一種振弦式壓力傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種振弦式壓力傳感器，屬于壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，壓力傳感器主要采用振弦式，這種傳感器的振弦一端固定，另一端連結(jié)在彈性感壓膜片上。弦的中部裝有一塊軟鐵，置于磁鐵和線圈構(gòu)成的激勵(lì)器的磁場(chǎng)中。但這種壓力傳感器的非線性會(huì)影響測(cè)量精度，對(duì)工作頻段和預(yù)應(yīng)力的設(shè)置要求比較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明提供一種振弦式壓力傳感器。
[0004]技術(shù)方案:為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:
一種振弦式壓力傳感器，包括振弦、基座、永久磁鐵、高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片、保護(hù)管、固定件、傳壓通道、硅油，所述永久磁鐵包括N極磁鐵、S極磁鐵，所述基座兩側(cè)分別設(shè)置有高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片，所述基座頂部固定有保護(hù)管，所述保護(hù)管上、下兩端分別設(shè)置有N極磁鐵、S極磁鐵；所述高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片之間還設(shè)置有傳壓通道，所述傳壓通道內(nèi)設(shè)置有硅油；所述保護(hù)管內(nèi)設(shè)置有振弦，振弦一端與固定件相連接，所述固定件與高壓側(cè)膜片內(nèi)側(cè)相接觸，振弦另一端與低壓側(cè)膜片相連接。
[0005]還包括初始張力彈簧片，所述初始張力彈簧片設(shè)置在低壓側(cè)膜片內(nèi)，用于保證振弦具有初始張力。
[0006]還包括保護(hù)外殼、墊圈、過載保護(hù)彈簧，所述保護(hù)外殼設(shè)置在低壓側(cè)膜片外側(cè)，保護(hù)外殼內(nèi)設(shè)置有墊圈，所述過載保護(hù)彈簧一端設(shè)置在墊圈上，另一端與低壓側(cè)膜片外側(cè)相接觸。
[0007]還包括絕緣襯墊，所述絕緣襯墊分別套接在保護(hù)管兩端。
[0008]作為優(yōu)選方案，所述固定件設(shè)置為帽狀結(jié)構(gòu)。
[0009]作為優(yōu)選方案，所述高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片的材質(zhì)均采用銅鈹合金。
[0010]有益效果:本發(fā)明提供的一種振弦式壓力傳感器，本設(shè)計(jì)具有較強(qiáng)的抗干擾能力，零漂小、溫度特性好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、分辨率高、性能穩(wěn)定。
【附圖說明】
[0011]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作更進(jìn)一步的說明。
[0013]如圖1所示，一種振弦式壓力傳感器，包括振弦1、基座2、永久磁鐵、高壓側(cè)膜片3、低壓側(cè)膜片4、保護(hù)管5、固定件6、傳壓通道7、硅油8，所述永久磁鐵包括N極磁鐵9、S極磁鐵10，所述基座2兩側(cè)分別設(shè)置有高壓側(cè)膜片3、低壓側(cè)膜片4，所述基座2頂部固定有保護(hù)管5，所述保護(hù)管5上、下兩端分別設(shè)置有N極磁鐵9、S極磁鐵10 ;所述高壓側(cè)膜片3、低壓側(cè)膜片4之間還設(shè)置有傳壓通道7，所述傳壓通道7內(nèi)設(shè)置有硅油8 ;所述保護(hù)管5內(nèi)設(shè)置有振弦1，振弦I 一端與固定件6相連接，所述固定件6與高壓側(cè)膜片3內(nèi)側(cè)相接觸，振弦I另一端與低壓側(cè)膜片4相連接。
[0014]還包括初始張力彈簧片11，所述初始張力彈簧片11設(shè)置在低壓側(cè)膜片4內(nèi)，用于保證振弦具有初始張力。
[0015]還包括保護(hù)外殼12、墊圈13、過載保護(hù)彈簧14，所述保護(hù)外殼12設(shè)置在低壓側(cè)膜片4外側(cè)，保護(hù)外殼12內(nèi)設(shè)置有墊圈13，所述過載保護(hù)彈簧14 一端設(shè)置在墊圈13上，另一端與低壓側(cè)膜片4外側(cè)相接觸。
[0016]還包括絕緣襯墊15，所述絕緣襯墊15分別套接在保護(hù)管5兩端。
[0017]具體使用方式如下:當(dāng)施加差壓時(shí)，硅油自傳壓通道擠向低壓膜片，離開低壓側(cè)底座增加振弦的張力，提高諧振頻率，差壓變化使得振弦的振動(dòng)頻率相應(yīng)改變。傳感器具有過載保護(hù)裝置，過壓時(shí)墊圈中央的過載保護(hù)彈簧壓縮產(chǎn)生反作用力，使振弦張力不再增大，高壓側(cè)膜片將緊貼于基座上有效地防止過載損壞膜片。
[0018]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出:對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種振弦式壓力傳感器，包括振弦、基座、永久磁鐵，其特征在于:還包括:高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片、保護(hù)管、固定件、傳壓通道、硅油，所述永久磁鐵包括N極磁鐵、S極磁鐵，所述基座兩側(cè)分別設(shè)置有高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片，所述基座頂部固定有保護(hù)管，所述保護(hù)管上、下兩端分別設(shè)置有N極磁鐵、S極磁鐵；所述高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片之間還設(shè)置有傳壓通道，所述傳壓通道內(nèi)設(shè)置有硅油；所述保護(hù)管內(nèi)設(shè)置有振弦，振弦一端與固定件相連接，所述固定件與高壓側(cè)膜片內(nèi)側(cè)相接觸，振弦另一端與低壓側(cè)膜片相連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種振弦式壓力傳感器，其特征在于:還包括初始張力彈簧片，所述初始張力彈簧片設(shè)置在低壓側(cè)膜片內(nèi)，用于保證振弦具有初始張力。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種振弦式壓力傳感器，其特征在于:還包括保護(hù)外殼、墊圈、過載保護(hù)彈簧，所述保護(hù)外殼設(shè)置在低壓側(cè)膜片外側(cè)，保護(hù)外殼內(nèi)設(shè)置有墊圈，所述過載保護(hù)彈簧一端設(shè)置在墊圈上，另一端與低壓側(cè)膜片外側(cè)相接觸。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種振弦式壓力傳感器，其特征在于:還包括絕緣襯墊，所述絕緣襯墊分別套接在保護(hù)管兩端。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種振弦式壓力傳感器，其特征在于:所述固定件設(shè)置為帽狀結(jié)構(gòu)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種振弦式壓力傳感器，其特征在于:所述高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片的材質(zhì)均采用銅鈹合金。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種振弦式壓力傳感器，包括振弦、基座、永久磁鐵、高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片、保護(hù)管、固定件、傳壓通道、硅油，所述永久磁鐵包括N極磁鐵、S極磁鐵，所述基座兩側(cè)分別設(shè)置有高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片，所述基座頂部固定有保護(hù)管，所述保護(hù)管上、下兩端分別設(shè)置有N極磁鐵、S極磁鐵；所述高壓側(cè)膜片、低壓側(cè)膜片之間還設(shè)置有傳壓通道，所述傳壓通道內(nèi)設(shè)置有硅油；所述保護(hù)管內(nèi)設(shè)置有振弦，振弦一端與固定件相連接，所述固定件與高壓側(cè)膜片內(nèi)側(cè)相接觸，振弦另一端與低壓側(cè)膜片相連接。本發(fā)明提供的一種振弦式壓力傳感器，具有較強(qiáng)的抗干擾能力，零漂小、溫度特性好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、分辨率高、性能穩(wěn)定。
【IPC分類】G01L1/10, G01L7/08
【公開號(hào)】CN105181214
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510273238
【發(fā)明人】薛文英
【申請(qǐng)人】蘇州華徠光電儀器有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2015年5月26日