)從高電平變?yōu)榈碗娖?，第二和第三時(shí)序時(shí)鐘信號(hào) 從低電平變?yōu)楦唠娖剑谌偷谒拈_關(guān)斷開，第一、第二和第五開關(guān)閉合，第一電容復(fù)位至 共模電壓，第一輸入電容的連接第二開關(guān)的這一端被接到運(yùn)算放大器的反相輸入端，第一 輸入電容通過(guò)第一和第二開關(guān)也復(fù)位，第一電容和第一輸入電容將上次采樣的輸入信號(hào)的 電荷全部釋放出來(lái)，第一電容和第一輸入電容上的釋放出來(lái)的電荷被轉(zhuǎn)移到第三和第四電 容，輸出端輸出新的值； 在第三時(shí)間段內(nèi)，第一時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)從低電平變?yōu)楦唠娖?，第二時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)從高電 平變?yōu)榈碗娖剑谌龝r(shí)序時(shí)鐘信號(hào)保持高電平，第三和第四開關(guān)閉合，第二和第五開關(guān)斷 開，第一開關(guān)閉合，輸入信號(hào)處于復(fù)位到共模電壓期間，這樣第一電容通過(guò)第一開關(guān)被復(fù) 位，第一輸入電容通過(guò)第一和第三開關(guān)也被復(fù)位，第三電容通過(guò)第三和第四開關(guān)也被復(fù)位， 因?yàn)榈诙_關(guān)斷開，第四電容儲(chǔ)存上次輸出電壓的電荷，輸出端處于保持狀態(tài)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的相移電路，其中所述運(yùn)算放大器的輸出端包括同相輸出端 和反相輸出端，以及所述輸入信號(hào)為包括同相輸入信號(hào)和反相輸入信號(hào)的差分輸入信號(hào)， 所述輸出信號(hào)為所述運(yùn)算放大器的同相輸出端和反相輸出端之間的電壓差， 其中，第一輸入電容接收反相輸入信號(hào)， 第三電容和第五開關(guān)串聯(lián)連接在第一輸入電容和第二開關(guān)的中間節(jié)點(diǎn)與運(yùn)算放大器 的同相輸出端之間，以及 第四電容連接在運(yùn)算放大器的反相輸入端與同相輸出端之間。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的相移電路，還包括： 第二輸入電容接收同相輸入信號(hào)； 第七開關(guān)，連接在第二輸入電容和運(yùn)算放大器的同相輸入端之間； 第八開關(guān)，連接在第二輸入電容和第七開關(guān)的中間節(jié)點(diǎn)與共模電壓之間； 第七電容和第十開關(guān)，串聯(lián)連接在第二輸入電容和第七開關(guān)的中間節(jié)點(diǎn)與運(yùn)算放大器 的反相輸出端之間； 第八電容，連接在運(yùn)算放大器的同相輸入端與反相輸出端之間；以及 第九開關(guān)，連接在第七電容和第十開關(guān)的中間節(jié)點(diǎn)與共模電壓之間。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的相移電路，其中，第七開關(guān)與第二開關(guān)同時(shí)閉合或斷開，第 八開關(guān)與第三開關(guān)同時(shí)閉合或斷開，第九開關(guān)與第四開關(guān)同時(shí)閉合或斷開，第十開關(guān)與第 五開關(guān)同時(shí)閉合或斷開。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的相移電路，其中所述第七和第十開關(guān)受到第二時(shí)序時(shí)鐘信 號(hào)的控制，第八和第九開關(guān)受到第一時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)的控制。
17. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的相移電路，其中，所述相移電路的工作周期分為連續(xù)的第 一和第二時(shí)間段， 在第一時(shí)間段內(nèi)，第一時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)為高電平，第二時(shí)鐘信號(hào)為低電平，第三和第四開 關(guān)閉合，第二和第五開關(guān)斷開，第八和第九開關(guān)閉合、第七和第十開關(guān)斷開，第三和第四電 容、第七和第八電容作為輸出電容，在運(yùn)算放大器的反相輸入端，輸入信號(hào)對(duì)第一輸入電容 充電，使得第一輸入電容、第三開關(guān)組成的電路采樣儲(chǔ)存反相輸入信號(hào)的電荷，第三電容復(fù) 位至共模電壓，第四電容儲(chǔ)存上次的輸出信號(hào)的電荷，在運(yùn)算放大器的同相輸入端，輸入信 號(hào)對(duì)第二輸入電容充電，使得第二輸入電容、第八開關(guān)組成的電路采樣儲(chǔ)存同相輸入信號(hào) 的電荷，第九電容復(fù)位至共模電壓，第八電容儲(chǔ)存上次的輸出信號(hào)的電荷，使得輸出端處于 保持狀態(tài)， 在第二時(shí)間段內(nèi)，第一時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)從高電平變?yōu)榈碗娖剑诙r(shí)序時(shí)鐘信號(hào)從低電 平變?yōu)楦唠娖?，第三和第四開關(guān)斷開，第八和第九開關(guān)斷開、第二和第五開關(guān)閉合，第七和 第十開關(guān)閉合，第一輸入電容的連接第二開關(guān)的這一端被接到運(yùn)算放大器的反相輸入端， 第一輸入電容通過(guò)輸入信號(hào)的共模電壓和第二開關(guān)接到運(yùn)放反相輸入端虛地復(fù)位，第一輸 入電容將上次采樣的輸入信號(hào)的電荷全部釋放出來(lái)，第一輸入電容上的釋放出來(lái)的電荷被 轉(zhuǎn)移到第三和第四電容，第二輸入電容的連接第七開關(guān)的這一端被接到運(yùn)算放大器的同相 輸入端，第二輸入電容通過(guò)輸入信號(hào)的共模電壓和第七開關(guān)接到運(yùn)放同相輸入端虛地復(fù) 位，第二輸入電容將上次采樣的輸入信號(hào)的電荷全部釋放出來(lái)，第二輸入電容上的釋放出 來(lái)的電荷被轉(zhuǎn)移到第七和第八電容，輸出端輸出新的值。
18. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的相移電路，還包括第一直流誤差補(bǔ)償電路和第二直流誤差 補(bǔ)償電路，所述第一直流誤差補(bǔ)償電路包括： 第一電容，第一電容的一端接收反相輸入信號(hào)，另一端連接第一輸入電容；以及 第一開關(guān)，連接在第一電容和第一輸入電容的中間節(jié)點(diǎn)與共模電壓之間， 所述第二直流誤差補(bǔ)償電路包括： 第五電容，第五電容的一端接收同相輸入信號(hào)，另一端連接第二輸入電容；以及 第六開關(guān)，連接在第五電容和第二輸入電容的中間節(jié)點(diǎn)與共模電壓之間， 其中，第一開關(guān)和第六開關(guān)在第三時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)信號(hào)的控制下閉合或斷開。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的相移電路，其中，第三時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)信號(hào)與所述輸入信號(hào) 的采樣周期相等。
20. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的相移電路，其中，所述相移電路的工作周期分為連續(xù)的第 一至第三時(shí)間段， 在第一時(shí)間段內(nèi)，第一時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)為高電平，第二和第三時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)為低電平，第 三和第四開關(guān)閉合，第二和第五開關(guān)斷開，第三和第四電容作為輸出電容，在運(yùn)算放大器的 反相輸入端，反相輸入信號(hào)對(duì)第一輸入電容充電，使得第一輸入電容、第三開關(guān)組成的電路 采樣儲(chǔ)存反相輸入信號(hào)的電荷，第三電容復(fù)位至共模電壓，第四電容儲(chǔ)存上次的同相輸出 信號(hào)的電荷，使得同相輸出端處于保持狀態(tài)，第八和第九開關(guān)閉合，第七和第十開關(guān)斷開， 第七和第八電容作為輸出電容，在運(yùn)算放大器的同相輸入端，同相輸入信號(hào)對(duì)第二輸入電 容充電，使得第二輸入電容、第八開關(guān)組成的電路采樣儲(chǔ)存同相輸入信號(hào)的電荷，第七電容 復(fù)位至共模電壓，第八電容儲(chǔ)存上次的反相輸出信號(hào)的電荷，使得反相輸出端處于保持狀 態(tài)； 在第二時(shí)間段內(nèi)，第一時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)從高電平變?yōu)榈碗娖?，第二和第三時(shí)序時(shí)鐘信號(hào) 從低電平變?yōu)楦唠娖?，第三和第四開關(guān)斷開，第二和第五開關(guān)閉合，第一輸入電容的連接第 二開關(guān)的這一端被接到運(yùn)算放大器的反相輸入端，第一輸入電容通過(guò)輸入信號(hào)的共模電壓 和第二開關(guān)接運(yùn)放輸入端的虛地復(fù)位，第一輸入電容將上次采樣的反相輸入信號(hào)的電荷全 部釋放出來(lái)，第一輸入電容上的釋放出來(lái)的電荷被轉(zhuǎn)移到第三和第四電容，同相輸出端輸 出新的值，第八和第九開關(guān)斷開，第七和第十開關(guān)閉合，第二輸入電容的連接第七開關(guān)的這 一端被接到運(yùn)算放大器的同相輸入端，第二輸入電容通過(guò)輸入信號(hào)的共模電壓和第七開 關(guān)接運(yùn)放輸入端的虛地復(fù)位，第二輸入電容將上次采樣的同相輸入信號(hào)的電荷全部釋放 出來(lái)，第二輸入電容上的釋放出來(lái)的電荷被轉(zhuǎn)移到第七和第八電容，反相輸出端輸出新的 值； 在第三時(shí)間段內(nèi)，第一時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)從低電平變?yōu)楦唠娖?，第二時(shí)序時(shí)鐘信號(hào)從高電 平變?yōu)榈碗娖剑谌龝r(shí)序時(shí)鐘信號(hào)保持高電平，第三和第四開關(guān)閉合，第二和第五開關(guān)斷 開，第一開關(guān)閉合，反相輸入信號(hào)處于復(fù)位到共模電壓期間，這樣第一電容通過(guò)第一開關(guān)被 復(fù)位，第一輸入電容通過(guò)第一和第三開關(guān)也被復(fù)位，第三電容通過(guò)第三和第四開關(guān)也被復(fù) 位，因?yàn)榈诙_關(guān)斷開，第四電容儲(chǔ)存上次同相輸出電壓的電荷，輸出端處于保持狀態(tài)，第 八和第九開關(guān)閉合，第七和第十開關(guān)斷開，第六開關(guān)閉合，同相輸入信號(hào)處于復(fù)位到共模電 壓期間，這樣第五電容通過(guò)第六開關(guān)被復(fù)位，第二輸入電容通過(guò)第六和第八開關(guān)也被復(fù)位， 第七電容通過(guò)第八和第九開關(guān)也被復(fù)位，因?yàn)榈谄唛_關(guān)斷開，第八電容儲(chǔ)存上次反相輸出 電壓的電荷，輸出端處于保持狀態(tài)。
21. -種MEMS陀螺儀驅(qū)動(dòng)電路，包括根據(jù)權(quán)利要求1至20中任一項(xiàng)所述的相移電路。
22. -種用于根據(jù)權(quán)利要求1所述的相移電路的控制方法，包括在相移電路的每個(gè)