缺陷檢查系統(tǒng)以及膜的制造裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及缺陷檢查系統(tǒng)以及膜的制造裝置。
[0002]本申請(qǐng)主張基于在2013年6月4日提出的日本國(guó)專利申請(qǐng)2013 — 117947號(hào)的優(yōu)先權(quán)，并且在此引用其內(nèi)容。
【背景技術(shù)】
[0003]作為帶狀的膜的缺陷檢查系統(tǒng)，公知有專利文獻(xiàn)1所記載的缺陷檢查系統(tǒng)。專利文獻(xiàn)1的缺陷檢查系統(tǒng)在膜的輸送線上具備缺陷檢查裝置與將缺陷信息記錄于膜的記錄
目.ο
[0004]另一方面，作為膜的制造裝置，公知有專利文獻(xiàn)2所記載的膜的制造裝置。專利文獻(xiàn)2的膜的制造裝置具備:粘貼輥，其粘貼第一膜與第二膜并形成膜；輸送線，其在粘貼輥的下游側(cè)輸送膜；以及缺陷檢查裝置，其被設(shè)置于輸送線。
[0005]例如，在膜的生產(chǎn)線中，粘貼第一膜與第二膜并且卷繞為輥狀從而制造膜的原料輥。在粘貼第一膜與第二膜時(shí)，存在在第一膜與第二膜之間產(chǎn)生混入氣泡等的嚙入異物的情況。缺陷檢查裝置檢查在第一膜與第二膜之間有無異物缺陷等。
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本國(guó)特開2011 — 7779號(hào)公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)2:日本國(guó)特開2008 - 49604號(hào)公報(bào)
[0008]缺陷檢查裝置通常被設(shè)置于輸送線的下游側(cè)。與將缺陷檢查裝置設(shè)置于輸送線的上游側(cè)相比設(shè)置于輸送線的下游側(cè)能夠?qū)υ谳斔椭性谀ぎa(chǎn)生的瑕疵等的缺陷進(jìn)行集中檢查。例如，缺陷檢查裝置在膜與10?20的輥接觸之后檢查膜有無缺陷。
[0009]另一方面，在將最終制品的第二膜從第一膜剝離的情況下，第二膜的表面的瑕疵不會(huì)成為問題。例如，即便在第二膜的表面產(chǎn)生瑕疵，在第一膜與第二膜之間不存在異物缺陷等的情況下，也能夠?qū)⒛ぷ鳛樽罱K制品沒有問題地進(jìn)行使用。
[0010]然而，若在膜的輸送中在第二膜的表面產(chǎn)生瑕疵，則存在本來不會(huì)成為問題的第二膜的表面的瑕疵被誤檢測(cè)為缺陷的情況。在該情況下，能夠作為最終制品使用的膜被識(shí)別為缺陷品。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明的方式是鑒于這種情況產(chǎn)生的，其目的在于提供一種能夠抑制由瑕疵的檢測(cè)引起的虛報(bào)缺陷的缺陷檢查系統(tǒng)以及膜的制造裝置。
[0012]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的方式的缺陷檢查系統(tǒng)以及膜的制造裝置采用了以下結(jié)構(gòu)。
[0013](1)本發(fā)明的第一方式的缺陷檢查系統(tǒng)是具有第一膜與以能夠剝離的方式被層疊于上述第一膜的第二膜的帶狀的膜的缺陷檢查系統(tǒng)，上述缺陷檢查系統(tǒng)包含:粘貼輥，其粘貼上述第一膜與上述第二膜而形成上述膜；輸送線，其在上述粘貼輥的下游側(cè)輸送上述膜；缺陷檢查裝置，其被設(shè)置于上述輸送線；以及記錄裝置，其被設(shè)置于比上述缺陷檢查裝置靠下游側(cè)的上述輸送線，并且將與通過上述缺陷檢查裝置檢測(cè)出的缺陷有關(guān)的缺陷信息記錄于上述膜，上述缺陷檢查裝置被配置于比除上述粘貼輥以外、最初與上述第二膜的上述第一膜側(cè)的相反側(cè)的面接觸的輥靠上游側(cè)的上述輸送線。
[0014](2)在上述(1)所記載的缺陷檢查系統(tǒng)中，上述缺陷檢查裝置也可以包含:光源，其被配置于上述膜的上述第一膜一側(cè)，并且向上述膜照射光；拍攝裝置，其被配置于上述膜的上述第二膜一側(cè)，并且拍攝上述膜的透過光像；第一偏光濾光片，其被配置于上述光源與上述膜之間的光路上，并且具有第一吸收軸；以及第二偏光濾光片，其被配置于上述拍攝裝置與上述膜之間的光路上，并且具有與上述第一吸收軸正交的第二吸收軸。
[0015](3)在上述(1)所記載的缺陷檢查系統(tǒng)中也可以為，上述第一膜是偏振器，上述缺陷檢查裝置包含:光源，其被配置于上述膜的上述偏振器一側(cè)，并且向上述膜照射光；拍攝裝置，其被配置于上述膜的上述第二膜一側(cè)，并且拍攝上述膜的透過光像；以及偏光濾光片，其被配置于上述拍攝裝置與上述膜之間的光路上，并且具有與上述偏振器的吸收軸正交的吸收軸。
[0016](4)本發(fā)明的第二方式的膜的制造裝置包含上述(1)?(3)中的任一項(xiàng)所記載的缺陷檢查系統(tǒng)。
[0017]發(fā)明的效果
[0018]根據(jù)本發(fā)明的方式，能夠提供能夠抑制由瑕疵的檢測(cè)引起的虛報(bào)缺陷的缺陷檢查系統(tǒng)以及膜的制造裝置。
【附圖說明】
[0019]圖1是表示第一實(shí)施方式的膜的制造裝置的側(cè)視圖。
[0020]圖2是用于說明第一偏光濾光片的第一吸收軸與第二偏光濾光片的第二吸收軸的配置關(guān)系的圖。
[0021]圖3是第一實(shí)施方式的缺陷檢查裝置的俯視圖。
[0022]圖4是用于說明基于比較例1的缺陷檢查系統(tǒng)的膜的缺陷檢查的圖。
[0023]圖5是用于說明基于第一實(shí)施方式的缺陷檢查系統(tǒng)的膜的缺陷檢查的圖。
[0024]圖6是表示第二實(shí)施方式的膜的制造裝置的側(cè)視圖。
[0025]圖7是用于說明偏振器的吸收軸與偏光濾光片的吸收軸的配置關(guān)系的圖。
[0026]圖8是用于說明基于比較例2的缺陷檢查系統(tǒng)的膜的缺陷檢查的圖。
[0027]圖9是用于說明基于第二實(shí)施方式的缺陷檢查系統(tǒng)的膜的缺陷檢查的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明，但本發(fā)明并不限定于以下的實(shí)施方式。
[0029]此外，在以下的全部附圖中，為了容易觀察附圖，使各構(gòu)成要素的尺寸、比率等適當(dāng)?shù)夭煌Ａ硗?，在以下的說明以及附圖中，對(duì)于相同或者相當(dāng)?shù)囊兀瑯?biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并且省略重復(fù)說明。
[0030](第一實(shí)施方式)
[0031]圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的膜的制造裝置1的側(cè)視圖。在圖1中，附圖標(biāo)記sn是膜F的上表面，并且是第一膜F1側(cè)的面。附圖標(biāo)記Sf2是膜F的下表面，并且是第二膜F2側(cè)的面。
[0032]在以下的說明中，根據(jù)需要設(shè)定XYZ正交坐標(biāo)系，參照該XYZ正交坐標(biāo)系對(duì)各部件的位置關(guān)系進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式中，將帶狀的膜的輸送方向設(shè)為X方向，將膜的面內(nèi)的與X方向正交的方向(長(zhǎng)條的膜的寬度方向)設(shè)為Y方向，將與X方向以及Y方向正交的方向設(shè)為Z方向。
[0033]如圖1所示，膜的制造裝置1具備:第一供給部7，其供給第一膜F1 ;第二供給部8，其供給第二膜F2 ;缺陷檢查系統(tǒng)2，其檢查膜F有無缺陷；多個(gè)輥(例如在本實(shí)施方式中，第一導(dǎo)輥10、第二導(dǎo)輥11以及第三導(dǎo)輥12)，它們形成膜F的輸送路徑；以及卷繞部9，其卷繞膜F。
[0034]此外，在本實(shí)施方式中，作為形成膜F的輸送路徑的多個(gè)輥，設(shè)置有第一導(dǎo)輥10、第二導(dǎo)輥11以及第三導(dǎo)輥12的三個(gè)導(dǎo)輥，但并不限定于此。例如，作為形成膜F的輸送路徑的多個(gè)輥，也可以設(shè)置四個(gè)以上導(dǎo)輥，除導(dǎo)輥之外，也可以設(shè)置夾持輥、張力調(diào)節(jié)輥。另夕卜，除這種接觸輥以外，也可以設(shè)置氣動(dòng)桿等的非接觸輥。
[0035]膜F是具有第一膜F1與以能夠剝離的方式被層疊于第一膜F1的第二膜F2的帶狀的膜。本實(shí)施方式中所使用的膜F例如是作為最終制品被使用的膜亦即第一膜F1的一方的面被分離膜亦即第二膜F2覆蓋的構(gòu)造。
[0036]作為第一膜F1，例如能夠使用TAC(Triacetylcellulose:三乙酰纖維素)膜、相位差膜、提高亮度膜、可視角放大膜等膜。作為第二膜F2，例如能夠使用帶離型膜的粘結(jié)膜。
[0037]此外，膜F也可以在第一膜F1的另一方的面層疊有相位差膜、亮度提高膜等的多個(gè)光學(xué)膜。
[0038]另外，在將膜F的第二膜F2從第一膜F1剝離的情況下，不是將第二膜F2整體從第一