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      對于電路可靠性老化的方法和裝置的制造方法_2

      文檔序號:8527347閱讀:來源:國知局
      說,先前Vth (即,就在當(dāng)前階 段之前的時間點(diǎn)處的閾值電壓,例如,初始值(VtM))加上通過所述當(dāng)前階段的漂移,因此, 例如,對于第一階段,漂移的Vth可以被表示為:VtM+AVth。因此,老化結(jié)果可以包括不同的 表示,只要它們與參數(shù)的漂移相關(guān)或基于參數(shù)的漂移即可。
      [0027] 例如,將目標(biāo)時間段劃分成兩個階段。在第一階段,獲取可靠性模型103的用于第 一階段的第一參數(shù)值。所述第一參數(shù)值可以是用于可靠性老化仿真的初始參數(shù)值(例如,VtM),其在常規(guī)的方法/工具中將保持恒定。通過對于第一階段的仿真,獲得第一老化結(jié)果 (例如,vth 或AVth)。
      [0028]來自第一階段的第一老化結(jié)果可以饋送回(107)以用于第二階段仿真。在一優(yōu)選 實(shí)施例中,第一老化結(jié)果對應(yīng)于漂移參數(shù)值,第一老化結(jié)果與第一參數(shù)值組合以獲取可靠 性模型103的用于第二階段的第二參數(shù)值。在另一優(yōu)選實(shí)施例中,第一老化結(jié)果對應(yīng)于漂 移的參數(shù)值,第一老化結(jié)果直接用作可靠性模型的用于第二階段的第二參數(shù)值。從而,基于 第一老化結(jié)果獲得了用于第二階段的第二參數(shù)值。然后,基于可靠性模型103以及可靠性 模型103的第二參數(shù)值對電路進(jìn)行第二階段仿真,以獲取第二老化結(jié)果。
      [0029]在目標(biāo)時間段包括兩個以上階段的情況下,也就是說,在目標(biāo)時間段劃分成N個 階段(其中N是等于或大于3的自然數(shù))的情況下,對于每一個另外的迭代重復(fù)與上面所描 述的類似的處理過程。在這樣的情況下,如上述的第二階段,可以基于第(i-1)老化結(jié)果獲 得可靠性模型的用于第i階段的第i參數(shù)值,其中i表示范圍從3到N的自然數(shù)。
      [0030] 同樣地,可以通過組合第(i-1)老化結(jié)果和第(i-1)參數(shù)值獲得第i參數(shù)值。對 于目標(biāo)時間段的第i階段,可以基于可靠性模型和可靠性模型的第i參數(shù)值對電路進(jìn)行第 i階段仿真,以及獲得第i老化結(jié)果。
      [0031] 在一優(yōu)選實(shí)施例中,第i老化結(jié)果是對于第i階段計(jì)算的漂移參數(shù)值。例如,第i老化結(jié)果是在第i階段仿真中發(fā)生的閾值電壓的漂移,Avthi。在另一優(yōu)選實(shí)施例中,第i 老化結(jié)果是隨著老化仿真進(jìn)行直至第i階段的結(jié)束計(jì)算的漂移的參數(shù)值。在這樣的情況
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1. 一種用于針對預(yù)定的目標(biāo)時間段的電路可靠性老化仿真的方法,所述方法包括: 將所述目標(biāo)時間段劃分成N個階段,包括第一階段和第二階段,其中N是等于或大于2 的自然數(shù); 獲取可靠性模型的用于所述第一階段的第一參數(shù)值; 對于所述第一階段,基于所述可靠性模型和所述第一參數(shù)值對所述電路進(jìn)行第一仿 真,以獲取第一老化結(jié)果; 基于所述第一老化結(jié)果獲取所述可靠性模型的用于所述第二階段的第二參數(shù)值;以及 對于所述第二階段,基于所述可靠性模型和所述第二參數(shù)值對所述電路進(jìn)行第二仿 真,以獲取第二老化結(jié)果。
      2. 如權(quán)利要求1所述的方法,其中: 獲取所述第一參數(shù)值包括獲取用于所述可靠性老化仿真的初始參數(shù)值作為所述第一 參數(shù)值;以及 獲取所述第二參數(shù)值包括將所述第一老化結(jié)果和所述第一參數(shù)值組合以獲取用于所 述第二階段的所述第二參數(shù)值。
      3. 如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述第一老化結(jié)果是對于所述第一階段計(jì)算的漂移 參數(shù)值,或者隨著所述可靠性老化仿真進(jìn)行到所述第一階段的結(jié)束計(jì)算的漂移的參數(shù)值, 以及 所述第二老化結(jié)果是對于所述第二階段計(jì)算的漂移參數(shù)值,或隨著所述可靠性老化仿 真進(jìn)行到所述第二階段的結(jié)束計(jì)算的相應(yīng)參數(shù)的漂移的值。
      4. 如權(quán)利要求1所述的方法,還包括: 基于第i-1老化結(jié)果,獲取所述可靠性模型的用于第i階段的第i參數(shù)值,其中i表示 從3到N的自然數(shù);以及 對于所述目標(biāo)時間段的所述第i階段,基于所述可靠性模型和所述第i參數(shù)值對所述 電路進(jìn)行第i仿真,以獲取第i老化結(jié)果。
      5. 如權(quán)利要求4所述的方法,其中獲取所述第i參數(shù)值包括:將所述第(i-1)老化結(jié) 果和第(i-1)參數(shù)值組合以獲取所述可靠性模型的用于所述第i階段的第i參數(shù)值。
      6. 如權(quán)利要求4所述的方法,其中所述第i老化結(jié)果是對于所述第i階段計(jì)算的漂移 參數(shù)值,或者,隨著所述可靠性老化仿真進(jìn)行直至所述第i階段的結(jié)束計(jì)算的漂移的參數(shù) 值。
      7. 如權(quán)利要求1所述的方法,還包括: 基于隨著所述可靠性老化仿真進(jìn)行直至第N階段的結(jié)束計(jì)算的漂移的參數(shù)值,進(jìn)行性 能仿真。
      8. 如權(quán)利要求1所述的方法,其中所述可靠性老化仿真基于所述電路的網(wǎng)表進(jìn)行,并 且所述方法還包括: 基于所述電路的電路圖或布局中的至少一個產(chǎn)生所述電路的網(wǎng)表。
      9. 一種針對目標(biāo)時間段進(jìn)行電路的可靠性老化仿真的裝置,所述裝置包括: 劃分模塊,用于將所述目標(biāo)時間段劃分成N個階段,包括第一階段和第二階段,其中N 是等于或大于2的自然數(shù);以及 仿真模塊,用于: 獲取可靠性模型的用于所述第一階段的第一參數(shù)值; 對于所述第一階段,基于所述可靠性模型和所述第一參數(shù)值對所述電路進(jìn)行第一仿 真,以獲取第一老化結(jié)果; 基于所述第一老化結(jié)果獲取所述可靠性模型的用于所述第二階段的第二參數(shù)值;以及 對于所述第二階段,基于所述可靠性模型和所述第二參數(shù)值對所述電路進(jìn)行第二仿 真,以獲取第二老化結(jié)果。
      10. 如權(quán)利要求9所述的裝置,其中, 獲取所述第一參數(shù)值包括:獲取用于所述可靠性老化仿真的初始參數(shù)值作為所述第一 參數(shù)值;并且 獲取所述第二參數(shù)值包括:將所述第一老化結(jié)果和所述第一參數(shù)值組合以獲取所述第 二參數(shù)值。
      11. 如權(quán)利要求9所述的裝置,其中: 所述第一老化結(jié)果是對于所述第一階段計(jì)算的漂移參數(shù)值,或者,隨著所述可靠性老 化仿真進(jìn)行到直至所述第一階段的結(jié)束計(jì)算的漂移的參數(shù)值,以及 所述第二老化結(jié)果是對于所述第二階段計(jì)算的漂移參數(shù)值,或者,隨著所述可靠性老 化仿真進(jìn)行到直至所述第二階段的結(jié)束計(jì)算的漂移的參數(shù)值。
      12. 如權(quán)利要求9所述的裝置,其中所述仿真模塊還被配置用于: 基于第i-1老化結(jié)果,獲取所述可靠性模型的用于第i階段的第i參數(shù)值,其中i表示 從3到N的自然數(shù);以及 對于所述目標(biāo)時間段的所述第i階段,基于所述可靠性模型和所述可靠性模型的所述 第i參數(shù)值對所述電路進(jìn)行第i仿真,以獲取第i老化結(jié)果。
      13. 如權(quán)利要求12所述的裝置,其中所述獲取第i參數(shù)值包括: 將所述第(i-1)老化結(jié)果和第(i-1)參數(shù)值組合以獲取所述可靠性模型的用于所述第 i階段的第i參數(shù)值。
      14. 如權(quán)利要求12所述的裝置,其中所述第i老化結(jié)果是對于所述第i階段計(jì)算的漂 移參數(shù)值,或者,隨著所述可靠性老化仿真進(jìn)行直至所述第i階段的結(jié)束計(jì)算的漂移的參 數(shù)值。
      15. 如權(quán)利要求14所述的裝置,還包括: 性能仿真模塊,用于基于隨著所述可靠性老化仿真進(jìn)行直至第N階段的結(jié)束計(jì)算的漂 移的參數(shù)值,進(jìn)行性能仿真。
      16. 如權(quán)利要求9所述的裝置,還包括: 網(wǎng)表產(chǎn)生模塊,用于基于所述電路的電路圖或布局中的至少一個產(chǎn)生所述電路的網(wǎng) 表, 其中所述可靠性老化仿真基于所述網(wǎng)表進(jìn)行。
      17. -種針對目標(biāo)時間段進(jìn)行電路的可靠性老化仿真的裝置,所述裝置包括: 劃分模塊,用于將所述目標(biāo)時間段劃分成N個階段,包括第一階段和第二階段,其中N 是等于或大于2的自然數(shù); 第一獲取模塊,用于獲取可靠性模型的用于所述第一階段的第一參數(shù)值; 第一仿真模塊,用于對于所述第一階段,基于所述可靠性模型和所述第一參數(shù)值對所 述電路進(jìn)行第一仿真,以獲取第一老化結(jié)果; 第二獲取模塊,用于基于所述第一老化結(jié)果獲取所述可靠性模型的用于所述第二階段 的第二參數(shù)值;以及 第二仿真模塊,用于對于所述第二階段,基于所述可靠性模型和所述第二參數(shù)值對所 述電路進(jìn)行第二仿真,以獲取第二老化結(jié)果。
      18. 如權(quán)利要求17所述的裝置,其中: 獲取所述第一參數(shù)值包括:獲取用于所述可靠性老化仿真的初始參數(shù)值;以及 獲取所述第二參數(shù)值包括:將所述第一老化結(jié)果和所述第一參數(shù)值組合。
      19. 如權(quán)利要求所述的裝置17,其中所述第一老化結(jié)果是對于所述第一階段計(jì)算的漂 移參數(shù)值,或者,隨著所述可靠性老化仿真進(jìn)行直至所述第一階段的結(jié)束計(jì)算的漂移的參 數(shù)值,以及 所述第二老化結(jié)果是對于所述第二階段計(jì)算的漂移參數(shù)值,或者,隨著所述可靠性老 化仿真進(jìn)行到直至所述第二階段的結(jié)束計(jì)算的漂移的參數(shù)值。
      20. 如權(quán)利要求17所述的裝置,還包括: 第i獲取模塊,用于基于第i_l老化結(jié)果,獲取所述可靠性模型的用于第i階段的第i 參數(shù)值,其中i表示從3到N的自然數(shù);以及 第i仿真模塊,用于對于所述目標(biāo)時間段的所述第i階段,基于所述可靠性模型和所述 可靠性模型的所述第i參數(shù)值對所述電路進(jìn)行第i仿真,以獲取第i老化結(jié)果。
      【專利摘要】一種用于集成電路可靠性老化仿真的方法,包括:將所述目標(biāo)時間段劃分成N個階段,包括第一階段和第二階段;獲取可靠性模型的用于所述第一階段的第一參數(shù)值;對于所述第一階段,基于所述可靠性模型和所述第一參數(shù)值對所述電路進(jìn)行第一仿真,以獲取第一老化結(jié)果;獲取所述可靠性模型的用于所述第二階段的第二參數(shù)值;以及對于所述第二階段,基于所述可靠性模型和所述第二參數(shù)值對所述電路進(jìn)行第二仿真,以獲取第二老化結(jié)果。
      【IPC分類】G01R31-28
      【公開號】CN104849647
      【申請?zhí)枴緾N201410052000
      【發(fā)明人】張致琛, X·豪爾斯, M·D·施洛夫, 王傳政, 張奇林
      【申請人】飛思卡爾半導(dǎo)體公司
      【公開日】2015年8月19日
      【申請日】2014年2月17日
      【公告號】US20150234961
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