光電檢測系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明關(guān)于一種光電檢測系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著薄膜太陽能電池、觸控面板和軟性顯示器等產(chǎn)業(yè)日益興盛，在產(chǎn)品制作過程 中，皆需經(jīng)過檢測W確保其產(chǎn)品質(zhì)量。過去是利用探針接觸式電性檢測設(shè)備，W抽檢的方式 作為品管機制；但隨著產(chǎn)品制作尺寸越來越大，制程速度越來越快，制程的線寬越來越小的 需求，高速的影像式檢測設(shè)備需求也越來越被重視。
[0003] 上述產(chǎn)品制造過程中，其中一道制程是透明的導電圖案的激光蝕刻制程，如果蝕 刻不完全，像素會形成壞點，造成合格率下降。在激光蝕刻制程中，透明的導電圖案亦可能 產(chǎn)生線路的短/斷路、刮傷與雜質(zhì)等缺陷問題。由于導電圖案為透明，已知的光電檢測系統(tǒng) 并無法得透明導電膜圖案（如IT0或AZ0)的蝕刻狀況。已知的非接觸式光電檢測系統(tǒng)僅 適用于單張（Sheet by化eet)的制程檢測，并不適用于卷式（Roll to Roll)的制程檢測。 如何直接經(jīng)由外觀做缺陷檢測，并提供卷式制程更佳精密快速正確的量測質(zhì)量，該將是光 電檢測系統(tǒng)未來需要解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 因此，有鑒于上述問題，本發(fā)明提供一種光電檢測方法，適用于卷式制程的透明導 電圖案的缺陷檢測。
[0005] 本發(fā)明提供一種光電檢測系統(tǒng)，包括：電路旋轉(zhuǎn)連接器和光電檢測滾輪。電路旋轉(zhuǎn) 連接器包括一外固定部和一內(nèi)旋轉(zhuǎn)部，并通過外固定部由一外部電源供應電源。內(nèi)旋轉(zhuǎn)部 與外固定部透過一旋轉(zhuǎn)軸承相連接，并且內(nèi)旋轉(zhuǎn)部隨著光電檢測滾輪轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動，內(nèi)旋轉(zhuǎn) 部具有一第一端子和一第二端子。光電感測滾輪包括一滾軸、一光電層W及至少一導電環(huán)。 滾軸的外側(cè)包覆著與第一端子電性連接的一金屬層。光電層包覆于金屬層的外側(cè)，且光電 層與金屬層接觸的一側(cè)是通過金屬層被施加一第一電壓。導電環(huán)設(shè)置于光電感測滾輪的軸 向外側(cè)，并且與具有一第二電壓的第二端子電性連接。第一電壓與第二電壓具有一既定電 壓差，并且當一待測膜片貼合在光電感測滾輪上時，導電環(huán)將第二電壓施加至待測膜片上 的一導電圖案，使得光電層根據(jù)導電圖案與金屬層間的電壓差，控制光電層對應于導電圖 案的部分的透光性。
【附圖說明】
[0006] 本發(fā)明的實施例現(xiàn)在將參照所附示意附圖來更詳細敘述，其中：
[0007] 圖1A和圖1B說明本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的檢測原理；
[000引圖2A是本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的實施例的示意圖；
[0009] 圖2B是本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的另一實施例的示意圖；
[0010] 圖3A為本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的實施例的y軸方向視圖；
[0011] 圖3B為本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的實施例的X軸方向視圖（a-a'連線）；
[0012] 圖3C為本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的實施例的X軸方向視圖（C-C'連線）；
[0013] 圖3D為本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的實施例的X軸方向視圖化-b'連線）；
[0014] 圖3E為本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的實施例的Z軸方向視圖；
[0015] 圖3F為本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的實施例的X軸方向視圖化-b'連線）；
[0016] 圖3G為本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的實施例的Z軸方向視圖；
[0017] 圖4為本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的另一實施例的示意圖。
[0018] 【符號說明】
[0019] 1光電檢測系統(tǒng)； 2電齡旋驗選接器； 3光電憐測演輪； 4外部電源； 5膜片； 6甘電罔萊； 7如I)電極； 8引線; 9FTO電據(jù)； 10 .相機； U電-JHI-巧器； 12光源； BS分光器； 2!外岡化部； 22內(nèi)旋轉(zhuǎn)郁； 31滾軸； 32黑色金屁鞭技； 32'金威反射層； 巧光電層；
[0020] 34透明覆蓋面； 35導電環(huán)； %絕錄環(huán)。
【具體實施方式】
[0021] 本發(fā)明將搭配所附【附圖說明】如下。
[0022] 當相關(guān)技術(shù)的詳細描述能避免非必要地混淆本發(fā)明的主題事項時，其描述將被省 略。此外，下列術(shù)語，其定義考慮本發(fā)明的功能，該取決于使用者的意圖或司法判例時，術(shù)語 可能會被改變。因此，基于本說明書的全部公開內(nèi)容，每個術(shù)語的含義應當被解釋。
[0023] 圖1A和圖1B說明本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的檢測原理。圖2A是本發(fā)明光電檢測系 統(tǒng)的實施例的示意圖。圖2B是本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的另一實施例的示意圖。圖3A至圖3E 分別為本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的實施例的H視圖。圖4為本發(fā)明光電檢測系統(tǒng)的另一實施例 的示意圖。
[0024] 參考圖1A，膜層構(gòu)造表示部分的光電感測滾輪，膜層構(gòu)造由下而上分別為黑色金 屬鍛層32、光電層33、透明覆蓋面34, W及透明的IT0電極9,其中IT0電極9不連續(xù)的部 分為斷路部分。透明覆蓋面34位于黑色金屬鍛層32的對側(cè)并用于保護光電層33。本發(fā)明 光電層 33 為聚合物分散液晶（polymer dispersed liquid c;rystal，PDLC)。當 PDLC 兩側(cè) 被施加電壓時，PDLC和慘雜其中的高分子材料，兩者折射率相近，因此PDLC呈現(xiàn)透明。當 PDLC兩側(cè)并未施加電壓（或低于驅(qū)動電壓）時，PDLC因為其中液晶分子散射光線而呈現(xiàn)乳 白色。
[0025] 在本實施例中，吾人假設(shè)IT0電極9被施加正電壓，而黑色金屬鍛層32被施加負 電壓。由于介于黑色金屬層32與口0電極9之間的光電層33其兩側(cè)被施加電壓，所W光 電層33呈現(xiàn)透明而能讓入射光穿透。當入射光穿過透明的光電層33后，黑色金屬鍛層32 完全吸收入射光，所W沒有反射光。當IT0電極9具有斷路時，由于IT0電極9斷路部分下 方的光電層并未被施加正電壓，所W光電層33呈現(xiàn)乳白色并部分反射入射光。因為自光電 層33反射回來的反射光（亮部），其輪廓與IT0電極9的斷路部分的輪廓相同。此外，沒有 反射光的部分（暗部），其輪廓亦與IT0電極9的輪廓相同。換言之，不論是IT0電極9或 其斷路部分，其反射光的輪廓均與IT0電極9相同，其差異僅在于暗部表示IT0電極9,而亮 部表示IT0電極9的斷路部分。所W在膜層上方設(shè)置相機（即一成相模塊）和電子計算器 分別接收并記錄自光電層33反射回來的反射光，即可得到IT0電極9的輪廓影像。此外， 根據(jù)IT0電極9的輪廓影像的亮暗，可W判斷IT0電極9是否具有斷路部分。在本實施例 中，暗部代表具有IT0電極9的部分，亮部代表不具有IT0電極9的部分（即斷路部分）。 換言之，當光電層33呈現(xiàn)透明時，黑色金屬鍛層32會完全吸收入射光，所W此時反射率為 第一反射率（例如為零）。當光電層33呈現(xiàn)乳白色時，光電層33會反射部分的入射光，故 此時反射率為高于第一反射率的一第二反射率。
[0026] 參考圖1B，膜層構(gòu)造表示部分的光電感測滾輪，膜層構(gòu)造由下而上分別為金屬反 射層32'、光電層33、透明覆蓋面34, W及透明的IT0電極9,其中IT0電極9不連續(xù)的部 分為斷路部分。透明覆蓋面34位于金屬反射層32'的對側(cè)并用于保護光電層33。如上所 述，光電層33為PDLC。
[0027] 在本實施例中，吾人假設(shè)IT0電極9被施加正電壓，而金屬反射層32'被施加負電 壓。由于介于金屬反射層32'與口0電極9之間的光電層33其兩側(cè)被施加電壓，所W光 電層33呈現(xiàn)透明而能讓入射光穿透。當入射光穿過透明的光電層33后，金屬反射層32' 完全反