測(cè)試單元控制器的決策和執(zhí)行樹(shù)的創(chuàng)建和調(diào)度的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本公開(kāi)一般來(lái)說(shuō)涉及自動(dòng)測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域，更具體地涉及自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的統(tǒng)計(jì)過(guò)程 控制領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002] 自動(dòng)測(cè)試設(shè)備（ATE)可以是對(duì)器件、半導(dǎo)體晶片或裸片等進(jìn)行測(cè)試的任何測(cè)試組 件。ATE組件可以用于執(zhí)行自動(dòng)測(cè)試，這些測(cè)試能快速執(zhí)行測(cè)量并生成隨后可進(jìn)行分析的結(jié) 果。ATE組件可以是從耦接到儀表的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)到復(fù)雜自動(dòng)測(cè)試組件的任何設(shè)備，它可以包 括自定義專(zhuān)用計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)以及許多不同的能夠自動(dòng)測(cè)試電子零件和/或進(jìn)行半導(dǎo)體 晶片測(cè)試（例如片上系統(tǒng)（SOC)測(cè)試或集成電路測(cè)試）的測(cè)試儀器。
[0003] 然后可以分析從ATE組件提供的測(cè)試結(jié)果，以對(duì)測(cè)試的電子部件進(jìn)行評(píng)估。這種 測(cè)試結(jié)果評(píng)估可以作為統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制方法的一部分。在一個(gè)示例性實(shí)施例中，可以采用統(tǒng) 計(jì)過(guò)程控制方法來(lái)監(jiān)測(cè)并控制制造過(guò)程，以確保該制造過(guò)程以希望的效率水平和希望的質(zhì) 量水平生產(chǎn)希望的產(chǎn)品。在一個(gè)示例性實(shí)施例中，在完成規(guī)定的ATE測(cè)試運(yùn)行之后，采用統(tǒng) 計(jì)過(guò)程控制方法來(lái)統(tǒng)計(jì)分析所編譯的測(cè)試結(jié)果。也可以在后續(xù)生產(chǎn)運(yùn)行中基于測(cè)試結(jié)果的 統(tǒng)計(jì)分析來(lái)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程和/或測(cè)試過(guò)程的變化。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種方案以應(yīng)對(duì)自動(dòng)測(cè)試中實(shí)施統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制方法時(shí)面 臨的挑戰(zhàn)。具體而言，通過(guò)提供機(jī)會(huì)以在對(duì)不正確測(cè)試的晶片或存在內(nèi)在問(wèn)題的晶片花費(fèi) 很多測(cè)試時(shí)間之前就校正過(guò)程，本發(fā)明的實(shí)施例可以用于不考慮通過(guò)/失敗結(jié)果而做出執(zhí) 行決策。在本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例中，公開(kāi)了一種實(shí)時(shí)統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試結(jié)果的方法。在 所述方法中，在已采集預(yù)定數(shù)量的所請(qǐng)求的測(cè)試結(jié)果后，可以響應(yīng)于任何所識(shí)別的測(cè)試錯(cuò) 誤或缺陷晶片執(zhí)行選定動(dòng)作，來(lái)執(zhí)行已采集測(cè)試結(jié)果的統(tǒng)計(jì)分析。如此處所述，評(píng)價(jià)過(guò)程和 動(dòng)作也可以應(yīng)用于晶片分類(lèi)和最終測(cè)試統(tǒng)計(jì)以及晶片測(cè)試。
[0005] 在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性方法中，公開(kāi)了一種測(cè)試器件的方法。該方法包括確 定計(jì)算窗。計(jì)算窗是器件測(cè)試活動(dòng)低于活動(dòng)閾值的時(shí)間段。所述至少一個(gè)計(jì)算窗出現(xiàn)在器 件測(cè)試活動(dòng)期間。該方法進(jìn)一步包括在計(jì)算窗期間創(chuàng)建并執(zhí)行決策樹(shù)。決策樹(shù)包括測(cè)試結(jié) 果的被安排的測(cè)試分析以及被安排為響應(yīng)于測(cè)試分析而執(zhí)行的測(cè)試控制動(dòng)作的選擇。
[0006] 在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例中，公開(kāi)了一種用于測(cè)試器件的裝置。所述裝 置包括測(cè)試控制模塊和測(cè)試分析模塊。所述測(cè)試控制模塊可操作以對(duì)被測(cè)器件執(zhí)行測(cè)試活 動(dòng)。所述測(cè)試活動(dòng)產(chǎn)生測(cè)試結(jié)果。所述測(cè)試分析模塊進(jìn)一步可操作以創(chuàng)建并執(zhí)行決策樹(shù)。 所述決策樹(shù)包括測(cè)試結(jié)果的被安排的測(cè)試分析以及響應(yīng)于測(cè)試分析而要執(zhí)行的測(cè)試控制 動(dòng)作的選擇。所述測(cè)試分析模塊在計(jì)算窗期間創(chuàng)建并執(zhí)行所述決策樹(shù)。計(jì)算窗是器件測(cè)試 活動(dòng)低于活動(dòng)閾值的時(shí)間段。所述至少一個(gè)計(jì)算窗出現(xiàn)在器件測(cè)試活動(dòng)期間。
【附圖說(shuō)明】
[0007] 結(jié)合附圖，并閱讀以下詳細(xì)說(shuō)明，將可以更好地理解本發(fā)明，在附圖中，相同的參 考符號(hào)指代相同的元件，其中：
[0008] 圖1示出了一種實(shí)現(xiàn)統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備（ATE)的示例性簡(jiǎn)化框圖； [0009] 圖2示出了一種用于選擇、編輯并創(chuàng)建統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制規(guī)則的示例性圖形用戶(hù)界 面；
[0010] 圖3示出了一種用于顯示控制規(guī)則測(cè)試結(jié)果的示例性圖形用戶(hù)界面；
[0011] 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于實(shí)時(shí)管理統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制的統(tǒng)計(jì)分析與 控制裝置的示例性框圖；
[0012] 圖5示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的統(tǒng)計(jì)分析與控制裝置的示例性可自定義狀 態(tài)機(jī)部件；
[0013] 圖6示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的統(tǒng)計(jì)分析與控制裝置的示例性批次配方控 制部件；
[0014] 圖7示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的統(tǒng)計(jì)分析與控制裝置的示例性統(tǒng)計(jì)過(guò)程控 制部件；
[0015] 圖8示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的統(tǒng)計(jì)分析與控制裝置的示例性箱子控制部 件；
[0016] 圖9示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的統(tǒng)計(jì)分析與控制裝置的示例性測(cè)量值監(jiān)測(cè) 部件；
[0017] 圖10示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例要加入到統(tǒng)計(jì)分析與控制裝置中的示例性 自定義部件；
[0018] 圖11示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的統(tǒng)計(jì)分析與控制裝置的示例性過(guò)程參數(shù)控 制部件；
[0019] 圖12示出了示例性流程圖，示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于實(shí)時(shí)過(guò)程控制 分析和動(dòng)作的方法的步驟；
[0020] 圖13示出了示例性流程圖，示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于在測(cè)試休止時(shí) 段期間創(chuàng)建并執(zhí)行決策樹(shù)的方法的步驟；
[0021] 圖14示出了示例性流程圖，示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于在測(cè)試休止時(shí) 段期間創(chuàng)建并執(zhí)行決策樹(shù)的方法的步驟；
[0022] 圖15示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的與統(tǒng)計(jì)分析與控制構(gòu)架連接的示例性探測(cè) 器/處理器管理器部件和代理探測(cè)器/處理器驅(qū)動(dòng)器；
[0023] 圖16示出了示例性流程圖，示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于連續(xù)自動(dòng)測(cè)試 期間的實(shí)時(shí)測(cè)試分析和動(dòng)作執(zhí)行的方法的步驟；并且
[0024] 圖17示出了示例性流程圖，示出了用于插入對(duì)于在正在進(jìn)行的測(cè)試上運(yùn)行的測(cè) 試程序來(lái)說(shuō)透明的探測(cè)器或處理器命令的方法的步驟。
【具體實(shí)施方式】
[0025] 現(xiàn)在將詳細(xì)參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，其示例在附圖中示出。雖然將結(jié)合優(yōu)選實(shí) 施例說(shuō)明本發(fā)明，但應(yīng)理解的是，這些優(yōu)選實(shí)施例不是為了使本發(fā)明限于這些實(shí)施例。相 反，本發(fā)明旨在涵蓋所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)可包含的替代、修改和等 同方案。而且，在本發(fā)明實(shí)施例的以下詳細(xì)說(shuō)明中，闡述了很多具體細(xì)節(jié)，以提供對(duì)本發(fā)明 的透徹理解。然而，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識(shí)到，沒(méi)有這些具體細(xì)節(jié)也可以實(shí)踐本發(fā) 明。在其他情況下，沒(méi)有詳細(xì)說(shuō)明公知的方法、程序、部件和電路，從而不會(huì)不必要地使本發(fā) 明實(shí)施例的各方面模糊不清。示出本發(fā)明實(shí)施例的附圖是半示意性的，并未按比例繪制，具 體而言，有些維度是為了更清晰地進(jìn)行呈現(xiàn)，并在附圖中被夸大示出。類(lèi)似地，雖然為了便 于描述，附圖中的各個(gè)視圖大體上示出了相似取向，但附圖中的描繪在多數(shù)情況下是任意 的。一般而言，本發(fā)明可以在任何取向上操作。
[0026] 符號(hào)和命名：
[0027] 然而，應(yīng)該牢記，所有這些和類(lèi)似術(shù)語(yǔ)均與適當(dāng)物理量相關(guān)聯(lián)，并且只是應(yīng)用于這 些量的方便標(biāo)簽。除非特別說(shuō)明，否則如根據(jù)以下討論可明顯看出，應(yīng)理解的是，在本發(fā)明 中，使用諸如"處理"或"訪(fǎng)問(wèn)"或"執(zhí)行"或"存儲(chǔ)"或"渲染"等術(shù)語(yǔ)的討論是指計(jì)算機(jī)系 統(tǒng)或類(lèi)似電子計(jì)算設(shè)備的動(dòng)作和過(guò)程，所述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)或類(lèi)似電子計(jì)算設(shè)備對(duì)計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 的寄存器和存儲(chǔ)器以及其他計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)內(nèi)以物理（電子）量表示的數(shù)據(jù)進(jìn)行操縱，并 轉(zhuǎn)換成計(jì)算機(jī)系統(tǒng)存儲(chǔ)器或寄存器或其他此類(lèi)信息存儲(chǔ)、傳輸或顯示設(shè)備內(nèi)的同樣以物理 量表示的其他數(shù)據(jù)。當(dāng)一個(gè)部件出現(xiàn)在幾個(gè)實(shí)施例中時(shí)，使用相同的參考號(hào)意味著該部件 是與最初實(shí)施例所示部件相同的部件。
[0028] 本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種方案以應(yīng)對(duì)自動(dòng)測(cè)試中實(shí)施統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制方法時(shí)面 臨的挑戰(zhàn)。具體而言，通過(guò)提供機(jī)會(huì)以在對(duì)不正確測(cè)試的器件（例如半導(dǎo)體晶片、片上系統(tǒng) (SOC)或集成電路等）或存在內(nèi)在問(wèn)題的器件花費(fèi)很多測(cè)試時(shí)間之前就校正生產(chǎn)和/或測(cè) 試過(guò)程，本發(fā)明的實(shí)施例可以用于不考慮簡(jiǎn)單的通過(guò)/失敗結(jié)果而做出過(guò)程決策。在本發(fā) 明的一個(gè)示例性實(shí)施例中，公開(kāi)了一種實(shí)時(shí)統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試結(jié)果的方法。已采集大量測(cè)試結(jié) 果之后，可對(duì)已采集的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，并響應(yīng)于任何所識(shí)別的測(cè)試錯(cuò)誤或缺陷器 件、半導(dǎo)體晶片或裸片執(zhí)行動(dòng)作。具體而言，可以在減少的測(cè)試活動(dòng)時(shí)段期間，例如探測(cè)與 處理設(shè)備的轉(zhuǎn)位時(shí)間期間進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。而且，可以將附加材料處理命令（例如針頭清洗、 z高度調(diào)整、停止等）透明地注入測(cè)試程序與材料處理器之間。
[0029] 統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制分析：
[0030] 如此處所述，可以在示例性測(cè)試單元控制器的短環(huán)路中執(zhí)行統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制（SPC) 規(guī)則。SPC規(guī)則通過(guò)各種測(cè)試數(shù)據(jù)參數(shù)，例如參數(shù)測(cè)試值、合格率值和箱子結(jié)果的統(tǒng)計(jì)分析 提供早期檢測(cè)、通知和控制動(dòng)作。SPC規(guī)則可以與正常的測(cè)試單元控制器程序活動(dòng)（例如處 理和探測(cè)設(shè)備通信）同步執(zhí)行。在一個(gè)示例性實(shí)施例中，SPC規(guī)則可以用于檢測(cè)批次測(cè)試 過(guò)程結(jié)果受控還是失控。例如，失控的高斯過(guò)程參數(shù)分布可能具有偏離期望值的平均或標(biāo) 準(zhǔn)偏差統(tǒng)計(jì)數(shù)值的特征。在另一個(gè)示例中，高于正常標(biāo)準(zhǔn)偏差的iddq測(cè)量（iddq測(cè)試是用 于測(cè)試集成電路制造缺陷的方法）可能表明由于內(nèi)部損壞將出現(xiàn)早期故障的裸片。導(dǎo)通/ 非導(dǎo)通測(cè)試會(huì)漏掉該情況，而統(tǒng)計(jì)過(guò)程規(guī)則分析則可以識(shí)別該情況。這些統(tǒng)計(jì)值可以在批 次測(cè)試過(guò)程中現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)，識(shí)別的SPC失?。ɡ邕`反控制規(guī)則）可以用于觸發(fā)校正或拋棄 動(dòng)作。通過(guò)檢測(cè)SPC規(guī)則失敗并中止進(jìn)一步測(cè)試，可以避免不必要的測(cè)試時(shí)間，可以校正識(shí) 別的問(wèn)題，并且可以提高合格率及其他評(píng)估度量。
[0031] 如此處所述，采用SPC規(guī)則分析的示例性實(shí)施例可以提供歷史結(jié)果檢測(cè)，例如已 經(jīng)歷太多次失敗